JPH09257004A - アクチュエータ - Google Patents

アクチュエータ

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JPH09257004A
JPH09257004A JP9318496A JP9318496A JPH09257004A JP H09257004 A JPH09257004 A JP H09257004A JP 9318496 A JP9318496 A JP 9318496A JP 9318496 A JP9318496 A JP 9318496A JP H09257004 A JPH09257004 A JP H09257004A
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barrel
base
slit
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Mitsuo Noda
光雄 野田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 部品点数の少ない、厚みの薄い直線作動機を
得る。 【解決手段】 長手方向にスリット32を有し、そのス
リット32をシールバンド50で塞ぐシリンダバレル3
1の壁面から側方にベース1aを一体成形してベース1
a上に収容空間Cを形成し、そのベース1aにリニアガ
イド10をスリット32に沿って並設し、シリンダバレ
ル31のスリット32を幅方向のバレル壁に設けると共
に、スライドテーブル18がシリンダバレル31と幅方
向において上下に重ならないようにし、ロッドレスシリ
ンダ30の外部移動体40とリニアガイド10により直
線案内されるスライドテーブル18を略収容空間C内に
収容した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、長手方向にスリ
ットを有するバレルの壁面から側方にベースを一体成形
してベース上に収容空間を形成し、そのベース上にスラ
イド体を案内するガイドレールをスリットに沿って並設
し、バレル内側の内部移動体によりスリットを介して駆
動される外部移動体とガイドレールに案内されるスライ
ド体とを連結して成るアクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】前記形式のアクチュエータとして、ア
クチュエータ本体の全体形状を断面L字状とし、スリッ
トを上向きとしたときのシリンダバレルの一方の側壁の
側方でベース上方空間をガイドレール(リニアガイド)
の収容空間とし、そのベース上にガイドレールを設けて
前記収容空間内に位置させ、ガイドレールによって直線
案内される案内子とスリットを上向きとしたロッドレス
シリンダの外部移動体とを、案内子と外部移動体の上側
を覆うように設けた連結板(スライド体)で連結した直
線作動機(実開昭62−93405号、実開平6−51
505)、類似のものとして、シリンダバレル上面に
リニアガイドを設け、この上面と直交する側壁にスリッ
トを設け、その側面下端部に側方に向けて突出部を膨出
形成し、その突出部に上面を転動面としたレールを設
け、これらのリニアガイドとレールとにより断面L字の
スライドテーブルを直線案内するようにしたロッドレス
シリンダ(特開平5−126112号)、断面コ字状
のベース内空間に、ロッドレスシリンダとガイドレール
とを並設収容し、ガイドレールに案内されるスライドテ
ーブルがロッドレスシリンダのシリンダチューブと上下
に重なる大きさとなっているスライドユニット(実開昭
62−6508号、実開平2−40104号)などが知
られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】前記では、案内体の
上面を上方に向けたとき、全体の厚み(高さ)は、ロッ
ドレスシリンダのシリンダバレルの厚みに、さらに外部
移動体と連結板の厚みを加えたものとなっており、全体
高さが高いものとなっていた。そのため、ガイドレール
に案内される案内子もその一部は収容空間に配置されて
いるが、高い位置にある連結板と連結するために、収容
空間から上方へはみ出す大きなものとなっている。前記
では、バレル側壁下端部に設けた膨出部のレールは、
スライドテーブルに加わる下方向の加重を受けるに過ぎ
ず、このレールではスライドテーブルを直線案内できな
い。そのため、シリンダバレル上面にスライドテーブル
の左右を規制して直線案内するリニアガイド(本願で言
うガイドレール)が設けてあって、そのリニアガイド上
方を覆うように、L字のスライドテーブルの上側部分が
位置しているので、やはり、直線作動機自体の厚みは、
シリンバレルの側面にスリットを設けたものであって
も、依然として、シリンダバレルの厚みにスライドテー
ブルの厚みを加えたものとなっていた。さらに前記で
も、スライドテーブルがロッドレスシリンダと上下に重
なっているので、、同様に、厚みが厚くなる欠点が
ある上に、ロッドレスシリンダとベースとが別体である
から、部品点数が増えて組立てに手間取るなどの問題も
あった。本願の課題は、これらの従来技術に鑑み、部品
点数を減らすことができ、厚み(高さ)を薄くできるア
クチュエータを提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】前記課題の解決のため
に、本願では、水平に取り付けたときを基準として説明
すれば、バレルの壁面から側方にベースを一体成形し
て、バレル側壁の側方であってベース上方に収容空間を
形成し、その収容空間にスライド体の左右方向を規制可
能なガイドレールを収容し、ガイドレールに案内される
スライド体をバレルと上下に重ならないようにしてお
き、バレルの、ベースを突出した側壁にスリットを設
け、そのスリットからガイドレールに向けて側方に突出
して前記収容空間内に位置された外部移動体と前記スラ
イド体とを連結した。ガイドレール取付用のベースとバ
レルとを一体成形したこの構成により、部品点数の減少
を図ることができ、また、ガイドレールにスリットに沿
って案内されるスライド体がシリンダバレルと高さ方向
で重ならず、バレル側方に位置するからアクチュエータ
全体の厚みが低くできる。
【0005】
【発明の実施の形態】本願アクチュエータは、長手方向
にスリットを有するバレルの壁面から巾方向側方にベー
スを一体成形してバレル側方でベース上方に収容空間を
形成し、そのベースにスライド体をスリットに沿って案
内するガイドレールを設け、バレル内の内部移動体にス
リットを介して連結されている外部移動体と、ガイドレ
ールにより案内されるスライド体とを連結して成るアク
チュエータにおいて、バレルのスリットをベースの延設
されているバレル壁に設け、このバレル壁の側方に外部
移動体を位置させると共にその外部移動体の更に側方に
ガイドレールを配設し、スライド体をバレル上方に位置
にしないようにすると共に、バレル側方において、アク
チュエータの高さ方向でバレルと重なるようにしてある
ことを特徴とする。
【0006】また本願アクチュエータは、長手方向にス
リットを有するバレルの壁面から巾方向側方にベースを
一体成形してバレル側方でベース上方に収容空間を形成
し、そのベースにスライド体をスリットに沿って案内す
るガイドレールを設け、バレル内の内部移動体にスリッ
トを介して連結されている外部移動体と、ガイドレール
により案内されるスライド体とを連結して成るアクチュ
エータにおいて、バレルのスリットをベースの延設され
ているバレル壁に設け、外部移動体をガイドレールとバ
レル側壁との間で前記収容空間内に収容すると共に、ス
ライド体に連結されるガイドレールの案内子を前記収容
空間内に収容し、その案内子に連結されたスライド体と
外部移動体とを、スライド体のバレル方向端部で接続し
て、スライド体をバレル上方に位置にしないようにする
と共に、バレル側方において、アクチュエータの厚さ方
向でスライド体とバレルとが重なるようにしたことを特
徴とする。ガイドレールはいわゆるリニアガイドを用い
るのが好ましい。
【0007】ベースの先端部分が屈曲して壁部に形成さ
れており、壁部、ベース、シリンダバレルとにより断面
コ字状のアクチュエータ本体が形成され、前記壁部外面
に付帯部材の取付溝を設けると、スライドテーブルの移
動位置を検出するセンサなどが、外側から着脱容易とな
り好ましい。
【0008】内部移動体は、例えば流体圧駆動のピスト
ンであって、このようにした場合、バレルのスリットは
シールバンドで塞がれる。内部移動体は、他にも、バレ
ル内部に長手に沿って配置された送りねじ軸と螺合する
雌ねじを有する移動部材であってもよい。
【0009】
【実施例】本願アクチュエータは、ここでは直線作動機
として説明されている。図1,2,3において、アクチ
ュエータ本体1は、ロッドレスシリンダ部30の一部を
構成するバレル31の側面31aの下部からベース1a
を側方へ突出成形し、そのベース1aの先端から上方へ
側壁1bを一体成形で立ち上げて、断面コ字状に形成さ
れている。側面31aとベース1a上面及び側壁1bの
内面により形成される内側空間が、リニアガイド(ガイ
ドレール)10,リニアガイド10に案内される案内子
15及び後述のロッドレスシリンダ部30の外部移動体
44を収容する空間Cとなっている。ベース1aの上面
には、長手全長にわたって、ガイドレール取付け用の浅
い溝2が設けてある。溝2の底部上面には、ベース全長
にわたってT字溝3が設けてある。溝2に対して側壁1
bと幅方向反対側には、ストップ部材取付ホルダ75の
取付け用のT字溝4がアクチュエータ本体1全長に設け
てある。アクチュエータ本体1において、ベース1aに
は、後述の外部移動体44と対向する部分とガイドレー
ル取付溝2との間に上方に膨くらんだ膨出部5が設けて
あり、この膨出部5には、アクチュエータ本体1全長に
わたって流体通路となる貫通孔6が設けてある。ベース
1aの下面には、左右に2条の直線作動機の取付け用の
T溝7,7がこれも、アクチュエータ本体1全長に渡っ
て設けてある。一方のT溝7は前記膨出部5の下側に設
けてある。アクチュエータ本体1は例えば、アルミニウ
ム合金の押出形材で構成されている。
【0010】アクチュエータ本体1の前記溝2には、ア
クチュエータ本体1全長より僅かに短い長さの直線状の
リニアガイド10が配設され、リニアガイド10に設け
た長手方向複数のねじ孔11に、取付けボルト12を通
し、前記T字溝3に嵌入したT溝ナット13に螺合し
て、リニアガイド10をアクチュエータ本体1に一体固
着している。リニアガイド10は幅方向左右に長手全長
に渡ってくぼんだ案内溝14(ここでは半円形:V字型
等もある)を有し、この案内溝14と案内子15のボー
ル溝16との間には、多数のボール17が転動自在に介
在され、案内子15が巾方向を規制されて長手方向に直
線転動案内されている。リニアガイド10にはこうした
案内子15が2つ案内されている。これら2つの案内子
15は、スライドテーブル(スライド体)18の下面に
連結してあり、図3から明らかなように、リニアガイド
10と案内子15とは、収容空間C内に収容されてい
る。尚、案内子15の数は、前記に限定されない。アク
チュエータ本体1の軸線方向前後端面には、夫々矩形の
端部プレート20,21がベース1aとボルト22によ
り、また、バレル31とはボルト63でそれぞれ締結さ
れている。端部プレート20,21の高さは、ロッドレ
スシリンダ部30のバレル31の高さ(スリットの幅方
向におけるバレル厚さH)とほぼ一致している。
【0011】ロッドレスシリンダ部30において、バレ
ル31はベース1aが突出されているバレル壁に、長手
方向全長にわたってスリット32を有している。シリン
ダバレル31の両端は端部嵌合部材33で塞がれてい
る。図6に右側のものを示すが、1対の端部嵌合部材3
3は、バレル31のシリンダ孔34に嵌合する嵌合軸部
33aと、軸方向位置決めのための薄いつば部33b
と、軸方向外側に向く端部プレート20,21との嵌合
部33cと、ピストン40で区画される左右のシリンダ
室S1,S2に開口する連通路33dを備えている。端
部嵌合部材33は、その嵌合軸部33aが先端に装着さ
れたシール部材(Oリング)25によりシリンダ孔34
を塞ぐようにシリンダ孔34に嵌合され、前記端部プレ
ート20,21とバレル端面との間に前記つば部33b
が挟まれてバレル31(アクチュエータ本体1)と一体
になっている。つば部33bがバレル端面から飛び出し
ているので、これを収容する凹み62が端部プレート2
0,21に設けてある。図4に示すように、つば部33
bと嵌合軸部33aは、スリットと対応する一部分が切
り欠かれてインナシールバンドの挿通平面(挿通部)3
3eになっており、インナシールバンドを組み付けると
きに、インナーシールバンドを容易に長手方向に動かす
ことができるようになっている。端部嵌合部材33の嵌
合軸部33aには、前記挿通平面33eの幅方向中心に
軸方向にアウタシールバンド固定用の2つのねじ孔35
が設けてある。ねじ孔35より長手内側には、インナシ
ールバンド50の両端外側にワッシャ36を固定するた
めのリベット37の頭部が嵌まり込む溝38が、挿通平
面33eの幅方向中心に形成してある。このワッシャ3
6は、図5に示すように、スリット32にきっちり嵌ま
り込んで、インナシールバンド50がスリット32に対
して幅方向にずれないように機能する。こうしたワッシ
ャ36は、他の形式のシールバンド、例えばスリット3
2に弾性的に嵌まり込むようなリップを有する形状の弾
性シールバンドの場合は必要がない。
【0012】シリンダ孔34には内部移動体としてのピ
ストン40が軸方向移動自在に嵌装されている。ピスト
ン40の軸方向両端には、ピストンパッキン41が取り
付けてあり、ピストン40によりシリンダ孔34が左右
のシリンダ室S1,S2に区画されている。ピストン4
0の一部がスリット32から外部へ突出したヨーク42
となっており、このヨーク42に孔42aとピン42b
とを介してマウント43が連結されて、スリット32を
設けたバレル壁の側方で、収容空間Cにおいて、リニア
ガイド10とバレル31との間で収容、位置される外部
移動体44を構成する。外部移動体44と前記ガイドレ
ール10とは、図3の上下方向(ベース1aの延設方向
と直交する方向:厚み方向)でその高さ位置が重なって
いる。マウント43の前後にエンドプレート45が固着
され、エンドプレート45にはスクレーパ46が取り付
けられ、スクレーパ46は、外部移動体44の全周を取
り囲むスクレーパ取付用のOリング47で保持されてい
る。スリット32を内側から塞ぐインナシールバンド5
0と、スリット32を外側から塞ぐアウタシールバンド
51が、ヨーク42の上側と下側の案内面に案内されて
外部移動体44を貫通している。インナシールバンド5
0,アウタシールバンド51はステンレスクロム鋼など
の磁性金属材料から成る薄い可撓製シールバンドであ
り、スリット32の外面縁部に設けたマグネットストリ
ップ52により吸着されるようになっている。このイン
ナ、アウタシールバンド50,51は、他の形式の可撓
性シールバンド、例えば、ウレタンゴム、ナイロン、ク
ロム鋼とゴムなどの材料から成り、インナ、アウタシー
ルバンドが互いに弾性的に係脱して、あるいは、夫々が
スリット32に弾性的に係脱してスリット32を塞ぐよ
うな形式のものであってもよい。
【0013】図5,6に示すように、インナシールバン
ド50とアウタシールバンド51の両端が、前記一対の
端部嵌合部材33に連結されている。アウタシールバン
ド51の端部は、スリット32の端部において、アウタ
シールバンド51の外面に取付プレート53を当て付
け、その取付プレート53の外側から固定ねじ54をス
リット32を通して前記端部嵌合部材33の嵌合軸部3
3aのねじ孔35に螺合して、バレル31との間で挾持
固定されている。インナシールバンド50の端部は、イ
ンナシールバンド50のリベット37を端部嵌合部材3
3の溝38内に位置させた状態、すなわち、ワッシャ3
6をスリット32の端部に位置させた状態で、バレル3
1に固定された取付プレート53に止めねじ55を螺合
して、その止めねじ55をスリット32内を通過させ、
止めねじ55の先端と嵌合軸部33aの挿通平面33e
との間で挾持されている。止めねじ55は、先端内側に
尖先部55aを有する形状であり、押しつけ固定すると
きに、その尖先部55aがインナシールバンド50に食
い込むので、極めて強力に固定できる。
【0014】図6に示すように両端部嵌合部材33の嵌
合部33cは、端部プレート20,21に設けた嵌合孔
60にシール部材(Oリング)61を介して嵌合されて
いる。左側の端部プレート20には、前記貫通孔6の左
端部と対向する位置、及び、左側の端部嵌合部材33の
連通路33dと対向する位置に、夫々圧流体の給排ポー
ト23a,23bが設けられている。右側の端部プレー
ト21には、貫通孔6の右端部と連通するとともに、右
側の端部嵌合部材33の連通路33dに連通する給排通
路24が設けてあり、一方の(左側の)端部プレート2
0からのみの集中配管ができるようになっている。もち
ろん、左右の端部プレート20,21の夫々に、左右の
シリンダ室S1,S2に対応した給排ポートを設けても
よい。
【0015】スライドテーブル18は、幅方向の側壁1
b寄り位置で案内子15と連結されている。スライドテ
ーブル18は案内子15との連結部分からロッドレスシ
リンダ部30の外部移動体44上方まで幅方向にオーバ
ハングしているに過ぎず、バレル31と上下に重なって
いない。その厚さはバレル31の側方でバレル31の厚
さ(高さ)と重なっていて、スライドテーブル18の上
面がバレル18上面より僅かに上方に位置している。外
部移動体44と上下に重なっている部分には、外部移動
体44の軸方向前後を挟む位置に、脚70がベース方向
(下方)に突設してある。前後一対の脚70の間に外部
移動体44が挟まれており、外部移動体44のエンドプ
レート45と脚70との間には、隙間調整のためのスペ
ーサ(ゴムなど、僅かに圧縮できるような材質のものが
好ましい)71が介在してあって外部移動体44の移動
がスライドテーブル18に伝えられるようになってい
る。このスペーサ71は、エンドプレート45と脚70
との間の隙間を殺して、エンドプレート45が脚70を
ひっかけて移動するときに生じる音の発生を防止する。
スライドテーブル18の下面には、案内子15と脚70
の間に、長手長さを、スライドテーブル18の長手長さ
より短くしたストッパ72が固着してある。ストッパ7
2の軸方向端面は、後述のショックアブソーバとの衝接
面73,73になっており、図示から明らかなように、
スライドテーブル18の端面18aより衝接面73,7
3が長手方向内側に入り込んでいる。
【0016】次に端部プレート20,21の内側位置に
おいては、図4に示すように、前記リニアガイド10の
端部に、ストップ部材取付ホルダ75の基部に設けた凹
溝76が嵌合され、その先端部77がロッドレスシリン
ダ部30に向けて突出され、前記T溝4を利用して、T
溝ナット78とそれに螺合する締め付けボルト79によ
り、軸方向移動自在に固着してある。凹溝76の左右面
は、リニアガイド10の左右の周面(垂直面)10a,
10a(案内溝14と関係のないリニアガイドの幅方向
面部分)にほぼ密着している。図2に示すように、T溝
ナット78は、締め付けボルト79との結合部78aよ
り、長手方向内側に延設部78bを有した形状をなして
いる。ストップ部材取付用ホルダ75の先端は2つ割に
なっていて、ショックアブソーバ80の外周に形成して
あるねじ部81が螺合され、ショックアブソーバ80自
体がホルダ75に軸方向に位置調整可能になっており、
所定の軸方向位置でショックアブソーバ80をホルダ7
5に固定ねじ82で固定するようになっている。このシ
ョックアブソーバ80は、前記スライドテーブル18の
ストッパ72と軸方向に対向しており、端部プレート2
0,21の軸方向外側端面より、軸方向内側に位置して
いる。尚、85は端部プレート20,21を上下に貫通
する取付孔、86は側壁1bに設けられた、スイッチな
どの付帯部材の取付け用溝である。
【0017】このように本願では、アクチュエータ本体
1を、ロッドレスシリンダ部30のバレル31と、その
1方の側面31aの下部から側方へ突出したベース1a
と、ベース1aの延びる方向の先端を上方へ屈曲した壁
部1bとから構成し、これらを一体成形したものである
から、ロッドレスシリンダ部30を、リニアガイドを取
り付けるベースと別体とする従来のアクチュエータに比
べて、部品点数の減少を図ることができる。しかも、バ
レル31のスリットを横向きとして外部移動体をバレル
31の側方に設け、更にその側方にリニアガイド10を
設けてアクチュエータ本体1の収容空間Cにそれらを収
容すると共に、それらの上下方向の高さ位置を重ねて、
スライドテーブル18の幅を、バレル31と上下に重な
らない大きさとしてバレル31の側方に配置してスライ
ドテーブル18の厚みをバレル31の厚みと重ねるよう
にしたので、バレル31の上方にスライドテーブル18
が位置する従来のものに比べ、スライドテーブル18の
厚みを同じとすると、バレル31と重ねた分だけスライ
ドテーブル位置を低くでき、直線作動機自体の厚みを低
いものとできる。
【0018】給排ポート23a,23bの何れか一方か
ら圧流体(圧縮空気)を給排すると、ピストン40が一
方のストローク端から他方のストローク端に向けて移動
し、これにより、外部移動体44がスライドテーブル1
8を移動させ、スライドテーブル18がリニアガイド1
0に案内された状態で正確に直進移動する。スライドテ
ーブル18がストローク端にくると、ストッパ72の衝
接面73がショックアブソーバ80に衝接し、スライド
テーブル18は停止ショックを和らげられて停止する。
例えば図1の右側のショックアブソーバ80では、衝接
時には、軸方向力が作用してそのホルダ75の基部に
は、その軸方向力により水平方向において時計回りのモ
ーメントがかかるが、ホルダ75の基部の嵌合溝76が
アクチュエータ本体1に堅固に固着されている長手寸法
の長いリニアガイド10の左右面10a,10aに嵌め
込まれているので、そのモーメントをリニアガイド10
の左右面10a,10bを介して実質的にアクチュエー
タ本体1全体で受けることができ、締め付けねじ79の
みによる締め付けだけでは弛みやすいストップ部材取付
ホルダ75を、長期にわたって弛むことなく所定の位置
に保持できるうえに、モーメントを受けるリニアガイド
10の左右の垂直面10a,10aが、案内溝14と無
関係な面なので、このような構成としても、案内子15
の案内に悪影響を及ぼすことがない。又、同様にして前
記軸方向力により、ストップ部材取付ホルダ75に,ホ
ルダ75をアクチュエータ本体1から浮き上がらせる方
向のモーメントも生じるが、T溝ナット78に延設部7
8bがあるので、そのモーメントを延設部78bで確実
に受け止め、その方向のモーメントによる締め付けねじ
79の弛みも防止される。
【0019】ストローク端においては、ショックアブソ
ーバ80の突出部がスライドテーブル18の下にもぐり
込んで衝接面73と衝接するので、従来、衝接面がスラ
イドテーブル18の端面にあったものに比べて、同じス
トロークとするなら、この構成のほうが、スライドテー
ブル18と衝接時に重合する長さ分が、直線作動機の全
長を短くし、全体をコンパクトにでき、また、直線作動
機の全長を同じとすれば、この構成によれば、ストロー
クを長くできる。
【0020】
【発明の効果】以上のように本願発明では、長手方向に
スリットを有するバレルの壁面から巾方向側方にベース
を一体成形してバレル側方でベース上方に収容空間を形
成し、そのベースにスライド体をスリットに沿って案内
するガイドレールを設け、バレル内の内部移動体にスリ
ットを介して連結されている外部移動体と、ガイドレー
ルにより案内されるスライド体とを連結して成るアクチ
ュエータにおいて、バレルのスリットをベースの延設さ
れているバレル壁に設け、このバレル壁の側方に外部移
動体を位置させると共にその外部移動体の更に側方にガ
イドレールを配設し、スライド体をバレル上方に位置に
しないようにすると共に、バレル側方において、アクチ
ュエータの高さ方向でバレルと重なるようにしたので、
リニアガイドがベースと一体でリニアガイドが補強さ
れ、全体剛性を大きくでき、端部プレート部分のみで機
械装置に取り付けても、リニアガイドによりスライド体
が円滑に案内され、機械装置に対する取付態様を多様化
できる。また、前記構成によれば、バレルと重ねた分だ
けスライドテーブル位置を低くでき、直線作動機自体の
厚みを薄くでき、高さ制限のある設置個所に配置できる
利点がある。しかも、そのような薄型の直線作動機で
も、少なくともバレルとベースとを一体に成形してある
ので、部品点数が減少する利点がある。
【0021】また、ベース先端に側壁を設けてその外側
面にセンサなどの付帯部材の取付溝を設けたものでは、
外側からセンサなどの位置調整が自在にでき、スライド
テーブルの移動位置などを検出するのに好適である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願構造の直線作動機の斜視図である。
【図2】直線作動機の平面図である。
【0023】
【図3】図2のIII−III断面拡大図である。
【図4】図2のIV−IV断面拡大図である。
【図5】図4のV−V断面図(縮小図)である。
【図6】バンド取付部の詳細図である。
【符号の説明】
1 アクチュエータ本体 1a ベース 1b 側壁 10 リニアガイド 18 スライドテーブル 20,21 端部プレート 30 ロッドレスシリンダ部 31 バレル 32 スリット 33 端部嵌合部材 33a 嵌合軸部 40 ピストン 44 外部移動体 50 インナシールバンド C 収容空間

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 長手方向にスリットを有するバレルの壁
    面から巾方向側方にベースを一体成形してバレル側方で
    ベース上方に収容空間を形成し、そのベースにスライド
    体をスリットに沿って案内するガイドレールを設け、バ
    レル内の内部移動体にスリットを介して連結されている
    外部移動体と、ガイドレールにより案内されるスライド
    体とを連結して成るアクチュエータにおいて、バレルの
    スリットをベースの延設されているバレル壁に設け、こ
    のバレル壁の側方に外部移動体を位置させると共にその
    外部移動体の更に側方にガイドレールを配設し、スライ
    ド体をバレル上方に位置にしないようにすると共に、バ
    レル側方において、アクチュエータの高さ方向でバレル
    と重なるようにしてあることを特徴とするアクチュエー
    タ。
  2. 【請求項2】 長手方向にスリットを有するバレルの壁
    面から巾方向側方にベースを一体成形してバレル側方で
    ベース上方に収容空間を形成し、そのベースにスライド
    体をスリットに沿って案内するガイドレールを設け、バ
    レル内の内部移動体にスリットを介して連結されている
    外部移動体と、ガイドレールにより案内されるスライド
    体とを連結して成るアクチュエータにおいて、バレルの
    スリットをベースの延設されているバレル壁に設け、外
    部移動体をガイドレールとバレル側壁との間で前記収容
    空間内に収容すると共に、スライド体に連結されるガイ
    ドレールの案内子を前記収容空間内に収容し、その案内
    子に連結されたスライド体と外部移動体とを、スライド
    体のバレル方向端部で接続して、スライド体をバレル上
    方に位置にしないようにすると共に、バレル側方におい
    て、アクチュエータの厚さ方向でスライド体とバレルと
    が重なるようにしたことを特徴とするアクチュエータ。
  3. 【請求項3】 ベースの先端部分が屈曲して壁部に形成
    されており、壁部、ベース、バレルとにより断面コ字状
    のアクチュエータ本体が形成され、前記壁部外面に付帯
    部材の取付溝を設けたことを特徴とする請求項1または
    2記載のアクチュエータ。
  4. 【請求項4】 バレルのスリットがシールバンドで塞が
    れ、内部移動体がバレル内側のシリンダ孔に沿って流体
    圧駆動されるピストンであることを特徴とする請求項1
    または2または3記載のアクチュエータ。
  5. 【請求項5】 ガイドレールは、ベース延設方向に沿う
    方向の両側に案内面を有するリニアガイドであることを
    特徴とする請求項1または2記載のアクチュエータ。
  6. 【請求項6】 ベースは、外部移動体と対向する部分と
    ガイドレール取付部分との間に厚み方向で膨らんだ膨出
    部を有し、その膨出部には、ピストンで区画されるシリ
    ンダ室の片側に圧流体を供給する流体通路が、長手全長
    に渡って設けてあることを特徴とする請求項4記載のア
    クチュエータ。
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