JPH09255198A - Tcpハンドラ - Google Patents

Tcpハンドラ

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JPH09255198A
JPH09255198A JP8089932A JP8993296A JPH09255198A JP H09255198 A JPH09255198 A JP H09255198A JP 8089932 A JP8089932 A JP 8089932A JP 8993296 A JP8993296 A JP 8993296A JP H09255198 A JPH09255198 A JP H09255198A
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    • H01L2224/95Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な装置構成によって、供給リールから供
給されたTCPを、必要な長さ分だけ巻き取りリールに
巻き取れるようにする。 【構成】 スぺーサテープ8は、供給リール10から巻
き取りリール11に至るTCP1の走行経路とは別の迂
回経路を通るが、この迂回経路の途中に一対のガイドロ
ーラ25,26と、その間にスライドブロック28によ
りガイドレール29に沿って上下方向に移動可能な荷重
ローラ27とが設けられ、スぺーサテープ8はガイドロ
ーラ25から荷重ローラ27に係合させて、ガイドロー
ラ26にガイドされ、荷重ローラ27及びスライドブロ
ック28の合計重量に基づく荷重をスぺーサテープ8に
作用させ、この荷重で巻き取りリール11に、スペーサ
テープ8に対してその巻き取り方向とは反対方向に引っ
張ることになり、巻き取りリール11に巻き付けが終わ
ったTCP1に対して押圧力が作用して、巻き取りリー
ル11ではある程度固く巻き付けられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、多数の電子回路部
品とフレキシブル基板とを構成するテープ状の部材から
なるTCPを、電子回路部品の検査を行うために、TC
Pの供給,巻き取り及び検査機構への接離機構を備えた
TCPハンドラに関するものである。
【0002】
【従来の技術】例えば、液晶ディスプレイは、液晶パネ
ルにドライバ回路を接続することにより構成されるが、
ドライバ回路はフレキシブル基板を有し、このフレキシ
ブル基板にはLSI(Large Scale Integration )が搭
載されると共に、入出力リードが設けられ、ACF(An
isotropic Conductive Film )を用いてTAB(Tape A
utomated Bonding)方式で液晶セルに実装される。ドラ
イバ回路は長尺のテープ状の状態のTCP(Tape Carri
er Package)として製造される。TCPの製造後には、
各ドライバ回路にテスト、例えば通電試験等が行われる
が、このテストはTCPの状態で行われる。通電試験を
行う試験装置としては、テスタとハンドラから構成され
る。テスタはTCPを構成する各ドライバ回路に通電し
て、その電気的特性の測定を行うものであり、ハンドラ
はTCPのロード及びアンロードと、テスタにおけるテ
ストヘッドへの接離機構とを含むものである。
【0003】TCPのハンドラにおいては、ロード及び
アンロードはリールを用いて行うようになし、TCPを
リールに巻き付けておき、このリールからTCPを所定
の経路に沿って走行させる間にテスタのテストヘッドに
接続してテストを行い、テスト終了後には、再びリール
に巻き取られる。ここで、TCPには回路構成部品とし
てLSIが搭載されて、このLSIの部分が凸状とな
り、しかも基板の表面には極細の配線パターンが引き回
されているから、LSI同士またはLSIと配線パター
ンが直接当接すると、LSIが損傷したり、配線が断線
する等といった不都合が生じる。
【0004】以上のことから、TCPがリールに巻回さ
れた状態では、間にスぺーサテープを介在させて、その
保護を図るようにしている。TCPには、テープ送り用
のスプロケットと係合するスプロケット孔がその両側に
各1列に設けられており、この部分はドライバ回路を構
成しない余白部分であり、最終的には打ち抜き除去され
る。従って、スぺーサテープは、その左右の両側におけ
るTCPのスプロケット孔近傍に対応する位置に、所定
ピッチ間隔で多数の突起部を形成したものであり、この
突起は略半球形状のものであり、表面側に突出する突起
部と裏面側に突出する突起部とが交互に設けられる。こ
のスぺーサテープとTCPとを順次積層すると、上下の
スぺーサテープ間に突起部の高さの2倍の空間が形成さ
れて、TCPが実質的に浮いた状態になり、LSIを搭
載した部分及び入出力リードを形成した部分は他の物と
非接触状態に保つことができる。
【0005】供給リールにおいては、TCPはスぺーサ
テープと共に巻き付けられているが、TCPにスぺーサ
テープを当接させたままテストヘッドに供給すると、コ
ンタクトを行うことができないから、供給リールから供
給された直後にスぺーサテープをTCPから分離する。
ただし、テストの終了後に、TCPを巻き取りリールに
巻き取る際には、再びスぺーサテープを間に挟み込ませ
る必要があるから、スぺーサテープは迂回経路を通って
巻き取りリールの直前でTCPと合流させることにな
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、テープをリ
ール巻き付ける際に、固く巻き付けたのと、緩く巻き付
けたのとでは、巻き径が違ってくる。特に、スぺーサテ
ープには突起部が設けられており、しかもある程度の腰
を持ったものであり、従って巻き付け方により極めて大
きな巻き径の差がでる。リールに巻き付ける際に、ある
程度の張力を持たせれば、固く巻き付けることができ
て、リールに巻き付ける長さが長くなる。そこで、供給
リール側では、TCPの巻き付け時に、ある程度の張力
を作用させていたとすると、この張力に応じた長さ分の
TCPを巻き付けられる。これに対して、巻き取りリー
ル側では、格別の張力を作用させないか、供給リールに
巻き付け時より弱い張力しか作用させないと、巻き取り
リールの方が巻き径が太くなってしまう。とりわけ、リ
ール径を大きくした場合には、巻き取りリール側で、T
CPを完全に巻き取れず、余長が生じてしまうことにな
る。従って、テスト後に巻き取りリールにTCPを巻き
取る際には、供給リールに巻き付けた時とできるだけ同
じ条件で巻き取るようにしなければならない。
【0007】ハンドラにあっては、テストヘッドと対面
する部位の前後の位置にスプロケットが設けられ、これ
らのスプロケットによりTCPの送り制御が行われるこ
とから、巻き取りリールへの巻き取り時に、テストヘッ
ドの下流側に位置するスプロケットの送りに対して巻き
取りリールを回転させるモータによる負荷を作用させる
と、所要の張力を持った状態で巻き取りリールに巻き取
られるようになる。しかしながら、TCPには、その入
出力リードの部位に打ち抜き部が設けられる等、引っ張
り力が作用すると、容易に切断されてしまう箇所がある
等、極めて脆弱な部材であるから、それに張力を作用さ
せるのは好ましくはない。
【0008】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、簡単な装置構成によ
って、供給リールから供給されたTCPを、必要な長さ
分だけ巻き取りリールに巻き取れるようにすることにあ
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、電子回路部品を多数設けたテープか
らなるTCPを供給リールから供給して、テストヘッド
とコンタクトさせた後、巻き取りリールに巻き取らせる
ようになし、また供給リール及び巻き取りリールではス
ぺーサテープをTCPに積層状態で巻き付け、このスぺ
ーサテープは、TCPの走行経路とは別の迂回経路を通
って巻き取りリールに巻き取らせるものであって、迂回
経路の途中には、巻き取りリールに巻き取られる際に、
スぺーサテープに引っ張り方向に所定の荷重を作用させ
る荷重付与手段を設ける構成としたことをその特徴とす
るものである。
【0010】
【発明の実施の形態】そこで、以下に図面に基づいて本
発明の実施の一形態について説明する。なお、以下の実
施例においては、液晶ディスプレイのドライバ回路を多
数設けたTCPについて説明するが、TCPを構成する
電子回路部品はこのドライバ回路に限定されるものでは
ない。
【0011】まず、TCP1は、図1に示したように、
ポリイミド等からなるテープ2に所定の間隔毎に入出力
リード3を有する配線パターンが形成されると共に、L
SI4が、その電極を入出力リード3に接続させた状態
にして実装されている。これによって、図1に点線で囲
ったように、テープ2に沿って多数のドライバ回路5が
形成される。ここで、後述するテスタのテストヘッドに
対するコンタクトを確実に行わせ、かつ入出力リード3
を損傷させないようにするために、入出力リード3の延
長線上、即ち点線で囲ったドライバ回路5の領域外の部
位にパッド3aが連結されている。
【0012】ドライバ回路5は、液晶ディスプレイを構
成する液晶セルにACFを用いてTAB実装されるもの
であって、このために最終的にはTCP1のテープ2か
らドライバ回路5の部分が打ち抜かれる。また、TCP
1におけるテープ2の左右両側に所定のピッチ間隔でス
プロケット孔6が形成されており、また入出力リード3
のうち、片側のリードの部位には、リード間の余白部分
は打ち抜き部7となっている。さらに、これら以外に
も、製造時におけるいずれかの段階で不良品であると判
定されたものを識別させるために、穿孔部を設けたもの
もある。
【0013】最終製品としてのドライバ回路5に対して
行われる通電試験は、それが打ち抜かれる前の長尺テー
プの状態で行われる。この試験装置は、テスタとハンド
ラとからなり、ハンドラは概略図2に示したように構成
される。図中において、10は供給リール、11は巻き
取りリールである。供給リール10にはTCP1が巻き
付けられており、この供給リール10から送り出された
TCP1は、所定の経路に沿って走行させて、巻き取り
リール11に巻き取られるまでの間に各ドライバ回路5
のテストが順次行われる。ここで、供給リール10及び
巻き取りリール11は、共にモータ10M,11Mによ
り回転駆動されて、TCP1の供給及び巻き取りが行わ
れる。
【0014】TCP1は供給リール10に巻き付けた状
態では、LSI4同士及びLSI4と入出力リード3と
が接触しないようにするために、スぺーサテープ8がT
CP1と共に供給リール10に巻き付けられる。このス
ぺーサテープ8は、図3に示したように、TCP1とほ
ぼ同じ幅を有するテープからなり、その両側近傍の部位
には、それぞれ1列に多数の突起が設けられる。突起
は、略半球状態に膨出させるようにしたものであって、
所定のピッチ間隔で、表面側に突出する突起9aと裏面
側に突出する突起9bが交互に設けられている。これに
よって、供給リール10に巻き付けた時には、図4に示
したように、TCP1には、ドライバ回路を構成しない
不要部分にスぺーサテープ8の突起9a,9bのみが当
接するだけで、入出力リード3及びLSI4に対しては
何等の部材も当接せず、完全に浮いた状態になる。
【0015】TCP1は供給リール10から供給される
が、この供給側には供給側余長部が設けられる。この余
長部は固定ガイド12及びローラ13からなり、固定ガ
イド12に沿って導出されたTCP1はローラ13を回
り込むようにして引き出される。そして、TCP1は供
給リール10から所定の長さ毎に間欠的に送られて、こ
の余長部にストックされることになる。供給側余長部を
経たTCP1はガイドローラ14,15を経て水平方向
に引き回される。この水平方向に引き回された部位に
は、スプロケット16,17が前後に配設されている。
なお、これらスプロケット16,17の前後には、固定
のガイド部材が設けられる場合もある。スプロケット1
6,17間の位置における下方の部位にはテスタのテス
トヘッド18が臨んでいる。スプロケット16,17は
昇降基台19に設けられており、TCP1のスプロケッ
ト孔6がこのスプロケット16,17のスプロケット爪
に係合して、弛みのない状態とされ、かつ昇降基台19
を下降させることによって、テストヘッド18に接続さ
れる。ここで、スプロケット16,17のうち、下流側
のスプロケット17には駆動モータ17Mが接続され、
またスプロケット16にはトルクモータ16Mが接続さ
れるようになっており、これによりテスト時にTCP1
に所定の張りを持たせることができ、しかもテスト終了
後におけるTCP1の送りが行われる。
【0016】スプロケット17の下流側には不良品打ち
抜き部20が設けられており、この不良品打ち抜き部2
0において、テスト結果に基づいて不良品であると判定
されたものが打ち抜かれて、排除される。なお、このテ
ストの前の段階で、不良品と判定されて、穿孔部を設け
たものがある場合には、この不良品打ち抜き部20で打
ち抜き排除しても良いが、このように予め判明している
不良品のドライバ回路は、テストヘッド18の位置に到
達する前の段階で打ち抜いて排除することもできる。不
良品打ち抜き部20を通ったTCP1は、ガイドローラ
21,22により走行経路が変えられて、巻き取り側余
長部を構成するローラ23及び固定ガイド24を経て巻
き取りリール11に巻き取られる。
【0017】供給側及び巻き取り側にそれぞれ余長部を
設けることによって、昇降基台19が下降する際に、余
長部からTCP1が所定の長さ分引き出され、上昇時に
は引き出した長さ分のTCP1が余長部に戻されること
になる。また、余長部を設けることによって、テスト時
や巻き取りリール11への巻き取り時等において、TC
P1に過大な張力が作用するのを防止できる。
【0018】TCP1は供給リール10側においては、
スぺーサテープ8と共に巻き付けられており、このスぺ
ーサテープ8は、TCP1の走行経路とは別の迂回経路
を通って巻き取りリール11に送り込まれる。これによ
って、スぺーサテープ8はTCP1のテストを行う際に
は、このTCP1から分離され、巻き取りリール11で
TCP1が巻き取られる際に、スぺーサテープ8がTC
P1に合流する。従って、巻き取りリール11にはTC
P1とスぺーサテープ8とが積層状態になるようにして
巻き取られる。
【0019】このスぺーサテープ8の供給リール10か
ら巻き取りリール11に至る迂回経路の途中には、図5
及び図6に示したように、スぺーサテープ8に張力を持
たせるための荷重付与手段が設けられている。この荷重
付与手段は、所定の間隔を置いて固定的に設けた一対の
ガイドローラ25,26と、これら両ガイドローラ2
5,26間に配設され、上下方向に移動可能に設けた荷
重ローラ27とから構成される。荷重ローラ27はスラ
イドブロック28に取り付けられており、このスライド
ブロック28は上下方向に設けたガイドレール29に沿
って移動可能となっている。
【0020】ガイドレール29には、上部及び下部にス
トッパ30,31が設けられており、荷重ローラ27を
設けたスライドブロック28は、この両ストッパ30,
31間で上下方向に動けるようになっている。また、ス
ライドブロック28には被検出体32が設けられてお
り、この被検出体32は、ガイドレール29の側部に設
けた上限及び下限の各位置検出用のセンサ33,34に
より検出されるようになっている。
【0021】スぺーサテープ8はガイドローラ25から
荷重ローラ27に係合させて、ガイドローラ26にガイ
ドされる。これによって、荷重ローラ27及びスライド
ブロック28の合計重量に基づく荷重がスぺーサテープ
8に作用することになり、この荷重によりスぺーサテー
プ8が巻き取りリール11に巻き取られる際に、所定の
張力が生じることになる。そして、スぺーサテープ8に
作用する荷重は調整可能となっている。このために、ス
ライドブロック28にはワイヤ35が連結されており、
このワイヤ35は滑車36,37により方向転換して下
方に延在されている。ワイヤ35の先端にカウンタウエ
イト38が着脱可能に取り付けられて、このカウンタウ
エイト38の重量を調整できるようになっている。
【0022】以上の構成において、TCP1のテストを
行うには、テストされるべきTCP1を巻き付けた供給
リール10を装着し、また巻き取りリール11は空の状
態にしておく。そして、供給リール10からTCP1を
引き出して、供給側余長部からガイドローラ14,15
を経て、スプロケット16,17に係合させる。さら
に、スプロケット17からガイドローラ21,22及び
巻き取り側余長部を順次通過させて、先端を巻き取りリ
ール11に固定する。ただし、スプロケット16,17
間の部位より巻き取りリール11側の部分はテストを行
えない。そこで、TCP1の先端にリードテープを連結
して設け、このリードテープを少なくともスプロケット
17の位置から巻き取りリール11に連結されるまでの
長さを持たせておく。また、TCP1の後端部も同様の
リードテープが連結される。
【0023】一方、スペーサテープ8は、供給リール1
0からガイドローラ25にガイドさせて、このガイドロ
ーラ25から下方に方向転換させて、荷重ローラ27を
回り込むように係合させる。さらに、この荷重ローラ2
7からガイドローラ26により方向転換させて、その先
端を巻き取りリール11に引き回し、TCP1の先端に
連設したリードテープの上に重ね合わせて固定する。こ
こで、スペーサテープ8には、荷重ローラ27及びスラ
イドブロック28の重量からなる荷重が作用することに
なり、荷重ローラ27は上限位置と下限位置との間に配
置されることになる。ここで、スペーサテープ8を巻回
させた状態で、荷重ローラ27が位置するのは、ガイド
レール29のほぼ中間位置とするのが好ましい。
【0024】供給リール10のモータ10Mを回転させ
ると、TCP1における所定の長さ分が供給側余長部に
供給される。また、TCP1の巻き取りリール11への
巻き取り側余長部にも予めある程度の余長を持たせてお
く。スプロケット17を駆動モータ17Mにより回転駆
動すると、TCP1が送られるが、スプロケット16に
はトルクモータ16Mが接続されているから、このスプ
ロケット16によりTCP1におけるスプロケット1
6,17間の部位がテストヘッド18に接続する際に、
所要の張りを持たせることができて、パッド3aをテス
トヘッド18のプローブにコンタクトが円滑かつ確実に
行えるようになる。
【0025】TCP1のドライバ回路5が順次テストヘ
ッド18に対面する位置に臨み、その都度昇降基台19
を下降させ、かつTCP1の入出力リード3に連なるパ
ッド3aの部分を、図示しないコンタクトプレスにより
上方から押圧することによりテストヘッド18のプロー
ブに確実に接続される。この状態で、入出力リード3に
通電することによりテストが実行される。テスト終了後
は、昇降基台19を上昇させることによって、TCP1
をテストヘッド18から離間させて、所定のピッチ分だ
けTCP1を送る。従って、スプロケット17を間欠的
に回転駆動することによって、TCP1のドライバ回路
5は順次テストされる。
【0026】テストが進むと、巻き取り側余長部の余長
が長くなり、供給側余長部では余長が減少する。これら
各余長部にはセンサ等を用いて余長を検出し、巻き取り
側余長部における余長が所定値を越えると、モータ11
Mを作動させて、所定長さ分だけ巻き取りリール11に
巻き取るようになし、また供給側余長部では余長が短く
なると、モータ10Mを作動させて、供給リール10か
らTCP1を所定の長さ分だけ供給する。
【0027】以上のようにしてTCP1のテストが行わ
れるが、巻き取り側余長部が設けられている関係から、
巻き取り時にTCP1に張力を発生させることはできな
い。これに対して、スペーサテープ8も迂回経路に沿っ
て送られて、巻き取りリール11にTCP1と共に巻き
取られるが、このスペーサテープ8が走行する迂回経路
の途中には荷重付与手段が設けられており、この荷重付
与手段は荷重ローラ27とスライドブロック28との重
量からなる荷重をスペーサテープ8に作用させるもので
ある。スペーサテープ8は、荷重ローラ27とスライド
ブロック28との重量による荷重で、供給リール10及
び巻き取りリール11からスペーサテープ8を引き出し
て、荷重ローラ27がガイドレール29に沿って下降す
る方向に力が作用している。従って、巻き取りリール1
1側では、スペーサテープ8に対してその巻き取り方向
とは反対方向に引っ張り力が作用する。
【0028】モータ11Mを作動させて、TCP1を巻
き取る際に、スペーサテープ8も同時に巻き取られる
が、この時にスペーサテープ8は巻き取りリール11に
巻き付けが終わったTCP1に押圧力を作用させる。こ
の結果、巻き取りリール11ではある程度固く巻き付け
られ、巻き径が太くならない。従って、荷重ローラ27
とスライドブロック28との重量を調整することによ
り、供給リール10に巻き付け長さと、巻き取りリール
11の巻き取り長さとをほぼ一致させることができる。
この重量は、ワイヤ35の先端に取り付けられるカウン
タウエイト38を交換する等により調整することができ
る。
【0029】ところで、TCP1は、供給側及び巻き取
り側に余長部を設け、この余長部における余長部の長さ
は刻々変化するものであり、また供給リール10のモー
タ10Mと、巻き取りリール11におけるモータ11M
とは同期して作動するものではないから、余長部の長さ
が変化すると、荷重ローラ27はそれに応じて上下動す
ることにより吸収される。この場合の荷重ローラ27の
動きは、微小量上下することになる。
【0030】供給リール10側と巻き取りリール11側
とで全く同じ条件で巻き付けるのは実際上不可能なこと
であり、両リール10,11では巻き径が全く同一には
ならない。また、供給リール10側では、その全体が均
一な張力を持った状態で巻き付けられているとは限らな
い。このように、供給リール10側の巻き付け状態と、
巻き取りリール11側での巻き付け状態とにある程度の
差があるのは当然であり、従ってこの両リール10,1
1間での巻き付け状態の差に応じて、荷重ローラ27は
上下する。例えば、巻き取りリール11側の方が多少緩
い巻き取り状態になっていたとすると、時間の経過と共
に、荷重ローラ27は連続的に下降することになる。そ
こで、ガイドレール29を長尺なものとなし、当初の状
態では、荷重ローラ27を上下のストッパ30,31の
ほぼ中間に位置させておくことによって、供給リール1
0における巻き付け状態と、巻き取りリール11におけ
る巻き付け状態とに多少の差があっても、それを有効に
吸収できる。
【0031】ここで、荷重ローラ27は、常に上下のス
トッパ30,31間の位置に配置されていなければなら
ない。テストの進行と共に荷重ローラ27が上昇して、
上限位置にまで到達した後にもハンドラの作動を継続す
ると、スペーサテープ8に極めて強い張力が作用して、
スぺーサとしての機能を発揮する突起9a,9bが潰れ
たり、TCP1に過大な押圧力が加わったり、甚だしい
場合には、スペーサテープ8が切断されたりするおそれ
がある。そこで、荷重ローラ27が上限位置(ストッパ
30に当接する直前の位置)まで上昇したことが、上限
位置検出用のセンサ33の位置にスライドブロック28
の被検出体32が到達することにより検出される。従っ
て、このセンサ33からの信号に基づいて機械の作動を
停止させれば良い。
【0032】一方、荷重ローラ27が下限位置まで下降
すると、スペーサテープ8に対する荷重が作用しなくな
る。また、スペーサテープ8が切断された時にも、荷重
ローラ27が下限位置まで下降する。従って、荷重ロー
ラ27が下限位置に変位する前の段階で、それを検出し
て、機械を停止させなければならない。このために、下
限位置検出用のセンサ34が設けられており、被検出体
32がこのセンサ34の位置に達すると、荷重ローラ2
7が下限位置(ストッパ31に当接する直前の位置)に
まで下降したことが検出されて、機械の停止等の措置を
取ることができる。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、スぺー
サテープが走行する迂回経路の途中に、このスぺーサテ
ープが巻き取りリールに巻き取られる際に、引っ張り方
向に所定の荷重を作用させる荷重付与手段を設ける構成
としたので、簡単な装置構成によって、供給リールから
供給されたTCPを、必要な長さ分だけ巻き取りリール
に確実に巻き取ることができる等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】TCPの構成説明図である。
【図2】TCP試験装置の全体構成図である。
【図3】リールにTCP及びスぺーサテープを巻き付け
た状態の外観図である。
【図4】リールに巻き付けたTCPとスぺーサテープと
の積層状態を示す構成説明図である。
【図5】荷重付与手段の構成を示す正面図である。
【図6】図5のX−X断面図である。
【符号の説明】
1 TCP 2 テープ 5 ドライバ回路 8 スぺーサテープ 9a,9b 突起 10 供給リール 11 巻き取りリール 25,26 ガイドローラ 27 荷重ローラ 28 スライドブロック 29 ガイドレール 30,31 ストッパ 32 被検出体 33,34 センサ 35 ワイヤ 38 カウンタウエイト

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電子回路部品を多数設けたテープからな
    るTCPを供給リールから供給して、テストヘッドとコ
    ンタクトさせた後、巻き取りリールに巻き取らせるよう
    になし、また供給リール及び巻き取りリールではスぺー
    サテープをTCPに積層状態で巻き付け、このスぺーサ
    テープは、TCPの走行経路とは別の迂回経路を通って
    巻き取りリールに巻き取らせるものにおいて、前記迂回
    経路の途中には、巻き取りリールに巻き取られる際に、
    スぺーサテープに引っ張り方向に所定の荷重を作用させ
    る荷重付与手段を設ける構成としたことを特徴とするT
    CPハンドラ。
  2. 【請求項2】 前記荷重付与手段は、一対のガイドロー
    ラと、両ガイドローラの間に配置され、所定の重量を有
    する荷重ローラとで構成し、かつこの荷重ローラを上下
    方向に可動となし、前記スぺーサテープを両ガイドロー
    ラ間から荷重ローラに係合させるように走行させる構成
    としたことを特徴とする請求項1記載のTCPハンド
    ラ。
  3. 【請求項3】 前記荷重ローラは、その荷重を調整可能
    なものとしたことを特徴とする請求項2記載のTCPハ
    ンドラ。
  4. 【請求項4】 前記荷重ローラの上限位置と下限位置と
    を検出する検出手段を備える構成としたことを特徴とす
    る請求項2記載のTCPハンドラ。
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