JPH0562822B2 - - Google Patents

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JPH0562822B2
JPH0562822B2 JP10055885A JP10055885A JPH0562822B2 JP H0562822 B2 JPH0562822 B2 JP H0562822B2 JP 10055885 A JP10055885 A JP 10055885A JP 10055885 A JP10055885 A JP 10055885A JP H0562822 B2 JPH0562822 B2 JP H0562822B2
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JP
Japan
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lid
container
semiconductor wafer
space
transfer box
Prior art date
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Application number
JP10055885A
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English (en)
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JPS61259538A (ja
Inventor
Masakazu Ishino
Ryuichi Funatsu
Tsutomu Takahashi
Fumikazu Ito
Tatsuya Araya
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS61259538A publication Critical patent/JPS61259538A/ja
Publication of JPH0562822B2 publication Critical patent/JPH0562822B2/ja
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Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は半導体ウエハの移送などに使用される
移送箱とくに半導体の製造プロセスの過程で、各
種プロセス装置間をウエハ汚染することなく移送
するのに好適なウエハ移送箱に関するものであ
る。
〔発明の背景〕 従来の半導体ウエハの移送などに使用されてい
る移送箱は、たとえば特開昭55−134238号公報に
記載されている如く、密閉された箱の内部で塵埃
除去フイルターを介して清浄空気を循環し、ウエ
ハに塵埃が付着しないように考慮がなされている
ものが提案されている。然るに上記においては、
移送箱内を常に清浄な空気で保持するために送風
器を常に駆動する必要があるので、送風器を駆動
するための電源を移送箱に設置する必要がある。
またウエハを移送箱内から取り出すさいに使用さ
れる蓋が引き戸式であるため、蓋を開閉するため
に摺動したとき、塵埃が発生する懸念がある。
〔発明の目的〕
本発明は前記した従来技術の問題点を解決し、
ウエハの汚染を最小限に止め、半導体製品の汚染
による歩留り低下を防止するためのウエハ移送箱
を提供することにある。
〔発明の概要〕
ミクロンメータ以外の微小な塵埃は、空気分子
との衝突により空気中に浮遊しており、これがウ
エハに付着する場合が多い。そこで本発明におい
ては、密閉容器内を真空状態に保持して空気分子
による塵埃の浮遊を防止して塵埃がウエハに付着
するのを防止し、かつ外気圧と、密閉容器内の真
空圧と圧力差を利用して移送箱の蓋を発塵するこ
となく開閉可能にしたことを特徴とするものであ
る。
〔発明の実施例〕
以下本発明の実施例を示す第１図および第２図
について説明する。第１図は半導体ウエハの移送
箱を示す一部断面正面図、第２図は蓋をとつて移
送箱内を示す斜視図でる。同図に示す如く、平坦
面状をし、その上面中央部に複数枚の半導体ウエ
ハ２を装填したカートリツジ３を載置する蓋１
と、この蓋１の周端部上に開口底を載置され、塵
埃除去フイルタ５およびリークバルブ４を有する
密閉容器６とを設けたものである。該密閉容器６
は、その開口部を蓋１でかぶせて使用するもので
あり、半導体ウエハ２を配置するための第一の空
間部７と、その上部に配置される第二の空間部８
と、これらの空間部７，８間の境界位置に配置さ
れる塵埃除去フイルタ５とを内部に有し、また開
口部の周縁に蓋１の外周部と当接するフランジ９
を有し、第２図に示すように、蓋１に上方からか
ぶせることによつて半導体ウエハ２を密閉するよ
うにしている。そして、リークバルブ４は、密閉
容器６の外周部において第二の空間部８と対応す
る位置に取付けられ、密閉容器６内の空気を出し
入れする。なお、上記リークバルブ４は外気と、
真空供給源（図示せず）と、必要に応じて排気装
置（図示せず）とを切換接続するようになつてい
る。上記の構成であるから、予じめ蓋１上の中央
部に複数枚の半導体ウエハ２を装填するカートリ
ツジ３を載置し、その周端部に密閉容器６の開口
底を搭載したのち、リークバルブ４を真空供給源
に接続すると、密閉容器６内は真空状態を保持さ
れ、かつ密閉容器６内外の圧力差により密閉容器
６の下方部と蓋１とは密閉状態に保持され、この
状態で密閉容器６を所定位置まで運搬することが
できる。然るのち、密閉容器６が所定位置まで運
搬され、リークバルブ４を切換えて外気に接続す
ると、外気が塵埃除去フイルタ５にて塵埃を分離
されたのち、その下方の半導体ウエハ２を装入し
ている室内に送入して室内の圧力を外気と同一圧
力まで上昇させるので、必然的に蓋１は開閉可能
な状態になる。そのため密閉容器６を上方に取り
去ることにより蓋１上から半導体ウエハ２を装填
するカートリツジ３を容易に取り出すことができ
る。また一般に半導体を製造する装置は真空容器
内に設置され、半導体ウエハを各真空状態の予備
排気室間に移送される場合が多い。この場合に
は、予備排気室内が真空状態のときに蓋１と密閉
容器６とを設置し、予備排気室内に空気を導入し
たとき、蓋１と密閉容器６とが密閉容器６内との
圧力差により密閉され、この状態で別の予備排気
室内まで移送したのち、その予備排気室内を真空
状態にして蓋１を密閉容器６より開閉可能すれ
ば、半導体ウエハ３は外気に触れることなく移送
することができ、これにより半導体ウエハ３の汚
染の機会を減少することができる。
〔発明の効果〕
本発明は以上述べたる如く、蓋上に装填された
半導体ウエハを真空容器中に装入し、容器内外の
圧力差により蓋と容器とを密閉するとともにこの
状態で移送するものであるから、半導体ウエハが
汚染されるのを最小限に止めることができ、また
リークバルブを設けることによつて容器内の空気
を出し入れできるので、従来のように電源を容器
や蓋に設置することが不要になり、これによつて
簡単な構成により、かつ容易な操作で半導体集積
回路製品の歩留まりを向上することができる効果
を有する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例を示す半導体ウエハ移
送箱の一部断面図、第２図はその蓋をとつて移送
箱内を示す斜視図である。 １……蓋、２……半導体ウエハ、３……カート
リツジ、４……リークバルブ、５……塵埃除去フ
イルタ、６……密閉容器、７……第一の空間部、
８……第二の空間部、９……フランジ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 上部に半導体ウエハを装填した蓋と、半導体
    ウエハを配置すべき第一の空間部、これと異なる
    第二の空間部、第一の空間部及び第二の空間部間
    の境界位置に配置された塵埃除去フイルタを内部
    に有し、かつ開口部の周縁に蓋の外周部と当接す
    るフランジを有する容器と、該容器の外周部にお
    ける第二の空間と対応する位置に取付けられ、か
    つ蓋を組み込んだ容器内の空気を出し入れするリ
    ークバルブとを備えたことを特徴とする半導体ウ
    エハ移送箱。
JP10055885A 1985-05-14 1985-05-14 半導体ウエハ移送箱 Granted JPS61259538A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10055885A JPS61259538A (ja) 1985-05-14 1985-05-14 半導体ウエハ移送箱

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10055885A JPS61259538A (ja) 1985-05-14 1985-05-14 半導体ウエハ移送箱

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Publication Number Publication Date
JPS61259538A JPS61259538A (ja) 1986-11-17
JPH0562822B2 true JPH0562822B2 (ja) 1993-09-09

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ID=14277259

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JP10055885A Granted JPS61259538A (ja) 1985-05-14 1985-05-14 半導体ウエハ移送箱

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CN107618763A (zh) * 2017-09-20 2018-01-23 长兴三通能源科技有限公司 一种防火散热型电子元器件收纳盒

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JPS61259538A (ja) 1986-11-17

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