JPH0521504A - ワイヤボンデイング装置におけるワイヤ供給方法 - Google Patents
ワイヤボンデイング装置におけるワイヤ供給方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワイヤの位置変動幅を設定範囲内に抑えるこ
とができ、これにより、ワイヤに適正な張力を付与でき
るようにしたこと。 【構成】 スプール７とワイヤガイド５との間にノズル
８を設け、このノズル８からワイヤ６に向けてエアーを
吹き付け、ループ状の弛みを形成する。このループの外
側と内側にそれぞれ近接センサ９、１０を設ける。そこ
で、ボンディング動作に伴うワイヤ６の消費によって生
じる弛み量の変化を近接センサ９、１０によって検出
し、この検出信号に基づいて、スプール７を正逆方向に
回転制御し、ワイヤ６の繰り出しおよび巻取りを行な
う。
とができ、これにより、ワイヤに適正な張力を付与でき
るようにしたこと。 【構成】 スプール７とワイヤガイド５との間にノズル
８を設け、このノズル８からワイヤ６に向けてエアーを
吹き付け、ループ状の弛みを形成する。このループの外
側と内側にそれぞれ近接センサ９、１０を設ける。そこ
で、ボンディング動作に伴うワイヤ６の消費によって生
じる弛み量の変化を近接センサ９、１０によって検出
し、この検出信号に基づいて、スプール７を正逆方向に
回転制御し、ワイヤ６の繰り出しおよび巻取りを行な
う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤボンディング装
置におけるワイヤ供給方法に関する。
置におけるワイヤ供給方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤボンディング装置にあっては、ボ
ンディング時に良好なワイヤループが形成されるよう
に、スプールからキャピラリに至るワイヤに対して適正
な張力を付与するようにしている。
ンディング時に良好なワイヤループが形成されるよう
に、スプールからキャピラリに至るワイヤに対して適正
な張力を付与するようにしている。
【０００３】この張力付与手段の一例としては、ノズル
からのエアーをワイヤに吹き付けることによりワイヤを
ループ状に弛ませるとともに、ループの内側近傍にワイ
ヤの検出手段を設け、この検出手段がワイヤを検出した
時点で、スプールを所定時間だけワイヤ繰出し方向に回
転駆動させるようにしたものがある。さらには、ループ
の内側と外側の両近傍に検出手段を配置し、内側の検出
手段がワイヤを検出した時点でスプールを回転駆動さ
せ、外側の検出手段がワイヤを検出した時点でスプール
の回転を停止させるものも知られている。
からのエアーをワイヤに吹き付けることによりワイヤを
ループ状に弛ませるとともに、ループの内側近傍にワイ
ヤの検出手段を設け、この検出手段がワイヤを検出した
時点で、スプールを所定時間だけワイヤ繰出し方向に回
転駆動させるようにしたものがある。さらには、ループ
の内側と外側の両近傍に検出手段を配置し、内側の検出
手段がワイヤを検出した時点でスプールを回転駆動さ
せ、外側の検出手段がワイヤを検出した時点でスプール
の回転を停止させるものも知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが前者の技術に
よると、スプールの回転時間が適正に設定されていない
と、ワイヤに適正な張力を付与することができず、例え
ばワイヤの繰り出し過ぎを生じた場合、その瞬間にワイ
ヤがノズルから大きく離れることから、張力が急激に変
動したり、またワイヤに曲りが生じやすいという欠点を
有していた。
よると、スプールの回転時間が適正に設定されていない
と、ワイヤに適正な張力を付与することができず、例え
ばワイヤの繰り出し過ぎを生じた場合、その瞬間にワイ
ヤがノズルから大きく離れることから、張力が急激に変
動したり、またワイヤに曲りが生じやすいという欠点を
有していた。
【０００５】これに対して後者の技術においては、ルー
プ外側の検出手段がワイヤを検出した時点でスプールの
回転を停止させるようにしているため、上記したような
張力変動などを減少させることはできる。しかしなが
ら、ボンディング速度が高速となり単位時間あたりのワ
イヤ消費量が増大すると、スプールの回転速度も高速化
される。このためループ外側の検出手段がワイヤを検出
した時点でスプールの回転を停止させても、その慣性に
よりワイヤの繰り出し過ぎ現象は依然として生じ、設定
範囲内にワイヤの位置変動幅を抑えることが困難であっ
た。
プ外側の検出手段がワイヤを検出した時点でスプールの
回転を停止させるようにしているため、上記したような
張力変動などを減少させることはできる。しかしなが
ら、ボンディング速度が高速となり単位時間あたりのワ
イヤ消費量が増大すると、スプールの回転速度も高速化
される。このためループ外側の検出手段がワイヤを検出
した時点でスプールの回転を停止させても、その慣性に
よりワイヤの繰り出し過ぎ現象は依然として生じ、設定
範囲内にワイヤの位置変動幅を抑えることが困難であっ
た。
【０００６】また、キャピラリを支持するボンディング
ヘッドとは別の固定位置にスプールを回転支持するよう
に構成されたワイヤボンディング装置においては、ボン
ディングヘッドがスプール側に移動したとき、ワイヤが
必要以上に弛み、丁度ワイヤの繰り出し過ぎ状態と同様
な現象となる。しかしながらスプールが一方向にしか回
転駆動されない従来の技術においては、この現象を除去
することができなかった。
ヘッドとは別の固定位置にスプールを回転支持するよう
に構成されたワイヤボンディング装置においては、ボン
ディングヘッドがスプール側に移動したとき、ワイヤが
必要以上に弛み、丁度ワイヤの繰り出し過ぎ状態と同様
な現象となる。しかしながらスプールが一方向にしか回
転駆動されない従来の技術においては、この現象を除去
することができなかった。
【０００７】そこで本発明は、ワイヤの位置変動幅を設
定範囲内に抑えることができ、これにより、ワイヤに適
正な張力を付与できるようにしたワイヤ供給方法を提供
することを目的とする。
定範囲内に抑えることができ、これにより、ワイヤに適
正な張力を付与できるようにしたワイヤ供給方法を提供
することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、スプールの回転駆動によりこのスプールに巻
回されたワイヤをキャピラリ側へ供給するワイヤボンデ
ィング装置におけるワイヤ供給方法において、前記スプ
ールと前記キャピラリとの間に位置する前記ワイヤに弛
みを設けるとともに、前記スプールを正逆回転制御する
ことにて、弛み量を所定量内に維持するようにしたこと
を特徴とする。
本発明は、スプールの回転駆動によりこのスプールに巻
回されたワイヤをキャピラリ側へ供給するワイヤボンデ
ィング装置におけるワイヤ供給方法において、前記スプ
ールと前記キャピラリとの間に位置する前記ワイヤに弛
みを設けるとともに、前記スプールを正逆回転制御する
ことにて、弛み量を所定量内に維持するようにしたこと
を特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明によれば、スプールとキャピラリとの間
に位置するワイヤに弛みが形成され、この弛み量が少な
くなった時にスプールは正転させられてワイヤが繰り出
され、弛み量が多くなった時にスプールは逆転させられ
てスプールに巻取られる。これにより、所定量の弛み量
が維持され、ワイヤに適正な張力を付与することができ
る。
に位置するワイヤに弛みが形成され、この弛み量が少な
くなった時にスプールは正転させられてワイヤが繰り出
され、弛み量が多くなった時にスプールは逆転させられ
てスプールに巻取られる。これにより、所定量の弛み量
が維持され、ワイヤに適正な張力を付与することができ
る。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例について図面を参照して説明
する。図１は本発明が適用されたワイヤボンディング装
置の一実施例を示す構成図、図２は図１に示したワイヤ
ボンディング装置の制御系のブロック図、図３は図１に
おける部分拡大図である。
する。図１は本発明が適用されたワイヤボンディング装
置の一実施例を示す構成図、図２は図１に示したワイヤ
ボンディング装置の制御系のブロック図、図３は図１に
おける部分拡大図である。
【００１１】図において、ボンディングヘッド１は、不
図示のＸＹテーブル上に載置され、このボンディングヘ
ッド１には、ボンディングアーム２並びにワイヤクラン
パ３が上下方向に揺動自在に支持される。ボンディング
アーム２の先端には、キャピラリ４が装着されている。
またワイヤクランパ３の直上には、ボンディングヘッド
１に支持されたワイヤガイド５が設けられる。ボンディ
ングヘッド１の上方には、ワイヤ６が巻回されたスプー
ル７がボンディングヘッド１とは別の固定位置に配置さ
れる。このスプール７は、モータＭによって正逆方向に
回転駆動されるようになっており、繰り出されたワイヤ
６は、ワイヤガイド５およびワイヤクランパ３を通って
キャピラリ４の先端に導かれる。
図示のＸＹテーブル上に載置され、このボンディングヘ
ッド１には、ボンディングアーム２並びにワイヤクラン
パ３が上下方向に揺動自在に支持される。ボンディング
アーム２の先端には、キャピラリ４が装着されている。
またワイヤクランパ３の直上には、ボンディングヘッド
１に支持されたワイヤガイド５が設けられる。ボンディ
ングヘッド１の上方には、ワイヤ６が巻回されたスプー
ル７がボンディングヘッド１とは別の固定位置に配置さ
れる。このスプール７は、モータＭによって正逆方向に
回転駆動されるようになっており、繰り出されたワイヤ
６は、ワイヤガイド５およびワイヤクランパ３を通って
キャピラリ４の先端に導かれる。
【００１２】スプール７とワイヤガイド５との間には、
張力付与手段２０が設けられる。この張力付与手段２０
は、ノズル８、２つの近接センサ９、１０、制御装置１
１から構成される。
張力付与手段２０が設けられる。この張力付与手段２０
は、ノズル８、２つの近接センサ９、１０、制御装置１
１から構成される。
【００１３】ノズル８は、不図示の圧縮源に接続されて
おり、その吹出口からワイヤ６に向けてエアーを吹き付
ける。これによりワイヤ６は、図示のようにループ状に
弛ませられる。
おり、その吹出口からワイヤ６に向けてエアーを吹き付
ける。これによりワイヤ６は、図示のようにループ状に
弛ませられる。
【００１４】近接センサ９、１０は、ワイヤ６の移動経
路を挟んで、ループの内側と外側にそれぞれ配置される
とともに、図３に示すように、両近接センサ９、１０の
検出領域９ａ、１０ａの一部が重なるようにその位置が
設定される。
路を挟んで、ループの内側と外側にそれぞれ配置される
とともに、図３に示すように、両近接センサ９、１０の
検出領域９ａ、１０ａの一部が重なるようにその位置が
設定される。
【００１５】制御装置１１は、図２に示すように、両近
接センサ９、１０からのワイヤ検出信号を入力とし、モ
ータＭを次のように動作させる。すなわち、ワイヤ６の
弛み量が減少して検出領域１０ａからワイヤ６が脱して
近接センサ１０がＯＦＦとなり、しかも近接センサ９が
ＯＮの時、モータＭを正回転させ、ワイヤ６の弛み量が
増加して検出領域９ａからワイヤ６が脱して近接センサ
９がＯＦＦとなり、しかも近接センサ１０がＯＮの時、
モータＭを逆転させる。そして両近接センサ９、１０が
共にＯＮのとき、回転を停止させるようになっている。
接センサ９、１０からのワイヤ検出信号を入力とし、モ
ータＭを次のように動作させる。すなわち、ワイヤ６の
弛み量が減少して検出領域１０ａからワイヤ６が脱して
近接センサ１０がＯＦＦとなり、しかも近接センサ９が
ＯＮの時、モータＭを正回転させ、ワイヤ６の弛み量が
増加して検出領域９ａからワイヤ６が脱して近接センサ
９がＯＦＦとなり、しかも近接センサ１０がＯＮの時、
モータＭを逆転させる。そして両近接センサ９、１０が
共にＯＮのとき、回転を停止させるようになっている。
【００１６】次に作動について説明する。
【００１７】今、スプール７からキャピラリ４に至るワ
イヤ６が、図３において実線の位置にあったとする。こ
のときは、両近接センサ９、１０が共にＯＮであるた
め、モータＭの回転は停止している。ここでワイヤボン
ディング動作が開始されてワイヤ６が消費されると、ワ
イヤ６の弛み量が減少し、ワイヤ６は近接センサ９側に
移動する。そして、ワイヤ６が図３における１点鎖線で
示す位置を少しでもはずれると、ワイヤ６は近接センサ
１０の検出領域１０ａから脱し、近接センサ１０はＯＦ
Ｆとなる。そこでこの信号が制御装置１１に入力される
と、モータＭを正回転させる。これによりスプール７か
らワイヤ６が繰り出される。そしてこのワイヤ６の繰り
出しにより、ワイヤ６の弛み量が増加し、ノズル８から
吹き出されるエアーの作用により、ワイヤ６は近接セン
サ９から離れ、近接センサ１０側に移動する。そして両
近接センサ９、１０が共にＯＮになったところでモータ
Ｍの回転は停止する。
イヤ６が、図３において実線の位置にあったとする。こ
のときは、両近接センサ９、１０が共にＯＮであるた
め、モータＭの回転は停止している。ここでワイヤボン
ディング動作が開始されてワイヤ６が消費されると、ワ
イヤ６の弛み量が減少し、ワイヤ６は近接センサ９側に
移動する。そして、ワイヤ６が図３における１点鎖線で
示す位置を少しでもはずれると、ワイヤ６は近接センサ
１０の検出領域１０ａから脱し、近接センサ１０はＯＦ
Ｆとなる。そこでこの信号が制御装置１１に入力される
と、モータＭを正回転させる。これによりスプール７か
らワイヤ６が繰り出される。そしてこのワイヤ６の繰り
出しにより、ワイヤ６の弛み量が増加し、ノズル８から
吹き出されるエアーの作用により、ワイヤ６は近接セン
サ９から離れ、近接センサ１０側に移動する。そして両
近接センサ９、１０が共にＯＮになったところでモータ
Ｍの回転は停止する。
【００１８】またボンディング動作中、ボンディングヘ
ッド１がスプール７に近付く方向に移動したときに、図
３において２点鎖線で示す位置を少しでもはずれる位置
までワイヤの弛みが生じたとする。この場合、ワイヤ６
は近接センサ９の検出領域９ａから脱し、近接センサ９
はＯＦＦとなる。そこでこの信号が制御装置１１に入力
されると、モータＭを逆回転させる。これによりワイヤ
６はスプール７に巻取られる。すると今度は、スプール
７によるワイヤ６の巻取りとボンディング動作によるワ
イヤ６の消費とにより、ワイヤ６の弛み量は減少し、再
度、両近接センサ９、１０が共にＯＮになったところで
モータＭの回転は停止する。以後同様にして、ワイヤ６
の弛み量に伴う近接センサ９、１０の検出信号に基づい
て、制御装置１１はモータＭを正転、停止、逆転制御を
行なうこととなる。
ッド１がスプール７に近付く方向に移動したときに、図
３において２点鎖線で示す位置を少しでもはずれる位置
までワイヤの弛みが生じたとする。この場合、ワイヤ６
は近接センサ９の検出領域９ａから脱し、近接センサ９
はＯＦＦとなる。そこでこの信号が制御装置１１に入力
されると、モータＭを逆回転させる。これによりワイヤ
６はスプール７に巻取られる。すると今度は、スプール
７によるワイヤ６の巻取りとボンディング動作によるワ
イヤ６の消費とにより、ワイヤ６の弛み量は減少し、再
度、両近接センサ９、１０が共にＯＮになったところで
モータＭの回転は停止する。以後同様にして、ワイヤ６
の弛み量に伴う近接センサ９、１０の検出信号に基づい
て、制御装置１１はモータＭを正転、停止、逆転制御を
行なうこととなる。
【００１９】以上述べた実施例によれば、近接センサ
９、１０の検出信号に基づいて、モータＭを正逆回転制
御するようにしているため、ワイヤ６の弛み量を近接セ
ンサ９、１０により設定した領域内に維持することが可
能となり、ワイヤの位置変動幅を設定範囲内に抑えるこ
とができる。これにより、ワイヤに適正な張力を付与す
ることが可能となる。
９、１０の検出信号に基づいて、モータＭを正逆回転制
御するようにしているため、ワイヤ６の弛み量を近接セ
ンサ９、１０により設定した領域内に維持することが可
能となり、ワイヤの位置変動幅を設定範囲内に抑えるこ
とができる。これにより、ワイヤに適正な張力を付与す
ることが可能となる。
【００２０】また上記した実施例によれば、作業者によ
るワイヤ６のセッティング作業も良好に行なえる。すな
わちスプール７をセットした後、まず作業者は、ワイヤ
６の先端をワイヤガイド５、ワイヤクランパ３を通し
て、キャピラリ４まで導かなければならない。このとき
その作業性から、通常、ワイヤ６を必要以上にスプール
７から繰り出して作業を行なう。そのためこの作業が終
了した段階では、ワイヤ６には大きな弛みを有する。し
かし上記実施例においては、近接センサ１０を何かで遮
ってＯＮとすることにより、スプール７はワイヤ６を巻
取る方向に自動的に回転させられ、しかも近接センサ９
がＯＮになったところでその回転が停止させられるから
である。
るワイヤ６のセッティング作業も良好に行なえる。すな
わちスプール７をセットした後、まず作業者は、ワイヤ
６の先端をワイヤガイド５、ワイヤクランパ３を通し
て、キャピラリ４まで導かなければならない。このとき
その作業性から、通常、ワイヤ６を必要以上にスプール
７から繰り出して作業を行なう。そのためこの作業が終
了した段階では、ワイヤ６には大きな弛みを有する。し
かし上記実施例においては、近接センサ１０を何かで遮
ってＯＮとすることにより、スプール７はワイヤ６を巻
取る方向に自動的に回転させられ、しかも近接センサ９
がＯＮになったところでその回転が停止させられるから
である。
【００２１】なお弛み量の検出は、近接センサに限られ
ず、電極棒などの他の手段であってもよい。
ず、電極棒などの他の手段であってもよい。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば、ワイヤの位置変動幅を
設定範囲内に抑えることができ、これにより、ワイヤに
適正な張力を付与することができる。
設定範囲内に抑えることができ、これにより、ワイヤに
適正な張力を付与することができる。
【図１】本発明が適用されたワイヤボンディング装置の
一実施例を示す構成図である。
一実施例を示す構成図である。
【図２】図１に示したワイヤボンディング装置の制御系
のブロック図である。
のブロック図である。
【図３】図１における部分拡大図である。
１ ボンディングヘッド ２ ボンディングアーム ３ ワイヤクランパ ４ キャピラリ ５ ワイヤガイド ６ ワイヤ ７ スプール ８ ノズル ９ 近接センサ ９ａ 近接センサ９の検出領域 １０ 近接センサ １０ａ 近接センサ１０の検出領域 １１ 制御装置 ２０ 張力付与手段 Ｍ モータ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 スプールの回転駆動によりこのスプール
に巻回されたワイヤをキャピラリ側へ供給するワイヤボ
ンディング装置におけるワイヤ供給方法において、前記
スプールと前記キャピラリとの間に位置する前記ワイヤ
に弛みを設けるとともに、前記スプールを正逆回転制御
することにて、弛み量を所定量内に維持するようにした
ことを特徴とするワイヤボンディング装置におけるワイ
ヤ供給方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3198862A JPH0521504A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | ワイヤボンデイング装置におけるワイヤ供給方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3198862A JPH0521504A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | ワイヤボンデイング装置におけるワイヤ供給方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0521504A true JPH0521504A (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=16398161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3198862A Pending JPH0521504A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | ワイヤボンデイング装置におけるワイヤ供給方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0521504A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008057091A1 (en) * | 2006-11-09 | 2008-05-15 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Wire feed system for a wire bonding machine and configured to apply a variable tension to the wire; method of operating the same |
| JP2015026772A (ja) * | 2013-07-29 | 2015-02-05 | 三菱電機エンジニアリング株式会社 | 接続導体の接合断裁装置及び接合断裁制御方法 |
| JP2016100571A (ja) * | 2014-11-26 | 2016-05-30 | 三菱電機エンジニアリング株式会社 | 接続導体の接合断裁装置及び接合断裁制御方法 |
-
1991
- 1991-07-12 JP JP3198862A patent/JPH0521504A/ja active Pending
Cited By (3)
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