JPH0458541A - ワイヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置 - Google Patents
ワイヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置Info
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- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 11
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 4
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、ワイヤボンデインク装置におけるワイヤ供給
装置に関する。
装置に関する。
（従来の技術）
従来、ワイヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置
として、特公昭５３−１０４２３号公報に記載の如くの
ものかある。この従来技術は、ワイヤスプールのワイヤ
をボンディングツールの側に繰り出すワイヤ繰り出し駆
動部を備えるとともに、ワイヤスプールとボンディング
ツールの間のワイヤ供給経路にワイヤたるみ検出装置を
設け、ワイヤのたるみが予め定めてある適正範囲より減
少したことがワイヤたるみ検出装置により検出されたこ
とを条件に、ワイヤ繰り出し駆動部を作動させる制御装
置とを有して構成されている。
として、特公昭５３−１０４２３号公報に記載の如くの
ものかある。この従来技術は、ワイヤスプールのワイヤ
をボンディングツールの側に繰り出すワイヤ繰り出し駆
動部を備えるとともに、ワイヤスプールとボンディング
ツールの間のワイヤ供給経路にワイヤたるみ検出装置を
設け、ワイヤのたるみが予め定めてある適正範囲より減
少したことがワイヤたるみ検出装置により検出されたこ
とを条件に、ワイヤ繰り出し駆動部を作動させる制御装
置とを有して構成されている。
即ち、従来技術は、ボンディングによるワイヤの使用経
過に応してワイヤを繰り出し補給し、ワイヤ供給経路に
あるワイヤに一定の適正たるみを確保することにより、
ワイヤループ形成中のワイヤに一定の張力を及ぼし、ベ
レット側電極とり−ト側端子との間に安定したワイヤル
ープな形成しようとするものである。
過に応してワイヤを繰り出し補給し、ワイヤ供給経路に
あるワイヤに一定の適正たるみを確保することにより、
ワイヤループ形成中のワイヤに一定の張力を及ぼし、ベ
レット側電極とり−ト側端子との間に安定したワイヤル
ープな形成しようとするものである。
尚、ワイヤ供給経路上てのワイヤのたるみが過大となっ
てワイヤループ形成中のワイヤに及ぶ張力か過小となる
場合には、ワイヤループがたるんて過度に高くなったり
、横方向に傾いて隣のワイヤと短絡する虞れかある。
てワイヤループ形成中のワイヤに及ぶ張力か過小となる
場合には、ワイヤループがたるんて過度に高くなったり
、横方向に傾いて隣のワイヤと短絡する虞れかある。
（発明が解決しようとする課題）
然しなから、従来技術では、ボンディングによるワイヤ
の使用経過に応してワイヤを繰り出し補給するに際し、
ワイヤの繰り出しタイミングは、ワイヤたるみ検出装置
の検出タイミングのみにて定められ、ボンディングツー
ルがワイヤループ形成中であるか否かとは全く無関係に
定められている。
の使用経過に応してワイヤを繰り出し補給するに際し、
ワイヤの繰り出しタイミングは、ワイヤたるみ検出装置
の検出タイミングのみにて定められ、ボンディングツー
ルがワイヤループ形成中であるか否かとは全く無関係に
定められている。
このため、従来技術ては、ワイヤループ形成中に、ワイ
ヤスプールから新たなワイヤか繰り出し補給される場合
がある。そして、この場合には、ワイヤループ形成中の
ワイヤに作用していた張力か弱まり、結果としてワイヤ
ルーズのたるみが過大となり、安定したワイヤループの
形成が困難となる。
ヤスプールから新たなワイヤか繰り出し補給される場合
がある。そして、この場合には、ワイヤループ形成中の
ワイヤに作用していた張力か弱まり、結果としてワイヤ
ルーズのたるみが過大となり、安定したワイヤループの
形成が困難となる。
本発明は、ワイヤループ形成中のワイヤに可及的に一定
の張力を及ぼすことにより、安定したワイヤループを形
成することを目的とする。
の張力を及ぼすことにより、安定したワイヤループを形
成することを目的とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は、ワイヤスプールのワイヤをボンディングツー
ルの側に繰り出すワイヤ繰り出し駆動部を備えるととも
に、ワイヤスプールとボンディングツールの間のワイヤ
供給経路にワイヤたるみ検出装置を設け、ワイヤのたる
みが予め定めてある適正範囲より減少したことかワイヤ
たるみ検出装置により検出されたことを条件に、ワイヤ
繰り出し駆動部を作動させる制御装置とを有してなるワ
イヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置において
、制御装置は、ボンディングツールがベレット側電極と
ソート側端子間にワイヤループ形成中でないことを、上
記ワイヤ繰り出し駆動部を作動させるための優先条件と
するようにしだものである。
ルの側に繰り出すワイヤ繰り出し駆動部を備えるととも
に、ワイヤスプールとボンディングツールの間のワイヤ
供給経路にワイヤたるみ検出装置を設け、ワイヤのたる
みが予め定めてある適正範囲より減少したことかワイヤ
たるみ検出装置により検出されたことを条件に、ワイヤ
繰り出し駆動部を作動させる制御装置とを有してなるワ
イヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置において
、制御装置は、ボンディングツールがベレット側電極と
ソート側端子間にワイヤループ形成中でないことを、上
記ワイヤ繰り出し駆動部を作動させるための優先条件と
するようにしだものである。
（作用）
本発明によれば、ワイヤたるみ検出装置かワイヤたるみ
減少信号を出力した時ても、制御装置は、ワイヤループ
形成中てあれば、ワイヤ繰り出し駆動部を直ちには作動
させない、そして、制御装置は、上記ワイヤループの形
成か終了したことを確認した後に、ワイヤ繰り出し駆動
部を作動させてワイヤを繰り出し補給しそのたるみを適
正範囲に復元する。
減少信号を出力した時ても、制御装置は、ワイヤループ
形成中てあれば、ワイヤ繰り出し駆動部を直ちには作動
させない、そして、制御装置は、上記ワイヤループの形
成か終了したことを確認した後に、ワイヤ繰り出し駆動
部を作動させてワイヤを繰り出し補給しそのたるみを適
正範囲に復元する。
従って、本発明によれば、ワイヤループ形成中に、ワイ
ヤスプールから新たなワイヤか繰り出し補給されて、ワ
イヤループ形成中のワイヤに作用していた張力が弱まる
ことがなく、結果としてワイヤループのたるみが過大と
なフて、ワイヤループの形成を不安定とすることがない
。即ち、本発明は、ワイヤループ形成中のワイヤに可及
的に一定の張力を及ぼし、安定したワイヤループを形成
することかてきる。
ヤスプールから新たなワイヤか繰り出し補給されて、ワ
イヤループ形成中のワイヤに作用していた張力が弱まる
ことがなく、結果としてワイヤループのたるみが過大と
なフて、ワイヤループの形成を不安定とすることがない
。即ち、本発明は、ワイヤループ形成中のワイヤに可及
的に一定の張力を及ぼし、安定したワイヤループを形成
することかてきる。
（実施例）
第１図は本発明が適用されたワイヤボンディング装置を
示す模式図である。
示す模式図である。
ワイヤボンデインク装置１０は、ワイヤスプール１１に
巻かれているワイヤ１２を、ガイド装置１３、ワイヤク
ランパ１４を介してボンディングツール１５に導く。そ
して、ワイヤボンディング装置１０は、ボンディングツ
ール１５のＸ、Ｙ、Ｚ方向の移動により、ワイヤ１２を
ベレット側電極１６とリート側端子１７との間にループ
状に張り渡す。
巻かれているワイヤ１２を、ガイド装置１３、ワイヤク
ランパ１４を介してボンディングツール１５に導く。そ
して、ワイヤボンディング装置１０は、ボンディングツ
ール１５のＸ、Ｙ、Ｚ方向の移動により、ワイヤ１２を
ベレット側電極１６とリート側端子１７との間にループ
状に張り渡す。
尚、ワイヤボンディング装置１０は、ボンデインク制御
装置１８を備えており、ボンディング制御装置１８は、
予め設定されているルーピングプログラムに基づき、ボ
ンディングツールトライ八回路１９を介して、ボンディ
ングツール駆動部２０を駆動制御し、ボンディングツー
ル１５をＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動せしめる。
装置１８を備えており、ボンディング制御装置１８は、
予め設定されているルーピングプログラムに基づき、ボ
ンディングツールトライ八回路１９を介して、ボンディ
ングツール駆動部２０を駆動制御し、ボンディングツー
ル１５をＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動せしめる。
又、ワイヤボンディング装置１０は、ワイヤスプール１
１のワイヤ１２を、ボンディングツール１５の側に繰り
出すパルスモータ等のワイヤ繰り出し駆動部２１を備え
るとともに、ワイヤスプール１１とボンディングツール
１５の間のワイヤ供給経路にワイヤたるみ検出装置を設
けている。
１のワイヤ１２を、ボンディングツール１５の側に繰り
出すパルスモータ等のワイヤ繰り出し駆動部２１を備え
るとともに、ワイヤスプール１１とボンディングツール
１５の間のワイヤ供給経路にワイヤたるみ検出装置を設
けている。
尚、ワイヤたるみ検出袋ｆ２２は、具体的には、ワイヤ
たるみ減少検出センサ（例えば透過型光センサ）２２Ａ
と、ワイヤたるみ充足検出センサ（例えば透過型光セン
サ）２２Ｂとからなる。
たるみ減少検出センサ（例えば透過型光センサ）２２Ａ
と、ワイヤたるみ充足検出センサ（例えば透過型光セン
サ）２２Ｂとからなる。
そして、ワイヤたるみ減少検出センサ２２Ａは、オン時
に、ワイヤたるみ減少信号を送出し、ワイヤたるみ充足
検出センサ２２Ｂは、オン時に、ワイヤたるみ充足信号
を送出する。
に、ワイヤたるみ減少信号を送出し、ワイヤたるみ充足
検出センサ２２Ｂは、オン時に、ワイヤたるみ充足信号
を送出する。
又、ワイヤボンディング装Ｗ１０は、ワイヤ繰り出し制
御装置２３を有している。ワイヤ繰り出し制御装置２３
は、ワイヤたるみ検出装置２２の検出結果を受けて、ワ
イヤ１２のたるみが予め定めてある適正範囲より減少し
たことを条件に、ワイヤ繰り出しドライバ回路２４を介
して、ワイヤ繰り出し駆動部２１を作動させる。具体的
には、ワイヤ繰り出し制御装置２３は、ワイヤたるみ減
少検出センサ２２Ａからのワイヤたるみ減少信号を受け
てワイヤ繰り出し駆動部２１を作動開始し、ワイヤたる
み充足検出センサ２２Ｂからのワイヤたるみ充足信号を
受けてワイヤ繰り出し駆動部２１を作動停止する。
御装置２３を有している。ワイヤ繰り出し制御装置２３
は、ワイヤたるみ検出装置２２の検出結果を受けて、ワ
イヤ１２のたるみが予め定めてある適正範囲より減少し
たことを条件に、ワイヤ繰り出しドライバ回路２４を介
して、ワイヤ繰り出し駆動部２１を作動させる。具体的
には、ワイヤ繰り出し制御装置２３は、ワイヤたるみ減
少検出センサ２２Ａからのワイヤたるみ減少信号を受け
てワイヤ繰り出し駆動部２１を作動開始し、ワイヤたる
み充足検出センサ２２Ｂからのワイヤたるみ充足信号を
受けてワイヤ繰り出し駆動部２１を作動停止する。
更に、ワイヤ繰り出し制御装置２３は、ボンディングツ
ール１５がペレット側電極１６とリート側端子１７の間
にワイヤループ形成中でないことを、上記ワイヤ繰り出
し駆動部２１を作動させるための優先条件としている。
ール１５がペレット側電極１６とリート側端子１７の間
にワイヤループ形成中でないことを、上記ワイヤ繰り出
し駆動部２１を作動させるための優先条件としている。
具体的には、ワイヤ繰り出し制御装置２３は、ボンディ
ング制御装置１８からルーピンクプログラムに基づくル
ープ形成中信号を受けるように回路構成されており、こ
のループ形成中信号の受信期間内にあっては、たとえワ
イヤたるみ検出袋ｆ２２からのワイヤたるみ減少信号を
受信したとしても、ワイヤ繰り出し駆動部２１を作動さ
せないこととするのである。
ング制御装置１８からルーピンクプログラムに基づくル
ープ形成中信号を受けるように回路構成されており、こ
のループ形成中信号の受信期間内にあっては、たとえワ
イヤたるみ検出袋ｆ２２からのワイヤたるみ減少信号を
受信したとしても、ワイヤ繰り出し駆動部２１を作動さ
せないこととするのである。
尚、ボンディング装置１０にあっては、ワイヤスプール
１１とボンディングツール１５の間のワイヤ供給経路に
エアテンショナ２５を配置しである。エアテンショナ２
５は、ワイヤ１２にエアを吹き付けることにより、常に
一定のたるみをワイヤ１２に確保するとともに、ワイヤ
にパックテンションを与えている。これにより、ワイヤ
スプール１１とボンディングツール１５の間にあるワイ
ヤ１２は、ワイヤたるみ検出装置２２のワイヤたるみ減
少検出センサ２２Ａがオンしてワイヤたるみ減少信号を
送出した直後、本発明の制御によりワイヤ繰り出し駆動
部２１が直ちには作動開始されず、結果として新たなワ
イヤ１２か補給されなくても、エアテンショナ２５の存
在による最小たるみは確保され、無理な力か加わること
を防止されている。
１１とボンディングツール１５の間のワイヤ供給経路に
エアテンショナ２５を配置しである。エアテンショナ２
５は、ワイヤ１２にエアを吹き付けることにより、常に
一定のたるみをワイヤ１２に確保するとともに、ワイヤ
にパックテンションを与えている。これにより、ワイヤ
スプール１１とボンディングツール１５の間にあるワイ
ヤ１２は、ワイヤたるみ検出装置２２のワイヤたるみ減
少検出センサ２２Ａがオンしてワイヤたるみ減少信号を
送出した直後、本発明の制御によりワイヤ繰り出し駆動
部２１が直ちには作動開始されず、結果として新たなワ
イヤ１２か補給されなくても、エアテンショナ２５の存
在による最小たるみは確保され、無理な力か加わること
を防止されている。
次に、上記実施例の作用について説明する。
上記実施例によれば、ワイヤたるみ検出装置２２がワイ
ヤたるみ減少信号を出力した時でも、ワイヤ繰り出し制
御装置２３は、ワイヤループ形成中てあれば、ワイヤ繰
り出し駆動部２１を直ちには作動させない。そして、ワ
イヤ繰り出し制御装置２３は、上記ワイヤループの形成
が終了したことを確認した後に、ワイヤ繰り出し駆動部
２１を作動させてワイヤ１２を繰り出し補給しそのたる
みを適正範囲に復元する。
ヤたるみ減少信号を出力した時でも、ワイヤ繰り出し制
御装置２３は、ワイヤループ形成中てあれば、ワイヤ繰
り出し駆動部２１を直ちには作動させない。そして、ワ
イヤ繰り出し制御装置２３は、上記ワイヤループの形成
が終了したことを確認した後に、ワイヤ繰り出し駆動部
２１を作動させてワイヤ１２を繰り出し補給しそのたる
みを適正範囲に復元する。
従って、上記実施例によれば、ワイヤループ形成中に、
ワイヤスプール１１から新たなワイヤ１２か繰り出し補
給されて、ワイヤループ形成中のワイヤ１２に作用して
いた張力か弱まることかなく、結果としてワイヤループ
のたるみが過大となってワイヤループの形成を不安定と
することかない。即ち、ワイヤループ形成中のワイヤ１
２に可及的に一定の張力を及ぼし、ベレット側電極１６
とリート側端子１７の間に安定したワイヤループを形成
することかてきる。
ワイヤスプール１１から新たなワイヤ１２か繰り出し補
給されて、ワイヤループ形成中のワイヤ１２に作用して
いた張力か弱まることかなく、結果としてワイヤループ
のたるみが過大となってワイヤループの形成を不安定と
することかない。即ち、ワイヤループ形成中のワイヤ１
２に可及的に一定の張力を及ぼし、ベレット側電極１６
とリート側端子１７の間に安定したワイヤループを形成
することかてきる。
［発明の効果］
以上のように本発明によれば、ワイヤループ形成中のワ
イヤに可及的に一定の張力を・及ぼし、安定したワイヤ
ループを形成することができる。
イヤに可及的に一定の張力を・及ぼし、安定したワイヤ
ループを形成することができる。
第１図は本発明が適用されたワイヤボンディク装置を示
す模式図である。 １０・・・ワイヤボンディング装置、 １１・・・ワイヤスプール、 １２・・・ワイヤ、 １５・・・ボンディングツール、 １６・・・ベレット側電極、 １７・・・リード側端子、 ２１・・・ワイヤ繰り出し駆動部、 ２２・・・ワイヤたるみ検出装置、 ２３・・・ワイヤ繰り出し制御装置。 ン 代理人 弁理士 塩 川 修 治
す模式図である。 １０・・・ワイヤボンディング装置、 １１・・・ワイヤスプール、 １２・・・ワイヤ、 １５・・・ボンディングツール、 １６・・・ベレット側電極、 １７・・・リード側端子、 ２１・・・ワイヤ繰り出し駆動部、 ２２・・・ワイヤたるみ検出装置、 ２３・・・ワイヤ繰り出し制御装置。 ン 代理人 弁理士 塩 川 修 治
Claims (1)
- （１）ワイヤスプールのワイヤをボンディングツールの
側に繰り出すワイヤ繰り出し駆動部を備えるとともに、
ワイヤスプールとボンディングツールの間のワイヤ供給
経路にワイヤたるみ検出装置を設け、ワイヤのたるみが
予め定めてある適正範囲より減少したことがワイヤたる
み検出装置により検出されたことを条件に、ワイヤ繰り
出し駆動部を作動させる制御装置とを有してなるワイヤ
ボンディング装置におけるワイヤ供給装置において、制
御装置は、ボンディングツールがペレット側電極とリー
ド側端子間にワイヤループ形成中でないことを、上記ワ
イヤ繰り出し駆動部を作動させるための優先条件とする
ことを特徴とするワイヤボンディング装置におけるワイ
ヤ供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2168314A JPH0458541A (ja) | 1990-06-28 | 1990-06-28 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2168314A JPH0458541A (ja) | 1990-06-28 | 1990-06-28 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0458541A true JPH0458541A (ja) | 1992-02-25 |
Family
ID=15865739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2168314A Pending JPH0458541A (ja) | 1990-06-28 | 1990-06-28 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0458541A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010001140A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Brother Ind Ltd | シート材搬送装置、それを備えた画像読取装置さらに画像読取装置を備えた画像記録装置 |
-
1990
- 1990-06-28 JP JP2168314A patent/JPH0458541A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010001140A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Brother Ind Ltd | シート材搬送装置、それを備えた画像読取装置さらに画像読取装置を備えた画像記録装置 |
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