JP2500642B2 - ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング方法 - Google Patents
ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング方法Info
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- H01L2924/01082—Lead [Pb]
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤボンディング装
置及びワイヤボンディング方法に関するものである。
置及びワイヤボンディング方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤボンディング装置を用いて、半導
体等のペレット上の電極と外部リード間を金細線等から
なるワイヤで接続する場合、電極と外部リード間のワイ
ヤの長さが長すぎたり短かすぎたりすると種々の品質上
の問題が発生する。
体等のペレット上の電極と外部リード間を金細線等から
なるワイヤで接続する場合、電極と外部リード間のワイ
ヤの長さが長すぎたり短かすぎたりすると種々の品質上
の問題が発生する。
【０００３】例えば長すぎる場合は、ワイヤがたるみ、
たるんだ部分のワイヤがペレット上面や他のリードに接
触し、短絡してしまうことがある。逆に短かすぎる場合
は、ワイヤを変形させようとする外部から加わるストレ
スに対する余裕が少ないため、ワイヤが断線しやすい。
たるんだ部分のワイヤがペレット上面や他のリードに接
触し、短絡してしまうことがある。逆に短かすぎる場合
は、ワイヤを変形させようとする外部から加わるストレ
スに対する余裕が少ないため、ワイヤが断線しやすい。
【０００４】以上の不都合を解決するために種々の提案
がされている。
がされている。
【０００５】例えば図３に示す従来技術では、スプール
１に巻れたワイヤ２が繰り出され、ローラ２１，ガイド
３，６，７，８，ワイヤクランパ９，１０を通ってキャ
ピラリ支持部１２に支持されたキャピラリ１１を貫通
し、キャピラリ１１を導出した箇所でワイヤボンディン
グされる。そして、スプール１から一定量のワイヤ２が
供給できるようにローラ２１で供給量を制御したり、あ
るいはワイヤ２が供給しすぎた時にそのたるみ状態２３
をガイド６とガイド７との間でワイヤたるみ検出器２２
で検出する方法となっている。この用な技術は例えば、
特開昭５８−１１６７４２号公報あるいは特開昭５６−
６１１３４号公報に開示されている。
１に巻れたワイヤ２が繰り出され、ローラ２１，ガイド
３，６，７，８，ワイヤクランパ９，１０を通ってキャ
ピラリ支持部１２に支持されたキャピラリ１１を貫通
し、キャピラリ１１を導出した箇所でワイヤボンディン
グされる。そして、スプール１から一定量のワイヤ２が
供給できるようにローラ２１で供給量を制御したり、あ
るいはワイヤ２が供給しすぎた時にそのたるみ状態２３
をガイド６とガイド７との間でワイヤたるみ検出器２２
で検出する方法となっている。この用な技術は例えば、
特開昭５８−１１６７４２号公報あるいは特開昭５６−
６１１３４号公報に開示されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
技術においては、ワイヤの量は供給側でしか、つまり供
給する量でのみしか制御していない。
技術においては、ワイヤの量は供給側でしか、つまり供
給する量でのみしか制御していない。
【０００７】このため図３の装置においては、ワイヤ２
がワイヤクランパ９やワイヤクランパ１０からはずれて
たるみ状態２４を生じた場合には、余分のワイヤ２がキ
ャピラリ１１の出口から導出されてしまう。あるいは、
キャピラリ１１のワイヤ経路のすべりが悪かったり、そ
の出口がつまり気味だったりして十分な量のワイヤがキ
ャピラリ１１の出口から出されないという不具合が発生
する場合がある。
がワイヤクランパ９やワイヤクランパ１０からはずれて
たるみ状態２４を生じた場合には、余分のワイヤ２がキ
ャピラリ１１の出口から導出されてしまう。あるいは、
キャピラリ１１のワイヤ経路のすべりが悪かったり、そ
の出口がつまり気味だったりして十分な量のワイヤがキ
ャピラリ１１の出口から出されないという不具合が発生
する場合がある。
【０００８】このような場合、従来技術では実際にキャ
ピラリ１１から出たワイヤの量を制御していないため、
不具合の検出が困難である。したがって、ワイヤが長す
ぎたり短かすぎたりすることによる品質問題の回避には
十分でない。
ピラリ１１から出たワイヤの量を制御していないため、
不具合の検出が困難である。したがって、ワイヤが長す
ぎたり短かすぎたりすることによる品質問題の回避には
十分でない。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、スプー
ルから繰り出されるワイヤがガイドおよびワイヤクラン
パを通ってキャピラリから導出されてボンディングを行
うワイヤボンディング装置において、ワイヤにマークを
つけるワイヤマーク手段と、ワイヤがキャピラリから導
出された箇所においてマークを検出する手段と、検出に
より得られた検出信号を用いて装置の制御を行う制御手
段とを具備したワイヤボンディング装置にある。ここ
で、スプールから繰り出されたワイヤが直線状となって
いる箇所において、直線状のワイヤに沿って移動可能な
マーカが設けられ、このマーカによりマークをつけるこ
とができる。また、マークはインク噴射式によりつけら
れるマークであることが好ましい。この場合、マークを
検出する手段は、光反射式センサもしくは磁気センサで
あることができる。
ルから繰り出されるワイヤがガイドおよびワイヤクラン
パを通ってキャピラリから導出されてボンディングを行
うワイヤボンディング装置において、ワイヤにマークを
つけるワイヤマーク手段と、ワイヤがキャピラリから導
出された箇所においてマークを検出する手段と、検出に
より得られた検出信号を用いて装置の制御を行う制御手
段とを具備したワイヤボンディング装置にある。ここ
で、スプールから繰り出されたワイヤが直線状となって
いる箇所において、直線状のワイヤに沿って移動可能な
マーカが設けられ、このマーカによりマークをつけるこ
とができる。また、マークはインク噴射式によりつけら
れるマークであることが好ましい。この場合、マークを
検出する手段は、光反射式センサもしくは磁気センサで
あることができる。
【００１０】本発明の他の特徴は、スプールから繰り出
されるワイヤに所定間隔でマークをつけ、そのマークを
検出することにより供給されたワイヤの量を検出し、そ
の検出情報によりワイヤボンディング装置の制御を行う
ワイヤボンディング方法にある。ここでマークの検出は
キャピラリの出口側で行うことが好ましい。
されるワイヤに所定間隔でマークをつけ、そのマークを
検出することにより供給されたワイヤの量を検出し、そ
の検出情報によりワイヤボンディング装置の制御を行う
ワイヤボンディング方法にある。ここでマークの検出は
キャピラリの出口側で行うことが好ましい。
【００１１】
【実施例】以下図面を参照して本発明を説明する。
【００１２】図１は本発明の一実施例のワイヤボンディ
ング装置のワイヤ経路を中心にした構成図である。スプ
ール１に巻かれている金細線のワイヤ２はスプール１か
ら出た後、その直線状に延在する箇所においてマーカ１
３によりマークがつけられる。マーカ１３はレール１４
の上をワイヤ２に沿って直線的にａ方向もしくはｂ方向
に移動しながらワイヤ２にマークをつける。その際、イ
ンク噴射法などの方法で通常のインクまたは磁気性のイ
ンクを用いて、ワイヤが静止している時にマークをつけ
る。ただし、マーカ１３が固定しており、ワイヤ２の移
動時にマークをつける方法でもよい。
ング装置のワイヤ経路を中心にした構成図である。スプ
ール１に巻かれている金細線のワイヤ２はスプール１か
ら出た後、その直線状に延在する箇所においてマーカ１
３によりマークがつけられる。マーカ１３はレール１４
の上をワイヤ２に沿って直線的にａ方向もしくはｂ方向
に移動しながらワイヤ２にマークをつける。その際、イ
ンク噴射法などの方法で通常のインクまたは磁気性のイ
ンクを用いて、ワイヤが静止している時にマークをつけ
る。ただし、マーカ１３が固定しており、ワイヤ２の移
動時にマークをつける方法でもよい。
【００１３】マークされたワイヤ２は、ガイド３，４，
６，７，８やワイヤクランパ９，１０を経てキャピラリ
支持部１２により支持されたキャピラリ１１を貫通す
る。キャピラリ１１の出口にワイヤ２上のマークを検出
するマーク検出器１５が載置されており、マークをこの
検出器の光反射式センサまたは磁気センサで検出する。
検出された信号は制御部２５に送られ、この制御部２５
からワイヤボンディング装置全体の制御部に検出器によ
る検出信号に基づく信号が送られる。
６，７，８やワイヤクランパ９，１０を経てキャピラリ
支持部１２により支持されたキャピラリ１１を貫通す
る。キャピラリ１１の出口にワイヤ２上のマークを検出
するマーク検出器１５が載置されており、マークをこの
検出器の光反射式センサまたは磁気センサで検出する。
検出された信号は制御部２５に送られ、この制御部２５
からワイヤボンディング装置全体の制御部に検出器によ
る検出信号に基づく信号が送られる。
【００１４】図２は、キャピラリ１１、その出口のワイ
ヤ２およびマーク検出器１５の拡大図ならびに、マーク
を検出した信号を用いて、ワイヤボンディング装置を制
御するアラーム信号を発生する制御部２５のブロック図
である。
ヤ２およびマーク検出器１５の拡大図ならびに、マーク
を検出した信号を用いて、ワイヤボンディング装置を制
御するアラーム信号を発生する制御部２５のブロック図
である。
【００１５】この図において、ワイヤ２にはすでにマー
ク１６が、例えば０．１ｍｍ間隔でつけられており、キ
ャピラリ１１を貫通して出てくる時（主にキャピラリ１
１の移動時）に、キャピラリとともに移動するマーク検
出器１５によりマークを検出する。
ク１６が、例えば０．１ｍｍ間隔でつけられており、キ
ャピラリ１１を貫通して出てくる時（主にキャピラリ１
１の移動時）に、キャピラリとともに移動するマーク検
出器１５によりマークを検出する。
【００１６】マーク検出器１５からの信号はパルス列と
なっており、パルスの数はキャピラリ１１の出口から実
際に出てきたワイヤ量と相関関係があり、この信号が制
御部２５に入力される。
なっており、パルスの数はキャピラリ１１の出口から実
際に出てきたワイヤ量と相関関係があり、この信号が制
御部２５に入力される。
【００１７】制御部２５のパルス列計数器１７によりパ
ルスの数を計数する。その値とワイヤ長記憶部１８にメ
モリされている各ボンディングワイヤ（ペレット上の各
電極と各外部リードを接続する個々のワイヤ）の適正長
さのデータとを比較器１９で比較し、長すぎたり短すぎ
たりした時は、アラーム信号発生器２０からアラーム信
号を出し、それをワイヤボンディング装置本体の制御部
（図示省略）に送り、ワイヤボンディング装置の動作を
止めたり、適切な処理を行なわせる。
ルスの数を計数する。その値とワイヤ長記憶部１８にメ
モリされている各ボンディングワイヤ（ペレット上の各
電極と各外部リードを接続する個々のワイヤ）の適正長
さのデータとを比較器１９で比較し、長すぎたり短すぎ
たりした時は、アラーム信号発生器２０からアラーム信
号を出し、それをワイヤボンディング装置本体の制御部
（図示省略）に送り、ワイヤボンディング装置の動作を
止めたり、適切な処理を行なわせる。
【００１８】なお、ワイヤ長記憶部１８には全ピンに対
するボンディングワイヤの適正長のデータを予め記憶さ
せ、制御部２５では各ピン毎の長さが適正かどうかの判
別を行う。
するボンディングワイヤの適正長のデータを予め記憶さ
せ、制御部２５では各ピン毎の長さが適正かどうかの判
別を行う。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、キャピラ
リから出てくるワイヤの長さを直接検出するため、キャ
ピラリを含めてワイヤ経路のどこに異常があってもその
異常が確実に検出でき、かつ、各ピン毎にボンディング
ワイヤ長の適否を判断することができるという効果を有
する。
リから出てくるワイヤの長さを直接検出するため、キャ
ピラリを含めてワイヤ経路のどこに異常があってもその
異常が確実に検出でき、かつ、各ピン毎にボンディング
ワイヤ長の適否を判断することができるという効果を有
する。
【００２０】また上記したように、ボンディングワイヤ
長が不適正の時は即座に装置自体を止めたり、その他の
必要な処置が行なえるため、ボンディングワイヤ長が不
適正のために起こる品質問題を未然に防止できるという
効果も有する。
長が不適正の時は即座に装置自体を止めたり、その他の
必要な処置が行なえるため、ボンディングワイヤ長が不
適正のために起こる品質問題を未然に防止できるという
効果も有する。
【図１】本発明の一実施例のワイヤボンディング装置の
ワイヤ経路を中心にした構成図である。
ワイヤ経路を中心にした構成図である。
【図２】本発明の一実施例のワイヤボンディング装置の
キャピラリ出口近傍の拡大図およびアラーム信号を発生
する制御部のブロック図である。
キャピラリ出口近傍の拡大図およびアラーム信号を発生
する制御部のブロック図である。
【図３】従来のワイヤボンディング装置のワイヤ経路を
中心にした構成図である。
中心にした構成図である。
１ スプール ２ ワイヤ ３，４，６，７，８ ガイド ９，１０ ワイヤクランパ １１ キャピラリ １２ キャピラリの支持部 １３ マーカ １５ マーク検出器 １６ マーク １７ パルス列計数器 １９ 比較器 ２０ アラーム信号発生器 ２１ ローラ ２２ ワイヤたるみ検出器 ２３，２４ ワイヤのたるみ状態 ２５ 制御部
Claims (6)
- 【請求項１】 スプールから繰り出されるワイヤがガイ
ドおよびワイヤクランパを通ってキャピラリから導出さ
れてボンディングを行うワイヤボンディング装置におい
て、前記ワイヤにマークをつけるワイヤマーク手段と、
前記ワイヤが前記キャピラリから導出された箇所におい
て前記マークを検出する手段と、前記検出により得られ
た検出信号を用いて装置の制御を行う制御手段とを具備
したことを特徴とするワイヤボンディング装置。 - 【請求項２】 前記スプールから繰り出された前記ワイ
ヤが直線状となっている箇所において、前記直線状のワ
イヤに沿って移動可能なマーカが設けられ、前記マーカ
により前記マークをつけることを特徴とする請求項１に
記載のワイヤボンディング装置。 - 【請求項３】 前記マークはインク噴射式によりつけら
れるマークであることを特徴とする請求項１もしくは請
求項２に記載のワイヤボンディング装置。 - 【請求項４】 前記マークを検出する手段は、光反射式
センサもしくは磁気センサであることを特徴とする請求
項１、請求項２もしくは請求項３に記載のワイヤボンデ
ィング装置。 - 【請求項５】 スプールから繰り出されるワイヤに所定
間隔でマークをつけ、そのマークを検出することにより
供給されたワイヤの量を検出し、その検出情報によりワ
イヤボンディング装置の制御を行うことを特徴とするワ
イヤボンディング方法。 - 【請求項６】 前記マークの検出はキャピラリの出口側
で行うことを特徴とする請求項５に記載のワイヤボンデ
ィング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5219374A JP2500642B2 (ja) | 1993-09-03 | 1993-09-03 | ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5219374A JP2500642B2 (ja) | 1993-09-03 | 1993-09-03 | ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0774202A JPH0774202A (ja) | 1995-03-17 |
| JP2500642B2 true JP2500642B2 (ja) | 1996-05-29 |
Family
ID=16734421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5219374A Expired - Lifetime JP2500642B2 (ja) | 1993-09-03 | 1993-09-03 | ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2500642B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102014103180A1 (de) | 2014-03-10 | 2015-09-10 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zum Bestimmen einer Bondverbindung in einer Bauteilanordnung und Prüfvorrichtung |
-
1993
- 1993-09-03 JP JP5219374A patent/JP2500642B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0774202A (ja) | 1995-03-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960123 |