JPH09330957A - ボンデイング装置およびその方法 - Google Patents

ボンデイング装置およびその方法

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JPH09330957A
JPH09330957A JP14732696A JP14732696A JPH09330957A JP H09330957 A JPH09330957 A JP H09330957A JP 14732696 A JP14732696 A JP 14732696A JP 14732696 A JP14732696 A JP 14732696A JP H09330957 A JPH09330957 A JP H09330957A
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JP
Japan
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bonding
circuit board
tape carrier
carrier component
lead
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Application number
JP14732696A
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English (en)
Inventor
Tanemasa Harada
種真 原田
Hitoshi Musha
整 武者
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明はテ−プキャリア部品を回路基板に
本圧着する際、これらのリ−ドを確実に接続できるボン
デイング装置を提供することにある。 【解決手段】 テ−プキャリア部品aを回路基板Sに仮
圧着してから本圧着するためのボンデイング装置におい
て、上記テ−プキャリア部品を回路基板に仮圧着するた
めの挿着ヘッド37と、上記回路基板のリ−ドRsとこ
の回路基板に仮圧着されたテ−プキャリア部品のリ−ド
18bとのずれ量を検出する認識光学系41と、上記回
路基板に仮圧着されたテ−プキャリア部品を本圧着する
ボンデイングツ−ル43a,44aと、このボンデイン
グツ−ルにより上記テ−プキャリア部品を本圧着する際
に上記認識光学系が検出した上記回路基板とテ−プキャ
リア部品とのリ−ドのずれ量に応じて上記ボンデイング
−ルによる圧着条件を制御する制御装置62とを具備し
たことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明はテ−プキャリア部
品(以下TCPとする。)を液晶セルの回路基板に仮圧
着してから本圧着するボンデイング装置およびその方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】たとえば、液晶表示装置の製造工程にお
いては、液晶セルを構成するガラス製の回路基板に電子
部品としてのTCP(Tape Carrier Package)を実装す
る工程がある。この実装工程においては、上記回路基板
に形成された透明導電膜からなるリ−ドに、上記TCP
のリ−ドが異方性導電膜を介して電気的に接続される。
これらのリ−ドは、ともに狭ピッチで形成されているか
ら、これら両者を高精度に位置決めしなければならない
ということがある。
【0003】このようなTCPの実装においては、回路
基板にTCPを異方性導電膜の粘着性を利用して仮圧着
し、ついでTCPを上記回路基板に加圧加熱すること
で、上記異方性導電膜を溶融硬化させて本圧着するよう
にしている。
【0004】本圧着時には上記TCPが加熱されること
で、その熱で上記TCPの合成樹脂製のテ−プキャリア
が伸びることが避けられない。その結果、回路基板に形
成されたリ−ドと、TCPに形成されたリ−ドとにずれ
が生じ、これらのリ−ドが確実に接続されなくなるとい
うことある。とくに、最近では液晶表示装置の高精細化
などによってリ−ドピッチが微細化する傾向にあり、最
小ピッチの製品ではそのピッチが70μm程度まで微細
化されており、そのような場合には接続ずれが生じ易
い。
【0005】そこで、本圧着時の伸びを考慮し、TCP
のリ−ドピッチを回路基板のリ−ドピッチよりも予め小
さく設定しておき、本圧着時に上記TCPが伸びたとき
にこれらのリ−ドが確実に接続されるようにするという
ことが行われている。
【0006】しかしながら、TCPに形成されるリ−ド
のピッチは、製造時の種々の条件などによって一定せ
ず、ばらつきが生じることが避けられないから、本圧着
されたTCPのリ−ドが回路基板のリ−ドに対してずれ
てしまうということがあった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】このように、本圧着時
にTCPが伸びることを考慮してそのピッチを設定して
も、製造時の種々の条件の変化などによって製造誤差が
生じることがあり、そのような場合には回路基板と、こ
れに本圧着されたTCPとのリ−ドにずれが生じ、確実
に接続されないということがある。
【0008】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、製造時の条件などによっ
てTCPに形成されるリ−ドのピッチにばらつきがあっ
ても、そのリ−ドを回路基板のリ−ドに確実に接続する
ことができるようにしたボンデイング装置およびその方
法を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、テ−
プキャリア部品を回路基板に仮圧着してから本圧着する
ためのボンデイング装置において、上記テ−プキャリア
部品を回路基板に仮圧着するための仮圧着手段と、上記
回路基板のリ−ドとこの回路基板に仮圧着されたテ−プ
キャリア部品のリ−ドとのずれ量を検出する検出手段
と、上記回路基板に仮圧着されたテ−プキャリア部品を
本圧着する本圧着手段と、この本圧着手段により上記テ
−プキャリア部品を本圧着する際に上記検出手段が検出
した上記回路基板のリ−ドとテ−プキャリア部品のリ−
ドとのずれ量に応じて上記本圧着手段による圧着条件を
制御する制御手段とを具備したことを特徴とする。
【0010】請求項2の発明は、請求項1の発明におい
て、上記検出手段は、上記回路基板のリ−ドの配列方向
両端に位置するリ−ドとこの回路基板に仮圧着されたテ
−プキャリア部品とのリ−ドの配置方向両端に位置する
リ−ドの互いに対向するリ−ドどうしのずれ量を検出す
ることを特徴とする。
【0011】請求項3の発明は、請求項1の発明におい
て、上記制御手段は、上記本圧着手段が上記テ−プキャ
リア部品を本圧着する際の温度を制御することを特徴と
する。
【0012】請求項4の発明は、テ−プキャリア部品を
回路基板に仮圧着してから本圧着するためのボンデイン
グ方法において、上記テ−プキャリア部品を回路基板に
仮圧着する仮圧着工程と、上記回路基板のリ−ドとこの
回路基板に仮圧着されたテ−プキャリア部品のリ−ドと
のずれ量を検出する検出工程と、この検出工程により検
出されたずれ量に応じて上記回路基板に仮圧着されたテ
−プキャリア部品を本圧着する条件を制御して本圧着す
る本圧着工程とを具備したことを特徴とする。
【0013】請求項1と請求項4の発明によれば、回路
基板にテ−プキャリアを本圧着する前に回路基板とテ−
プキャリアとのリ−ドのずれ量を検出し、その検出結果
に応じて本圧着時の圧着条件を制御するため、上記各リ
−ドのずれ量が一定でなくとも、これらリ−ドを確実に
接続することができる。
【0014】請求項2の発明は、回路基板とテ−プキャ
リア部品とのリ−ドのずれ量を、これらリ−ドの配置方
向両端に位置するリ−ドによって検出するため、そのず
れ量の検出を確実かつ迅速に行える。請求項3の発明に
よれば、ずれ量に応じて本圧着時の温度を制御すること
で、テ−プキャリア部品を上記ずれ量に応じた伸び量に
することができる。
【0015】
【発明の実施形態】以下、この発明の一実施形態を図面
にもとづいて説明する。図1において、1は架台であ
り、この長手方向一側端には、基板供給装置2が配設さ
れる。すなわち、Sは、ガラエポ基板もしくは液晶基板
セルなどからなる回路基板であり、これら回路基板S
は、複数枚、積層状態でカセット3に収容される。
【0016】上記カセット3は、エレベータ機構4に支
持されていて、最下部の回路基板Sが常に一定位置にく
るよう、その上下位置が制御される。そして、最下部の
回路基板Sは、無端走行する搬送ベルト5上に載って搬
送される。
【0017】これらカセット3とエレベータ機構4およ
び搬送ベルト5とで、上記基板供給装置2が構成され
る。そして、駆動制御信号にもとづいて1枚の回路基板
Sをカセット3から取り出し、搬送ベルト5が所定の位
置まで搬送して待機するようになっている。
【0018】このような基板供給装置2の一側には架台
1の長手方向に隣接して、3台の搬送ロボット機構6,
7,8が所定間隔を存して配置される。これら搬送ロボ
ット機構6,7,8は、それぞれ支柱9に作動杆10が
水平方向および上下方向に駆動可能に設けられ、さら
に、上記作動杆10の先端部には真空源に連通する吸着
カップ11が設けられている。この吸着カップ11に
は、上記回路基板Sを吸着して搬送するのに充分な吸着
力が発生されるようになっている。
【0019】ここで、上記基板供給装置2側の搬送ロボ
ット機構を基板搬送機構6と呼び、真中の搬送ロボット
機構を第1の移送機構7と呼び、先端側の搬送ロボット
機構を第2の移送機構8と呼ぶ。
【0020】上記基板搬送機構6と、第1の移送機構7
と、第2の移送機構8との相互間には、合計3台のXY
θステージ12,13,14が配置される。これらは、
それぞれNCプログラムにしたがってX,Y,θ方向に
移動自在であり、最上部には図示しない真空源に連通す
る保持ノズルが設けられる。
【0021】ここで、上記基板搬送機構6と第1の移送
機構7との間に配置されるXYθステージを装着ステー
ジ12と呼び、第1の移送機構7と第2の移送機構8と
の間に配置されるXYθステージを第1のボンディング
ステージ13と呼び、第2の移送機構8と架台1端部と
の間に配置されるXYθステージを第2のボンディング
ステージ14と呼ぶ。
【0022】一方、上記基板供給装置2の架台1奥側に
は、部品供給装置15が並設される。これは、TCPで
ある多数のキャリアテープ部品aを収容するトレイ16
が、複数枚架台1上に積層され、タイミングをとって順
次1こづつ給出するようになっている。
【0023】上記キャリアテープ部品aは、図3に示す
ように、フィルム17にリード18が一体に設けられて
なり、このリード18のインナリード18aに半導体素
子19がボンディングされ、リード18のアウタリード
18bには離型紙20で表面が覆われた異方性導電膜2
1が貼着されている。
【0024】このようなキャリアテープ部品aは、長尺
状のフィルムに、上記半導体素子19を所定間隔を存し
てボンディングし、かつそれぞれ異方性導電膜21を接
着してなるものから,個々に打抜いて得られる。
【0025】再び図1に示すように、上記トレイ16の
上方部位には、XYリニア搬送機構22が配設される。
このXYリニア搬送機構22の一部には吸着ノズル23
が設けられていて、所定のキャリアテープ部品aに当接
することにより、これを真空吸着してX−Y方向に搬送
できるようになっている。
【0026】このように、トレイ16と、XYリニア搬
送機構22および吸着ノズル23とで、上記キャリアテ
ープ部品aを順次1こづつ給出する上記部品供給装置1
5が構成される。
【0027】上記吸着ノズル23は、最上段のトレイ1
6に収容したキャリアテープ部品aを給出し、空になっ
た状態で、そのトレイ16を最下端に位置変えするか、
もしくは、エレベータ機構に支持して、空になったトレ
イ16を除去してから順次押し上げるようにしてもよ
い。
【0028】上記部品供給装置15の部品搬送側には仮
圧着手段を構成する部品搬送機構24が配置される。す
なわち、円板状のインデックステーブル25上に、等間
隔を存して4つの部品チャック26を備え、上記テーブ
ル25は90°毎に間欠回転されるようになっている。
【0029】それぞれの部品チャック26の停止位置に
対向して、すなわち、上記インデックステーブル25の
周方向には上記部品供給装置15の部品給出位置から9
0度間隔で後述する剥離機構27、粗位置決め機構2
8、装着機構29が順次配置される。
【0030】上記剥離装置27は、粘着テープ30を巻
装したリール31から、巻取りリール32に対して上記
粘着テープ30を繰り出して巻き取らせるようになって
いる。そして、粘着テープ30の中途部は、上記部品チ
ャック26に保持されるキャリアテープ部品aの上記離
型紙20部分に接触し、離型紙20を貼着して剥離する
ことができる。
【0031】したがって、粘着テープ30には、順次剥
離した離型紙20が付着されるから、全長を使い切った
ときには新たな粘着テープ30を巻装した新たなリール
31と交換される。
【0032】上記粗位置決め装置28は、ここに対向し
て搬送支持される上記キャリアテープ部品aの仮位置決
めをなすためのものである。すなわち、ゲージブロック
33を突没自在に駆動するエアーシリンダのごとき駆動
源34が設けられる。上記ゲージブロック33が突出す
ると、上記部品チャック26に保持されたキャリアテー
プ部品aの端縁に当接し、この概略の正しい位置が揃え
られる。
【0033】上記装着機構29は、上記インデックステ
ーブル25の中心軸に沿って駆動軸35を有し、この駆
動軸35の上端部に設けられる支持バー36の端部に、
装着ヘッド37が設けられてなる。すなわち、この装着
ヘッド37は、上記部品チャック26上の粗位置決めさ
れたキャリアテープ部品aを吸着し、後述する装着圧力
支持機構38に向かって下降駆動されるようになってい
る。
【0034】上記装着圧力支持機構38は、上記装着ス
テージ12の近傍に配置されていて、支持ブロック39
を上下駆動および進退駆動する駆動源40を備えてい
る。上記支持ブロック39は、上記装着ステージ12上
に支持される回路基板Sの、キャリアテープ部品aを装
着すべき端子部下面に当接するよう位置調整される。
【0035】しかも、上記支持ブロック39は、極めて
強い剛性を有する構造および素材からなり、上記装着ヘ
ッド37の押圧力に対して位置変動なく、回路基板Sを
支持するようになっている。
【0036】上記装着圧力支持機構38に近接して、認
識光学系41が設けられる。この認識光学系41は、上
記装着ステージ12上の回路基板Sが位置検出ポジショ
ンへ移動した後、回路基板SのリードRs および上記装
着ヘッド37に吸着されるキャリアテープ部品aのアウ
タリード18bを下方から撮像するCCDカメラ42を
有する。認識光学系41からの撮像信号は第1の画像処
理装置61によって画像処理される。この画像処理装置
61からの信号は制御装置62に入力され、それによっ
て制御装置62は上記装着ヘッド37と装着圧力支持機
構38のそれぞれの駆動源に必要な位置合わせのための
駆動信号を送るようになっている。
【0037】なお、上記認識光学系41が認識操作を行
っているときは、上記装着圧力支持機構38は認識光学
系41の視野範囲から外れており、撮像の邪魔をしない
よう制御される。
【0038】さらに、上記認識光学系41は、回路基板
Sにテ−プキャリア部品aを仮圧着した後、この回路基
板Sのリ−ドRsと、テ−プキャリア部品aのアウタリ
−ド18bとの配列方向両端部を撮像し、その撮像信号
を上記第1の画像処理装置61へ送る。画像処理装置6
1は図4に示すように各リ−ドRs,18bの配列方向
両端のずれ量A,Bを検出し、その検出値を上記制御装
置62に入力する。
【0039】上記第1のボンディングステージ13およ
び第2のボンディングステージ14にそれぞれ対向し
て、本圧着手段を構成する第1のボンディング装置43
および第2のボンディング装置44が配置される。これ
らボンディング装置43,44は、ヒータ43b,44
bを内蔵した複数のボンディングヘッド43a,44a
を有し、これらボンデイングヘッド43a,44aはた
とえばねじ機構などの駆動源64によってそれぞれ上下
駆動されるようになっている。
【0040】上記各ボンディングヘッド43a,44a
は、テ−プキャリア部品aのアウタリ−ド18bが設け
られた一辺とほぼ同じ長さを有している。すなわち、回
路基板Sの一辺に仮圧着された複数のキャリアテープ部
品aをそれぞれ本圧着できる長さに設定される。
【0041】各ボンデイングヘッド43a,44aに内
蔵されたヒ−タによるこれらボンデイングヘッド43
a,44aの温度、上記駆動源64による各ボンデイン
グヘッド43a,44aのストロ−ク、つまり本圧着時
におけるキャリアテープ部品aに対する加圧力および加
圧時間の3つのファクタ−のうちの少なくとも温度は、
仮圧着後に上記第1の画像処理装置61によって検出さ
れた各リ−ドRs,18bの配置方向両端の位置ずれ量
A,Bに基づいて上記制御装置62により後述するごと
く制御されるようになっている。
【0042】上記各ボンディングヘッド43a,44a
に対向する下方部位には、第1のボンディング圧力支持
機構45および第2のボンディング圧力支持機構46が
設けられる。これは、上記ボンディングヘッド43a,
44aの長さの和とほぼ同一の全長を有し、かつ正対し
た位置にあって、上下動自在に駆動される。そして、回
路基板Sとキャリアテープ部品aとのボンディング時
に、上記回路基板Sの下面を支持するようになってい
る。
【0043】なお、本圧着時における加圧力の制御は上
記駆動源6に代えて上記第1、第2の圧力支持機構4
5,46で行うようにしてもよい。つぎに、このように
して構成されるアウタリードボンディング装置のアウタ
リードボンディング作用について説明する。
【0044】基板供給装置2から給出される1枚の回路
基板Sを、基板搬送機構6が装着ステージ12に搬送
し、ここで吸着支持する。認識光学系41は、回路基板
Sの所定の端子を認識視野内に入れて認識する。
【0045】一方、部品供給装置15は、1つのキャリ
アテープ部品aを給出し、これを部品搬送機構24の部
品チャック26が真空吸着する。インデックステーブル
25が90度回転して一旦停止したとき剥離機構27に
対向し、キャリアテープ部品aの異方性導電膜21を覆
う上記離型紙20が剥離される。
【0046】さらにインデックステーブル25が90°
回動して停止すると、粗位置決め装置28に対向し、部
品チャック26の真空吸着が一旦緩んで、キャリアテー
プ部品aは自由状態になる。ただちにゲージブロック3
3が突出して、キャリアテープ部品aを位置決めする。
【0047】このような粗位置決め終了後、再び部品チ
ャック26は、キャリアテープ部品aを真空吸着し、タ
イミングをとって、さらにインデックステーブル25が
90度回動して停止する。ここで装着機構29に対向
し、この装着ヘッド37が下降して部品チャック26か
らキャリアテープ部品aを吸着保持する。
【0048】上記装着ヘッド37による保持状態のま
ま、キャリアテープ部品aのアウタリード18bが、認
識光学系41の認識視野範囲にある回路基板Sのリ−ド
Rsとともに位置認識される。この認識光学系41は、
キャリアテープ部品aのアウタリード18bに対する回
路基板Sのリ−ドRsの位置ずれ量を視覚認識によって
検出し、その認識信号にもとずいて、装着ステージ12
が回路基板Sの移動量の補正を行い位置合わせする。
【0049】位置合わせ動作が終了した状態で、装着圧
力支持機構38が装着位置下部に移動し、回路基板S下
面を支持する。そして、装着ヘッド37が下降して装着
圧力支持機構38に支持される回路基板Sのリ−ドRs
にキャリアテープ部品aのアウタリード18bを押し付
ける。
【0050】すなわち、回路基板Sの所定のリ−ドRs
とキャリアテープ部品aのアウタリード18bとは、上
記異方性導電膜21を介して仮圧着される。上記装着ヘ
ッド37は、キャリアテープ部品aの吸着を停止し、そ
のまま上昇してつぎに搬送されるキャリアテープ部品a
を待機する。
【0051】なお、上記インデックステーブル25の9
0°毎の間欠回転にともなって、上記部品チャック26
はキャリアテープ部品aを、先に説明した通りに順次搬
送し、同様に処理することは、言う迄もない。そして、
このようにして搬送されるキャリアテープ部品aを、回
路基板Sの所定のリ−ドRs位置に、所定数だけ装着す
るよう、NCプログラムが設定される。たとえば、この
実施形態では回路基板Sの一側に対して2つのテ−プキ
ャリア部品aが仮圧着される。
【0052】仮圧着が終了すると、認識光学系41によ
って回路基板Sのリ−ドRsとテ−プキャリア部品aの
アウタリ−ド18bとの配列方向両端のずれ量A,Bが
検出され、その検出信号は画像処理装置61で処理され
て制御装置62に入力される。通常、上記テ−プキャリ
ア部品aの仮圧着工程では、上記ずれ量AとBとが等し
くなるよう、上kテ−プキャリア部品aに対して回路基
板Sが位置決めされる。
【0053】上記制御装置62は、本圧着時に上記テ−
プキャリア部品aが上記ずれ量A,Bの和だけ伸びるよ
う、本圧着時の圧着条件を設定する。つまり、本圧着時
にボンデイングツ−ル43a,44aのヒ−タ43b,
44bによってテ−プキャリア部品aに加える熱量であ
る、ボンデイングツ−ル43a、44aの温度、加圧時
間および加圧力のうち、少なくとも温度が制御される。
【0054】上記温度、加圧時間および加圧力の要因に
よるテ−プキャリア部品aの伸び量は予め測定されてい
て、そのデ−タが制御装置62に記憶されいる。したが
って、上記認識光学系42によって回路基板Sのリ−ド
Rsとテ−プキャリア部品aのアウタリ−ド18bとの
配列方向両端のずれ量A,Bが制御装置62に入力され
ることで、そのずれ量A,Bがほとんどなくなるような
条件で、上記テ−プキャリア部品aが以下のごとく本圧
着されることになる。
【0055】まず、第1の移送機構7が動作して、装着
ステージ12上の回路基板Sをキャリアテープ部品aと
ともに吸着保持し、第1のボンディングステージ13上
に移載する。
【0056】この第1のボンディングステージ13は、
NCプログラムにしたがって移動し、回路基板Sとキャ
リアテープ部品aをボンディング位置に対向させる。す
ると、第1のボンディング圧力支持機構45が上昇する
とともに、第1のボンディング機構43の高温状態にあ
るボンディングヘッド43aが下降して、回路基板Sと
キャリアテープ部品aを挟持する。
【0057】上記第1のボンディング圧力支持機構43
は、回路基板Sを支持する所定位置で上昇が停止する
が、上記ボンディングヘッド43aはさらに降下を継続
して、テ−プキャリア部品aを回路基板Sに加圧する。
【0058】上記ボンディングヘッド43aは、制御装
置62の設定に基づいて所定の温度および圧力で、所定
の時間だけ、加熱・加圧状態を継続し、回路基板Sの一
辺の端子に異方性導電膜21を介して複数(ここでは2
こ)のテ−プキャリア部品aのアウタリードを別々のボ
ンデイングヘッド43aで同時にボンディングする。す
なわち、本圧着が行われる。この本圧着では、上述した
ごとくボンデイング条件が設定されるから、テ−プキャ
リア部品aが所定量伸び、回路基板Sのリ−ドRsに対
するテ−プキャリア部品aのアウタリ−ド18bのずれ
量をほとんどなくすことができる。
【0059】上記第1のボンディングステージ13にお
いて、たとえば回路基板Sの二辺に対するボンディング
を行ったら、第2の搬送機構8を動作させ、第2のボン
ディングステージ14に移送する。そして、ここで残り
の一辺に対するボンディングを行って、必要なボンディ
ングを全て終了する。
【0060】結局、図2に示すような回路基板Sに複数
のキャリアテープ部品aを実装した電子部品製品が完成
することになる。各テ−プキャリア部品aはそれぞれ異
なるボンデイングヘッド43a,44aによって本圧着
される。そのため、各テ−プキャリアaは、仮圧着状態
におけるリ−ドRs,18bのずれ量に応じ、そのずれ
量をなくす温度などの条件に制御されたボンデイングヘ
ッド43a,44aによって本圧着されるから、各テ−
プキャリア部品aをそのアウタリ−ド13bが回路基板
Sのリ−ドRsに対して接続ずれを生じることなく実装
することができる。
【0061】なお、この発明は上記実施形態に限定され
ず、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能であ
る。たとえば、テ−プキャリア部品と回路基板とのリ−
ドのずれ量を仮圧着工程に設けられた認識光学系で検出
するようにしたが、本圧着工程を行うボンデイングステ
−ジの近傍に認識光学系を配置し、本圧着する前に上記
各リ−ドのずれ量を検出するようにしてもよい。
【0062】
【発明の効果】以上述べたように、請求項1と請求項4
の発明によれば、回路基板にテ−プキャリア部品を本圧
着する前に回路基板とテ−プキャリア部品とのリ−ドの
ずれ量を検出し、その検出結果に応じて本圧着時の圧着
条件を制御するようにした。
【0063】そのため、上記各リ−ドのずれ量が一定で
なくとも、そのずれ量に応じて上記テ−プキャリア部品
が伸ばされるため、テ−プキャリア部品のリ−ドを回路
基板のリ−ドに対して確実に接続することができる。
【0064】請求項2の発明は、回路基板とテ−プキャ
リア部品とのリ−ドのずれ量を、これらリ−ドの配置方
向両端に位置するリ−ドによって検出するようにした。
そのため、回路基板とテ−プキャリア部品とのリ−ドが
1ピッチ以上ずれている場合でも、そのずれ量の検出を
確実かつ迅速に行える。
【0065】請求項3の発明によれば、回路基板とテ−
プキャリア部品とのリ−ドのずれ量に応じて本圧着時の
圧着条件のうちの温度を制御するようにしたことで、テ
−プキャリア部品を上記ずれ量に応じた伸び量にでき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態のボンデイング装置の全
体構成を示す概略図。
【図2】テ−プキャリア部品が挿着された液晶セルの斜
視図。
【図3】テ−プキャリア部品の斜視図。
【図4】回路基板に形成されたリ−ドと、この回路基板
に仮圧着されたテ−プキャリア部品に形成されたアウタ
リ−ドとのずれ量を説明するための図。
【図5】認識光学系で検出されたずれ量によってボンデ
イング条件を制御するためのブロック図。
【符号の説明】
a…テ−プキャリア部品、S…回路基板、Rs,18b
…リ−ド、12…挿着ステ−ジ(仮圧着手段)、25…
インデックステ−ブル(仮圧着手段)、37…挿着ヘッ
ド(仮圧着手段)、41…認識光学系(検出手段)、4
3a,44a…ボンデイングツ−ル(本圧着手段)、6
2…制御装置(制御手段)。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 テ−プキャリア部品を回路基板に仮圧着
    してから本圧着するためのボンデイング装置において、 上記テ−プキャリア部品を回路基板に仮圧着するための
    仮圧着手段と、 上記回路基板のリ−ドとこの回路基板に仮圧着されたテ
    −プキャリア部品のリ−ドとのずれ量を検出する検出手
    段と、 上記回路基板に仮圧着されたテ−プキャリア部品を本圧
    着する本圧着手段と、 この本圧着手段により上記テ−プキャリア部品を本圧着
    する際に上記検出手段が検出した上記回路基板のリ−ド
    とテ−プキャリア部品のリ−ドとのずれ量に応じて上記
    本圧着手段による圧着条件を制御する制御手段とを具備
    したことを特徴とするボンデイング装置。
  2. 【請求項2】 上記検出手段は、上記回路基板のリ−ド
    の配列方向両端に位置するリ−ドとこの回路基板に仮圧
    着されたテ−プキャリア部品のリ−ドの配置方向の互い
    に対向するリ−ドどうしの両端に位置するリ−ドのずれ
    量を検出することを特徴とする請求項1記載のボンデイ
    ング装置。
  3. 【請求項3】 上記制御手段は、上記本圧着手段が上記
    テ−プキャリア部品を本圧着する際の温度を制御するこ
    とを特徴とする請求項1記載のボンデイング装置。
  4. 【請求項4】 テ−プキャリア部品を回路基板に仮圧着
    してから本圧着するためのボンデイング方法において、 上記テ−プキャリア部品を回路基板に仮圧着する仮圧着
    工程と、 上記回路基板のリ−ドとこの回路基板に仮圧着されたテ
    −プキャリア部品のリ−ドとのずれ量を検出する検出工
    程と、 この検出工程により検出されたずれ量に応じて上記回路
    基板に仮圧着されたテ−プキャリア部品を本圧着する条
    件を制御して本圧着する本圧着工程とを具備したことを
    特徴とするボンデイング方法。
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