JPH09223646A - 積層コンデンサの製造における内部電極のずれ検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 積層コンデンサにおけるチップ体Ａ５内の各
内部電極Ａ１，Ａ３における相互間の長さ方向及び幅方
向についての相対的なずれを、能率良く検査すると共
に、不良品の発生率を低減する。 【手段】 多数の内部電極Ａ１，Ａ３を形成したセラミ
ックグリーンシートＢ１，Ｂ２の積層板Ｄを、その周囲
の積層余白部Ｄ１より内側でチップ体Ａ５に切断する製
造方法において、前記各セラミックグリーンシートにお
ける各内部電極に、長さ方向の延長部Ａ１′，Ａ３′
と、幅方向の延長部Ａ１″，Ａ３″を設けて、前記積層
余白部Ｄ１における切断面Ｄ１′，Ｄ１″に、前記各延
長部を現出し、前記積層余白部の切断面を撮影した画像
上で、前記各長さ方向の延長部の相互間における相対的
なずれ寸法、及び各幅方向の延長部の相互間における相
対的なずれ寸法を測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、図１〜図３に示す
ように、一方極の内部電極Ａ１を形成した第１セラミッ
クシートＡ２の複数枚と、他方極の内部電極Ａ３を形成
した第２セラミックシートＡ４の複数枚とを、これらに
おける内部電極Ａ１，Ａ３が交互に重なるように積層し
たのちチップ体Ａ５に一体化し、このチップ体Ａ５の一
端面Ａ５′に、前記各第１セラミックシートＡ２におけ
る内部電極Ａ１に対する端子電極Ａ６を、他端面Ａ５″
に前記各第２セラミックシートＡ４における内部電極Ａ
３に対する端子電極Ａ７を各々形成して成る積層コンデ
ンサＡにおいて、この積層コンデンサＡの製造に際し
て、当該積層コンデンサＡにおける各内部電極Ａ１，Ａ
３の相互間における相対的なずれ変位を検査する方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の積層コンデンサの製造に
際しては、例えば、特開昭６１−１４４８１１号公報及
び特開平１−３１２８１７号公報等に記載されているよ
うに、表面に前記一方極の内部電極Ａ１の多数個をスク
リーン印刷にて形成した第１セラミックグリーンシート
の複数枚と、表面に前記他方極の内部電極Ａ３の多数個
をスクリーン印刷にて形成した第２セラミックグリーン
シートの複数枚とを交互に積層したのち、その積層方向
に圧縮することにより、前記各セラミックグリーンシー
トを積層板に一体化し、次いで、この積層板を、前記各
チップ体Ａ５ごとに切断して、焼成炉で焼成したのち、
各チップ体Ａ５の両端に端子電極Ａ６，Ａ７を形成する
と言う方法を採用している。

【０００３】しかし、この製造方法において、各チップ
体Ａ５における各一方極の内部電極Ａ１の相互間、各他
方極の内部電極Ａ３の相互間、及び各一方極の内部電極
Ａ１と各他方極の内部電極Ａ３との相互間には、前記各
セラミックグリーンシートの表面に対して各内部電極を
スクリーン印刷するときの印刷ずれ、及び、各セラミッ
クグリーンシートの複数枚を積層するときの重ねずれ等
のために、長さ方向及び幅方向との両方について相対的
なずれが必然的に発生して、この相対的にずれにより、
一方極の内部電極Ａ１と他方極の内部電極Ａ３の重なり
面積が変化し、ひいては、積層コンデンサにおける容量
値が変化することになる。

【０００４】そこで、従来は、積層板から各チップ体Ａ
５に切断したあとのチップ体Ａ５における両端面Ａ
５′，Ａ５″の各々には内部電極Ａ１，Ａ３が露出して
いる点に着目し、各チップ片Ａ５における両端面Ａ
５′，Ａ５″を、カメラにて撮影し、この画像を二値化
処理することによって、各内部電極Ａ１，Ａ３の相互間
における相対的なずれが、許容範囲内であるか否かを検
査し、相対的にずれが許容範囲内であると認められたチ
ップ体Ａ５のみを次の工程に移行するようにしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来は、
各チップ片における各内部電極の相互間における相対的
なずれの検査を、各チップ体Ａ５について一つずつ行う
ようにしているから、これに多大の手数と時間とを必要
して、製造コストがアップするのであり、しかも、従来
の方法では、各内部電極Ａ１，Ａ３における幅方向につ
いての相対的なずれのみしか検査できず、各内部電極Ａ
１，Ａ３における長さ方向についての相対的なずれを検
査することができないから、長さ方向についての相対的
なずれに起因する不良品の発生率が高いと言う問題があ
った。

【０００６】本発明は、積層コンデンサを製造する場合
における各セラミックグリーンシートの周囲には余白部
が設けられており、このセラミックグリーンシートの積
層板を、各チップ片ごとに切断するに際しては、前記余
白部よりも内側において切断するようにしている（例え
ば、実開平５−２０５９７２号公報参照）ことに着目し
て、このことを利用して前記の問題を解消することを技
術的課題とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明は、「表面に多数の内部電極を形成し、且
つ、周囲に余白部を設けて成るセラミックグリーンシー
トの複数枚を積層・一体化した積層板を、その周囲にお
ける積層余白部より内側において各内部電極ごとのチッ
プ体に切断するようにした積層コンデンサの製造方法に
おいて、前記各セラミックグリーンシートにおける各内
部電極のうちセラミックグリーンシート周囲の余白部に
隣接する内部電極に、その長さ方向の一端部から前記余
白部に延びる長さ方向の延長部と、その幅方向の一側面
から前記余白部に延びる幅方向の延長部とを一体的に設
けて、前記切断したあとの積層余白部における切断面
に、前記各内部電極における長さ方向の延長部及び幅方
向の延長部が現出するようにし、前記積層余白部におけ
る切断面を撮影し、その撮影画像を処理した画像上で、
前記各長さ方向の延長部の相互間における相対的なずれ
寸法、及び各幅方向の延長部の相互間における相対的な
ずれ寸法を測定することを特徴とする。」ものである。

【０００８】

【発明の作用・効果】各セラミックグリーンシートにお
ける各内部電極のうちセラミックグリーンシート周囲の
余白部に隣接する内部電極に設けた長さ方向の延長部及
び幅方向の延長部は、各セラミックグリーンシートに各
内部電極をスクリーン印刷にて形成するとき、各内部電
極と一緒にずれ変位すると共に、各セラミックグリーン
シートを積層するときにおいても各内部電極と一緒にず
れ変位するものであるから、前記セラミックグリーンシ
ートの複数枚を積層・一体化した積層板を、その周囲に
おける積層余白部より内側において各チップ体ごとに切
断したあとにおける積層余白部の切断面には、前記各内
部電極における長さ方向の延長部及び幅方向の延長部
が、各内部電極と同じようにずれた状態で現出すること
になる。

【０００９】そこで、前記積層余白部における切断面を
撮影し、その撮影画像を処理した画像上で、前記各長さ
方向の延長部の相互間における相対的なずれ寸法、及び
各幅方向の延長部の相互間における相対的なずれ寸法を
測定することにより、一枚の積層板から製造される各チ
ップ体における各内部電極の相互間の長さ方向及び幅方
向についての相対的なずれが、許容範囲内である否か
を、多数個のチップ体について同時に検査することがで
きるのである。

【００１０】すなわち、本発明によると、一枚の積層板
から製造される複数個の各チップ体における各内部電極
の相互間の長さ方向及び幅方向についての相対的なずれ
を、各チップ体について同時に検査することができるこ
とにより、検査に要する手数を大幅に低減できると共
に、検査に要する時間を大幅に短縮できるのであり、し
かも、各内部電極の相互間における長さ方向についての
相対的なずれをも同時に検査できることにより、長さ方
向についての相対的なずれに起因する不良品の発生率を
確実に低減できると言う効果を有する。

【００１１】この場合において、「請求項２」に記載し
たように、各内部電極における幅方向の延長部を、その
各々の内部電極に対して分断して形成することにより、
各内部電極の面積が、前記幅方向の延長部のために増大
することがないから、この幅方向の延長部が設けられて
いる積層コンデンサにおける容量が、当該幅方向の延長
部を設けたことのために、所定の容量値が外れることを
回避でき、換言すると、前記幅方向の延長部を設けたこ
とのために不良品が発生することを回避できるのであ
る。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明における実施の形態
を、製造方法と一緒に図４〜図９の図面について説明す
る。図４は、複数枚のセラミックグリーンシートを示
し、この各セラミックグリーンシートのうち上から数え
て奇数番目の各第１セラミックグリーンシートＢ１は、
その表面に一方極の内部電極Ａ１が多数形成されている
と共に、その周囲に幅寸法Ｌの余白部Ｂ１′が設けられ
ている。また、上から数えて偶数番目の各第２セラミッ
クグリーンシートＢ２にも、その表面に他方極の内部電
極Ａ３が多数形成されていると共に、その周囲に幅寸法
Ｌの余白部Ｂ１′が設けられている。

【００１３】この場合において、前記各第１セラミック
グリーンシートＢ１における各内部電極Ａ１、及び、前
記各第１セラミックグリーンシートＢ２における各内部
電極Ａ３のうち前記余白部Ｂ１′，Ｂ２′に隣接する各
内部電極Ａ１，Ａ３には、長さ方向の一端部から前記余
白部Ｂ１′，Ｂ２′に延びる長さ方向の延長部Ａ１′，
Ａ３′と、その幅方向の一側面から前記余白部Ｂ１′，
Ｂ２′に延びる幅方向の延長部とＡ１″，Ａ３″とを一
体的に設ける。

【００１４】しかも、前記各幅方向の延長部とＡ１″，
Ａ３″は、その各々の内部電極Ａ１，Ａ３に対して分断
して設けるようにする。また、これら各幅方向の延長部
とＡ１″，Ａ３″は、各セラミックグリーンシートＢ
１，Ｂ２を積層したとき、積層方向に一直線に並ぶよう
な位置に設けられている。そして、これらの各第１セラ
ミックグリーンシートＢ１及び各第２セラミックグリー
ンシートＢ２の複数枚の各々を、交互に積層すると共
に、その上面にカバー用セラミックグリーンシートＣを
積層したのち、その積層方向に圧縮することにより、図
５に示すように、積層板Ｄに一体化する。

【００１５】次いで、この積層板Ｄを、これに図５に示
すように、薄い切断刃Ｅを押し込むことにより、その周
囲における積層余白部Ｄ１よりも内側において、図６に
示すように、各チップ体Ａ５ごとに切断する。この切断
により、図７に示すように、前記積層余白部Ｄ１におけ
る一方の切断面Ｄ１′には、前記各第１セラミックグリ
ーンシートＢ１に各内部電極Ａ１における長さ方向の延
長部Ａ１′と、前記各第２セラミックグリーンシートＢ
２に各内部電極Ａ３における長さ方向の延長部Ａ３′と
が現出する一方、前記積層余白部Ｄ１における他方の切
断面Ｄ１″には、前記各第１セラミックグリーンシート
Ｂ１に各内部電極Ａ１における幅方向の延長部Ａ１″
と、前記各第２セラミックグリーンシートＢ２に各内部
電極Ａ３における幅方向の延長部Ａ３″とが現出するこ
とになる。

【００１６】この場合において、前記各長さ方向の延長
部Ａ１′，Ａ３′及び各幅方向の延長部Ａ１″，Ａ３″
は、各セラミックグリーンシートＢ１，Ｂ２に各内部電
極Ａ１，Ａ３をスクリーン印刷にて形成するとき、各内
部電極Ａ１，Ａ３と一緒にずれ変位すると共に、各セラ
ミックグリーンシートＢ１，Ｂ２を積層板Ｄに積層する
ときにおいても各内部電極Ａ１，Ａ３と一緒にずれ変位
するものであるから、前記積層余白部Ｄ１における両切
断面Ｄ１′，Ｄ１″には、前記各長さ方向の延長部Ａ
１′，Ａ３′及び各幅方向の延長部Ａ１″，Ａ３″が、
各内部電極Ａ１，Ａ３と同じようにずれた状態で現出す
ることになる。

【００１７】そこで、前記積層余白部Ｄ１における両切
断面Ｄ１′，Ｄ１″の各々を、図示しないカメラにて撮
影し、前記一方の切断面Ｄ１′の撮影画像を二値化処理
し、この画像上において、図８に示すように、各一方極
の内部電極Ａ１における長さ方向の延長部Ａ１′の相互
間における幅方向についての相対的なずれ寸法Ｓ１′、
及び、各他方極の内部電極Ａ３における長さ方向の延長
部Ａ３′の相互間における幅方向についての相対的なず
れ寸法Ｓ２′、並びに、各一方極の内部電極Ａ１におけ
る長さ方向の延長部Ａ１′と各他方極の内部電極Ａ３に
おける長さ方向の延長部Ａ３′との相互間における幅方
向についての相対的なずれ寸法Ｓ３′を演算にて求める
ことにより、各チップ体Ａ５における各一方極の内部電
極Ａ１の相互間における幅方向についての相対的なずれ
寸法、及び、各他方極の内部電極Ａ３の相互間における
幅方向についての相対的なずれ寸法、並びに、各一方極
の内部電極Ａ１と各他方極の内部電極Ａ３との相互間に
おける幅方向についての相対的なずれ寸法を測定するこ
とができる。

【００１８】一方、前記積層余白部Ｄ１における他方の
切断面Ｄ１″の撮影画像を二値化処理し、この画像上に
おいて、図９に示すように、各一方極の内部電極Ａ１に
おける幅方向の延長部Ａ１″と各他方極の内部電極Ａ３
における幅方向の延長部Ａ３″との相互間における長さ
方向についての相対的なずれ寸法Ｓ１″とか、各一方極
の内部電極Ａ１における幅方向の延長部Ａ１″の相互間
における長さ方向についての相対的なずれ寸法、及び、
各他方極の内部電極Ａ３における幅方向の延長部Ａ３″
の相互間における長さ方向についての相対的なずれ寸法
を適宜演算することにより、各チップ体Ａ５における各
一方極の内部電極Ａ１と各他方極の内部電極Ａ３との相
互間における長さ方向についての相対的なずれ寸法、各
一方極の内部電極Ａ１の相互間における長さ方向につい
ての相対的なずれ寸法、及び、各他方極の内部電極Ａ３
の相互間における長さ方向についての相対的なずれ寸法
を測定することができる。

【００１９】この場合において、各内部電極Ａ１，Ａ３
における幅方向の延長部Ａ１″，Ａ３″は、その各々の
内部電極Ａ１，Ａ３に対して分断して形成されいるか
ら、この各幅方向の延長部Ａ１″，Ａ３″の面積が、そ
の各々の内部電極Ａ１，Ａ３に加算されることはないの
である。なお、このようにして、内部電極のずれの検査
を完了したチップ体Ａ５は、そのずれが許容範囲を越え
ているものを除き、チップ体Ａ５を焼成炉で焼成する工
程を経たのち、チップ体Ａ５の両端に端子電極Ａ６，Ａ
７を形成する工程に移行して、図１〜図３に示すような
積層コンデンサに完成する。

【図面の簡単な説明】

【図１】積層コンデンサの縦断正面図である。

【図２】図１のII−II視断面図である。

【図３】図１のIII −III 視断面図である。

【図４】セラミックグリーンシートを示す斜視図であ
る。

【図５】セラミックグリーンシートの複数枚を積層した
積層板を示す斜視図である。

【図６】図５の積層板をチップ体と積層余白部とに切断
した状態の斜視図である。

【図７】積層余白部の拡大斜視図である。

【図８】図７のVIII−VIII視拡大断面図である。

【図９】図７のIX−IX視拡大断面図である。

【符号の説明】

Ａ１ 一方極の内部電極 Ａ２ 第１セラミックシート Ａ３ 他方極の内部電極 Ａ４ 第２セラミックシート Ａ５ チップ体 Ａ６，Ａ７ 端子電極 Ｂ１ 第１セラミックグリーンシー
ト Ｂ１′ 余白部 Ｂ２ 第２セラミックグリーンシー
ト Ｂ２′ 余白部 Ｃ カバー用セラミックグリーン
シート Ｄ 積層板 Ｄ１ 積層余白部 Ａ１′ 一方極の内部電極における長
さ方向の延長部 Ａ１″ 一方極の内部電極における幅
方向の延長部 Ａ３′ 他方極の内部電極における長
さ方向の延長部 Ａ３″ 他方極の内部電極における幅
方向の延長部 Ｄ１′，Ｄ１″ 積層余白部の切断面

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】表面に多数の内部電極を形成し、且つ、周
   囲に余白部を設けて成るセラミックグリーンシートの複
   数枚を積層・一体化した積層板を、その周囲における積
   層余白部より内側において各内部電極ごとのチップ体に
   切断するようにした積層コンデンサの製造方法におい
   て、前記各セラミックグリーンシートにおける各内部電
   極のうちセラミックグリーンシート周囲の余白部に隣接
   する内部電極に、その長さ方向の一端部から前記余白部
   に延びる長さ方向の延長部と、その幅方向の一側面から
   前記余白部に延びる幅方向の延長部とを一体的に設け
   て、前記切断したあとの積層余白部における切断面に、
   前記各内部電極における長さ方向の延長部及び幅方向の
   延長部が現出するようにし、前記積層余白部における切
   断面を撮影し、その撮影画像を処理した画像上で、前記
   各長さ方向の延長部の相互間における相対的なずれ寸
   法、及び各幅方向の延長部の相互間における相対的なず
   れ寸法を測定することを特徴とする積層コンデンサの製
   造における内部電極のずれ検査方法。
2. 【請求項２】前記「請求項１」において、前記各内部電
   極に対する幅方向の延長部を、その各々の内部電極に対
   して分断して形成することを特徴とする積層コンデンサ
   の製造における内部電極のずれ検査方法。