KR100447866B1 - 테이프 캐리어 패키지 핸들러 - Google Patents

테이프 캐리어 패키지 핸들러 Download PDF

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KR100447866B1 KR10-2002-0015509A KR20020015509A KR100447866B1 KR 100447866 B1 KR100447866 B1 KR 100447866B1 KR 20020015509 A KR20020015509 A KR 20020015509A KR 100447866 B1 KR100447866 B1 KR 100447866B1
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신무라도시히로
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안도덴키 가부시키가이샤
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    • G01R31/2891—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks related to sensing or controlling of force, position, temperature

Abstract

본 발명은 테이프 캐리어 패키지(TCP; tape carrier package) 핸들러에 관한 것으로, TCP 핸들러는 각 TCP의 테스트 패드들이 반도체 집적 회로 테스트에 사용하는 측정 핀들(9)에 관하여 정확하게 배치되도록 필름 기판 위에 다수의 TCP들(1)을 정렬하는 TCP 테이프(X)를 이송하도록 동작한다. 여기서, 스프로킷 이송기들(4, 5)은 길이 방향으로 상기 TCP 테이프의 이송을 실현한다; 그 다음, 상기 TCP 테이프는 상기 TCP가 클램프되고 상기 측정 핀들을 향해 아래로 내려가도록 일시적으로 정지된다. CCD 카메라(10)는 상기 측정 핀들에 관하여 상기 TCP에 관한 위치의 2차원 미세 조정을 수행하기 위하여 레퍼런스 이미지(G2)와 비교되는 상기 TCP의 이미지(G1)를 픽업한다. 대안으로서, 상기 TCP 테이프는 그 사이에 마찰을 일으키는 한 쌍의 롤러들을 사용하여 이송된다. 상기 TCP 테이프의 이송 값에 기초하여 상기 롤러들의 회전에 관하여 피드백 제어가 수행된다. 따라서, 상기 TCP 테이프의 변형 또는 파손을 야기하지 않고 상기 테이프 캐리어 패키지의 상기 테스트 패드들 및 상기 측정 핀들 간의 위치의 원하는 정확도를 보장하는 것이 가능하다.

Description

테이프 캐리어 패키지 핸들러{Tape carrier package handler}
본 발명은 테이프 캐리어 패키지(TCP; tape carrier package) 핸들러에 관한 것으로, 특히 테이프와 같은 형태로 함께 정렬되고, 반도체 집적 회로 테스트에 사용되는 측정 핀들과 접촉되는 테이프 캐리어 패키지들의 테스트 패드들 상에서의 순차적이고 간헐적인 이송(transport)을 수행하는 TCP 핸들러에 관한 것이다.
테이프 캐리어 패키지들(TCPs)은 테이프 자동 접합(TAB; tape automated bonding)에 의해 필름 위에 제작되는 전형적인 유형의 반도체 칩으로서 잘 알려져있다. 이송 단계에서 인쇄 회로 기판들 위에 집적 회로들의 제작 전에 다수의 테이프 캐리어 패키지들은 테이프와 같은 형태로 정렬된다. 도 6은 단순히 TCP 테이프(X)로서 지칭되는 테이프 캐리어 패키지들을 정렬하는 테이프와 같은 형태의 예를 도시한다. 상기 TCP 테이프(X)는 그 사이에 다수의 테이프 캐리어 패키지들(1)이 정렬되는 한 쌍의 밴드와 같은 이송 도움 섹션들(1A)을 제공한다. 상기 테이프 캐리어 패키지들(1) 각각은 필름 기판(1a)의 중앙에 반도체 칩(1c)을 제공한다. 정해진 수의 테스트 패드들(1b)이 형성되고 상기 반도체 칩(1c)을 둘러싸도록 상기 필름 기판(1a)의 주변에 정렬된다. 상기 테스트 패드들(1b) 및 상기 반도체 칩(1c)은 에칭에 의해 형성되는 리드(lead)들(1d)에 의해 함께 상호 접속된다. 상기 이송 도움 섹션들(1A)은 상기 필름 기판(1a)과 유사한 필름 재료로 구성된다. 게다가, 스프로킷 구멍들(1e, sprocket holes)이 상기 TCP 테이프를 따라 상기 이송 도움 섹션들(1A) 위에 그 사이가 동일한 간격으로 형성된다. 상기 구멍들은 길이 방향으로 상기 TCP 테이프(X) 상의 상기 테이프 캐리어 패키지들(1)을 순차적으로 이송하거나 운반하는데 사용된다.
특별히 설계된 TCP 핸들러는 길이 방향으로 상기 TCP 테이프(X) 상의 상기 테이프 캐리어 패키지들(1)의 순차적이고 간헐적인 이송에 사용된다. 여기서, 반도체 집적 회로 테스트 디바이스는 측정 핀들(미도시)을 제공하고, 상기 측정 핀들은 정해진 성능 테스트를 수행하기 위하여 각 TCP(1)의 상기 테스트 패드들(1b)과 적합하게 접촉된다. 특히, 상기 TCP 핸들러는 그 원주 면위에 형성되는 돌출부들(또는 스프로킷들) 및 휠을 구비하는 스프로킷 이송기들(transporters)을 제공한다. 즉, 상기 TCP 핸들러는 그 돌출부들이 TCP 테이프(X)의 상기 스프로킷 구멍들(1e)과 순차적으로 맞물리게 하기 위하여 그 휠들을 회전시키도록 상기 스프로킷 이송기를 구동한다. 따라서, 비교적 높은 위치(positioning) 정확도를 가지고 길이 방향으로 상기 TCP 테이프(X)를 이송하는 것이 가능하다. 상기 TCP 핸들러가 상기 테스트 패드들(1b)을 가능한 한 정확하게 상기 측정 핀들과 접촉되도록 동작하게 하는 것이 특히 요구된다. 따라서, 상기 TCP 핸들러는 상기 측정 핀들에 관하여 간헐적으로 정지되는 상기 TCP들의 정확한 위치를 보장하는 상기 스프로킷 이송기에 의하여 상기 TCP 테이프(X)의 순차적이고 간헐적인 이송을 수행한다. 일본 무심사 실용신안 간행 번호 평(Hei) 4-34467과 같은 다양한 문서들이 상기 테스트 패드들(1b) 및 상기 측정 핀들 사이에서 설정되는 위치 정확도의 개선점들을 개시한다.
상술된 간행물은 TAB 및 전극들(또는 TCP들 및 측정 핀들)에 관하여 정해진 위치를 설정하는 위치 핀들을 도입하는 기술을 교시한다. 보통은, 상기 스프로킷 이송기들 및 상기 위치 핀들 사이에 작은 간격들이 존재할 수 있다; 따라서, 상기 TAB 및 전극들에 관하여 매우 정확한 위치를 설정하는 것은 어렵다. 최근에, 반도체 칩들내의 회로 소자들의 집적 정도가 상당히 증가하고 있다; 따라서, 각 TCP내에 제공되는 테스트 패드들의 수는 대응하여 증가된다. 즉, 상기 테스트 패드들 간의 간격이 좁아지는 경향이 있다. 따라서, 상기 TAB 및 전극들에 관하여 매우 정확한 위치를 설정하는 것이 상기 TCP 핸들러의 최우선 과제일 수 있다.
최근에, 상기 필름 기판(1a)의 두께가 축소되는 다른 경향이 있다. 이러한이유로, 상기 스프로킷 이송기들의 돌출부들이 상기 TCP 테이프(X)의 스프로킷 구멍들(1e)과 맞물리는 경우, 상기 스프로킷 구멍들(1e)이 변형되거나 부분적으로 파손될 수 있는 문제가 있다. 이러한 문제는 그 두께가 25 ㎛ 정도인 비교적 얇은 필름 기판으로 구성되는 TCP 테이프의 경우에 특히 심각하게 된다. 따라서, 이송의 간헐적인 정지시에 위치의 비교적 높은 정확도를 보장하면서 상기 스프로킷 구멍들의 변형 또는 파손을 야기하지 않고 상기 TCP 테이프의 순차적이고 간헐적인 이송을 보장하는 신기술 개발이 강력히 요구된다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 상기와 같은 단점들을 해결하기 위하여, 측정 핀들 및 TCP들의 테스트 패드들에 관하여 매우 정확한 위치를 설정할 수 있는 TCP 핸들러를 제공하는데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 이송의 간헐적인 정지시에 위치의 비교적 높은 정확도를 보장하면서 스프로킷 구멍들의 변형 또는 파손을 야기하지 않고 TCP 테이프의 순차적이고 간헐적인 이송을 보장하는 TCP 핸들러를 제공하는데 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따라 TCP 핸들러의 기계 부분들 및 전자 부분들을 도시하는 사시도이다.
도 2a는 상기 TCP 핸들러 내의 제1 푸셔(pusher) 및 클램퍼 사이에 TCP의 일시적인 정지 상태의 초기 단계를 도시한다.
도 2b는 상기 TCP 핸들러 내의 상기 제1 푸셔 및 상기 클램퍼 사이에 단단하게 유지되는 상기 TCP의 클램프된 상태를 도시한다.
도 2c는 상기 TCP의 테스트 패드들이 제2 푸셔의 추가 하강으로 인하여 프로브 카드상의 측정 핀들과 접촉되는 상기 TCP의 접촉 상태를 도시한다.
도 3은 디스플레이의 스크린 위에 디스플레이되는 픽업 이미지(G1) 및 레퍼런스 이미지(G2) 사이에서 발생하는 위치 편차들을 도시한다.
도 4a는 본 발명의 제2 실시예에 따라 TCP 핸들러의 기계장치(mechanism)의 필수 부분들을 도시하는 정면도이다.
도 4b는 순방향으로 TCP 테이프를 이송하는 상기 TCP 핸들러의 필수 부분들을 도시하는 평면도이다.
도 4c는 상기 TCP 핸들러에 의해 상기 TCP 테이프의 이송에 사용되는 롤러들 및 모터들을 도시하는 측면도이다.
도 5는 상기 TCP 핸들러내에 필수적인 전자 부분들을 도시하는 블록도이다.
도 6은 TCP 테이프 상의 테이프 캐리어 패키지들의 정렬을 도시하는 정면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1...테이프 캐리어 패키지(TCP), 2...제1 푸셔(pusher),
3...클램퍼(clamper), 4...입력측 스프로킷 이송기,
5...출력측 스프로킷 이송기, 6...제2 푸셔,
7...X-Y 이동 기계장치(mechanism), 8...프로브(probe) 카드,
9...측정 핀들, 10...CCD 카메라,
11...화상 처리부, 12...제어부,
13...디스플레이.
본 발명은 상기한 기술적 과제를 달성하기 위하여, 복수의 테이프 캐리어 패키지들(1)을 정렬시키는 TCP 테이프(X)를 순차적으로 그리고 간헐적으로 이송(transport)하고, 각 테이프 캐리어 패키지의 테스트 패드들(1b)을 일시적으로 정지시켜 반도체 집적 회로 테스트 디바이스와 접속되는 측정 핀들(9)과 접촉되도록 하는 TCP 핸들러에 있어서,
상기 TCP 테이프를 순차적으로 그리고 간헐적으로 이송하고 상기 측정 핀들의 배열 반대편에 위치되어지는 상기 TCP 테이프의 각 테이프 캐리어 패키지를 일시적으로 정지시키는 이송 수단(4, 5);
상기 TCP의 상기 테스트 패드들이 상기 측정 핀들과 각각 접촉되도록 상기 TCP 테이프의 상기 테이프 캐리어 패키지를 아래로 누르는 가압(pressuring) 수단(2, 3, 6);
정해진 위치에 고정되고 상기 테이프 캐리어 패키지의 이미지를 픽업하는 이미지 픽업(pickup) 수단(10); 및
상기 테이프 캐리어 패키지의 픽업 이미지(G1)가 상기 테이프 캐리어 패키지의 테스트 패드들이 테스트를 위해 상기 측정 핀들과 접촉되는 상기 테이프 캐리어 패키지의 표준 위치를 나타내는 레퍼런스 이미지(G2)와 정합하는 방식으로 상기 테이프 캐리어 패키지 위치를 조정하는 위치 조정 수단(7, 11, 12)을 포함하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들러를 제공한다.
본 발명은 또한 복수의 테이프 캐리어 패키지들(1)을 정렬시키는 TCP 테이프(X)를 순차적으로 그리고 간헐적으로 이송하고, 각 테이프 캐리어 패키지의 테스트 패드들(1b)을 일시적으로 정지시켜 반도체 집적 회로 테스트 디바이스와 접속되는 측정 핀들(9)과 접촉되도록 하는 TCP 핸들러를 배치하는 방법에 있어서,
정해진 위치에 고정되는 이미지 픽업(pickup) 수단에 의해 상기 테이프 캐리어 패키지의 이미지를 픽업하는 단계; 및
상기 픽업 이미지(G1)가 상기 테이프 캐리어 패키지의 테스트 패드들이 테스트를 위해 상기 측정 핀들과 접촉되는 상기 테이프 캐리어 패키지의 표준 위치를 나타내는 레퍼런스 이미지(G2)와 정합하는 방식으로 상기 측정 핀들에 관하여 정지되는 상기 테이프 캐리어 패키지 위치를 조정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들러 배치 방법을 제공한다.
본 발명은 또한 복수의 테이프 캐리어 패키지들(1)을 정렬시키는 TCP 테이프(X)를 순차적으로 그리고 간헐적으로 이송하고, 각 테이프 캐리어의 테스트 패드들(1b)을 일시적으로 정지시켜 반도체 집적 회로 테스트 디바이스와 접속되는 측정 핀들(9)과 접촉되도록 하는 TCP 핸들러에 있어서,
그 사이에서 상기 TCP 테이프를 단단하게 유지하는 한 쌍의 롤러들(22A, 22B)을 회전시킴으로써 상기 TCP 테이프를 순차적으로 그리고 간헐적으로 이송하는 이송 수단(22A, 22B, 23A, 23B, 26A, 26B);
길이 방향으로 이송되는 상기 TCP 테이프의 이송된 거리를 나타내는 이송 값을 검출하는 이송 값 검출 수단(24, 25); 및
상기 TCP 테이프의 상기 테이프 캐리어 패키지가 상기 측정 핀들 반대편에 정확하게 정지되는 방식으로 상기 이송 값에 기초하여 상기 TCP 테이프의 순차적이고 간헐적인 이송을 제어하는 제어 수단(27)을 포함하는 것을 특징으로 하는 TCP 핸들러를 제공한다.
본 발명의 TCP 핸들러는 기본적으로 각 TCP의 테스트 패드들이 반도체 집적 회로 테스트에서 사용하는 측정 핀들에 관하여 정확하게 배치되도록 하기 위하여,필름 기판 위에 다수의 TCP들을 정렬하는 TCP 테이프를 이송하도록 설계된다.
본 발명의 제1 태양에 있어서, 순차적으로 이송된 각 상기 TCP들이 실질적으로 상기 제1 푸셔 및 클램퍼 사이의 중간 위치에 일시적으로 정지되도록, 스프로킷 이송기들은 길이 방향으로 상기 TCP 테이프를 이송하도록 동기식으로 그리고 간헐적으로 회전된다. 상기 TCP는 상기 제1 푸셔 및 클램퍼 사이에서 단단하게 유지되고 클램프된다; 그 다음, 상기 제1 푸셔에 연관되는 상기 제2 푸셔가 내려감에 따라 상기 TCP는 아래로 밀린다. 상기 TCP의 상기 테스트 패드들은 프로브 카드 위에 장착된 상기 측정 핀들에 접촉되고 신뢰성 있게 접속된다. 여기서, CCD 카메라는 상기 TCP의 리드(lead)가 상기 프로브 카드의 후면으로부터 두께가 굵게되는 상기 TCP의 특정 위치의 이미지를 픽업한다. 상기 픽업 이미지는 그 윤곽(contours)에 관하여 패턴 정합을 수행하기 위하여 정해진 레퍼런스 이미지와 비교된다. 이 이미지들간의 완전한 정합을 실현하기 위하여, 2차원 방식으로 상기 TCP의 위치의 미세 조정이 수행된다. 상세하게는, 상기 TCP는 상기 픽업 이미지 및 상기 레퍼런스 이미지간에 검출된 X-축 및 Y-축 위치 편차를 보정하기 위하여 수평으로 약간 이동된다.
본 발명의 제2 태양에 있어서, 상기 TCP 테이프(X)는 압력을 받아 한 쌍의 롤러들 사이에 단단하게 유지되고 그 사이의 마찰을 이용하여 이송된다. 이것은 두께가 비교적 얇은 상기 TCP 테이프의 스프로킷 구멍들의 변형 또는 파손을 방지한다. 상기 TCP 테이프(X)의 이송 값(즉, 이송된 거리)은 스프로킷 휠(sprocket wheel) 및 로터리 인코더(rotary encoder)에 의해 검출된다. 즉, 상기 로터리 인코더는 그 돌출부들이 이송동안 상기 TCP 테이프의 스프로킷 구멍들에 순차적으로 맞물리는 상기 스프로킷 휠의 회전을 검출한다. 게다가, 상기 검출된 이송 값이 보통 일정하게(constant) 되거나 보통 정해진 타깃 값에 정합하는 방식으로, 제어부는 각각 모터들에 의해 회전되는 상기 롤러들의 회전에 피드백 제어를 수행한다. 따라서, 상기 TCP 테이프의 부드러운 이송을 실현하고, 테스트시에 일시적으로 정지되는 테이프 캐리어 패키지의 테스트 패드들 및 측정 핀들 사이의 위치의 원하는 정확도를 보장하는 것이 가능하다.
본 발명의 이러한 그리고 다른 목적들, 태양들 및 실시예들이 첨부한 도면을 참조하면서 더 상세하게 기술될 것이다.
제1 실시예
TCP 핸들러 및 테이프 캐리어 패키지(TCP)들의 배치 방법이 본 발명의 제1 실시예에 따라 기술될 것이다. 도 1은 본 발명의 제1 실시예의 TCP 핸들러에 관하여 필수 부분들, 즉, 기계 부분들 및 전자 부분들을 도시하는 사시도이다. 본 명세서에서, 참조 부호 X는 TCP들(1)을 제공하는 TCP 테이프를 나타낸다; 참조 번호 2는 제1 푸셔(pusher)를 나타낸다; 3은 클램퍼(clamper)를 나타낸다; 4는 입력측 스프로킷 이송기를 나타낸다; 5는 출력측 스프로킷 이송기를 나타낸다; 6은 제2 푸셔를 나타낸다; 7은 X-Y 이동 기계장치(mechanism)를 나타낸다; 8은 프로브 카드를 나타낸다; 9는 측정 핀들을 나타낸다; 10은 CCD 카메라(여기서 'CCD'는 '전하 결합 소자(Charge Coupled Device)'의 약자이다)를 나타낸다; 11은 화상 처리부(image processing unit)를 나타낸다; 12는 제어부(control unit)를 나타낸다; 그리고 13은 디스플레이(display)를 나타낸다.
본 발명의 제1 실시예는 기본적으로 3개의 수단, 즉 이송 수단, 가압(pressurizing) 수단 및 정지 위치 조정 수단을 포함한다. 도 1의 TCP 핸들러에 있어서, 상기 입력측 스프로킷 이송기(4) 및 상기 출력측 스프로킷 이송기(5)는 상기 이송 수단을 구성한다; 상기 제1 푸셔(2), 클램퍼(3) 및 제2 푸셔(6)는 상기 가압 수단을 구성한다; 그리고 상기 화상 처리부(11), 제어부(12) 및 X-Y 이동 기계장치(7)는 상기 정지 위치 조정 수단을 구성한다.
상기 TCP 테이프(X)는 도 6을 참조하여 이미 기술되었다. 여기서, 다수의 TCP들(1)이 정렬되고 밴드와 같은 이송 도움 섹션들(1A)을 동반하여 테이프와 같은 형태로 함께 접속된다. 게다가, 각 TCP(1)는 필름 기판(1a), 테스트 패드들(1b), 반도체 칩(1c) 및 리드들(1d)을 포함한다. 더욱이, 스프로킷 구멍들(1e)은 상기 TCP 테이프(X)의 상기 이송 도움 섹션들(1A)을 따라 그 사이가 동일한 간격으로 배열된다.
상기 입력측 스프로킷 이송기(4) 및 상기 출력측 스프로킷 이송기(5) 각각은 그 끝단에 휠들을 구비하는 실린더로 구성된다. 상기 휠들은 실질적으로 상기 TCP 테이프(X)의 상기 이송 도움 섹션들(1A) 사이의 거리와 일치하도록 그 사이가 정해진 거리만큼 서로 분리된다. 게다가, 상기 스프로킷 이송기들(4, 5)은 실질적으로 상기 TCP 테이프(X)의 정해진 이송 방향을 따라 서로 평행하게 배열된다. 따라서, 상기 TCP 테이프(X)는 상기 스프로킷 이송기들(4, 5) 사이에 길이 방향으로 위치가 일시적으로 고정된다. 돌출부들(projections)(또는 스프로킷들)은 상기 스프로킷이송기들(4, 5)의 상기 휠들의 원주면 위에 형성되고, 여기서 상기 돌출부들은 그 사이가 동일한 간격으로 배열된다. 상기 TCP 테이프(X)가 상기 TCP 핸들러 내에 배치되는 경우, 상기 스프로킷 이송기들(4, 5)의 휠들의 원주면들의 돌출부들은 상기 TCP 테이프(X)의 스프로킷 구멍들(1e)과 적합하게 맞물린다. 그 다음, 상기 TCP 테이프(X)가 도 1에서 화살표들로 도시된 길이 방향으로 순차적으로 그리고 간헐적으로 이송되도록 하기 위하여, 상기 스프로킷 이송기들(4, 5)은 동기식으로 그리고 간헐적으로 회전하게된다. 따라서, 상기 TCP 테이프(X)의 상기 TCP들(1)은 상기 입력측 스프로킷 이송기(4)로부터 상기 출력측 스프로킷 이송기(5)로 순차적으로 그리고 간헐적으로 이송된다. 상기 TCP 테이프(X)의 상기 간헐적인 이송으로 인하여, 각 TCP(1)는 정확하게 위치되고, 실질적으로 상기 입력측 스프로킷 이송기(4) 및 상기 출력측 스프로킷 이송기(5) 사이의 중간 위치 아래에 배열되는 상기 측정 핀들(9)의 배열 반대편에 있는 정해진 정지 위치에 일시적으로 정지된다.
상기 제1 푸셔(2) 및 상기 클램퍼(3)는 상기 TCP 테이프(X)의 이송 방향을 따라 상기 입력측 스프로킷 이송기(4) 및 상기 출력측 스프로킷 이송기(5) 사이에 배열된다. 상기 클램퍼(3)는 상기 제2 푸셔(6)에 부착되고 상기 TCP 테이프(X) 아래에 배열되는 속이 빈 프레임 몸체(frame body)이다. 상기 제1 푸셔(2)는 상기 제2 푸셔(6)에 부착되고 상기 제1 푸셔는 수직 방향으로 위아래 자유롭게 이동될 수 있다. 상기 제1 푸셔(2)는 상기 TCP 테이프(X) 위에 배열된다. 즉, 상기 TCP 테이프(X)는 상기 제1 푸셔(2) 및 상기 클램퍼(3) 사이에 배열되고 수직으로 끼워진다. 상기 제1 푸셔(2)가 상기 클램퍼(3)에 관하여 높은 곳에서 내려오는 경우, 상기 TCP 테이프(X)의 양면은 상기 제1 푸셔(2) 및 상기 속이 빈 클램퍼(3) 사이에서 단단하게 유지될 수 있다.
상기 제2 푸셔(6)는 그 사이에 상기 TCP 테이프(X)를 단단하게 유지하는 상기 제1 푸셔(2) 및 상기 클램퍼(3) 위아래로 이동한다. 그것들이 아래로 내려오는 경우, 상기 TCP(1)의 상기 테스트 패드들(1b)이 상기 측정 핀들(9)과 직접 접촉되도록 상기 TCP 테이프(X)는 눌려지고 아래로 이동된다.
상술된 이송 수단 및 가압 수단은 보통 상기 X-Y 이동 기계장치(7) 위에 구성된다. 상기 X-Y 면(또는 수평면)내에서 상기 이송 수단 및 가압 수단의 작은 이동을 야기함으로써, 상기 X-Y 이동 기계장치(7)는 상기 측정 핀들(9) 및 상기 TCP(1)(상세하게는, 상기 테스트 패드들(1b)) 사이에 설정된 위치들에 관하여 미세 조정을 수행한다. 상기 X-Y 이동 기계장치(7)는 예를 들어 X-축 및 Y-축 구동하는 2개의 펄스 모터들을 사용하여 동작하는 X-Y 펄스 동작단(stage)이다. 상기 펄스 모터들은 상기 제어부(12)로부터 출력되는 구동 신호들(또는 펄스 신호들)에 응답하여 동작한다.
상기 프로브 카드(8)는 실질적으로 상기 클램퍼(3) 아래에 상기 입력측 스프로킷 이송기(4) 및 상기 출력측 스프로킷 이송기(5) 사이 중간 위치에 일치하는 위치에 배열되고 고정된다. 상기 프로브 카드(8)의 면 위에, 상기 TCP(1)의 상기 테스트 패드들(1b)과 일치하도록 배열되는 상기 측정 핀들(9)의 정해진 배열이 제공된다. 이들 측정 핀들은 탄성을 갖는 접점들(contacts)이고, 와이어(wire)들을 경유하여 상기 TCP들(1)의 동작을 테스트하는 반도체 집적 회로 테스트 디바이스(미도시)에 접속된다.
상기 CCD 카메라(10)에 의해 상기 TCP(1)의 이미지 픽업을 허용하기 위하여 상기 프로브 카드(8)의 중앙부에 개구(opening)가 형성된다. 상기 CCD 카메라(10)는 일체로 조명을 위한 광원을 포함한다. 상기 CCD 카메라(10)는 상기 프로브 카드(8) 아래에 고정되어 배열되고, 상부에 위치하는 상기 TCP(1)의 이미지를 픽업한다. 특히, 상기 리드(1d)가 상기 TCP(10)내에서 두께가 굵게 되는 특정 부분에 대한 이미지 픽업을 보장하도록 상기 CCD 카메라(10)는 위치 및 배율(magnification)이 조정된다.
상기 CCD 카메라(10)에 의해 픽업된 상기 TCP(1)의 이미지를 나타내는 이미지 신호에 기초하여, 상기 화상 처리부(11)는 상기 TCP(1)의 상기 특정 부분의 이미지(G1) 및 미리 저장된 상기 TCP(1)의 정상 위치를 나타내는 레퍼런스 이미지(G2)에 관하여 패턴 정합 과정을 수행한다. 그 다음, 상기 화상 처리부(11)는 패턴 정합의 정도를 나타내는 편차 신호를 생성하여 상기 제어부(12)에 출력한다. 상세하게는, 상기 화상 처리부(11)는 예를 들어 상기 CCD 카메라(10)에 의해 픽업된 상기 특정 부분의 상기 이미지(G1)에 관하여 윤곽(contour) 또는 프로필(profile)을 추출한다. 따라서, 상기 화상 처리부(11)는 상기 추출된 윤곽 및 상기 레퍼런스 이미지(G2)의 윤곽 사이의 비교에 의해 상기 패턴 정합을 수행한다. 게다가, 상기 화상 처리부(11)는 또한 상기 패턴 정합의 상태(status)를 나타내는 이미지 신호를 생성하고 상기 디스플레이(13)에 출력한다.
상기 제어부(12)는 상기 화상 처리부(11)로부터 출력되는 상기 편차 신호에기초하여 상기 X-Y 이동 기계장치(7)를 제어한다. 즉, 상기 제어부(12)는 상기 TCP(1)의 상기 픽업 이미지(G1)에 기초하여 위치에 있어 상기 TCP(1)의 미세 조정을 실현하기 위하여 상기 X-Y 이동 기계장치(7)상에 피드백 제어를 수행한다. 상기 디스플레이(13)는 상술된 상기 패턴 정합의 상태를 디스플레이한다. 다시 말하면, 상기 디스플레이(13)는 상기 픽업 이미지(G1) 및 미리 상기 화상 처리부(11)에 저장된 상기 레퍼런스 이미지(G2) 사이의 차이를 나타내는 이미지를 디스플레이한다. 따라서, 상기 디스플레이(13)는 인간 조작자로 하여금 상기 X-Y 이동 기계장치(7)를 수동으로 조정하도록 허용한다.
다음은, 본 실시예의 상기 TCP 핸들러의 전체적인 동작이 도 2a 내지 도 2c 및 도 3 뿐만 아니라 도 1을 참조하여 기술될 것이다.
우선, 상기 TCP 핸들러의 이송 동작 및 클램핑 동작이 도 1 및 도 2a 내지 도 2c를 참조하여 기술될 것이다. 상기 TCP 테이프(X)에 대한 동기식의 그리고 간헐적인 회전들이 상기 입력측 스프로킷 이송기(4) 및 상기 출력측 스프로킷 이송기(5) 각각의 회전들을 제어함으로써 실현된다. 상기 TCP 테이프(X)가 상기 입력측 스프로킷 이송기(4)로부터 상기 출력측 스프로킷 이송기(5)로 정해진 길이만큼 이송되도록 상기 TCP 핸들러가 동기식의 그리고 간헐적인 회전들을 수행할 때마다, 각 TCP(1)는 앞으로 이동되고 상기 프로브 카드(8) 바로 위에 일시적으로 정지된다. 도 2a 내지 도 2c는 상기 TCP 테이프(X)의 길이 방향 측면도로부터 관찰된, 일시적으로 정지되는 상기 TCP(1) 및 상기 TCP 핸들러의 상기 정해진 부분들(즉, 2, 3, 8 및 9) 사이의 관계를 도시한다. 도 2a에 도시된 바와 같이 상기 프로브 카드(8) 바로 위에 일시적으로 정지되는 상기 TCP(1)의 일시적인 정지 상태의 초기 단계에서, 상기 TCP(1)는 위로 상기 제1 푸셔(2) 및 상기 클램퍼(3) 사이의 실질적으로 중간 위치에 놓여진다.
그 다음, 상기 입력측 스프로킷 이송기(4)만이 역방향으로 약간 회전되고, 어떤 정해진 후방 장력이 상기 TCP 테이프(X)에 인가된다. 이 상태에서, 도 2b에 도시된 바와 같이 상기 TCP(1)가 상기 제1 푸셔(2) 및 상기 클램퍼(3) 사이에서 단단하게 유지되도록 상기 제1 푸셔(2)는 내려온다. 즉, 상기 TCP(1)는 상기 제1 푸셔(2)의 하부면 및 상기 클램퍼(3)의 상부면 사이에 끼워지고 클램프된다. 상기 후방 장력이 상기 TCP 테이프(X)에 인가되기 때문에, 상기 TCP 테이프(X)는 느슨해지지 않고 실질적으로 평평해진다. 따라서, 상기 제1 푸셔(2) 및 상기 클램퍼(3) 사이에 상기 '평평한(planar)' TCP(1)를 신뢰성 있게 유지하는 것이 가능하다.
상기 클램프된 상태가 상기 TCP(1)에 관하여 설정된 후에, 상기 제1 푸셔(2) 및 상기 클램퍼(3) 사이에 클램프된 상기 TCP(1)가 아래로 더 이동되도록 상기 제2 푸셔(6)가 내려온다. 따라서, 상기 TCP(1)의 상기 테스트 패드들(1b)은 압력을 받아 상기 프로브 카드(8) 위에 장착되는 상기 측정 핀들(9)과 각각 접촉되고, 도 2c에 도시된다. 즉, 도 2c는 상기 TCP(1)의 상기 테스트 패드들(1b)이 완전히 접촉되고 상기 프로브 카드(8) 위에 있는 상기 측정 핀들(9)과 접속되는 접촉 상태를 도시한다.
다음으로, 상기 TCP 핸들러는 상기 측정 핀들(9)에 관하여 상기 TCP(1)의 위치의 미세 조정을 수행하고, 도 1, 도 2a 내지 도 2c 및 도 3을 참조하여 기술될것이다.
본 실시예에 있어서, 상기 CCD 카메라(10)는 상기 클램프된 상태에서 상기 TCP(1)의 특정 부분의 하부면을 픽업한다. 다시 말하면, 상기 CCD 카메라는 상기 리드(1d)가 두께에 있어서 굵게 되는 상기 TCP(1)의 이미지를 픽업한다. 상기 TCP(1)의 특정 부분의 상기 픽업 이미지(G1)에 기초하여, 상기 TCP 핸들러는 수평면내에서 상기 측정 핀들(9)에 관하여 상기 TCP(1)의 위치의 미세 조정을 수행한다. 상기 픽업 이미지(G1)는 상기 화상 처리부(11)에 의해 상기 레퍼런스 이미지(G2)와 패턴 정합을 받는다. 그 다음, 상기 화상 처리부(11)는 패턴 정합의 정도를 나타내는 편차 신호를 생성하여 상기 제어부(12)에 출력한다. 상기 제어부(12)는 상기 편차 신호에 기초하여 구동 신호를 생성한다. 따라서, 상기 X-Y 이동 기계장치(7)는 상기 구동 신호에 응답하여 구동된다.
도 3은 상기 디스플레이(13)의 스크린 상에 디스플레이되는 상기 픽업 이미지(G1) 및 상기 레퍼런스 이미지(G2) 사이의 패턴 정합의 상태의 예를 도시한다. 도 3은 상기 X-축 및 Y-축 방향으로 상기 픽업 이미지(G1) 및 상기 레퍼런스 이미지(G2) 간의 위치 편차를 도시하고, 여기서 상기 X-축 방향은 상기 TCP 테이프(X)의 길이 방향에 대응하고, 상기 Y-축 방향은 상기 TCP 테이프(X)의 너비 방향(또는 상기 길이 방향에 수직인 방향)에 대응한다. 상세하게는, 위치 편차 Δx는 X-축 방향으로 발생하고, 위치 편차 Δy는 Y-축 방향으로 발생한다. 여기서, 완전한 패턴 정합된 상태는 상기 픽업 이미지(G1) 및 상기 레퍼런스 이미지(G2)의 윤곽이 서로 완전히 정합하는 경우 설정될 것이다. 상기 완전 패턴 정합 상태에 있어서, 모든상기 테스트 패드들(1b)이 상기 측정 핀들(9)과 완전히 접촉되도록 상기 TCP(1)가 상기 프로브 카드(8)와 최적으로 접속하게 배치된다.
상기 화상 처리부(11)는 상기 픽업 이미지(G1) 및 상기 레퍼런스 이미지(G2)에 관하여 편차 값을 계산하여, 상기 편차 값에 대응하는 편차 신호를 생성하여 상기 제어부(12)에 출력한다. 상기 편차 값을 보정하기 위하여, 상기 제어부(12)는 상기 X-Y 이동 기계장치(7)에서 X-축 및 Y-축 구동하는 상술된 펄스 모터들에 각각 공급되는 펄스들의 수들을 계산한다. 따라서, 상기 제어부(12)는 상기 계산된 펄스들의 수들을 갖는 구동 신호들을 생성하여 상기 X-Y 이동 기계장치(7)에 출력한다. 즉, 상기 X-축 구동 펄스 모터는 상기 X-축 위치 편차(Δx)를 보정하기 위해 계산된 펄스들의 수에 대응하여 구동되고, 상기 Y-축 구동 펄스 모터는 상기 Y-축 위치 편차(Δy)를 보정하기 위해 계산된 펄스들의 수에 대응하여 구동된다. 결과적으로, 상기 편차 값은 상기 TCP(1)가 상기 프로브 카드(8) 위의 상기 측정 핀들(9)에 관하여 최적 위치가 되도록 보정된다.
다음으로, 상기 레퍼런스 이미지(G2)에 관하여 보충 설명이 주어질 것이다. 즉, 상기 레퍼런스 이미지(G2)는 상기 반도체 집적 회로 테스트 디바이스가 상기 TCP 테이프(X) 상에서 테스트를 수행하기 전에, 상기 측정 핀들(9)에 관하여 정확하게 위치된 상기 '제1' TCP의 특정 부분의 픽업 이미지이다. 따라서, 상기 제1 TCP의 상기 특정 부분의 상기 픽업 이미지는 상기 레퍼런스 이미지(G2)로서 상기 화상 처리부(11)의 메모리(미도시)내에 저장된다. 상기 TCP 테이프(X)가 상기 입력측 스프로킷 이송기(4) 및 상기 출력측 스프로킷 이송기(5) 사이에서 순차적으로그리고 간헐적으로 이송되는 경우, 상기 테스트 패드들이 상기 프로브 카드(8) 위의 상기 측정 핀들(9)과 신뢰성 있게 접촉되고 접속되도록 상기 TCP들(1) 각각은 정확하게 배치된다. 여기서, 단지 상기 TCP 테이프(X)의 상기 제1 TCP만은 상기 X-Y 이동 기계장치(7)를 수동으로 조작하는 인간 조작자에 의해 상기 측정 핀들(9)에 관하여 배치되어진다.
상기에서, 상기 인간 조작자는 상기 제1 TCP의 상기 특정 부분의 픽업 이미지를 시각적으로 확인하고, 상기 CCD 카메라(10)와 연결된 상기 디스플레이(13)의 스크린 상에서, 수동으로 상기 측정 핀들(9)에 관하여 정확하게 배치된다. 그 다음, 상기 픽업 이미지는 상기 화상 처리부(11)의 상기 메모리내에 저장된다. 제2 내지 최종 TCP들에 관해서는, 위치에 있어서 상술된 미세 조정이 자동으로 수행된다.
상기 TCP들의 위치의 상기 미세 조정을 수행하는 실제적인 방법은 요구되는 위치 정확도 및 상기 이송 수단에 의해서만 실현되는 위치 정확도에 의존할 수 있다. 제1 TCP 다음에 모든 TCP들에 관하여 위치 미세 조정을 계속적으로 수행하지 않는 것이 바람직할 수 있다. 즉, 상기 테스트 패드(1b) 및 측정 핀(9) 사이에서 접속 에러가 발생한 경우에만 상기 정지 위치 조정 수단을 이용하여 상기 미세 조정을 재시작하는 것이 가능할 수 있다. 대안으로서, 제1 TCP 다음에 카운트되는 TCP들의 정해진 수에 의해 상기 미세 조정을 수행하는 것이 가능하다. 상기 TCP들의 위치의 미세 조정의 적합한 수단을 사용함으로써, 상기 TCP 테이프(X)의 테스트 효율(throughput)을 개선하는 것이 가능하다.
제2 실시예
TCP 핸들러의 기계장치(mechanism)의 필수 부분들이 본 발명의 제2 실시예에 따라 기술될 것이다. 도 4a는 제2 실시예의 TCP 핸들러의 기계장치의 몇몇 부분들을 도시하는 정면도이다. 도 4b는 순방향으로 TCP 테이프(X)를 이송하는 상기 TCP 핸들러의 기계장치를 도시하는 평면도이다. 도 4c는 상기 TCP 핸들러에 의해 상기 TCP 테이프(X)의 이송에 사용되는 롤러들 및 모터들의 맞물림을 도시하는 측면도이다. 이들 도면들에 있어서, 참조 번호 22A 및 22B는 롤러들을 나타낸다; 참조 번호 23A 및 23B는 모터들을 나타낸다; 참조 번호 24는 그 원주면상에 돌출부들(projections)(또는 스프로킷들)을 구비하는 스프로킷 휠을 나타낸다; 그리고 참조 번호 25는 로터리 인코더를 나타낸다.
도 5는 제2 실시예의 상기 TCP 핸들러의 전자적인 구성을 도시한다. 여기서, 참조 번호 26A 및 26B는 모터 구동부들을 나타낸다; 그리고 참조 번호 27은 제어부를 나타낸다.
상술된 부분들은 2개의 수단, 즉, 이송 수단 및 이송 값 검출 수단으로 분류된다. 즉, 상기 이송 수단은 상기 롤러들(22A, 22B), 모터들(23A, 23B) 및 모터 구동부들(26A, 26B)로 구성된다; 그리고 상기 이송 값 검출 수단은 상기 스프로킷 휠(24) 및 로터리 인코더(25)로 구성된다.
상기 롤러들(22A, 22B) 둘 다는 예를 들어 정해진 탄성을 갖는 고무 롤러들이다. 상기 롤러들은 그 사이에 상기 TCP 테이프(X)를 단단하게 유지하고 어떤 압력으로 상기 TCP 테이프(X)(도 6 참조)의 상기 이송 도움 섹션들(1A)을 누르도록배열된다. 회전에 의해, 상기 롤러들은 길이 방향으로 상기 TCP 테이프(X)를 이송한다. 상세하게는, 상기 롤러(22A)는 상기 모터(23A)의 회전축(rotation shaft)에 부착되고; 상기 롤러(22B)는 상기 모터(23B)의 회전축에 부착된다. 상기 제어부(27)는 상기 롤러들(22A, 22B)을 각각 회전하도록 제어한다.
상기 스프로킷 휠(24)은 상기 TCP 테이프(X)가 길이 방향으로 이동함에 따라 상기 스프로킷 휠의 돌출부들이 상기 TCP 테이프(X)의 상기 이송 도움 섹션(1A)의 상기 스프로킷 구멍들(1e)에 순차적으로 맞물리는 방식으로 배열된다. 즉, 상기 스프로킷 휠(24)은 상기 TCP 테이프(X)의 이송 값(또는 이송된 거리)에 대응하여 회전한다. 상기 로터리 인코더(25)는 상기 스프로킷 휠(24)의 축에 부착된다. 즉, 상기 로터리 인코더는 상기 스프로킷 휠(24)의 회전 수, 즉, 상기 TCP 테이프(X)의 이송된 거리(또는 이송 값)를 검출한다. 상기 스프로킷 휠(24)의 상기 검출된 회전 값은 상기 제어부(27)에 전달된다.
상기 제어부(27)의 제어하에, 상기 모터(23A)는 상기 모터 구동부(26A)에 의해 구동되고, 상기 모터(23B)는 상기 모터 구동부(26B)에 의해 구동된다. 즉, 상기 TCP(1)가 상기 측정 핀들(9)(도 1 참조) 반대편에 정지되는 방식으로 상기 제어부(27)는 상기 이송 값 검출 수단에 의해 검출되는 상기 TCP 테이프(X)의 이송 값에 기초하여 상기 모터 구동부들(26A, 26B)을 제어한다.
다음에는, 상기 TCP 핸들러의 전체적인 동작이 상세히 기술될 것이다. 제2 실시예의 TCP 핸들러는 제1 실시예의 TCP 핸들러에 의해 사용되는 상기 스프로킷 이송기들(4, 5)을 사용하여 상기 TCP 테이프(X)를 이송하도록 동작하지 않는다. 다시 말하면, 제2 실시예의 TCP 핸들러는 상기 TCP 테이프(X)에 대하여 그 사이에서 단단하게 유지하도록 눌려지고 상기 모터 구동부들(26A, 26B)에 의하여 회전되는 상기 롤러들(22A, 22B)을 사용하여 상기 TCP 테이프(X)를 이송하도록 동작한다. 즉, 상기 TCP 테이프(X)를 이송하는 힘은 상기 롤러들(22A, 22B)과 접촉되고 압력을 받아 상기 롤러들(22A, 22B) 사이에 끼워지는 상기 TCP 테이프(X)의 정해진 면 영역에서 발생하는 마찰을 이용하여 생성된다. 따라서, 상기 TCP 테이프(X)는 상기 롤러들(22A, 22B)에 의해 생성되는 이송력에 응답하여 길이 방향으로 이송된다. 상기 스프로킷 이송기들의 상기 돌출부들이 이송동안 상기 TCP 테이프(X)의 상기 스프로킷 구멍들(1e)과 순차적으로 맞물리는 경우, 상기 TCP 테이프(X)는 상기 스프로킷 구멍들(1e)의 파손에 의해 손상될 가능성이 있다.
본 실시예는 유일하게 상기 롤러들(22A, 22B) 사이에서 단단하게 유지되는 상기 TCP 테이프(X) 상에서 발생하는 마찰을 이용하여 상기 TCP 테이프(X)를 이송하도록 동작한다. 그러나, 이러한 이유로 상기 TCP 테이프(X) 및 상기 롤러들(22A, 22B) 사이에서 발생할 수 있는 몇몇 '슬립(slip)'으로 인하여 상기 롤러들(22A, 22B)의 상기 회전 값들 및 상기 TCP 테이프(X)의 상기 이송 값들 사이에서 몇몇 에러가 발생할 수 있다.
상술된 에러를 제거하기 위하여, 상기 제어부(27)는 상기 이송 값 검출 수단에 의해 검출된 이송 값, 즉 상기 TCP 테이프(X)의 이송된 거리를 나타내는 물리적인 값에 기초하여 상기 모터 구동부들(26A, 26B) 상에 피드백 제어를 수행한다. 즉, 상기 제어부(27)는 상기 이송 값이 보통 일정하게 되거나 상기 이송 값이 보통정해진 타깃 값과 정합하는 방식으로 상기 모터 구동부들(26A, 26B)을 제어한다. 따라서, 제2 실시예의 TCP 핸들러는 상기 테스트 패드들(1b) 및 상기 측정 핀들(9) 사이에 설정되는 위치의 원하는 정확도를 보장하면서 상기 TCP 테이프(X)를 순차적으로 그리고 간헐적으로 이송할 수 있다. 단순히 상술된 피드백 제어를 사용함으로써, 본 실시예는 상기 테스트 패드들(1b) 및 상기 측정 핀들(9) 간의 위치의 정확도의 원하지 않는 감소를 현저하게 줄일 수 있다.
본 발명은 본 발명의 정신 또는 필수적인 특징을 벗어나지 않으면서 몇 가지 형태로 구현될 수 있기 때문에, 따라서 본 실시예들은 예시적인 것이고 제한하는 것이 아니다. 본 발명의 범위는 상기 설명에 의하기 보다 첨부된 청구범위에 의해 정해지기 때문에, 본 청구범위의 한계 또는 이러한 한계와 균등한 것 내에 있는 모든 변형들은 따라서 본 청구범위에 포함되는 것으로 의도된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 TCP 핸들러를 이용하여 측정 핀들 및 TCP들의 테스트 패드들에 관하여 매우 정확한 위치를 설정할 수 있다.
또한, 이송의 간헐적인 정지시에 위치의 비교적 높은 정확도를 보장하면서 스프로킷 구멍들의 변형 또는 파손을 야기하지 않고 TCP 테이프의 순차적이고 간헐적인 이송을 보장할 수 있다.

Claims (24)

  1. 복수의 테이프 캐리어 패키지들(1)을 정렬시키는 TCP 테이프(X)를 순차적으로 그리고 간헐적으로 이송(transport)하고, 각 테이프 캐리어 패키지의 테스트 패드들(1b)을 일시적으로 정지시켜 반도체 집적 회로 테스트 디바이스와 접속되는 측정 핀들(9)과 접촉되도록 하는 테이프 캐리어 패키지(TCP; tape carrier package) 핸들러에 있어서,
    상기 TCP 테이프를 순차적으로 그리고 간헐적으로 이송하고 상기 측정 핀들의 배열 반대편에 위치되어지는 상기 TCP 테이프의 각 테이프 캐리어 패키지를 일시적으로 정지시키는 이송 수단(4, 5);
    상기 TCP의 상기 테스트 패드들이 상기 측정 핀들과 각각 접촉되도록 상기 TCP 테이프의 상기 테이프 캐리어 패키지를 아래로 누르는 가압(pressuring) 수단(2, 3, 6);
    정해진 위치에 고정되고 상기 테이프 캐리어 패키지의 이미지를 픽업하는 이미지 픽업(pickup) 수단(10); 및
    상기 테이프 캐리어 패키지의 픽업 이미지(G1)의 윤곽 및 미리 결정된 레퍼런스 이미지(G2)의 윤곽을 비교하고, 상기 비교에 기초하여 2차원 편차가 검출되며 상기 픽업 이미지의 윤곽이 상기 레퍼런스 이미지의 윤곽과 실질적으로 정합하도록 상기 이송 수단을 제어함으로써 2차원 편차가 보정되어 상기 TCP 테이프에 대한 2차원 위치 조정을 수행하는 2차원 위치 조정 수단(7, 11, 12) 을 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러.
  2. 제1항에 있어서, 상기 위치 조정 수단은
    상기 픽업 이미지 및 상기 레퍼런스 이미지간의 패턴 정합을 수행하여 상기 패턴 정합의 정도를 나타내는 편차 신호를 생성하는 화상 처리부(11, image processing unit);
    상기 편차 신호에 기초하여 구동 신호를 생성하는 제어부(12, control unit); 및
    상기 구동 신호에 기초하여 상기 측정 핀들에 관하여 상기 테이프 캐리어 패키지의 2차원 위치를 조정하는 X-Y 이동 기계장치(7, X-Y movement mechanism)를 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러.
  3. 제1항에 있어서, 상기 레퍼런스 이미지는 상기 측정 핀들에 관하여 정확하게 배치되고, 미리 상기 화상 처리부 내에 저장되는 상기 TCP 테이프의 제1 테이프 캐리어 패키지의 픽업 이미지인 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러.
  4. 제1항에 있어서, 상기 이미지 픽업 수단은 상기 테이프 캐리어 패키지내의 상기 테스트 패드들 및 반도체 칩(1c)을 상호 접속하는 적어도 하나의 리드(lead)들(1d)에 관한 이미지를 픽업하는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러.
  5. 제1항에 있어서, 상기 이미지 픽업 수단은 CCD 카메라 및 조명에 사용되는 광원을 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러.
  6. 제1항에 있어서, 상기 이송 수단은 그 사이를 상기 TCP 테이프가 순방향으로 순차적으로 그리고 간헐적으로 이송되는 입력측 스프로킷 이송기(sprocket transporter)(4) 및 출력측 스프로킷 이송기(5)를 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러.
  7. 제6항에 있어서, 상기 테이프 캐리어 패키지가 상기 측정 핀들의 배열 반대편에서 정지되도록 상기 이송 수단이 상기 TCP 테이프를 이송하고 그 다음 상기 TCP 테이프를 일시 정지시키는 경우, 상기 가압 수단이 동작되기 전에, 상기 입력측 스프로킷 이송기는 후방 장력(back tension)이 상기 TCP 테이프에 인가되도록 뒤로 약간 회전되는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러.
  8. 제1항에 있어서, 상기 가압 수단은
    순방향으로 이송되는 상기 TCP 테이프 아래 배치되는 클램퍼(3, clamper);
    보통은 순방향으로 이송되는 상기 TCP 테이프 위에 배치되고, 상기 TCP 테이프의 상기 테이프 캐리어 패키지가 상기 측정 핀들의 상기 배열 반대편에서 일시적으로 정지되는 경우 상기 클램퍼와 함께 상기 TCP 테이프를 그 끝에서 단단하게 유지하도록 아래로 내려가는 제1 푸셔(2, pusher); 및
    상기 제1 푸셔가 동작한 후에 상기 측정 핀들을 향해 상기 테이프 캐리어 패키지를 누르는 제2 푸셔(6)를 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러.
  9. 제1항에 있어서, 일단 상기 위치 조정 수단이 상기 TCP 테이프의 상기 제1 테이프 캐리어 패키지의 위치 조정을 완료한 경우, 상기 위치 조정 수단은 비활성화되고, 반면 적어도 한 쌍의 상기 테스트 패드 및 상기 측정 핀에 관하여 접속 에러가 발생한 경우, 상기 위치 조정 수단은 다시 활성화되는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러.
  10. 제1항에 있어서, 일단 상기 위치 조정 수단이 상기 TCP 테이프의 상기 제1 테이프 캐리어 패키지의 위치 조정을 완료한 경우, 상기 위치 조정 수단은 순차적으로 테스트되는 정해진 수의 테이프 캐리어 패키지들에 의해 주기적으로 활성화되는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러.
  11. 복수의 테이프 캐리어 패키지들(1)을 정렬시키는 TCP 테이프(X)를 순차적으로 그리고 간헐적으로 이송하고, 각 테이프 캐리어 패키지의 테스트 패드들(1b)을 일시적으로 정지시켜 반도체 집적 회로 테스트 디바이스와 접속되는 측정 핀들(9)과 접촉되도록 하는 TCP 핸들러를 배치하는 방법에 있어서,
    정해진 위치에 고정되는 이미지 픽업(pickup) 수단에 의해 상기 테이프 캐리어 패키지의 이미지를 픽업하는 단계; 및
    상기 테이프 캐리어 패키지의 픽업 이미지(G1)의 윤곽 및 미리 결정된 레퍼런스 이미지(G2)의 윤곽을 비교하고, 상기 비교에 기초하여 2차원 편차가 검출되며 상기 픽업 이미지의 윤곽이 상기 레퍼런스 이미지의 윤곽과 실질적으로 정합하도록 2차원 편차가 보정되어 상기 TCP 테이프에 대한 2차원 위치 조정을 수행하는 단계 를 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러 배치 방법.
  12. 제11항에 있어서, 패턴 정합 과정이 상기 픽업 이미지 및 상기 레퍼런스 이미지에 기초하여 수행되는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러 배치 방법.
  13. 제11항에 있어서, 상기 테이프 캐리어 패키지는 2차원 방식으로 상기 측정 핀들에 관하여 위치 조정되는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러 배치 방법.
  14. 제11항에 있어서, 상기 레퍼런스 이미지는 상기 측정 핀들에 관하여 정확하게 배치되고 미리 저장되는 상기 TCP 테이프의 제1 테이프 캐리어 패키지의 픽업 이미지인 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러 배치 방법.
  15. 제11항에 있어서, 상기 픽업 이미지는 상기 테이프 캐리어 패키지내의 상기테스트 패드들 및 반도체 칩(1c)을 상호 접속하는 적어도 하나의 리드(lead)들(1d)에 관하여 생성되는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러 배치 방법.
  16. 제11항에 있어서, 상기 테이프 캐리어 패키지가 상기 측정 핀들에 관하여 정지되는 경우 상기 TCP 테이프에 후방 장력을 인가하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러 배치 방법.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 테이프 캐리어 패키지가 상기 측정 핀들에 관하여 정지되는 경우 상기 TCP 테이프를 상기 측정 핀들에 근접하여 그 끝에 클램프(clamp)하는 단계; 및
    상기 테이프 캐리어 패키지를 상기 측정 핀들을 향하도록 누르는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러 배치 방법.
  18. 제11항에 있어서, 상기 TCP 테이프의 제1 테이프 캐리어 패키지의 위치 조정이 완료된 경우, 위치 조정은 비활성화되고, 반면 적어도 한 쌍의 상기 테스트 패드 및 상기 측정 핀에 관하여 접속 에러가 발생한 경우, 상기 위치 조정은 다시 활성화되는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러 배치 방법.
  19. 제11항에 있어서, 상기 TCP 테이프의 제1 테이프 캐리어 패키지의 위치 조정이 완료된 경우, 위치 조정은 순차적으로 테스트되는 정해진 수의 테이프 캐리어패키지들에 의해 주기적으로 활성화되는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러 배치 방법.
  20. 복수의 테이프 캐리어 패키지들(1)을 정렬시키는 TCP 테이프(X)를 순차적으로 그리고 간헐적으로 이송하고, 각 테이프 캐리어의 테스트 패드들(1b)을 일시적으로 정지시켜 반도체 집적 회로 테스트 디바이스와 접속되는 측정 핀들(9)과 접촉되도록 하는 TCP 핸들러에 있어서,
    그 사이에서 상기 TCP 테이프를 단단하게 유지하는 한 쌍의 롤러들(22A, 22B)을 회전시킴으로써 상기 TCP 테이프를 순차적으로 그리고 간헐적으로 이송하는 이송 수단(22A, 22B, 23A, 23B, 26A, 26B);
    길이 방향으로 이송되는 상기 TCP 테이프의 이송된 거리를 나타내는 이송 값을 검출하는 이송 값 검출 수단(24, 25); 및
    상기 TCP 테이프의 상기 테이프 캐리어 패키지가 상기 측정 핀들 반대편에 정확하게 정지되는 방식으로 상기 이송 값에 기초하여 상기 TCP 테이프의 순차적이고 간헐적인 이송을 제어하는 제어 수단(27)을 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러.
  21. 제20항에 있어서, 상기 이송 수단은 그 사이에서 상기 TCP 테이프를 단단하게 유지하는 한 쌍의 상기 롤러들(22A, 22B) 및 상기 제어 수단의 제어 아래 상기 롤러들의 회전을 구동하는 회전 구동 수단(23A, 23B, 26A, 26B)을 포함하는 것을특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러.
  22. 제21항에 있어서, 상기 회전 구동 수단은 상기 롤러들을 각각 회전시키는 한 쌍의 모터들(23A, 23B) 및 상기 모터들을 각각 구동하는 한 쌍의 모터 구동부들(26A, 26B)을 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러.
  23. 제20항에 있어서, 상기 롤러들은 고무 롤러들인 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러.
  24. 제20항에 있어서, 상기 이송 값 검출 수단은 스프로킷 휠의 돌출부들(projections)이 이송동안 상기 TCP 테이프의 스프로킷 구멍들(1e, holes)에 순차적으로 맞물리는 스프로킷 휠(24) 및 상기 이송 값으로서 그 회전을 검출하기 위하여 상기 스프로킷 휠의 축(shaft)에 부착되는 로터리 인코더(25, rotary encoder)를 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 캐리어 패키지 핸들러.
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW552706B (en) * 2001-07-25 2003-09-11 Ando Electric Tape carrier package handler and method for illuminating a tape carrier package
CN100472220C (zh) * 2003-01-31 2009-03-25 日商·日本工程技术股份有限公司 Tcp处理装置以及在该装置中的位置不正补正方法
JP4493650B2 (ja) * 2004-04-20 2010-06-30 株式会社アドバンテスト Ｔｃｐハンドリング装置
WO2005103742A1 (ja) * 2004-04-20 2005-11-03 Advantest Corporation Ｔｃｐハンドリング装置
KR100729537B1 (ko) * 2006-02-28 2007-06-18 주식회사 탑 엔지니어링 본딩 장비의 테잎 피딩 방법
JP2006186395A (ja) * 2006-03-03 2006-07-13 Advantest Corp Ｔｃｐハンドリング装置およびｔｃｐハンドリング装置における打ち抜き穴不良検出方法
CN101685251B (zh) * 2008-09-23 2011-07-20 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 镜头校验方法及系统
CN105635662A (zh) * 2014-11-08 2016-06-01 智比特信息技术（镇江）有限公司 一种检测用载带重封机的监视系统及其计算机监视方法
CN107067421B (zh) 2017-05-12 2020-02-28 京东方科技集团股份有限公司 一种基板残材检测方法、装置及系统
CN107689044A (zh) * 2017-09-05 2018-02-13 郑州云海信息技术有限公司 一种监测高密口背板弯针现象的方法及装置
TWI658978B (zh) * 2018-11-01 2019-05-11 鴻勁精密股份有限公司 輸送裝置之定位機構及其應用之作業設備
TWI669257B (zh) * 2019-03-12 2019-08-21 鴻勁精密股份有限公司 Leveling unit of conveying device and electronic component working device thereof
TWI715499B (zh) * 2020-05-19 2021-01-01 鴻勁精密股份有限公司 檢知裝置及其應用之測試調校方法、測試設備

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0799399A (ja) * 1993-09-27 1995-04-11 Hitachi Electron Eng Co Ltd 位置合わせ装置
JPH0829484A (ja) * 1994-07-18 1996-02-02 Hitachi Electron Eng Co Ltd Ｔｃｐの試験装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0799399A (ja) * 1993-09-27 1995-04-11 Hitachi Electron Eng Co Ltd 位置合わせ装置
JPH0829484A (ja) * 1994-07-18 1996-02-02 Hitachi Electron Eng Co Ltd Ｔｃｐの試験装置

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