JPS63180775A - チヤンバのアイソレ−シヨンバルブ - Google Patents
チヤンバのアイソレ−シヨンバルブInfo
- Publication number
- JPS63180775A JPS63180775A JP1486887A JP1486887A JPS63180775A JP S63180775 A JPS63180775 A JP S63180775A JP 1486887 A JP1486887 A JP 1486887A JP 1486887 A JP1486887 A JP 1486887A JP S63180775 A JPS63180775 A JP S63180775A
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- chamber
- opening
- pump
- plate
- partition plate
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- Pending
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- 238000002955 isolation Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 51
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 12
- 238000004891 communication Methods 0.000 abstract description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000013011 mating Effects 0.000 abstract 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Lift Valve (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、真空チャンバ等のチャンバと、真空ポンプ
等のポンプとの間に配設されて両者を連結し又は遮断す
るチャンバのアイソレーションバルブに関する。
等のポンプとの間に配設されて両者を連結し又は遮断す
るチャンバのアイソレーションバルブに関する。
［従来の技術］
従来、第５図に示すように、真空チャンバ１と真空ポン
プ２とはチャンバ１の開口部３を介して連通しており、
このチャンバ１内にはチャンバ１内をポンプ２から隔離
するアイソレーションバルブ４が配設されている。バル
ブ４の仕切板５は支持軸６により支持されており、この
支持軸６を介して仕切板５は適宜の駆動源により上下動
する。
プ２とはチャンバ１の開口部３を介して連通しており、
このチャンバ１内にはチャンバ１内をポンプ２から隔離
するアイソレーションバルブ４が配設されている。バル
ブ４の仕切板５は支持軸６により支持されており、この
支持軸６を介して仕切板５は適宜の駆動源により上下動
する。
開口部３には、シール材としてのＯリング７が配設され
ており、仕切板５がＯリング７に接触してこの開口部３
を閉に、し、仕切板５が上方に離隔して開口部３を開に
する。そして、仕切板５が開口部３を開にした場合に、
真空ポンプ２が真空チャンバ１を排気し、チャンバ１内
で所定の作業がなされる。一方、仕切板５が開口部３を
開にした場合に、チャンバ１とポンプ２とが隔離され、
チャンバ１内を大気圧下にすることが可能になる。
ており、仕切板５がＯリング７に接触してこの開口部３
を閉に、し、仕切板５が上方に離隔して開口部３を開に
する。そして、仕切板５が開口部３を開にした場合に、
真空ポンプ２が真空チャンバ１を排気し、チャンバ１内
で所定の作業がなされる。一方、仕切板５が開口部３を
開にした場合に、チャンバ１とポンプ２とが隔離され、
チャンバ１内を大気圧下にすることが可能になる。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、このような従来のアイソレーションバル
ブ４においては、チャンバ１とポンプ２とが連通されて
高真空のチャンバ１内で作業が実施されているときには
、仕切板５の下面がチャンバ１内の雰囲気にさらされて
しまう。このため、チャンバ１内の作業により発生する
粉塵等が仕切板５の下面に付着してしまう。従って、バ
ルブ４を閉じてチャンバ１を大気下にした場合に、この
付着粉塵により、真空ポンプ２側に気体がリークするの
で、ポンプの排気能力が低下し、再度高真空状態をつく
りだすために長時間を必要とする等の問題点がある。
ブ４においては、チャンバ１とポンプ２とが連通されて
高真空のチャンバ１内で作業が実施されているときには
、仕切板５の下面がチャンバ１内の雰囲気にさらされて
しまう。このため、チャンバ１内の作業により発生する
粉塵等が仕切板５の下面に付着してしまう。従って、バ
ルブ４を閉じてチャンバ１を大気下にした場合に、この
付着粉塵により、真空ポンプ２側に気体がリークするの
で、ポンプの排気能力が低下し、再度高真空状態をつく
りだすために長時間を必要とする等の問題点がある。
この発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって
、作業中の粉塵の付着を防止し、チャンバとポンプとの
間のリークの発生を回避してポンプの能力を常に最適に
維持し、迅速な排気処理が可能となるチャンバのアイソ
レーションバルブを提供することを目的とする。
、作業中の粉塵の付着を防止し、チャンバとポンプとの
間のリークの発生を回避してポンプの能力を常に最適に
維持し、迅速な排気処理が可能となるチャンバのアイソ
レーションバルブを提供することを目的とする。
［問題点を解決するだめの手段］
この発明に係るチャンバのアイソレーションバルブは、
チャンバとこのチャンバを排気するポンプとを連通ずる
間口部分に配設されてポンプ及びチャンバ間を連結し又
は遮断するチャンバのアイソレーションバルブにおいて
、前記開口部分に接触することによって開口を開にし、
かつ開口部分から離隔することによって前記開口を開に
する仕切部材と、この仕切部材が開口を開にしている間
に仕切部材の少なくとも開口部分接触領域を覆う被覆部
材と、を有することを特徴とする。
チャンバとこのチャンバを排気するポンプとを連通ずる
間口部分に配設されてポンプ及びチャンバ間を連結し又
は遮断するチャンバのアイソレーションバルブにおいて
、前記開口部分に接触することによって開口を開にし、
かつ開口部分から離隔することによって前記開口を開に
する仕切部材と、この仕切部材が開口を開にしている間
に仕切部材の少なくとも開口部分接触領域を覆う被覆部
材と、を有することを特徴とする。
［作用］
この発明によれば、仕切部材が開口部分から離隔すると
、ポンプによりチャンバ内が排気され、チャンバ内で作
業が実施される。そして、この作業の間は、アイソレー
ションバルブの仕切部材の少なくとも開口部分接触領域
が被覆部材により覆われる。従って、チャンバ内で粉塵
が発生しても、この粉塵が仕切板に付着することが回避
される。
、ポンプによりチャンバ内が排気され、チャンバ内で作
業が実施される。そして、この作業の間は、アイソレー
ションバルブの仕切部材の少なくとも開口部分接触領域
が被覆部材により覆われる。従って、チャンバ内で粉塵
が発生しても、この粉塵が仕切板に付着することが回避
される。
このため、仕切部材が開口部分に接触して開口を一閉に
した場合には、チャンバがポンプから常に密閉状態で隔
離され、バルブを介する気体のリークが確実に防止され
る。
した場合には、チャンバがポンプから常に密閉状態で隔
離され、バルブを介する気体のリークが確実に防止され
る。
［実施例１
以下、添付の図面を参照してこの発明の実施例について
説明する。第１図はこの発明の第１の実施例に係るアイ
ソレーションバルブを示す縦断面図、第２図は同じくそ
の平面図である。チャンバ１１の底部１２には、チャン
バ１１の内部と真空ポンプ１３とを連通する開口１４が
形成されている。底部１２の上面における開口１４の周
縁部には、リング状の凹所１５が形成されている。この
凹所１５には、開口１４を取り囲むシール部材としての
Ｏリング１６が配設されている。
説明する。第１図はこの発明の第１の実施例に係るアイ
ソレーションバルブを示す縦断面図、第２図は同じくそ
の平面図である。チャンバ１１の底部１２には、チャン
バ１１の内部と真空ポンプ１３とを連通する開口１４が
形成されている。底部１２の上面における開口１４の周
縁部には、リング状の凹所１５が形成されている。この
凹所１５には、開口１４を取り囲むシール部材としての
Ｏリング１６が配設されている。
チャンバ１１内には、開口１４の直上域に、円盤状の仕
切板１７が配設されている。この仕切板１７は支持軸１
８にその面を水平にして支持されており、適宜の駆動源
により、支持１Ｉｌ１１８を介して仕切板１７は上下動
される。仕切板１７が下降すると、この仕切板１７はチ
ャンバ底部１２の凹所１５に嵌合し、Ｏリング１６ｉ、
：接触してチャンバ１１とポンプ１３とを遮断する。一
方、仕切板１７が上方に退避すると、真空ポンプ１３と
チャンバ１１とが連通し、チャンバ１１はポンプ１３に
より排気されて、所定の真空度に保持される。
切板１７が配設されている。この仕切板１７は支持軸１
８にその面を水平にして支持されており、適宜の駆動源
により、支持１Ｉｌ１１８を介して仕切板１７は上下動
される。仕切板１７が下降すると、この仕切板１７はチ
ャンバ底部１２の凹所１５に嵌合し、Ｏリング１６ｉ、
：接触してチャンバ１１とポンプ１３とを遮断する。一
方、仕切板１７が上方に退避すると、真空ポンプ１３と
チャンバ１１とが連通し、チャンバ１１はポンプ１３に
より排気されて、所定の真空度に保持される。
開口１４の上方には、被覆装置１９が配設されている。
この被覆装置１９は、１対の半円状の被覆板２０を有す
る。被覆板２ｏは１対のアーム２１の先端に夫々取り付
けられており、各アーム２１の基端は、支持軸２２に取
り付けられている。
る。被覆板２ｏは１対のアーム２１の先端に夫々取り付
けられており、各アーム２１の基端は、支持軸２２に取
り付けられている。
支持軸２２はその長手方向を垂直にして配設されており
、被検板２０は、その回転軸を垂直方向にして支持軸２
２の回りに回転するようになっている。つまり、仕切板
１７が開口１４を閉にしている場合には、仕切板１７の
上下動を邪魔しないように被覆板２０は開いている。一
方、仕切板１７がその退避位置に上昇した場合には、被
覆板２゜が相互に接近するように回転して、半円状の被
覆板２０どおしが合体して円盤状になり、仕切板１７の
下面を被覆する。被覆板２０の円中心を通る端縁には、
段付２３が形成されており、周縁にはフランジ２４が形
成されている。これにより、被覆板２０が閉じた場合に
、段付２３どおしが係合して被覆板２０の一体性を高め
ると共に、フラン＝ ６− ジ２４が仕切板１７の周縁の端面を被覆するようになっ
ている。
、被検板２０は、その回転軸を垂直方向にして支持軸２
２の回りに回転するようになっている。つまり、仕切板
１７が開口１４を閉にしている場合には、仕切板１７の
上下動を邪魔しないように被覆板２０は開いている。一
方、仕切板１７がその退避位置に上昇した場合には、被
覆板２゜が相互に接近するように回転して、半円状の被
覆板２０どおしが合体して円盤状になり、仕切板１７の
下面を被覆する。被覆板２０の円中心を通る端縁には、
段付２３が形成されており、周縁にはフランジ２４が形
成されている。これにより、被覆板２０が閉じた場合に
、段付２３どおしが係合して被覆板２０の一体性を高め
ると共に、フラン＝ ６− ジ２４が仕切板１７の周縁の端面を被覆するようになっ
ている。
このように構成されたアイソレーションバルブにおいて
は、被覆板２０が開いた状態で、仕切板１７が下降し、
この仕切板１７がチャンバ１１の底部１２の凹所１５に
嵌合してＯリング１６を押圧し、開口１４を遮蔽する。
は、被覆板２０が開いた状態で、仕切板１７が下降し、
この仕切板１７がチャンバ１１の底部１２の凹所１５に
嵌合してＯリング１６を押圧し、開口１４を遮蔽する。
これにより、チャンバ１１は真空ポンプ１３から隔離さ
れる。一方、仕切板１７が上昇して、その退避位置に停
止すると、被覆板２０が閉じて段付２３が係合し、被覆
板２０は合体して円盤状になり仕切板１７の底面及び円
周端面を被覆する。これにより、チャンバ１１はポンプ
１３により排気され、所定の真空度に保持されて、チャ
ンバ１１内で作業がなされる。
れる。一方、仕切板１７が上昇して、その退避位置に停
止すると、被覆板２０が閉じて段付２３が係合し、被覆
板２０は合体して円盤状になり仕切板１７の底面及び円
周端面を被覆する。これにより、チャンバ１１はポンプ
１３により排気され、所定の真空度に保持されて、チャ
ンバ１１内で作業がなされる。
この作業により、チャンバ１１内に粉塵が発生しても、
仕切板１７の下面は被覆板２０に被覆されているから、
粉塵が仕切板１７の下面に付着することはない。従って
、仕切板１７が下降して開口１４を遮蔽する場合に、仕
切板１７の下面とＯリング１６との間に、粉塵が介在す
ることがなく、Ｏリング１６及び仕切板１７により、チ
ャンバ１１とポンプ１３とが高シール性で遮断される。
仕切板１７の下面は被覆板２０に被覆されているから、
粉塵が仕切板１７の下面に付着することはない。従って
、仕切板１７が下降して開口１４を遮蔽する場合に、仕
切板１７の下面とＯリング１６との間に、粉塵が介在す
ることがなく、Ｏリング１６及び仕切板１７により、チ
ャンバ１１とポンプ１３とが高シール性で遮断される。
このため、真空ポンプの排気能力が低下することがなく
、排気処理が迅速になされる。
、排気処理が迅速になされる。
次に、この発明の第２の実施例について説明する。第３
図はこの第２の実施例に係るアイソレーションバルブを
示す縦断面図、第４図は同じくその平面図である。第３
図及び第４図において、第１図及び第２図と同一物には
同一符号を付して説明を省略する。この実施例の被覆装
置は、矩形の被覆板２５を有する。この被覆板２５はそ
の基端側の端縁で１対の平行アーム２６に夫々取り付け
られている。このアーム２６はその長手方向を水平にし
て配設されており、被覆板２５はアーム２６を回転軸と
して適宜の駆動源により回転する。
図はこの第２の実施例に係るアイソレーションバルブを
示す縦断面図、第４図は同じくその平面図である。第３
図及び第４図において、第１図及び第２図と同一物には
同一符号を付して説明を省略する。この実施例の被覆装
置は、矩形の被覆板２５を有する。この被覆板２５はそ
の基端側の端縁で１対の平行アーム２６に夫々取り付け
られている。このアーム２６はその長手方向を水平にし
て配設されており、被覆板２５はアーム２６を回転軸と
して適宜の駆動源により回転する。
被覆板２５の先端側の端縁には、夫々段付２７が形成さ
れており、被覆板２５が回転してその面が水平になると
、段付２７が係合して１対の被覆板２５が連結されるよ
うになっている。このようにして、被覆板２５が連結す
ると、被覆板２５が仕切板１７の下面を被覆し、チャン
バ１１内の粉塵が仕切板１７の下面に付着することを防
止する。
れており、被覆板２５が回転してその面が水平になると
、段付２７が係合して１対の被覆板２５が連結されるよ
うになっている。このようにして、被覆板２５が連結す
ると、被覆板２５が仕切板１７の下面を被覆し、チャン
バ１１内の粉塵が仕切板１７の下面に付着することを防
止する。
一方、被覆板２５が回転してその面が垂直になると、被
覆板２５は仕切板１７の移動域から外れ、仕切板１７の
上下動が可能になる。
覆板２５は仕切板１７の移動域から外れ、仕切板１７の
上下動が可能になる。
この実施例においても、真空ポンプ１３とチャンバ１１
とが連通している場合には、被覆板２５が水平状態にな
って仕切板１７の下面を被覆するので、チャンバ１１内
の粉塵が仕切板１７の下面に付着することが防止される
。また、この＊施例においては、被覆板２５が水平のア
ーム２６の回りに回転して仕切板１７を被覆し、又は被
覆板１７から離隔するから、その動作速度が第１の実施
例の場合に比して速いという利点がある。
とが連通している場合には、被覆板２５が水平状態にな
って仕切板１７の下面を被覆するので、チャンバ１１内
の粉塵が仕切板１７の下面に付着することが防止される
。また、この＊施例においては、被覆板２５が水平のア
ーム２６の回りに回転して仕切板１７を被覆し、又は被
覆板１７から離隔するから、その動作速度が第１の実施
例の場合に比して速いという利点がある。
［発明の効果］
この発明によれば、仕切部材が開口から離隔してチャン
バ内がポンプにより排気されている間は、仕切部材の所
定部分が被覆部材により被覆されているので、チャンバ
内で発生した粉塵が仕切部材に付着することが防止され
る。従って、仕切部材が開口を遮蔽してチャンバをポン
プから隔離する場合には、仕切部材により開口が確実に
遮蔽されるので、気体のリークがなく、ポンプの排気能
力の劣化が回避される。従って、大気状態のチャンバを
常に迅速に高真空度に排気することができる。
バ内がポンプにより排気されている間は、仕切部材の所
定部分が被覆部材により被覆されているので、チャンバ
内で発生した粉塵が仕切部材に付着することが防止され
る。従って、仕切部材が開口を遮蔽してチャンバをポン
プから隔離する場合には、仕切部材により開口が確実に
遮蔽されるので、気体のリークがなく、ポンプの排気能
力の劣化が回避される。従って、大気状態のチャンバを
常に迅速に高真空度に排気することができる。
第１図はこの発明の第１の実施例を示す縦断面図、第２
図は同じくその平面図、第３図は第２の実施例を示す縦
断面図、第４図は同じくその平面図、第５図は従来のア
イソレーションバルブを示す縦断面図である。 １１；チャンバ、１３：ポンプ、１４：開口、１６：０
リング、１７：仕切板１．？０，２５；被覆板、２１，
２６：アーム
図は同じくその平面図、第３図は第２の実施例を示す縦
断面図、第４図は同じくその平面図、第５図は従来のア
イソレーションバルブを示す縦断面図である。 １１；チャンバ、１３：ポンプ、１４：開口、１６：０
リング、１７：仕切板１．？０，２５；被覆板、２１，
２６：アーム
Claims (1)
- チャンバとこのチャンバを排気するポンプとを連通する
開口部分に配設されてポンプ及びチャンバ間を連結し又
は遮断するチャンバのアイソレーシヨンバルブにおいて
、前記開口部分に接触することによって開口を閉にし、
かつ開口部分から離隔することによって前記開口を開に
する仕切部材と、この仕切部材が開口を開にしている間
に仕切部材の少なくとも開口部分接触領域を覆う被覆部
材と、を有することを特徴とするチャンバのアイソレー
ションバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1486887A JPS63180775A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | チヤンバのアイソレ−シヨンバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1486887A JPS63180775A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | チヤンバのアイソレ−シヨンバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63180775A true JPS63180775A (ja) | 1988-07-25 |
Family
ID=11872999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1486887A Pending JPS63180775A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | チヤンバのアイソレ−シヨンバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63180775A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100900299B1 (ko) | 2007-09-03 | 2009-06-02 | 엔백 주식회사 | 쓰레기 자동처리시설에서 쓰레기의 이송을 원활하게 하는장치 |
| JP2010203585A (ja) * | 2009-03-05 | 2010-09-16 | Smc Corp | 真空バルブ |
| JP2013512399A (ja) * | 2009-12-01 | 2013-04-11 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 特に下流側に配置されているフィードポンプのための流体を配分するための切換弁 |
| JP2016180495A (ja) * | 2015-03-25 | 2016-10-13 | Ckd株式会社 | 真空弁 |
-
1987
- 1987-01-23 JP JP1486887A patent/JPS63180775A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100900299B1 (ko) | 2007-09-03 | 2009-06-02 | 엔백 주식회사 | 쓰레기 자동처리시설에서 쓰레기의 이송을 원활하게 하는장치 |
| JP2010203585A (ja) * | 2009-03-05 | 2010-09-16 | Smc Corp | 真空バルブ |
| JP2013512399A (ja) * | 2009-12-01 | 2013-04-11 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 特に下流側に配置されているフィードポンプのための流体を配分するための切換弁 |
| US9181910B2 (en) | 2009-12-01 | 2015-11-10 | Robert Bosch Gmbh | Control valve, in particular for metering in a fluid for a delivery pump which is arranged downstream |
| US9719475B2 (en) | 2009-12-01 | 2017-08-01 | Robert Bosch Gmbh | Control valve, in particular for metering in a fluid for a delivery pump which is arranged downstream |
| JP2016180495A (ja) * | 2015-03-25 | 2016-10-13 | Ckd株式会社 | 真空弁 |
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