JP3757852B2 - Tcp用ハンドラ及びtcpテープの走行方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数がテープ状に連設されたTCP(tape carrier package)中の各半導体チップをプローブカードに順次接続させるTCP用ハンドラ及びTCPテープの走行方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
周知のようにTCPは、TAB(tape automated bonding)技術を用いることによりフィルム上にICチップを実装したものであり、実際にプリント基板に搭載される前の搬送段階では、複数が連接されたテープ形態となっている。図3は、このようなテープ形態のTCP(以下、TCPテープという。)の正面図である。TCPテープXは、複数連接されたTCP10の両側に帯状の移送補助部10Aが設けられている。各TCP10には、フィルム基板10aの周縁に複数のテストパッド10bが形成されると共にその中心にICチップ10cが配置され、各テストパッド10bとICチップ10c上の各パッドとがエッチング形成されたリード線10dによって相互接続されている。また、移送補助部10Aは、上記フィルム基板10aと同様のフィルムから構成されており、TCPテープXを長手方向に順次移送するためのスプロケット孔10eが一定間隔で形成されている。
【0003】
このようなTCPテープXは、専用のTCP用ハンドラによって長手方向に順次間欠送りされつつ、各TCP10のテストパッド10bが半導体集積回路試験装置に接続されたプローブカードに接触接続されて所定の機能試験が行われる。例えば、特開2001−311761号公報には、このようなTCP用ハンドラ(TAB用オートハンドラ)に関する技術が開示されている。このTAB用オートハンドラでは、TABテープ(TCPテープ)の走行経路の一部をプッシャで上下動させることによりTABテープ上の各ICチップをプローブカードに接触接続すると共に、上記プッシャの前後に設けられた供給側テンションガイドと収容側テンションガイドによってTABテープに常に一定のテンションが掛かるように構成されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来のTCP用ハンドラでは、TCPテープに供給側テンションガイド及び収容側テンションガイドによってテンションを加える構成のため、薄型のフィルム基板を採用するTCPテープを安定して走行させることが困難である。このような薄型のTCPテープを走行させた場合、上記テンションに起因してTCPテープあるいは各TCPにストレスを与える。
【0005】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、走行時にTCPテープに加えるストレスを低減することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、TCP用ハンドラに係わる第1の手段として、TCPがテープ状に複数連設されたTCPテープを順次間欠走行させ、走行経路の途中に設けられた測定部をTCPテープの表面に対して直行する方向に移動させて各TCP中の各半導体チップを対向するプローブカードに順次接触接続させるTCP用ハンドラであって、測定部の前後にTCPテープの撓み部を形成すると共に、該撓み部の前後におけるTCPテープの走行をスプロケットによって行うという手段を採用する。
【0007】
また、TCP用ハンドラに係わる第2の手段として、上記第1の手段において、測定部前後にTCPテープに対して前進/後退自在な撓み形成部材を設けるという手段を採用する。
【0008】
TCP用ハンドラに係わる第3の手段として、上記第1または第2の手段において、測定部は、プローブカードの対向面内におけるTCPの角度を調節する角度アライメント機構を備えるという手段を採用する。
【0009】
一方、本発明では、TCPテープの走行方法に係わる第1の手段として、TCPがテープ状に複数連設されたTCPテープを順次間欠走行させ、走行経路の途中に設けられた測定部をTCPテープの表面に対して直行する方向に移動させて各TCP中の各半導体チップを対向するプローブカードに順次接触接続させるTCP用ハンドラにおける前記TCPテープの走行方法であって、測定部の前後にTCPテープの撓み部を形成すると共に、該撓み部の前後におけるTCPテープの走行をスプロケットによって行うという手段を採用する。
【0010】
また、TCPテープの走行方法に係わる第2の手段として、上記第1の手段において、測定部の前後にTCPテープに対して前進/後退自在な撓み形成部材を設けることにより撓み部を形成するという手段を採用する。
【0011】
TCPテープの走行方法に係わる第3の手段として、上記第1または第2の手段において、測定部においてプローブカードの対向面内におけるTCPの角度を調節するという手段を採用する。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明に係わるTCP用ハンドラ及びTCPテープの走行方法の一実施形態について説明する。なお、以下の説明では、TCPテープについては、図3を用いて既に説明しているので説明を省略する。
【0013】
図1は、本実施形態に係わるTCP用ハンドラの走行系を示す正面図である。この図1において、符号XはTCPテープ、1Aは供給リール、1Bは収容リール、2A〜2Fはスプロケット、3A〜3Fはスプロケットガイド、4は測定部、5はフローブカード、6Aは入口側センサ、6Bは出口側センサ、7A,7Bは撓み形成部材、またT1,T2はTCPテープXの撓み部である。なお、以下の説明では、各スプロケット2A〜2Fのうち、スプロケット2Bを供給側スプロケット、スプロケット2Cを入口側スプロケット、スプロケット2Dを出口側スプロケット、スプロケット2Eを収容側スプロケットという。
【0014】
供給リール1Aには試験前のTCPテープXが巻回されており、このTCPテープXは、各スプロケット2A〜2Fの回動によって順次引き出されて測定部4に移送され、この測定部4によって各TCP10の試験が行われた後に、収容リール1Bに順次巻き取られる。収容リール1Bは、測定部4による試験済みのTCPテープXを巻き取る。スプロケット2A〜2Fは、図示しない制御装置によって同期回転するように制御され、TCPテープXを上記供給リール1Aから収容リール1Bに向けて順次間欠走行させる。
【0015】
このような各スプロケット2A〜2Fのうち、スプロケット2Aは供給リール1Aに最も近い位置に設けられ、供給側スプロケット2Bは、TCPテープXの走行方向(供給リール1A→収容リール1B)から見た場合に、測定部4に対する入口側に設けられている。また、スプロケット2C,2Dは測定部4の一部を構成するものであり、このうち入口側スプロケット2CはTCPテープXの入口側に、出口側スプロケット2Dは、TCPテープXの出口側にそれぞれ設けられている。さらに、収容側スプロケット2Eは、測定部4に対する出口側に設けられ、スプロケット2Fは、収容リール1Bに最も近い位置に設けられている。
【0016】
スプロケットガイド3A〜3Fは、このような各スプロケット2A〜2Fに対して設けられており、TCPテープXを各々に対応するスプロケット2A〜2Fに圧接するために設けられている。
【0017】
測定部4は、上下動自在に構成されており、間欠走行するTCPテープX上の各TCP10を下方に設けられたフローブカード5に順次押圧する。すなわち、この測定部4は、TCPテープXが間欠的に停止する度に降下してフローブカード5の直上に位置するTCP10の各テストパッド10bをフローブカード5上に設けられた各測定ピンに接触接続させる。この際、TCP10は、上記スプロケット2C,2Dによって前後が支持された状態で上下動する。フローブカード5は、半導体集積回路試験装置に接続されており、テストパッド10bが上記測定部4においてフローブカード5に接触接続されたTCP10は、半導体集積回路試験装置によって動作試験される。なお、図1は、測定部4が降下した状態を示している。
【0018】
入口側センサ6Aは、TCPテープXの走行経路においてスプロケット2Aと供給側スプロケット2Bとの間に設けられ、試験前の各TCP10上の半導体チップ10cの存在を検出する。この入口側センサ6Aによって半導体チップ10cの存在が検出されたTCP10のみが測定部4によってフローブカード5に押圧される。また、出口側センサ6Bは、走行経路において収容側スプロケット2Eとスプロケット2Fとの間に設けられ、試験後の各TCP10上の半導体チップ10cの存在を検出する。この図では省略されているが、この出口側センサ6Bと収容側スプロケット2Eとの間にはパンチユニットが設けられており、不良な半導体チップ10cを有するTCP10は、当該パンチユニットによってTCPテープX上から例えば除去されるようになっている。出口側センサ6Bは、上記パンチユニットによって不良な半導体チップ10cが正常に除去されているか否かを検出するために設けられている。
【0019】
2つの撓み形成部材7A,7Bのうち、一方の撓み形成部材7Aは、TCPテープXの走行経路において供給側スプロケット2Bと入口側スプロケット2Cとの間に設けられ、もう一方の撓み形成部材7Bは、同じくTCPテープXの走行経路において出口側スプロケット2Dと収容側スプロケット2Eとの間に設けられている。これら各撓み形成部材7A,7Bは、図2に示すように、TCPテープXに撓み部T1,T2を形成するためにTCPテープXに対して前進/後退するように設けられている。すなわち、各撓み形成部材7A,7Bを前進させた状態でTCPテープXを架け回すことにより、TCPテープXに撓み部T1,T2が形成される。なお、図1では、各撓み形成部材7A,7BがTCPテープXに対して前進した状態を示している。
【0020】
次に、このように構成されたTCP用ハンドラの動作について、詳しく説明する。
【0021】
各TCP10を半導体集積回路試験装置で試験する場合、供給リール1Aから引き出されたTCPテープXは、図1に示すようにスプロケット2A→供給側スプロケット2B→入口側スプロケット2C→出口側スプロケット2D→収容側スプロケット2E→スプロケット2Fを経由して収容リール1Bに架け回される。
【0022】
そして、この際に撓み形成部材7A,7BをTCPテープXに対して前進させておき、上記架け回しが完了した時点で各撓み形成部材7A,7Bを後退させることにより、図2に示すように測定部4の前後、つまり供給側スプロケット2Bと入口側スプロケット2Cとの間及び出口側スプロケット2Dと収容側スプロケット2Eとの間には、TCPテープXの撓み部T1,T2が形成される。これら撓み部T1,T2は、スプロケット2A〜2Fが全て同期回転してTCPテープXが走行するので、これ以降、TCPテープXが順次間欠走行して各TCP10が試験される間維持される。
【0023】
すなわち、各撓み部T1,T2におけるTCPテープXの撓み量は、測定部4が上下動してもTCPテープXが長手方向に引っ張られることがないように設定されているので、TCPテープX走行時に長手方向に余計なテンションを与えることなくTCPテープXを走行させることができる。
【0024】
また、測定部4の前後に、このような撓み部T1,T2を形成することにより、測定部4の運動方向に自由度が生じる。すなわち、撓み部T1,T2を設けることにより、角度アライメント機構を測定部4側に設けることが可能となる。この角度アライメント機構は、TCP10(つまりTCPテープX)のプローブカード5の対向面内における角度を調節する機構であり、各TCP10のテストパッド10bとフローブカード5の測定ピンとの位置決めを確立するためものである。
【0025】
すなわち、従来のTCP用ハンドラでは、角度アライメント機構がフローブカード5側に設けられていたが、本実施形態のTCP用ハンドラでは、撓み部T1,T2を設けることにより、TCPテープXにテンションを与えることなく、測定部4側でTCP10のフローブカード5に対する角度を調節することが可能となる。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、TCPがテープ状に複数連設されたTCPテープを順次間欠走行させ、走行経路の途中に設けられた測定部をTCPテープの表面に対して直行する方向に移動させて各TCP中の各半導体チップを対向するプローブカードに順次接触接続させるTCP用ハンドラであって、測定部の前後にTCPテープの撓み部を形成すると共に、該撓み部の前後におけるTCPテープの走行をスプロケットによって行うので、すなわち測定部の前後に従来のようなテンションガイドを用いてテンションを付加することなく、スプロケットによってTCPテープを走行させるので、走行時にTCPテープに加えるストレスを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態に係わるTCP用ハンドラの走行系を示す正面図である。
【図2】 本発明の一実施形態における撓み部T1,T2の形成を示す説明図である。
【図3】 本発明及び従来のTCPテープXの構成図である。
【符号の説明】
1A……供給リール
1B……収容リール
2A〜2F……スプロケット
3A〜3F……スプロケットガイド
4……測定部
5……フローブカード
6A……入口側センサ
6B……出口側センサ
7A,7B……撓み形成部材
T1,T2……撓み部
X……TCPテープ
10……TCP
10a……フィルム基板
10b……テストパッド
10c……ICチップ
10d……リード線
10e……スプロケット孔
Claims (6)
- TCP(10)がテープ状に複数連設されたTCPテープ(X)を順次間欠走行させ、走行経路の途中に設けられた測定部(4)をTCPテープ(X)の表面に対して直行する方向に移動させて各TCP(10)中の各半導体チップ(10c)を対向するプローブカード(5)に順次接触接続させるTCP用ハンドラであって、
測定部(4)の前後にTCPテープ(X)の撓み部(T1,T2)を形成すると共に、該撓み部(T1,T2)の前後におけるTCPテープ(X)の走行をスプロケット(2B〜2E)によって行うことを特徴とするTCP用ハンドラ。 - 測定部(4)の前後にTCPテープ(X)に対して前進/後退自在な撓み形成部材(7A,7B)を設けることを特徴とする請求項1記載のTCP用ハンドラ。
- 測定部(4)は、プローブカード(5)の対向面内におけるTCP(10)の角度を調節する角度アライメント機構を備えることを特徴とする請求項1または2記載のTCP用ハンドラ。
- TCP(10)がテープ状に複数連設されたTCPテープ(X)を順次間欠走行させ、走行経路の途中に設けられた測定部(4)をTCPテープ(X)の表面に対して直行する方向に移動させて各TCP(10)中の各半導体チップ(10c)を対向するプローブカード(5)に順次接触接続させるTCP用ハンドラにおける前記TCPテープの走行方法であって、
測定部(4)の前後にTCPテープ(X)の撓み部(T1,T2)を形成すると共に、該撓み部(T1,T2)の前後におけるTCPテープ(X)の走行をスプロケット(2B〜2E)によって行うことを特徴とするTCPテープの走行方法。 - 測定部(4)の前後にTCPテープ(X)に対して前進/後退自在な撓み形成部材(7A,7B)を設けることにより撓み部(T1,T2)を形成することを特徴とする請求項4記載のTCPテープの走行方法。
- 測定部(4)においてプローブカード(5)の対向面内におけるTCP(1)の角度を調節することを特徴とする請求項4または5記載のTCPテープの走行方法。
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