JP2513442Y2 - ワイヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置 - Google Patents
ワイヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置Info
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、半導体装置を製造するときに用いられるワ
イヤボンディングの装置のワイヤ供給装置に関するもの
である。
イヤボンディングの装置のワイヤ供給装置に関するもの
である。
従来用いられていたワイヤ供給装置の例を第５図に示
す。
す。
31はワイヤを繰り出すワイヤスプールで、ワイヤスプ
ール回転用モータ32を備え、ボンディングヘッド33に支
承されている。34はクランプ、35はボンディングアーム
36に取り付けたキャピラリ又はウェッジ（以下ボンディ
ングツールと称す）、37はワイヤガイド、38はワイヤス
プール31からワイヤガイド37に至るワイヤ経路に設けら
れたワイヤｗの繰出し量制御装置で、エア吹出し口39
と、該エア吹出し方向に延びる棒状のワイヤガイド部材
40と、ワイヤの最大撓み状態を検出するモータ停止セン
サ41と、ワイヤの最小撓み状態を検出するモータ回転セ
ンサ42を備えて構成されている。
ール回転用モータ32を備え、ボンディングヘッド33に支
承されている。34はクランプ、35はボンディングアーム
36に取り付けたキャピラリ又はウェッジ（以下ボンディ
ングツールと称す）、37はワイヤガイド、38はワイヤス
プール31からワイヤガイド37に至るワイヤ経路に設けら
れたワイヤｗの繰出し量制御装置で、エア吹出し口39
と、該エア吹出し方向に延びる棒状のワイヤガイド部材
40と、ワイヤの最大撓み状態を検出するモータ停止セン
サ41と、ワイヤの最小撓み状態を検出するモータ回転セ
ンサ42を備えて構成されている。
そして、このワイヤ繰出し量制御装置38は前記ガイド
部材40に沿って走行するワイヤｗにエアａを吹き付け、
その撓み量によりワイヤｗをワイヤスプール31から繰り
出させるものであって、モータ回転センサ42がワイヤｗ
を検出したときにモータ32をオンとしてワイヤｗを所定
量繰出し、モータ停止センサ41がワイヤｗを検出したと
きにモータ32をオフとするようにモータ回転制御機構
（図示せず）によりモータ32が制御され、センサ41,42
間の距離は、例えばワイヤスプール31による１回のワイ
ヤ繰出しで複数回のボンディングを行うことができるよ
うに設定されている。
部材40に沿って走行するワイヤｗにエアａを吹き付け、
その撓み量によりワイヤｗをワイヤスプール31から繰り
出させるものであって、モータ回転センサ42がワイヤｗ
を検出したときにモータ32をオンとしてワイヤｗを所定
量繰出し、モータ停止センサ41がワイヤｗを検出したと
きにモータ32をオフとするようにモータ回転制御機構
（図示せず）によりモータ32が制御され、センサ41,42
間の距離は、例えばワイヤスプール31による１回のワイ
ヤ繰出しで複数回のボンディングを行うことができるよ
うに設定されている。
このように、このワイヤ繰出し量制御装置38はセンサ
41,42のワイヤ検出作用によりモータ32でワイヤスプー
ル31をそれぞれ停止，回転させてワイヤｗを間欠的にボ
ンディングツール35に供給するものであって、ワイヤｗ
の撓み走行軌跡は、第５図中の２点鎖線間を往復するも
のである。
41,42のワイヤ検出作用によりモータ32でワイヤスプー
ル31をそれぞれ停止，回転させてワイヤｗを間欠的にボ
ンディングツール35に供給するものであって、ワイヤｗ
の撓み走行軌跡は、第５図中の２点鎖線間を往復するも
のである。
なお、同図中43は、ボンディングツール35としてキャ
ピラリを用いてボールボンディングを行う場合に設けら
れるハーフクランプであって、形成されたボールとキャ
ピラリとの相対位置を所定位置に規制するためのもので
ある。
ピラリを用いてボールボンディングを行う場合に設けら
れるハーフクランプであって、形成されたボールとキャ
ピラリとの相対位置を所定位置に規制するためのもので
ある。
しかしながら、上記従来のワイヤ供給装置では、モー
タ回転センサ42にワイヤ検出ミスが発生することが少な
からずあり、この場合にはワイヤスプール31が回転せ
ず、供給されるべきワイヤが供給されないためループの
突張り、ネック切れあるいはワイヤ切断などのトラブル
が発生する問題点があり、これらのトラブルは、ワイヤ
スプール31内のワイヤが殆ど全量消費されてワイヤ供給
が不能となった場合にも発生するものであり、ワイヤの
全量消費によるこのトラブルを防止するためには運転作
業者が頻繁にワイヤスプール31内のワイヤ残量を監視し
なければならないという不便，不都合があり、半導体装
置の生産性向上が難しいという問題点があった。
タ回転センサ42にワイヤ検出ミスが発生することが少な
からずあり、この場合にはワイヤスプール31が回転せ
ず、供給されるべきワイヤが供給されないためループの
突張り、ネック切れあるいはワイヤ切断などのトラブル
が発生する問題点があり、これらのトラブルは、ワイヤ
スプール31内のワイヤが殆ど全量消費されてワイヤ供給
が不能となった場合にも発生するものであり、ワイヤの
全量消費によるこのトラブルを防止するためには運転作
業者が頻繁にワイヤスプール31内のワイヤ残量を監視し
なければならないという不便，不都合があり、半導体装
置の生産性向上が難しいという問題点があった。
本考案は、エア吹出しによるワイヤ撓み量が異常値と
なったことを検出してワイヤボンディング作業を非常停
止させるボンディング非常停止センサを設けることによ
り従来装置の上記問題点を解決したものである。
なったことを検出してワイヤボンディング作業を非常停
止させるボンディング非常停止センサを設けることによ
り従来装置の上記問題点を解決したものである。
本考案は、ワイヤスプロール31回転用モータ32とワイ
ヤ繰出し量制御装置１とを備え、該ワイヤ繰出し量制御
装置１がエア吹出し口５と、ワイヤガイド部材４と、ワ
イヤ検出手段６と、ボンディング非常停止センサ７と、
前記ワイヤ検出手段６により前記モータ32を回転制御す
る機構とを備えてなるワイヤボンディング装置における
ワイヤ供給装置であって、 前記ワイヤ検出手段６およびボンディング非常停止セ
ンサ７が、中心に発光軸を、その周囲に複数の受光軸を
配設した光センサで構成され、 前記ワイヤガイド部材４が２枚の対向板21，22で構成
され、一方の対向板21に前記ワイヤ検出手段６およびボ
ンディング非常停止センサ７を構成する光センサが間隔
をおいて配設され、他方の対向板22には前記各光センサ
と対向して貫通孔32，32が設けられ、該貫通孔32，32は
カバー部材８で遮蔽されていることを特徴とするワイヤ
ボンディング装置におけるワイヤ供給装置である。
ヤ繰出し量制御装置１とを備え、該ワイヤ繰出し量制御
装置１がエア吹出し口５と、ワイヤガイド部材４と、ワ
イヤ検出手段６と、ボンディング非常停止センサ７と、
前記ワイヤ検出手段６により前記モータ32を回転制御す
る機構とを備えてなるワイヤボンディング装置における
ワイヤ供給装置であって、 前記ワイヤ検出手段６およびボンディング非常停止セ
ンサ７が、中心に発光軸を、その周囲に複数の受光軸を
配設した光センサで構成され、 前記ワイヤガイド部材４が２枚の対向板21，22で構成
され、一方の対向板21に前記ワイヤ検出手段６およびボ
ンディング非常停止センサ７を構成する光センサが間隔
をおいて配設され、他方の対向板22には前記各光センサ
と対向して貫通孔32，32が設けられ、該貫通孔32，32は
カバー部材８で遮蔽されていることを特徴とするワイヤ
ボンディング装置におけるワイヤ供給装置である。
ワイヤｗをワイヤ繰出し量制御装置１のワイヤ検出手
段６より下方に撓んだ状態にセットし、ワイヤボンディ
ング作業を開始すると、撓んだワイヤｗは徐々に上方に
移動し、ワイヤ検出手段６でワイヤｗが検出されること
になり、ワイヤスプール回転用モータ32が作動し、ワイ
ヤｗが繰り出されてワイヤｗ撓み量が増大する。その結
果、ワイヤ検出手段６でワイヤｗが検出されなくなり、
ワイヤスプール回転用モータ32は停止する。この動作を
繰り返し、ワイヤボンディングが行われる。
段６より下方に撓んだ状態にセットし、ワイヤボンディ
ング作業を開始すると、撓んだワイヤｗは徐々に上方に
移動し、ワイヤ検出手段６でワイヤｗが検出されること
になり、ワイヤスプール回転用モータ32が作動し、ワイ
ヤｗが繰り出されてワイヤｗ撓み量が増大する。その結
果、ワイヤ検出手段６でワイヤｗが検出されなくなり、
ワイヤスプール回転用モータ32は停止する。この動作を
繰り返し、ワイヤボンディングが行われる。
ところが、ワイヤ検出手段６の作動不良やワイヤスプ
ール31にワイヤｗの残存が無くなったときは、ワイヤ繰
出し量制御装置１のワイヤ検出手段６を越えて繰出しワ
イヤｗに撓みがなくなり、ワイヤｗ切断となるが、ワイ
ヤｗに若干の撓みがある状態の位置にボンディング非常
停止センサ７を設け、該非常停止センサ７がワイヤｗを
検出したとき、ボンディング作業を停止させるものであ
る。
ール31にワイヤｗの残存が無くなったときは、ワイヤ繰
出し量制御装置１のワイヤ検出手段６を越えて繰出しワ
イヤｗに撓みがなくなり、ワイヤｗ切断となるが、ワイ
ヤｗに若干の撓みがある状態の位置にボンディング非常
停止センサ７を設け、該非常停止センサ７がワイヤｗを
検出したとき、ボンディング作業を停止させるものであ
る。
そして、ワイヤ検出手段６およびボンディング非常停
止センサ７を光センサで構成するとともに、ワイヤガイ
ド部材４を２枚の対向板21，22で構成し、一方の対向板
21にワイヤ検出手段６およびボンディング非常停止セン
サ７を上下に間隔をおいて配設し、他方の対向板22には
対向させて貫通孔32，32を形成するとともに、貫通孔
32，32をカバー部材８で遮蔽するため、誤作動を生じる
こと無く検出でき高い信頼性が得られる。
止センサ７を光センサで構成するとともに、ワイヤガイ
ド部材４を２枚の対向板21，22で構成し、一方の対向板
21にワイヤ検出手段６およびボンディング非常停止セン
サ７を上下に間隔をおいて配設し、他方の対向板22には
対向させて貫通孔32，32を形成するとともに、貫通孔
32，32をカバー部材８で遮蔽するため、誤作動を生じる
こと無く検出でき高い信頼性が得られる。
また、請求項２に示すとおり、ワイヤ繰出し量制御装
置１とワイヤボンディング装置のボンディングツール35
との間に、ワイヤ摩擦装置21とエア吹付けによる張力付
与装置26を設けることにより、ワイヤｗに最適の張力を
もたせた状態でワイヤｗの供給を行うことができ、常に
最適形状のボンディングループを形成することができ
る。
置１とワイヤボンディング装置のボンディングツール35
との間に、ワイヤ摩擦装置21とエア吹付けによる張力付
与装置26を設けることにより、ワイヤｗに最適の張力を
もたせた状態でワイヤｗの供給を行うことができ、常に
最適形状のボンディングループを形成することができ
る。
本考案の実施例を図面に基づいて説明すると、ワイヤ
供給装置の全体構造は第５図の従来例と同様であり、ワ
イヤ繰出し量制御装置１の構造が相違している。
供給装置の全体構造は第５図の従来例と同様であり、ワ
イヤ繰出し量制御装置１の構造が相違している。
すなわち、第１図および第２図に示すように、ワイヤ
繰出し量制御装置１は、一方の対向板21にその長手方向
に互いに離隔して貫通孔31を二つ形成し、他方の対向板
22にもその長手方向に互いに離隔して貫通孔32を二つ形
成すると共に、これら対向板21，22を前記貫通孔31と32
が互いに離隔対向するように対向せしめて対向板21，22
間の間隙にワイヤｗを走行可能としたワイヤガイド部材
４と、このワイヤガイド部材４の断面ハ字状に拡開した
ワイヤ導入口部にこのワイヤガイド部材４の長手方向に
沿わしめて設けたエア吹出し口５と、一方の対向板21の
貫通孔31，31にそれぞれ先端部を臨ましめた、ワイヤセ
ンサ６およびボンディング非常停止センサ７と、他方の
対向板22の貫通孔32，32をワイヤガイド部材４の外側か
ら遮蔽する、内面黒色のカバー部材８と、前記ワイヤセ
ンサ６の回転制御機構（図示せず）とにより構成されて
いる。
繰出し量制御装置１は、一方の対向板21にその長手方向
に互いに離隔して貫通孔31を二つ形成し、他方の対向板
22にもその長手方向に互いに離隔して貫通孔32を二つ形
成すると共に、これら対向板21，22を前記貫通孔31と32
が互いに離隔対向するように対向せしめて対向板21，22
間の間隙にワイヤｗを走行可能としたワイヤガイド部材
４と、このワイヤガイド部材４の断面ハ字状に拡開した
ワイヤ導入口部にこのワイヤガイド部材４の長手方向に
沿わしめて設けたエア吹出し口５と、一方の対向板21の
貫通孔31，31にそれぞれ先端部を臨ましめた、ワイヤセ
ンサ６およびボンディング非常停止センサ７と、他方の
対向板22の貫通孔32，32をワイヤガイド部材４の外側か
ら遮蔽する、内面黒色のカバー部材８と、前記ワイヤセ
ンサ６の回転制御機構（図示せず）とにより構成されて
いる。
前記ボンディング非常停止センサ７およびワイヤセン
サ６は同軸型の光センサであって、第１図に示す通りこ
の順にかつエア吹出し口５からのエアａの吹出しの向き
に配列されている。この同軸型光センサ６（７）は、第
３図に示すように中心部に発光軸61（71）を、その周囲
に受光軸62（72）を複数環状に設けた反射式の光センサ
であって、走行するワイヤに発光軸61（71）からの光を
当て、その反射光を受光軸62（72）で受光することによ
りワイヤを検出するものである。
サ６は同軸型の光センサであって、第１図に示す通りこ
の順にかつエア吹出し口５からのエアａの吹出しの向き
に配列されている。この同軸型光センサ６（７）は、第
３図に示すように中心部に発光軸61（71）を、その周囲
に受光軸62（72）を複数環状に設けた反射式の光センサ
であって、走行するワイヤに発光軸61（71）からの光を
当て、その反射光を受光軸62（72）で受光することによ
りワイヤを検出するものである。
しかして、前記ボンディング非常停止センサ７は、こ
れがワイヤｗを検出すると速やかにボンディング装置の
運転つまりボンディング作業を停止するように制御装置
（図示せず）に信号を送るもので、上記の通り前記ワイ
ヤセンサ６に比べてエア吹出し口５に、より近接した位
置に配置してある。すなわち、ボンディング非常停止セ
ンサ７の位置は、これがワイヤｗを検出するときのワイ
ヤ撓み量が、ワイヤセンサ６がワイヤｗを検出するとき
のワイヤ撓み量より小さい位置に、かつこのボンディン
グ非常停止センサ７がワイヤｗを検出したときの撓み状
態から、ワイヤｗが第１図破線l4で示すワイヤ緊張状態
になる時点まで例えば３〜５ワイヤ分のボンディングが
可能となるように余裕をもたせた位置に設定されてい
る。
れがワイヤｗを検出すると速やかにボンディング装置の
運転つまりボンディング作業を停止するように制御装置
（図示せず）に信号を送るもので、上記の通り前記ワイ
ヤセンサ６に比べてエア吹出し口５に、より近接した位
置に配置してある。すなわち、ボンディング非常停止セ
ンサ７の位置は、これがワイヤｗを検出するときのワイ
ヤ撓み量が、ワイヤセンサ６がワイヤｗを検出するとき
のワイヤ撓み量より小さい位置に、かつこのボンディン
グ非常停止センサ７がワイヤｗを検出したときの撓み状
態から、ワイヤｗが第１図破線l4で示すワイヤ緊張状態
になる時点まで例えば３〜５ワイヤ分のボンディングが
可能となるように余裕をもたせた位置に設定されてい
る。
前記ワイヤガイド部材４およびカバー部材８は、前記
各センサ6,7によるワイヤ検出機能を向上させるための
ものであり、ワイヤガイド部材４は各センサ6,7近傍を
走行するワイヤｗの振動を抑制してワイヤｗを安定した
状態で走行させ、また前記カバー部材８は、作業者の手
や周辺装置，部材等から反射光、あるいはワイヤｗから
の反射光と同一波長の光が各センサ6,7の受光軸62，72
に乱入するのを防止するためのものであり、カバー部材
８の内面を黒色としたのは、該内面からの反射光による
外乱を最小限にするためである。
各センサ6,7によるワイヤ検出機能を向上させるための
ものであり、ワイヤガイド部材４は各センサ6,7近傍を
走行するワイヤｗの振動を抑制してワイヤｗを安定した
状態で走行させ、また前記カバー部材８は、作業者の手
や周辺装置，部材等から反射光、あるいはワイヤｗから
の反射光と同一波長の光が各センサ6,7の受光軸62，72
に乱入するのを防止するためのものであり、カバー部材
８の内面を黒色としたのは、該内面からの反射光による
外乱を最小限にするためである。
したがって、このような構造のワイヤ繰出し制御装置
１ではワイヤ検出機能が著しく向上し、直径30μｍ以下
程度のワイヤを精確に検出できるものである。
１ではワイヤ検出機能が著しく向上し、直径30μｍ以下
程度のワイヤを精確に検出できるものである。
しかして、ワイヤボンディング作業時においてワイヤ
センサ６がワイヤｗを検出すると、前記回転制御機構か
らの信号によりモータ32が回転してワイヤｗの繰出しが
行われ、該繰出しの継続によりエア吹出し口５からのエ
アａによるワイヤ撓み量が増大してワイヤがワイヤセン
サ６で検出されなくなると、前記回転制御機構からの信
号によりモータ32が停止する。この状態でワイヤボンデ
ィングが継続されてワイヤｗの撓み量が減少し、やがて
ワイヤセンサ６がワイヤｗを検出すると再びモータ32が
回転しワイヤｗが繰り出される。
センサ６がワイヤｗを検出すると、前記回転制御機構か
らの信号によりモータ32が回転してワイヤｗの繰出しが
行われ、該繰出しの継続によりエア吹出し口５からのエ
アａによるワイヤ撓み量が増大してワイヤがワイヤセン
サ６で検出されなくなると、前記回転制御機構からの信
号によりモータ32が停止する。この状態でワイヤボンデ
ィングが継続されてワイヤｗの撓み量が減少し、やがて
ワイヤセンサ６がワイヤｗを検出すると再びモータ32が
回転しワイヤｗが繰り出される。
このようにして、このワイヤ供給装置の定常運転時に
おいては、ワイヤｗはワイヤガイド部材４内を通って間
欠的にボンディングツール35に供給され、ワイヤｗの走
行軌跡は第１図中の曲線l1，l2間を往復するものである
が、曲線l1はワイヤセンサ６の位置より少なくともボン
ディング回数５〜６以上の撓みをもたせてある。
おいては、ワイヤｗはワイヤガイド部材４内を通って間
欠的にボンディングツール35に供給され、ワイヤｗの走
行軌跡は第１図中の曲線l1，l2間を往復するものである
が、曲線l1はワイヤセンサ６の位置より少なくともボン
ディング回数５〜６以上の撓みをもたせてある。
また、ワイヤセンサ６のワイヤ検出機能不良によりモ
ータ32が回転せずワイヤｗの撓み量が減少してワイヤｗ
がボンディング非常停止センサ７により検出されると
（ワイヤｗの走行軌跡が第１図の曲線l3で示すとおりに
なると）、該センサ７からの信号によりボンディング装
置の運転が非常停止して前記ループの突張り等のトラブ
ルが防止される。
ータ32が回転せずワイヤｗの撓み量が減少してワイヤｗ
がボンディング非常停止センサ７により検出されると
（ワイヤｗの走行軌跡が第１図の曲線l3で示すとおりに
なると）、該センサ７からの信号によりボンディング装
置の運転が非常停止して前記ループの突張り等のトラブ
ルが防止される。
次に、第４図は本考案の別の実施例を示すもので、第
１図の実施例においてワイヤ繰出し量制御装置１とボン
ディングツール35との間に、ワイヤｗに摩擦抵抗を与え
る摩擦装置21を設けると共に、該摩擦装置21とボンディ
ングツール35との間に、ワイヤｗにエア吹出し口25から
エアａを吹き付けてこれに張力を与える張力付与装置26
を設けたものである。なお、第４図中27は棒状のガイド
部材である。
１図の実施例においてワイヤ繰出し量制御装置１とボン
ディングツール35との間に、ワイヤｗに摩擦抵抗を与え
る摩擦装置21を設けると共に、該摩擦装置21とボンディ
ングツール35との間に、ワイヤｗにエア吹出し口25から
エアａを吹き付けてこれに張力を与える張力付与装置26
を設けたものである。なお、第４図中27は棒状のガイド
部材である。
前記摩擦装置21は、位置が固定されかつ回転しない円
筒体22と、偏心軸231を有する円筒体23を対向配置して
なり、ワイヤｗを円筒体22,23の周面に屈曲接触走行さ
せてワイヤ繰出し量制御装置１と張力付与装置26との間
のワイヤｗに摩擦抵抗を与えることによって、ワイヤ繰
出し量制御装置１によるワイヤｗの撓みが張力付与装置
26に悪影響を及ぼさないようにするためのものであり、
円筒体23を前記偏心軸231を中心として回転させ、円筒
体22,23間の間隔および円筒体22と23との配置傾斜角度
を調節すれば、ワイヤｗに与える摩擦力を増減すること
が可能である。
筒体22と、偏心軸231を有する円筒体23を対向配置して
なり、ワイヤｗを円筒体22,23の周面に屈曲接触走行さ
せてワイヤ繰出し量制御装置１と張力付与装置26との間
のワイヤｗに摩擦抵抗を与えることによって、ワイヤ繰
出し量制御装置１によるワイヤｗの撓みが張力付与装置
26に悪影響を及ぼさないようにするためのものであり、
円筒体23を前記偏心軸231を中心として回転させ、円筒
体22,23間の間隔および円筒体22と23との配置傾斜角度
を調節すれば、ワイヤｗに与える摩擦力を増減すること
が可能である。
また、この摩擦装置21は、例えばワイヤ繰出し量制御
装置１およびワイヤスプール31をボンディングヘッド33
に搭載せずに設けた場合において、XYテーブル等（図示
せず）によりボンディングヘッド33が移動したときに摩
擦装置21とワイヤガイド37との間のワイヤｗが突張るこ
となくこれをボンディングツール35に供給することが可
能となる利点もある。
装置１およびワイヤスプール31をボンディングヘッド33
に搭載せずに設けた場合において、XYテーブル等（図示
せず）によりボンディングヘッド33が移動したときに摩
擦装置21とワイヤガイド37との間のワイヤｗが突張るこ
となくこれをボンディングツール35に供給することが可
能となる利点もある。
前記張力付与装置26は、第１ボンディング時における
ボールをボンディングツール35すなわちキャピラリに吸
着させるための補助装置であり、またワイヤボンディン
グの第１ボンディング部から第２ボンディング部への移
動の間つまりループ形成時のワイヤ張力を好適値に保つ
ためのものである。
ボールをボンディングツール35すなわちキャピラリに吸
着させるための補助装置であり、またワイヤボンディン
グの第１ボンディング部から第２ボンディング部への移
動の間つまりループ形成時のワイヤ張力を好適値に保つ
ためのものである。
このように、第４図の実施例では摩擦装置21および張
力付与装置26を設けたので、ワイヤの繰出し量に影響さ
れることなく、ワイヤに常に最適の張力をもたせた状態
でワイヤを供給することができ、ボンディングに際し第
１ボンディング部と第２ボンディング部とをボンディン
グするワイヤに切れやタレ，カールなどが発生すること
なく、常に最適のループ形状に形成することができる。
力付与装置26を設けたので、ワイヤの繰出し量に影響さ
れることなく、ワイヤに常に最適の張力をもたせた状態
でワイヤを供給することができ、ボンディングに際し第
１ボンディング部と第２ボンディング部とをボンディン
グするワイヤに切れやタレ，カールなどが発生すること
なく、常に最適のループ形状に形成することができる。
請求項１の考案では、ワイヤ繰出し量制御装置にボン
ディング非常停止センサを設けたので、ループの突張
り、ネック切れ、ワイヤ切断等のトラブルを未然に防止
することができ、また、ワイヤが全量消費されたことは
ワイヤボンディング装置の運転停止により作業者が認識
できるので、ワイヤスプール内ワイヤの残量を頻繁に監
視する必要がなくなり、また、ワイヤを誤作動を生じる
ことなく検出でき、高い信頼性が得られる。
ディング非常停止センサを設けたので、ループの突張
り、ネック切れ、ワイヤ切断等のトラブルを未然に防止
することができ、また、ワイヤが全量消費されたことは
ワイヤボンディング装置の運転停止により作業者が認識
できるので、ワイヤスプール内ワイヤの残量を頻繁に監
視する必要がなくなり、また、ワイヤを誤作動を生じる
ことなく検出でき、高い信頼性が得られる。
そして、請求項２記載の考案は、ワイヤに適正な張力
を付与でき、最適形状のボンディングループを形成でき
る。
を付与でき、最適形状のボンディングループを形成でき
る。
第１図乃至第３図は本考案一実施例を示すもので、第１
図はワイヤ供給装置の正面図、第２図はワイヤ繰出し量
制御装置の横断面図であって第１図II-II線による断面
図、第３図はワイヤセンサおよびボンディング非常停止
センサの端面図、第４図は別の実施例に係るワイヤ供給
装置の正面図、第５図は従来例のワイヤ供給装置の正面
図である。 1,38……ワイヤ繰出し量制御装置、21，22……対向板、
31，32……貫通孔、4,27,40……ワイヤガイド部材、5,2
5,39……エア吹出し口、６……ワイヤセンサ、７……ボ
ンディング非常停止センサ、61，71……発光軸、62，72
……受光軸、８……カバー部材、21……摩擦装置、22,2
3……円筒体、231……偏心軸、26……張力付与装置、11
……ワイヤスプール、32……モータ、33……ボンディン
グヘッド、34……クランプ、35……ボンディングツー
ル、36……ボンディングアーム、37……ワイヤガイド、
41……モータ停止センサ、42……モータ回転センサ、43
……ハーフクランプ、ａ……エア、ｗ……ワイヤ。
図はワイヤ供給装置の正面図、第２図はワイヤ繰出し量
制御装置の横断面図であって第１図II-II線による断面
図、第３図はワイヤセンサおよびボンディング非常停止
センサの端面図、第４図は別の実施例に係るワイヤ供給
装置の正面図、第５図は従来例のワイヤ供給装置の正面
図である。 1,38……ワイヤ繰出し量制御装置、21，22……対向板、
31，32……貫通孔、4,27,40……ワイヤガイド部材、5,2
5,39……エア吹出し口、６……ワイヤセンサ、７……ボ
ンディング非常停止センサ、61，71……発光軸、62，72
……受光軸、８……カバー部材、21……摩擦装置、22,2
3……円筒体、231……偏心軸、26……張力付与装置、11
……ワイヤスプール、32……モータ、33……ボンディン
グヘッド、34……クランプ、35……ボンディングツー
ル、36……ボンディングアーム、37……ワイヤガイド、
41……モータ停止センサ、42……モータ回転センサ、43
……ハーフクランプ、ａ……エア、ｗ……ワイヤ。
Claims (2)
- 【請求項１】ワイヤスプロール31回転用モータ32とワイ
ヤ繰出し量制御装置１とを備え、該ワイヤ繰出し量制御
装置１がエア吹出し口５と、ワイヤガイド部材４と、ワ
イヤ検出手段６と、ボンディング非常停止センサ７と、
前記ワイヤ検出手段６により前記モータ32を回転制御す
る機構とを備えてなるワイヤボンディング装置における
ワイヤ供給装置であって、 前記ワイヤ検出手段６およびボンディング非常停止セン
サ７が、中心に発光軸を、その周囲に複数の受光軸を配
設した光センサで構成され、 前記ワイヤガイド部材４が２枚の対向板21，22で構成さ
れ、一方の対向板21に前記ワイヤ検出手段６およびボン
ディング非常停止センサ７を構成する光センサが間隔を
おいて配設され、他方の対向板22には前記各光センサと
対向して貫通孔32，32が設けられ、該貫通孔32，32はカ
バー部材８で遮蔽されていることを特徴とするワイヤボ
ンディング装置におけるワイヤ供給装置。 - 【請求項２】前記ワイヤ繰出し量制御装置１とワイヤボ
ンディング装置のボンディングツール35との間に、ワイ
ヤ摩擦装置21とエア吹付けによる張力付与装置26を設け
た請求項１記載のワイヤボンディング装置におけるワイ
ヤ供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990097276U JP2513442Y2 (ja) | 1990-09-18 | 1990-09-18 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990097276U JP2513442Y2 (ja) | 1990-09-18 | 1990-09-18 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0459140U JPH0459140U (ja) | 1992-05-21 |
| JP2513442Y2 true JP2513442Y2 (ja) | 1996-10-09 |
Family
ID=31837508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990097276U Expired - Fee Related JP2513442Y2 (ja) | 1990-09-18 | 1990-09-18 | ワイヤボンディング装置におけるワイヤ供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2513442Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60262435A (ja) * | 1984-06-08 | 1985-12-25 | Nec Kyushu Ltd | 半導体組立装置におけるボンデイングワイヤ−供給装置 |
| JPH02137343A (ja) * | 1988-11-18 | 1990-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ワイヤ送り装置 |
-
1990
- 1990-09-18 JP JP1990097276U patent/JP2513442Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0459140U (ja) | 1992-05-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |