JPH09215908A - ガス状炭化水素を含む廃棄ガスから炭化水素を回収する方法 - Google Patents

ガス状炭化水素を含む廃棄ガスから炭化水素を回収する方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 粒状活性炭,繊維状活性炭等の可燃性吸着剤
を用いて、廃棄ガスから安全に、かつ効率よくガス炭化
水素を回収すると共に、大気中に放出するガス中の残存
炭化水素濃度を1VOL%以下にし得る、ガス状炭化水素
を含む廃棄ガスから炭化水素を回収する方法を提供する
こと。 【解決手段】 吸着剤(粒状活性炭)充填用円筒2a,3
aと、この吸着剤層を両側から冷却するための減圧水循
環用外筒2b,3b及び内筒2c,3cを配設した吸着
塔2,3を用い、吸着・脱着の切り換え時間を5分程度
とし、完全ドライ型真空ポンプ4を用いて真空排気して
脱着させる。そして、該真空ポンプ4からの吐出ガス
(パ−ジ排ガス)を2気圧近く迄高めて吐出させると共
に、該真空ポンプ4の冷媒として用いた液体ガソリンの
ガソリン蒸気をパ−ジ排ガス抽気管14に戻し、パ−ジ排
ガス中のガソリンベ−パ−濃度を高めた後、冷却液化法
によりガソリンを回収する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガス状炭化水素を
含む廃棄ガスから炭化水素を容易に、しかも効率よく回
収する方法に関する。また、本発明は、光化学スモッグ
の原因物質の一つであるガス状炭化水素の濃度を1VOL
%以下にして大気中に排出するための、ガス状炭化水素
を含む廃棄ガスの処理方法,吸着剤層内で発生する多量
な熱量を速やかに除去して吸着剤層内の局部加熱による
異常な温度上昇を抑制し、吸着装置内の温度を均一化す
るための方法を含む上記方法に関する。
【0002】
【従来の技術】光化学スモッグを引き起こす原因物質の
一つであるガス状炭化水素については、米国,欧州,日
本をはじめとする先進国はもとより、台湾,メキシコ,
中国等にいたるまで、大気中に放散する濃度が法的に厳
しく規制されている。この規制値の水準は、各国の事情
によって異なるが、日本を除く先進諸国では、米国の環
境保護局(EPA)が定めた1VOL%以下(38mg/L以下)で
あり、米国,欧州等はこれを尊守している。
【0003】しかし、最近この規制値は更に厳しくな
り、以前の値の1/3以下に引き下げられた。我国の場
合の規制値は比較的緩く、各地方自治体の条例によって
まちまちであるが、標準は5VOL%以下である。そこで
東京都をはじめ主要な都市,県では、炭化水素排出防止
のための機器の設置を義務づけている。このため、条例
に定められた規制値をクリヤ−するための工業的規模の
装置が各地に多数設置されている。
【0004】ところで、ガス状炭化水素の発生源として
特に問題視されているのは、揮発性炭化水素類を貯蔵す
る際の荷揚げ時や積み卸し時に発生する廃棄ガスであ
り、タンクロ−リ−車,貨車,貯蔵タンク,内航タンカ
−等が対象になる。
【0005】このようなガス状炭化水素を含む廃棄ガス
の処理・回収法として、従来から広く用いられている方
法は、(1) 不揮発性の炭化水素系溶剤を用いる吸収法
(常圧吸収,減圧再生法)、(2) 透過膜を用いるガス分離
膜法、(3) 極く低温に冷却する深冷法、(4) 活性炭やゼ
オライトを用いる吸着法、などである。
【0006】上記(1)〜(4)の方法のうち、(1)の吸収法
は、特公昭54−8632号公報に記載されているように、廃
棄ガスを不揮発性の炭化水素系溶剤で洗浄して、該ガス
中の揮発性炭化水素を溶かし込み、溶解しない空気はそ
のまま大気に排出する。次に、揮発性炭化水素を含んだ
該溶剤を真空容器にフラッシュさせて揮発性炭化水素ベ
−パ−と不揮発性の炭化水素系溶剤に分離し、分離した
揮発性炭化水素は同質の炭化水素液体で洗浄して回収す
る一方、同じく回収された不揮発性の炭化水素系溶剤を
循環使用する方法であつて、我国ではもっとも広く採用
されている方法である。
【0007】一方、諸外国でもっとも広く採用されてい
る方法は、活性炭を用いる吸着法である。この活性炭吸
着法は、特開昭57−14687号,特開昭57−42319号,特公
昭59−50715号,特公昭59−50716号,特公平2−46630号
の各公報に開示されているが、これより先に提案されて
いる前記(1)の吸収法と比較してみると、この活性炭吸
着法は、システムの構成はほぼ同じで、ただ不揮発性の
炭化水素系溶剤にガス状炭化水素を吸収せしめる工程
を、活性炭を用いる吸着工程に置き換えたに過ぎない技
術とみなされる。換言すれば、前記(1)の吸収法は、 液
体吸着剤を流動床で使用する方法ともいえる。
【0008】しかしながら、前記(1)の吸収法の欠点
は、廃棄ガスを処理した後に大気中に放散される空気中
のガス状炭化水素の残存濃度が、真空容器の真空度によ
って一義的に決まるため、米国のEPAの規制値をクリ
ヤ−するためには、真空度を3mmHg程度まで落とす
必要がある。しかし、かかる高真空で、しかも数百m3
/Hr以上の廃棄ガスを処理する真空ポンプは現在見あ
たらない。このため、前記(1)の吸収法では、EPAの
規制値をクリヤ−することができない。
【0009】一方、活性炭吸着法は、ガス状炭化水素の
吸着に際し発生する莫大な吸着熱の除去手段が完璧であ
れば、EPAの規制値は容易にクリヤ−できる。しか
し、活性炭を用いてガス状炭化水素を吸着させる場合に
発生する吸着熱は、10〜15KCAL/モルであり、そのた
め、例えばタンクロ−リ−にガソリンを詰め込む際に発
生する廃棄ガスのように、数百m3/Hrで、しかもガ
ス状炭化水素の濃度が20〜50VOL%に達する廃棄ガスを
活性炭に吸着させると、発生する熱量は莫大の量にな
る。
【0010】この熱の除去手段が適切でないと、活性炭
吸着層の温度が急激に上昇し、これに起因してロ−カル
ヒ−テイングを誘発し、発火事故や爆発事故につなが
る。過去において、この事例は多数起きている。しかも
活性炭は、燃え易い吸着剤であるため、尚更に危険であ
る。この現象は、吸着された重質炭化水素が活性炭吸着
剤の触媒作用によって重合し、この重合熱も誘因の一つ
に挙げられている。
【0011】このため、我国においては、活性炭を前記
した産業分野で使用する場合、関係官庁の「炭化水素排
出防止設置指針」によれば、(1)吸着装置の入口での可
燃性蒸気は、爆発下限値以下の濃度とするなどの“安全
上支障のない濃度又は対策”が施されていること、更に
(2)可燃性炭化水素を脱着・回収する処理装置は、水蒸
気又は不活性ガスを用いて回収するものであること、と
規定されている。
【0012】そこで従来から、活性炭吸着法を用いる場
合、莫大な吸着熱を除去する工業的手段を見いだすべ
く、多数の試みがなされてきた。この公知技術として
は、活性炭吸着層の周りに冷却用の水を通すコイルを密
に巻き付け、あるいは活性炭吸着層内にコイルを埋設す
る方法が考えられてきたが、活性炭の量を多く必要とす
る場合には、冷却に必要な水も莫大な量になる。
【0013】この理由は、活性炭層内の温度を安全には
約60℃以下に保持する必要があるため、この温度では冷
却用の水の顕熱しか利用できず、この水が持ち去る熱だ
けでは到底賄いきれない程の吸着熱が発生するからであ
り、このため、多量の水を必要とする。
【0014】この問題を解決する手段として、水にかえ
て「100℃以下で、かつ常温に近い温度で沸騰する有機
液体(例えば液体ガソリン)」を使用する方法が提案され
ている(特公昭59−50716号公報参照)。この方法によれ
ば、該有機液体(例えば液体ガソリン)の蒸発潜熱を利用
することができ、莫大な吸着熱を持ち去るに当ってもさ
ほどの量を必要としない。その理由は、液体ガソリンを
例に挙げて説明すると、1Kgの液体ガソリンは、沸騰時
には100KCALに近い潜熱を奪うからである。(一方、水の
顕熱は、1Kgの水に対して1KCAL/℃にすぎない。)
【0015】この手段が開発されたことにより“莫大な
吸着熱を如何にして除去するか”という問題は解決され
たが、しかし、新たに吸着剤層の安全性が問われる問題
を提起した。特に、活性炭は燃え易い材料であり、この
活性炭吸着層内にガソリンのような可燃性危険物を、コ
イルを埋設して通すことの是非が問われることになっ
た。
【0016】米国や欧州諸国においては、土地も広く、
遠く離して設置することができるが、我国の場合は土地
も狭く、このため前記したように、関係官庁の「炭化水
素排出防止設備設置指針」で規制されているのが現状で
ある。この指針に従えば、濃厚なガス状炭化水素を含む
廃棄ガスの処理には、事実上、活性炭吸着法は使えない
ということになる。
【0017】本発明者等は、活性炭吸着法が抱える上記
の問題点に鑑み、先に出願した特願平7−23377号明細書
に開示したように、濃厚なガス状炭化水素を含む大量の
廃棄ガスを処理する手段として、該廃棄ガスを吸着法単
独で処理するのではなく、従来から用いられてきた吸収
法や膜法と組み合わせて処理する方法を提案した。
【0018】即ち、この方法によれば、吸収法や膜法を
活性炭吸着法の前に設けることにより、活性炭層に入る
ガス状炭化水素の濃度を低い水準に制限して、活性炭層
内で発生する吸着熱を出来るだけ少なくすることがで
き、また、発生する吸着熱の除去に用いる冷却水は、80
℃以下で沸騰する減圧水を循環使用することによって、
活性炭層内の局部加熱による温度上昇を防ぎ、該層内の
温度を均一にすることができる。この方法は、活性炭層
内の温度を低い水準に保ちながら、かつ、均一にすると
いう手段としては、液体ガソリンを冷却水の代わりに使
用する前記公知方法に比べても、より安全性を配慮した
方法といえる。
【0019】本発明者等はさらに、吸着剤層内の異常な
温度上昇を防ぎ、均一な温度を保持するための、より経
済的な方法を提案した。即ち、この方法は、先に出願し
た特願平7−152706号明細書に開示したように、予備処
理装置を設けることなく、吸着法のみで濃厚なガス状炭
化水素を含む大量の廃棄ガスを処理・回収する目的で開
発されたものである。
【0020】この方法の主眼は、吸着剤のもつ性質に着
目し、これを利用して、ガス状炭化水素を構成する各分
子(被吸着分子)の径に合わせて吸着剤の孔径を変え、こ
れを多層に充填することによって吸着量をコントロ−ル
し、その結果、発生する吸着熱を各層に分散させる効果
を期待したものである。この方法は、既に商業プラント
の運転において、当初期待した以上の成果を得たもので
ある。しかしながら、この方法は、不燃性の吸着剤(合
成ゼオライト,疏水性シリカなど)についての実績であ
り、可燃性の活性炭については実証されておらず、今後
の課題として残されている。
【0021】本発明者等は、以上詳記したように、濃厚
なガス状炭化水素を含む大量の廃棄ガスを処理する手段
の開発にあたって、従前から重要視されてきた、いわゆ
るハ−ド面における技術を、このシステムに巧みに組み
込むことによって解決してきた。
【0022】本発明者等は更にまた、吸着装置の操作方
法という、いわゆるソフト面における新規な手段を併用
することによって、吸着剤層内の温度を容易に、かつ速
やかに常温近くまで一様に均一化することに成功した。
この方法は、先に出願した特願平7−270754号明細書に
開示したように、吸着剤を予めガス状炭化水素でプレコ
−トし、更に吸着・脱着の切り換え時間を1〜15分の
短い時間に設定することによって、吸着量を1〜10%
の範囲に任意にコントロ−ルすることを眼目にしてい
る。しかし、この方法でも、濃厚なガス状炭化水素を含
む大量の廃棄ガスを処理する場合、我国ではタブ−視さ
れている活性炭吸着法については、なんら知見が掲示さ
れていない。
【0023】
【発明が解決しようとする課題】ところで、活性炭は、
合成ゼオライトや疎水性シリカゲルのような不燃性の吸
着剤に比べ、安価で入手が容易であるだけではなく、繊
維状活性炭にみられるように、形状も多様で吸着性能の
良さは他に類をみない。
【0024】本発明は、上記点に鑑み成されたもので、
その目的は、ガス状炭化水素を含む廃棄ガスを処理し、
該ガス状炭化水素を回収、リサイクルする方法におい
て、粒状活性炭,繊維状活性炭等の固体吸着剤を用い
て、該廃棄ガスから安全に、かつ効率よく炭化水素を回
収すると共に、処理後に、大気中に放出するガス中の残
存炭化水素濃度を1VOL%以下にし得る、ガス状炭化水
素を含む廃棄ガスから炭化水素を回収する方法を提供す
ることにある。また、本発明の他の目的は、上記方法を
装置化する際、システムを一体化してスキッドに載せら
れるように、可搬性に成し得る方法を提供することにあ
る。
【0025】
【課題を解決するための手段】本発明に係る方法は、 (1) 吸着装置として、吸着剤層を冷却水により間接冷却
させる2重円筒又は多重円筒型の吸着装置を用い、 (2) 真空ポンプとして、完全ドライ型真空ポンプを用
い、 (3) 吸着剤層に対する吸着・脱着の切り換え時間を1〜
15分とし、 (4) 脱着時に、該吸着剤層を真空排気しながらパ−ジ
し、その際、補助的に吸着剤層から排出されるクリ−ン
なガスの一部及び/又は空気を用い、 (5) パ−ジ排ガスからガス状炭化水素を回収する手段と
して、上記(4)の真空排気とパ−ジとの併用による脱着
の際、(5-1) 上記完全ドライ型真空ポンプからの吐出ガ
ス(パ−ジ排ガス)を、そのガス圧力を常圧を超え2気圧
迄に高めて吐出せしめると共に、(5-2) 該真空ポンプの
冷媒として、廃棄ガスに含まれるガス状炭化水素と同質
の液体炭化水素を用い、この際発生するガス状炭化水素
を脱着装置の出口管に戻し、又は、上記同質の液体炭化
水素を吸着工程終了後の吸着装置に上記真空ポンプを稼
働させる前に注入して置換パ−ジした後、真空排気する
ことにより、パ−ジ排ガス中のガス状炭化水素の濃度を
濃くした状態で、 ・冷却することによってガス状炭化水素の液化を促進さ
せる、又は、 ・ガス状炭化水素の吸収法による回収を促進させる、 ことを特徴とし、これにより、特に粒状活性炭や繊維状
活性炭等の可燃性吸着剤の使用が可能となり、また、可
搬性の装置化が可能である等の上記目的を達成すること
ができたものである。
【0026】
【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に説明
する。まず、本発明で使用可能な吸着剤について説明す
ると、本発明では、吸着性能に優れた、しかも安価で入
手が容易な活性炭、例えば粒状活性炭又は繊維状活性炭
の使用が最も好ましい。
【0027】また、市販のシリカゲルも使用できるが、
この不燃性のシリカゲルの場合、トリメチルクロロシラ
ンなどの薬品で疏水化処理したもの、或いは、高温処理
して疏水性,親油性を持たせたものが好適である。
【0028】特に、市販のシリカゲルを、導電性金属の
塩(硫酸銅,塩化亜鉛など)ないしは帯電防止剤(例えば
デュポン社製の“Stadis 450”など)の液に浸漬した
後、250〜500℃で熱処理を施した「疏水性で帯電防止性
を有するシリカゲル」の使用が好ましい。この理由は、
シリカゲルは帯電しやすいものであり、一方、ガス状炭
化水素を含む廃棄ガスを処理する際、吸着剤の帯電によ
り発火や燃焼,爆発などの危険性が伴うからである。そ
して、上記のように加熱処理して、水分(湿分)を吸着さ
せないように疏水性処理を施し、廃棄ガス中のガス状炭
化水素だけを吸着させるようにしたシリカゲルの使用が
好ましい。
【0029】本発明では、上記した活性炭やシリカゲル
にのみ限定するものではなく、その他、廃棄ガス中のガ
ス状炭化水素と親和性を有する合成ゼオライト,活性白
土等の固体吸着剤も使用することができ、これらの使用
も本発明に包含されるものである。なお、使用する吸着
剤の平均吸着孔径としては、特に限定するものではない
が、20〜30オングストロ−ム程度が好ましい。
【0030】ところで、吸着剤層に用いられる上記活性
炭,シリカゲル,合成ゼオライト,活性白土等の固体吸
着剤は、ガス状炭化水素と強い親和性を持つ一方、断熱
剤としても重用されているものである。本発明者等は、
上記点に鑑み鋭意研究を重ねた結果、吸着剤層中で発生
した吸着熱を吸着剤層から速やかに移動させ、除去する
手段として、吸着剤層を冷却水(常圧水又は減圧水)によ
り間接冷却させる2重円筒又は多重円筒型の吸着装置を
用いることによって解決した。
【0031】そして、本発明は、上記構造の吸着装置を
用いることにより、我国でタブ−視されていた特に可燃
性の活性炭を使用しても、廃棄ガスからガス状炭化水素
を安全に、かつ効率よく吸着させることができるので、
活性炭の使用を可能にしたものである。
【0032】ここで、本発明で使用する吸着装置の一例
を図2に基づいて説明する。なお、図2は、本発明で使
用する吸着装置の一例を示す図であって、そのうち(A)
は、2重円筒型吸着塔の横断面図であり、(B)は、多重
円筒型吸着塔の横断面図である。本発明で好適な吸着装
置は、図2(A)で示すように、吸着塔50の内側に吸着剤
51を充填した円筒52を配設し、この吸着剤51の充填層を
両側から冷却する冷却水用円筒53a,53bから構成され
る2重円筒型吸着塔である。また、吸着剤の量が多い場
合には、図2(B)に示すように、吸着塔60の内側に吸着
剤61a,61bを充填した円筒62a,62bを配設し、この
吸着剤61a,61bの充填層をそれぞれ両側から冷却する
冷却水用円筒63a,63b,63cから構成される多重円筒
型吸着塔を使用することができる。
【0033】そして、上記2重円筒型塔50又は多重円筒
型吸着塔60において、冷却用水は、常圧のまま、又は、
減圧にして循環させ、廃棄ガスの流れと逆方向に流すよ
うにする。このように冷却用の円筒と吸着剤を充填した
円筒とを隣接して重ね、特に多重円筒型吸着塔60とした
理由は、吸着熱が冷却水に達するまでに要する距離、即
ち吸着剤の厚みが吸着剤の種類や性質によってまちまち
であることから、これを考慮したものであって、冷却効
率の向上を図るためである。
【0034】一般的に云えば、粒状活性炭の場合は、粒
径や上昇温度にも依るが、約4インチ(101.6mm)以上
の厚みでは、吸着熱を冷媒通過層にまで短時間に移動さ
せることができないとされている。したがって、4イン
チ以上の厚みを持つ粒状活性炭では、円周方向の熱移動
にそれ程期待できず、縦方向に流れるガスが持ち出す熱
移動に頼ることになる。このため、局部的に異常な温度
上昇が生じ、しばしば火災事故を引き起こす恐れがあ
る。本発明では、このような厚みの粒状活性炭を分割
し、多重円筒型とすることで解決することができる。
【0035】また、本発明で好適な繊維状活性炭を使用
する場合について説明すると、繊維状活性炭は、素材が
10μm程度の炭素繊維からなるが、これをフエルト状
(不織布状),シ−ト状,ハニカム状等多様な形状に加工
して用いることができる。
【0036】繊維状活性炭は、その比表面積が1500m2
/g以上であって、粒状活性炭に比べて約2倍の広さを
持つ。このため、繊維状活性炭を使用すると、ガス状炭
化水素との接触密度が非常に高く、換言すれば吸着容量
が大きく、かつ脱着の場合も細い繊維の外表面にミクロ
ポア−が露出しているので、脱着速度が非常に早い効果
が生じる。(なお、繊維状活性炭の平均細孔直径は、20
〜30オングストロ−ムであって、粒状活性炭の約1/2
である。平均細孔直径が小さいということは、吸着剤に
悪影響を及ぼす分子径の大きな重質炭化水素の吸着量を
減少させる効果がある。)
【0037】具体的に云えば、同じガス処理量に対する
必要な繊維状活性炭の量は、粒状活性炭の使用量に比べ
て数十分の一で済むという利点を有する。即ち、発生し
た吸着熱の移動に要する距離(活性炭層の厚み)を数十分
の一にできる利点がある。本発明の好ましい実施態様
は、上記利点を利用して繊維状活性炭を、前記したよう
に、フエルト状(不織布状),シ−ト状,ハニカム状等多
様な形状に加工して用いるものである。
【0038】ここで、本発明で繊維状活性炭を使用する
場合について、図3を参照して説明する。なお、図3
は、本発明で繊維状活性炭を使用する場合の一例を示す
吸着塔の模式図である。本発明では、繊維状活性炭を所
定厚みを持つ円盤状に加工し、図3に示すように、この
繊維状活性炭からなる円盤71を吸着剤充填用円筒72内に
所定間隔を設けて配設し、この円筒72を両側から冷却す
る冷却水用円筒73a,73bを配設した構造の2重円筒型
吸着塔70の使用が好ましい。このような構造の吸着塔70
を用いることで繊維状活性炭の優れた性質を生かすこと
ができる。なお、図3中の符号Aは、空間部分を示す。
【0039】本発明では、前掲の図2(A),(B)や図3
に示すような吸着塔50,60,70を用いるのが好ましく、
このように冷却水と吸着剤層とがいわばサンドイッチ状
に配列されている構造の吸着塔を使用することで、冷却
水への熱伝達が速やかに行われ、その結果、吸着熱によ
る吸着剤層内の蓄熱がなく、ロ−カルヒ−テイングを起
こす恐れもないので、特に可燃性の活性炭を使用して
も、その安全性を確保できるものである。
【0040】一方、本発明において、合成ゼオライト,
シリカゲル,活性白土等の不燃吸着剤を使用する場合
は、可燃性の活性炭を使用する場合と異なり、ロ−カル
ヒ−テイングによる吸着剤自身の発火,燃焼の危険性を
考慮する必要がないので、冷媒の選定や冷却方法に十分
な配慮を施せば、吸着層の厚みを25インチ(635mm)程
度に設定することができる。なお、本発明者等の先願発
明(前掲の特願平7−152706号参照)によって建設した商
業プラントの実績では、不燃吸着剤層の厚みは415mm
であって、冷却水を通常の状態で使用しても、吸着層内
の温度上昇は大気温+5℃以内であった。
【0041】本発明者等は、前記したとおり、急激な温
度上昇やロ−カルヒ−テイングによる火災事故,爆発事
故を防止する方法として、吸着剤層の厚み(即ち2重円
筒の厚み)を、使用する吸着剤の種類や性質によって変
えることにより、また、冷却用の水を常圧のまま、又
は、減圧にして循環させることにより、その蒸発潜熱を
利用して吸着熱を速やかに除去する手段を見いだして本
発明を完成したものであるが、この際、本発明者等が先
願発明(特願平7−152706号)で提案した方法(孔径を異に
する合成ゼオライト等の不燃性吸着剤を使用する方法)
を併用することも考えられる。
【0042】しかし、上記先願発明のような吸着量をコ
ントロ−ルする方法では、使用する吸着剤の孔径を変え
た数種類の吸着剤を選択して用いるものであって、とか
く合成ゼオライトのような高価な不燃性吸着剤に偏する
こととなり、ガス状炭化水素の除去・回収手段のコスト
アップにつながる恐れがある。従って、本発明におい
て、上記先願発明と併用すること、即ち孔径を異にする
吸着剤の使用は、コスト面からは好ましくない。
【0043】また、活性炭やシリカゲルのように安価で
はあるが、吸着孔径が素材の性質に左右されて大小不規
則に分布している吸着剤の使用では、例えばガソリンベ
−パ−のように分子径を異にする多成分系のガス状炭化
水素を処理する場合、前記の先願発明の手段で吸着量を
コントロ−ルすることは不可能であり、吸着剤層の廃棄
ガス入口付近から順に破過しながらその出口に達すると
いう挙動を示す。この結果、発生する莫大な吸着熱が分
散されることなく、局部的に蓄積されるという危険性が
生じる。
【0044】本発明者等は、上記危険性を回避するた
め、吸着剤をプレコ−トする手段を本発明以前に提案し
ている(特願平7−270754号参照)。吸着剤をプレコ−ト
する場合に留意すべき点は、吸着剤が破過する時点をど
のような手段で検出するかということである。この検出
時期を誤ると、吸着剤層から排出されるクリ−ンである
べき放出ガス中にガス状炭化水素が漏洩することとな
り、所望の効果が期待できなくなる。
【0045】本発明に係る方法では、前記した手段(吸
着剤層を冷却水により間接冷却させる2重円筒又は多重
円筒型の吸着装置を用いること)で、吸着熱の除去が速
やかに行うことができるので、プレコ−ト手段を採用す
る必要性はない。また、本発明に係る方法では“吸着・
脱着の切り換え時間を1〜15分間の短い時間に設定す
る”というソフト面での対応で、前記した吸着熱の局部
的蓄積の危険性を回避したものである。
【0046】更に、本発明者等は、本発明に係る方法を
システムとして一体化し装置化するよう、即ちスキッド
マウントに載せられるような可搬性をもたせた装置にす
るべく鋭意研究を重ねた結果、本発明を完成したもので
ある。即ち、本発明は、前記したようなプレコ−ト方式
ではなく、また、パ−ジ排ガスからガス状炭化水素を回
収するにあたって、このガス状炭化水素と同質の液体炭
化水素で洗浄する工程を必ずしも用いることなく、単に
パ−ジ排ガスを冷却することによって、該ガスからガス
状炭化水素を液化して回収する手段を提供したものであ
り、これにより可搬性の装置化に成功したものである。
なお、本発明では、従来の吸収法による回収を排除する
ものではない。
【0047】本発明に係る方法は、多量の吸着熱を速や
かに除去するため、従来から知られている熱交換器タイ
プに改良を加え、吸着剤層とこの層を冷却する冷却水層
とを隣り合わせて配置した2重円筒型又は多重円筒型の
吸着装置を用いることを特徴とする。冷却手段として、
吸着剤層中に数インチ径のコイルを配設し、このコイル
内に冷却水を流すことが知られているが、この手段で
は、多量の冷却水を使用することができず、このため、
莫大な吸着熱を除去し、所定以下の温度にコントロ−ル
することができない。
【0048】これに対して、本発明では、前記した2重
円筒型又は多重円筒型の吸着装置とすることで、冷却水
層中に大量の冷却水を流すことができ、筒壁との温度差
を大きくとれる利点を有する。そして、本発明の好まし
い実施態様としては、この冷却水層の内部に例えば邪魔
板などを配設し、これにより減圧にした冷却水を乱流状
態にし、流れる冷却水の攪拌効果とあいまって熱移動量
を飛躍的に増大させることができる。なお、本発明にお
いて、吸着剤層中にコイルを更に配設し、このコイル内
に減圧にした冷却水又は常圧水を流して熱移動速度をよ
り早くすることもでき、これも本発明に包含されるもの
である。
【0049】本発明に係る方法は、吸着剤層に吸着した
ガス状炭化水素を真空ポンプで吸引し、該吸着剤層から
離脱させるものであるが、この真空ポンプとしては、完
全ドライ型のものを使用することを特徴とする。
【0050】ところで、液封式真空ポンプであってその
シ−ル液が例えば水の場合、水の蒸気圧以上に真空度を
下げることはできず、商業的には約50mmHgが限度で
あるため、前掲の特開昭57−14687号公報に開示されて
いるように、ガスエジェクタ−の併用が必要とされる。
また、このシ−ル液として、ガス状炭化水素と親和性が
なく、かつ蒸気圧が非常に低いエチレングライコ−ルの
ような液体を使用する場合、シ−ル液と混ざって吐出さ
れる炭化水素をシ−ル液から分離させる際、界面におけ
るエマルジョンの生成が懸念される。さらには、分離し
たシ−ル液は、冷却して循環使用しなければならない。
【0051】本発明は、上記点に鑑み、「液封式真空ポ
ンプ」にかえて「完全ドライ型の真空ポンプ」、例えば
堀技研工業社製の“高真空(到達真空度7mmHg)で大
容量(50m3/分)の真空ポンプ”を使用するに至った
ものである。そして、本発明に係る方法は、上記のよう
な完全ドライ型真空ポンプを用い、脱着時に、吸着剤層
(脱着層)を真空排気しながらパ−ジし、その際、補助的
に吸着剤層から排出されるクリ−ンなガスの一部及び/
又は空気を用いる点を特徴とする。このように本発明に
係る方法では、脱着手段として真空排気を主体とするも
のであり、パ−ジガスの使用量を、従来法に比し小量と
するように空気等を補助的に使用するものである。
【0052】次に、本発明におけるパ−ジ排ガス(上記
完全ドライ型真空ポンプの吐出ガス)からガス状炭化水
素を回収する手段について説明すると、該手段として
は、(1) パ−ジ排ガスを冷却し液化させる方法、(2) パ
−ジ排ガスを同質の液体炭化水素で洗浄してこれに吸収
させる方法、が知られている。
【0053】しかしながら、吸着剤層に吸着したガス状
炭化水素を脱着させる際、パ−ジガスを多く用いると、
パ−ジ排ガス中のガス状炭化水素濃度が所定以上に希薄
になり、そのため、前記(1),(2)の手段では、この希薄
なガス状炭化水素が液化若しくは吸収しないという事態
が生じる。即ち、パ−ジ排ガス中のかかる希薄なガス状
炭化水素は、容易に露点(Dew Point)に達しないもので
あり、例えばn−ペンタンを12.95VOL%含むパ−ジ排ガ
スを冷却して液化しようとした場合、パ−ジ排ガス中の
該成分の露点は約−15℃である。従って、このような温
度以下まで冷却しないと、該成分は凝縮しないというこ
とになる。
【0054】前記(2)の吸収法の場合も同様であり、パ
−ジ排ガス中のガス状炭化水素成分の蒸気圧が洗浄に使
用する同質の液体炭化水素の常温における蒸気圧より低
い場合では、洗浄しても吸収しないということになる。
(例えば、空気とガソリンベ−パ−からなる混合気体を
液体ガソリンで洗浄する場合、該混合気体中のガソリン
ベ−パ−の蒸気圧が液体ガソリンの常温における蒸気圧
より低い場合には、液体ガソリンで洗浄しても、ガソリ
ンベ−パ−が液体ガソリンに吸収しないものである。)
【0055】前記(1)の液化法又は(2)の吸収法を用いて
ガス状炭化水素を効果的に回収するには、通常、パ−ジ
排ガス中のガス状炭化水素の蒸気圧が約350mmHg以上(ガ
ス状炭化水素の含有量に換算して45VOL%以上)が必要で
あり、好ましくは50VOL%以上の濃度とする必要があ
る。
【0056】この問題を解決する手段として、本発明者
等は、前記した「脱着手段:真空排気を主体とし、空気
等のパ−ジガスを小量となるよう補助的に使用する」点
に加えて、(A) 完全ドライ型真空ポンプの吐出ガス(パ
−ジ排ガス)を、そのガス圧を常圧を超え2気圧まで高
めて吐出せしめると共に、(B) 該真空ポンプの冷媒とし
て、通常使用されている水や空気に代えて“廃棄ガスに
含まれるガス状炭化水素と同質の液体炭化水素”を用
い、この際発生する炭化水素ベ−パ−を脱着装置の出口
管に戻し、又は、上記同質の“液体炭化水素”を吸着工
程終了後の吸着装置に上記真空ポンプを稼働させる前に
注入して置換パ−ジした後、真空排気することにより、
パ−ジ排ガス中のガス状炭化水素の濃度を濃くした状態
で、 ・冷却することによってガス状炭化水素の液化を促進さ
せる、又は、 ・ガス状炭化水素の吸収法による回収を促進させる、 という新規な方法を開発した。
【0057】本発明の上記新規な方法で生じる作用効果
について、前記した「n−ペンタンを12.95VOL%含むパ
−ジ排ガス」を例に挙げ、また、“ガス状炭化水素の液
化を促進させる場合”について説明すると、該パ−ジ排
ガスを約−15℃以下まで冷却しないと、n−ペンタンは
凝縮液化しない。これに対して、n−ペンタン成分の濃
度を25VOL%まで高め、かつ吐出ガス(パ−ジ排ガス)の
圧力を2気圧に昇圧した場合、該成分の露点は約18℃に
なり、この温度以下で凝縮液化することになる。この18
℃というガス冷却温度は、極めて容易に達成できる温度
水準であり、このように本発明において、前記(A)及び
(B)を併用すること(組み合わせること)により、パ−ジ
排ガス中のガス状炭化水素を容易に液化させることがで
き、この回収を効果的に行うことができるという作用効
果が生じる。
【0058】また、“吸収法による回収を促進させる場
合”について説明すると、前記したように、吸収法を用
いてガス状炭化水素を効果的に回収するためには、ガス
状炭化水素の含有量として45VOL%以上が必要であり、4
5VOL%未満では効率よく回収することができない。本発
明の前記新規な方法によれば、パ−ジ排ガス中のガス状
炭化水素の濃度を濃くすることができ、これによって吸
収法による回収を促進させるという作用効果が生じる。
(なお、パ−ジガスに“廃棄ガスに含まれるガス状炭化
水素と同質の液体炭化水素を添加する”という着想は、
逆転の発想であって、従来から到底推測することができ
ない新規な技術思想である。)
【0059】本発明において、真空ポンプの吐出ガス
(パ−ジ排ガス)の圧力を「2気圧以下」に限定した理由
は、空気含有可燃性ガスの圧縮について法的に厳しい制
限が加えられているためである。なお、「常圧を超え」
としたのは、真空ポンプからパ−ジ排ガスを吐出させる
ための不可欠な条件設定である。
【0060】次に「吸着・脱着の切り換え」について説
明すると、本発明に係る方法では、前記したとおり、吸
着剤層を主として真空排気して脱着させる点を特徴とす
るが、この脱着時の“吸着剤層内の減圧状態”を常圧に
戻す際、一定量以上の空気を用いるのが好ましい。その
理由は、真空排気を主体とする脱着法によれば、吸着さ
れたガス状炭化水素をすべて完全に脱着させることがで
きないからであり、これを完全に脱着させ、吸着剤を本
来の状態に戻すことを意図して、一定量以上の空気を用
いるものである。なお、使用した空気中にガス状炭化水
素が含まれているため、これを吸着装置に戻し、廃棄ガ
スと一緒にして吸着処理を行う。
【0061】本発明に係る方法は、多成分系ガス成分を
含む廃棄ガスから該成分を回収する手段として極めて有
効な方法であり、例えばガソリンベ−パ−を含む廃棄ガ
スからガソリンベ−パ−を回収する方法に好適である。
しかし、本発明は、上記多成分系ガスの場合のみに限定
するものではなく、例えばベンゼン,トルエン,シクロ
ヘキサンのような単一成分を含む廃棄ガスから該成分を
回収する方法にも適用することができ、これも本発明に
包含されるものである。なお、上記のような単一成分を
含む廃棄ガスから該成分を回収する方法として、これま
で安全性が確立された有効な手段が存在しない。
【0062】ここで、単一成分を含む廃棄ガスから該成
分を回収する方法に、本発明に係る方法を適用する場合
について説明する。単一成分系の場合は、多成分系の場
合と異なり、純粋な単一成分として回収されることが望
まれている。このため、設備を構成する際、他成分との
間のコンタミネ−ションに配慮しなければならない。そ
のため、具体的構成としては、吸着装置内の吸着剤層と
該層を冷却する為の冷却水層の配置を、塔式吸着装置の
場合は、外側から順に「冷却水層,A成分用吸着剤層,
冷却水層,B成分用吸着剤層,冷却水層」という順序で
配設するのが好ましい。
【0063】なお、真空ポンプから吐出されるパ−ジ排
ガスから単一成分を回収する際、前記(2)の吸収による
回収法を用いると、吸収塔内に被処理成分がホ−ルドア
ップとして残り、コンタミネ−ションの原因になるので
適当ではない。これを解消する手段として、単一成分毎
に吸収塔を設けるか、あるいは、吸収塔内を分割する等
の手段で対処することができる。
【0064】一方、本発明に係る方法で“パ−ジ排ガス
を冷却し凝縮液化させて回収する方法”を採用すると、
冷却条件を各成分毎に設定することで他成分のコンタミ
ネ−ションが生じない利点を有する。また、特に冷却法
を採用することにより可搬性の装置化が可能である利点
を有するので、本発明では、この冷却法の採用がより好
ましい。
【0065】単一成分系の場合の吸着剤は、多成分系の
場合と同様、不燃性のシリカゲルや合成ゼオライトなど
も使用することができるが、吸着性能に優れ、しかも安
価で入手が容易な活性炭(粒状活性炭又は繊維状活性炭)
の使用が好ましい。
【0066】本発明において、粒状活性炭や繊維状活性
炭のような可燃性吸着剤を使用する場合、安全対策上の
理由で、非常時に自動的に作動するスプリンクラ−や窒
素パ−ジ設備を吸着装置に内臓させることも本発明の好
ましい実施態様の一つである。これにより万一の場合
は、水又は窒素の内臓スプリンクラ−を自動的に作動さ
せて、吸着装置の安全性に万全を期することができる。
【0067】なお、本発明に係る方法において、公知の
PSA法やPTSA法を適用することができ、その他V
SA法,VTSA法などにも適用することができ、これ
らの適用も本発明に包含されるものである。
【0068】
【実施例】次に、本発明の実施例について図1に基づい
て説明する。なお、図1は、本発明に係る方法の一実施
例であるガス状炭化水素の処理・回収方法を説明するフ
ロ−シ−ト図である。
【0069】本実施例は、図1に示すように、吸着剤充
填用円筒2a,3aと、この吸着剤層を両側から冷却す
るための“減圧に保たれた冷却水”が循環する減圧水循
環用外筒2b,3b及び内筒2c,3cと、スプリンク
ラ−2d,3dとを配設した吸着塔2,3を用いて、廃
棄ガスに含まれるガス状炭化水素を処理・回収する方法
に係る例である。なお、本実施例では、吸着剤として、
粒状活性炭(武田薬品工業社製の粒状白鷺)を使用した。
【0070】以下、本実施例を図1に基づいて詳細に説
明すると、廃棄ガス発生源1から発生した廃棄ガス(約
40VOL%のガソリンベ−パ−を含む廃棄ガス)をブロア
−(図示せず)又は自圧で、廃棄ガス送気管11(または同1
1’)より吸着塔2(または同3)内の吸着剤充填用円筒2
aに送気する。吸着工程を終えた処理済み廃棄ガスは、
吸着塔2(脱着工程に切り換えた後は吸着塔3)の頂部か
ら排出管12(または排出管12’)を介して、1VOL%以下
のガソリンベ−パ−を含む空気(クリ−ンなガス)として
大気中に放出する。
【0071】本実施例では、吸着塔2,3は、上記の吸
着工程と後記する脱着工程とを交互に切り換えながら運
転するが、この切換え時間を5分程度とした。なお、吸
着剤層を両側から冷却する冷却水(減圧水)は、減圧水循
環用外筒2b,3b及び内筒2c,3c内に配設した邪
魔板(図示せず)により乱流にして、吸着剤層を流れる廃
棄ガスと向流に流すようにした。
【0072】吸着工程を終えた後の吸着塔2(脱着工程
に切り換えた後は吸着塔3)内の吸着剤層を、脱着後の
パ−ジ排ガス抽気管14’(または同14)を介して、完全ド
ライ型真空ポンプ4(堀技研工業社製の揺動式ドライ型
真空ポンプ)を用いて吸引する(真空排気する)ことによ
り脱着させる。その際、補助的にパ−ジ用ガスを、パ−
ジ用ガス送気管13’(または同13)を介して送気する。上
記パ−ジ用ガスとして、図示しないが、吸着運転時に頂
部から排出されたクリ−ンなガスの一部を使用した。ま
た、完全ドライ型真空ポンプ4は、約25TORRで運転し
た。さらに、この真空ポンプ4からの吐出ガス(パ−ジ
排ガス)を2気圧近くまで昇圧して吐出させるようにし
た。
【0073】該真空ポンプ4の冷媒として液体ガソリン
を用い、ガソリンベ−パ−含有パ−ジ排ガスとの熱交換
により気化したガソリンベ−パ−を含む液体ガソリン
(冷媒)は、気液分離器5でガソリンベ−パ−と液体ガソ
リンに分離する。気化したガソリンベ−パ−は、オリフ
ィス弁6およびガソリンベ−パ−送気管15,15’を介し
て、吸着塔2,3と真空ポンプ4とを連結するパ−ジ排
ガス抽気管14,14’[ただし、閉じた状態の真空遮断弁
の前(図1参照)]に戻し、置換パ−ジさせる。これによ
りパ−ジ排ガス中のガソリンベ−パ−濃度を高める。こ
の際、置換パ−ジによって追い出された炭化水素は、元
の吸着塔の入口に戻す(図示せず)。
【0074】前記操作を終え、真空遮断弁を“開”とし
て排出された脱着後のパ−ジ排ガスは、前記手段でガソ
リンベ−パ−濃度を濃くした後、真空ポンプ4及び冷却
器7を経てガソリン回収器8に送る。冷却器7及びガソ
リン回収器8は、冷媒(フレオン)で冷却し、ガス状炭化
水素を該回収器8で凝縮し、液体ガソリン(ガソリン回
収液)としてパ−ジ排ガス中のガソリンベ−パ−を回収
する。
【0075】一方、ガソリン回収器8で凝縮しなかった
排気ガスには、ガソリンベ−パ−が残存するので、返送
管16を介して再度廃棄ガス送気管11に戻し、廃棄ガス発
生源1からの廃棄ガスと一緒にして吸着処理を行う。
【0076】なお、スプリンクラ−2d(または同3d)
は、安全性を確保するために設けたものであり、吸着剤
層に異常が生じた場合、温度や煙を感知して自動的に作
動し、吸着剤層に水を注入するようにしたものである。
この水にかえて窒素ガスなどを使用することもできる。
【0077】本実施例では、前記したように、吸着、脱
着の切り換え時間が5分程度の短い時間であるため、ガ
ス状炭化水素の吸着量が2%程度に過ぎず、且つ吸着剤
層の発熱を除去する冷却手段を工夫したことにより、局
部加熱が避けられており、運転期間中の吸着剤層の温度
はほぼ常温であった。また、排出管12,12’から大気中
に放出されるガス中のガソリンベ−パ−濃度は、実質的
に0VOL%であった。
【0078】以上、本発明の実施例を詳細に説明した
が、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の要旨の範囲内で種々の態様が可能である。例え
ば、上記実施例では、ガソリンベ−パ−の回収法とし
て、冷却器7の使用による冷却液化法を採用したが、こ
れを吸収法によるものとすることもでき、また、パ−ジ
排ガス中のガソリンベ−パ−濃度を高める手段として、
真空ポンプ4の冷媒(液体ガソリン)から気化したガソリ
ンベ−パ−を用いたが、これにかえて、別途、液体ガソ
リンそれ自体を吸着工程終了後の吸着塔2(または同3)
に、真空ポンプ4を稼働させる前に注入して置換パ−ジ
することもでき、いずれも本発明に包含されるものであ
る。
【0079】
【発明の効果】本発明は、以上詳記したとおり、 (1) 吸着装置として、吸着剤層を冷却水により間接冷却
させる2重円筒又は多重円筒型の吸着装置を用い、 (2) 真空ポンプとして、完全ドライ型真空ポンプを用
い、 (3) 吸着剤層に対する吸着・脱着の切り換え時間を1〜
15分とし、 (4) 脱着時に、該吸着剤層を真空排気しながらパ−ジ
し、その際、補助的に吸着剤層から排出されるクリ−ン
なガスの一部及び/又は空気を用い、 (5) パ−ジ排ガスからガス状炭化水素を回収する手段と
して、上記(4)の真空排気とパ−ジとの併用による脱着
の際、(5-1) 上記完全ドライ型真空ポンプからの吐出ガ
ス(パ−ジ排ガス)を、そのガス圧力を常圧を超え2気圧
迄に高めて吐出せしめると共に、(5-2) 該真空ポンプの
冷媒として、廃棄ガスに含まれるガス状炭化水素と同質
の液体炭化水素を用い、この際発生するガス状炭化水素
を脱着装置の出口管に戻し、又は、上記同質の液体炭化
水素を吸着工程終了後の吸着装置に上記真空ポンプを稼
働させる前に注入して置換パ−ジした後、真空排気する
ことにより、パ−ジ排ガス中のガス状炭化水素の濃度を
濃くした状態で、 ・冷却することによってガス状炭化水素の液化を促進さ
せる、又は、 ・ガス状炭化水素の吸収法による回収を促進させる、 ことを特徴とし、この(1)〜(5)を組み合わせることによ
り、ガス状炭化水素を含む廃棄ガスを処理して大気中に
排出するクリ−ンなガス中の残存炭化水素を容易に1VO
L%以下にすることができ、かつ、吸着剤層内の異常な
温度上昇を抑制し、吸着装置の安全性に万全を期するこ
とができ、しかも廃棄ガス中のガス状炭化水素を効率よ
く回収することができるという効果が生じる。
【0080】そして、本発明によれば、特に粒状活性炭
や繊維状活性炭等の可燃性吸着剤の使用が可能となり、
このように粒状活性炭や繊維状活性炭等を用いても、ガ
ス状炭化水素含有廃棄ガスを安全に処理することができ
るという効果が生じる。さらに、本発明によれば、本発
明に係る方法を装置化する際、システムを一体化してス
キッドに載せられるように、可搬性に成し得る(可搬性
の装置化が可能である)という効果が生じる。
【0081】その上、本発明によれば、大気汚染物質で
あるガス状炭化水素の除去処理において、従来から我国
で用いられてきた吸収法や膜法では、到底達成できなか
った「米国の環境保護局(EPA)が定めた排出濃度1VO
L%以下の規制値」を完全にクリヤ−できるのみなら
ず、 更にこの数値が半分以下の厳しさになっても十分
対応できる成績を得たものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例であるガス状炭化水素の処理
・回収方法のフロ−シ−トを示す図。
【図2】本発明で使用する吸着装置の実施例を示す図で
あって、そのうち(A)は、2重円筒型吸着塔の横断面
図、(B)は、多重円筒型吸着塔の横断面図。
【図3】本発明で繊維状活性炭を用いる場合の吸着塔の
一例を示す模式図。
【符号の説明】
1 廃棄ガス発生源 2,3 吸着塔 2a,3a 吸着剤充填用円筒 2b,3b 減圧水循環用外筒 2c,3c 減圧水循環用内筒 2d,3d スプリンクラ− 4 完全ドライ型真空ポンプ 5 気液分離器 6 オリフィス弁 7 冷却器 8 ガソリン回収器 11,11’ 廃棄ガス送気管 12,12’ 排出管 13,13’ パ−ジ用ガス送気管 14,14’ パ−ジ排ガス抽気管 15 ガソリンベ−パ−送気管 16 返送管 50 吸着塔 51 吸着剤 52 吸着剤を充填した円筒 53a,53b 冷却水用円筒 60 吸着塔 61a,61b 吸着剤 62a,62b 吸着剤を充填した円筒 63a,63b,63c 冷却水用円筒 70 吸着塔 71 繊維状活性炭からなる円盤 72 吸着剤充填用円筒 73a,73b 冷却水用円筒 A 空間部分
フロントページの続き (72)発明者 鈴木 謙一郎 埼玉県狭山市南入曽205−12

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 吸着と脱着を交互に行う吸着装置を用
    い、一方の吸着装置にガス状炭化水素を含む廃棄ガスを
    通過せしめ、吸着剤にガス状炭化水素を吸着させ、実質
    的にガス状炭化水素を含まない廃棄ガスを大気中に放出
    し、その間に、他方の吸着装置を脱着に切り換え、吸着
    剤に吸着したガス状炭化水素を真空ポンプで吸引して該
    吸着剤層から離脱せしめ、この離脱したパ−ジ排ガスか
    らガス状炭化水素を回収する方法において、 (1) 前記吸着装置として、吸着剤層を冷却水により間接
    冷却させる2重円筒又は多重円筒型の吸着装置を用い、 (2) 前記真空ポンプとして、完全ドライ型真空ポンプを
    用い、 (3) 吸着剤層に対する吸着・脱着の切り換え時間を1〜
    15分とし、 (4) 脱着時に、該吸着剤層を真空排気しながらパ−ジ
    し、その際、補助的に吸着剤層から排出されるクリ−ン
    なガスの一部及び/又は空気を用い、 (5) パ−ジ排ガスからガス状炭化水素を回収する手段と
    して、上記(4)の真空排気とパ−ジとの併用による脱着
    の際、(5-1) 上記完全ドライ型真空ポンプからの吐出ガ
    ス(パ−ジ排ガス)を、そのガス圧力を常圧を超え2気圧
    迄に高めて吐出せしめると共に、(5-2) 該真空ポンプの
    冷媒として、廃棄ガスに含まれるガス状炭化水素と同質
    の液体炭化水素を用い、この際発生するガス状炭化水素
    を脱着装置の出口管に戻し、又は、上記同質の液体炭化
    水素を吸着工程終了後の吸着装置に上記真空ポンプを稼
    働させる前に注入して置換パ−ジした後、真空排気する
    ことによりパ−ジ排ガス中のガス状炭化水素の濃度を濃
    くした状態で、冷却することによってガス状炭化水素の
    液化を促進させる、又は、ガス状炭化水素の吸収法によ
    る回収を促進させる、ことを特徴とする、ガス状炭化水
    素を含む廃棄ガスから炭化水素を回収する方法。
  2. 【請求項2】 前記(3)の吸着・脱着の切り換え時に、
    脱着時の減圧状態を常圧に戻す際、一定量以上の空気を
    用いることを特徴とする、請求項1記載のガス状炭化水
    素を含む廃棄ガスから炭化水素を回収する方法。
  3. 【請求項3】 前記吸着剤として、活性炭を用いること
    を特徴とする、請求項1記載のガス状炭化水素を含む廃
    棄ガスから炭化水素を回収する方法。
  4. 【請求項4】 前記パ−ジ排ガスの凝縮液化に際して、
    未凝縮のガス状炭化水素を吸着装置の入口に戻すことを
    特徴とする、請求項1記載のガス状炭化水素を含む廃棄
    ガスから炭化水素を回収する方法。
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