JP2017217628A - ガス精製処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 簡便な構成によって、精製処理における被吸着物質による吸着熱の発生を管理し、必要な場合には吸着剤自体を冷却処理して被吸着成分の脱着や発火等の未然防止を図るとともに、高い吸着効率を確保することができる空気精製処理装置を提供すること。【解決手段】 本体１と、原料供給部２と、分散部３と、精製部４と、排出部５と、温度計６と、冷却処理部７と、を備え、記原料供給部２から供給され分散部３において分散された原料ガスＧが、精製部４を通過して精製処理された後、排出部５を介して精製ガスとして排出され、精製部４の温度が所定温度を超えた場合、冷却処理部７より冷却媒体が供出され精製部の冷却処理が行われる。【選択図】 図１

Description

本発明は、ガス精製処理装置に関するものであり、特に、活性炭等の吸着剤を用いて生産設備からの排ガスの精製処理（脱臭処理等を含む）や医療施設内の空気の滅菌処理等を行うガス精製処理装置に関する。

ガス精製処理装置は、各種化学プラント，塗装プロセスあるいは薬品工場等の産業分野だけではなく、一般家庭や医療施設等においても広く利用されている。このとき、精製処理の対象には、窒素酸化物（ＮＯｘ）あるいはホルムアルデヒド（ＨＣＨＯ）やトルエン（Ｃ_７Ｈ_８）等の有害物質だけではなく、微量のメルカプタン等の臭気性物質や医療施設における空気中に浮遊する結核菌その他の病原性微生物やそれらを含む感染性飛沫等（以下「細菌等」ということがある）が含まれる。こうした有害物質，臭気性物質あるいは細菌等は、施設だけではなく、その周辺環境に対する影響も大きく、環境汚染，悪臭問題あるいは医療施設内における集団感染等を引き起こす可能性があり、ガス精製処理装置には、安定した高いガス精製処理機能が要求される。

例えば、高度精製空気製造において、触媒による接触的方法と吸着による浄化方法を組み合わせた空気精製方法（例えば特許文献１参照）や図３に示すような空気浄化装置が提案されている（例えば特許文献２参照）。図３において、臭気成分を吸着する吸着材を含有し、太陽光取込窓１１３からの太陽光で活性化されて吸着材に吸着された臭気成分を分解する光触媒層が設けられた通気性の処理板材を備えた臭気浄化手段１１７と、臭気浄化手段１１７の上流側に空気取込口１１１に連通して設けられ、空気中に含まれる臭気成分を一時吸着して、臭気浄化手段１１７に流入する臭気成分の含有率変動を平準化する緩衝吸着材１１８を備えた入口側ガス処理手段１１９とを有することを特徴とする。図中、１１２は空気排出口、１２０は後処理吸着材および１２１は出口側ガス処理手段を示す。

特開平０６−１０６０３０号公報 特開２０１６−１８９号公報

しかし、上記のような空気精製処理装置では、以下に挙げるような問題点や課題が生じることがあった。
（ｉ）高度な空気の精製処理として、吸着処理と酸化触媒や光触媒を用いた化学的な処理を組合せた構成を有するため、装置の煩雑化・複雑化は避けることができない。特に、最適条件での吸着処理のためには、導入される原料空気に対して所定の温度を維持する必要があり、化学反応による加温等があれば空気導入前段での冷却処理等が必要となることがある。
（ii）また原料空気中に被吸着成分が多く含まれている場合には大きな吸着熱の発生の可能性や、吸着剤に吸着した被吸着成分が反応して反応熱が発生する可能性あるいは反応によって可燃性ガスが発生する可能性があり、吸着材の温度および吸着処理後の空気の温度を管理する必要がある。吸着剤表面温度の上昇は、吸着剤表面で濃縮された被吸着成分の脱着の可能性を招来し、吸着処理後の処理に対して影響を及ぼす可能性がある。また、被吸着成分中あるいは反応により可燃性ガスが発生した場合には、空気の流路に着火源があれば発火の恐れがある。従前こうした可能性について十分に考慮された装置はなく、特に連続的な空気の精製処理を行う場合には、その影響を防止する対応が困難であった。吸着処理を用いた空気精製装置の重要な課題であった。
（iii）精製処理される空気中の被吸着成分は大きく変動することがある。例えば、塗装処理工程から発生する溶剤成分を含んだ空気中の被吸着成分は、塗装処理中は非常に濃度が高く、塗装処理前後においては低下する。また、医療施設等においても、緊急時において多くの細菌が持ち込まれる場合がある一方、通常の菌数は非常に低い。予め平準化する緩衝吸着材を設けた図３に例示した装置や医療施設等に設けられた空気浄化装置において、設けられる緩衝吸着材や処理用吸着剤の容量は、被吸着成分の濃度が高い場合を想定し、それに応じた大きな容量の吸着材を設ける必要がある一方、通常の被吸着成分の濃度が低い場合には、こうした大容量の吸着材は精製処理全体の処理速度の低下を招来する。１の精製処理装置において、被吸着成分の濃度変化に対応でき、かつ迅速な精製処理が可能な機能が求められている。

そこで、本発明の目的は、簡便な構成によって、精製処理における被吸着物質による吸着熱の発生を管理し、必要な場合には吸着剤自体を冷却処理して被吸着成分の脱着や発火等の未然防止を図るとともに、高い吸着効率を確保することができる空気精製処理装置を提供することにある。また、被吸着成分の濃度変化に対応した迅速な精製処理が可能な機能を有する空気精製処理装置を提供することを目的とする。

本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、以下に示すガス精製処理装置によって、上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに到った。

本発明に係るガス精製処理装置は、メッシュ状または網目状のガス流通部が形成された内筒およびその外周に設けられたメッシュ状または網目状のガス流通部が形成された外筒を有する本体と、処理対象となる原料ガスの供給を担う原料供給部と、供給された原料ガスの分散を担う分散部と、分散された原料ガスの精製処理を担う精製部と、精製部を通過したガスが排出される排出部と、精製部の温度計測を担う温度計と、精製部の上部に設けられ精製部の冷却処理を担う冷却処理部と、を備え、
前記分散部が内筒と内筒の内部空間によって形成され、前記排出部が外筒と外筒の外部空間および排出流路によって形成される、または前記分散部が外筒と外筒の外周空間によって形成され、前記排出部が内筒と内筒の内部空間および排出流路によって形成されるとともに、
前記精製部が内筒と外筒との間の空間部に形成され、該空間部に加熱による脱着が可能な通気性の吸着剤が充填され、
前記原料供給部から供給され分散部において分散された原料ガスが、精製部を通過して精製処理された後、排出部を介して精製ガスとして排出され、
前記精製部の温度が所定温度を超えた場合、冷却処理部より冷却媒体が供出され精製部の冷却処理が行われることを特徴とする。
こうした構成によって、精製処理における被吸着物質による吸着熱や反応熱等の発生を管理し、必要な場合には吸着剤自体を冷却処理して被吸着成分の脱着や発火等の未然防止を図るとともに、高い吸着効率を確保することができるガス精製処理装置が可能となった。特に、精製部の上部に設けられた冷却処理部から冷却媒体が供出され、精製部の冷却処理が行われることによって、供出された冷却媒体が内筒と外筒との間の空間部に充填された吸着剤に対して上部から下部全体に行きわたるとともに、比較的高温の上部から加温された冷却媒体が比較的低温の下部を加温し、精製部の内部の温度分布の均等化を図ることができるという効果を得ることができる。

本発明は、上記ガス精製処理装置であって、前記吸着剤として活性炭が用いられ、冷却処理部が内筒の外周面または外筒の内周面を周回するように配設され、精製部の上部から吸着剤に対して均等に冷却媒体が供出され、精製部の冷却処理が行われることを特徴とする。
こうした構成によって、吸着剤に対して精製部の断面方向にも均等に冷却媒体を供出することができ、供出された冷却媒体が吸着剤に対して上部から下部全体に行きわたり、精製部の内部の温度分布の均等化をより一層図ることができる。

本発明は、上記ガス精製処理装置であって、前記内筒および外筒が、本体の中心軸を共有する１または複数の壁部によって複数の筒体に分割され、各筒体がそれぞれ原料供給部，分散部，精製部，排出部，温度計および冷却処理部を備えることを特徴とする。
上記のように、従前精製処理される空気中の被吸着成分の大きな変動に対して、迅速に対応した精製処理を行うことが困難であった。本発明は、本体の中心軸を共有する壁部によって分割された複数の筒体に、それぞれ固有の精製機能を持たせ、原料ガスを変動に対応した精製機能を有する筒体に切り替えて導入することによって、迅速に対応した精製処理を行うことができる。特に、本体の中心軸を共有する壁部によって分割された筒体が、容量の異なる精製部を有する場合には、その容量に対応した、それぞれの原料ガスの分散機能，精製機能および冷却機能を有することから、より迅速に原料ガスを変動に対応した精製機能を確保することができる。

本発明は、上記ガス精製処理装置であって、ガス精製処理装置における精製処理が終了した後、ガス精製処理装置停止前に、冷却処理部より冷却媒体が供出され精製部の冷却処理が行われることを特徴とする。
上記のように、ガス精製処理装置であっては、吸着剤に吸着した被吸着成分の吸着熱や反応熱および可燃性ガスの発生を抑制する必要がある。従って、精製処理を安定的に行うには、精製部における冷却処理が不可欠である。一方、こうした吸着熱等の発生は、ガス精製処理装置の稼動時のみならず、精製部に原料ガスが流通しない停止状態においても生じる可能性がある。本発明は、精製部の温度管理に基づく冷却処理に加え、精製処理終了後ガス精製処理装置停止前に精製部の冷却処理を行うことによって、停止状態における吸着熱等の発生を抑制することができるとともに、ガス精製処理装置の立ち上げ時における急激な吸着熱等の発生を抑制することができ、より安全なガス精製処理装置を構成することができる。また、精製部の上部から冷却媒体が供出され、精製部の冷却処理が行われることによって、供出された冷却媒体が吸着剤に対して上部から下部全体に行きわたるとともに、比較的高温の上部から加温された冷却媒体が比較的低温の下部を加温し、精製部の内部の温度分布の均等化を図ることができる。

本発明に係るガス精製処理装置の基本構成を例示する全体構成図。 本発明に係るガス精製処理装置の第２構成例を示す全体構成図。 従来技術に係る空気浄化装置を例示する全体構成図。

本発明に係る空気精製処理装置（以下「本装置」という）は、内筒およびその外周に設けられた外筒を有する本体と、処理対象となる原料ガスの供給を担う原料供給部と、供給された原料ガスの分散を担う分散部と、分散された原料ガスの精製処理を担う精製部と、精製部を通過したガスが排出される排出部と、精製部の温度計測を担う温度計と、精製部の上部に設けられ精製部の冷却処理を担う冷却処理部と、を備える。内筒および外筒は、メッシュ状または網目状のガス流通部が形成される。また、分散部が内筒と内筒の内部空間によって形成され、排出部が外筒と外筒の外部空間および排出流路によって形成される、または分散部が外筒と外筒外周空間によって形成され、排出部が外筒と外筒の外部空間および排出流路によって形成される。精製部は、内筒と外筒との間の空間部によって形成され、加熱による脱着が可能な通気性の吸着剤が充填される。原料供給部から供給され分散部において分散された原料ガスが、精製部を通過して精製処理された後、排出部を介して精製ガスとして排出され、精製部の温度が所定温度を超えた場合、冷却処理部より冷却媒体が供出され精製部の冷却処理が行われる。精製処理における被吸着物質による吸着熱や反応熱等の発生を管理し、必要な場合には吸着剤自体を冷却処理して被吸着成分の脱着や発火等の未然防止を図るとともに、高い吸着効率を確保することができる。以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

＜本装置の構成例＞
本装置の実施態様として、基本的な概略全体構成を、図１（Ａ）および（Ｂ）に例示する（第１構成例）。本装置は、本体１と、原料供給部２と、分散部３と、精製部４と、排出部５と、温度計６と、冷却処理部７と、を備える。本体１は、内筒１１およびその外周に設けられた外筒１２を有し、第１構成例においては、原料ガスＧが内筒１１の内部空間１３から精製部４に供給され、外筒１２の外周空間１４を介して排出される構成を有する。逆に原料ガスＧが外筒１２の外周空間１４から精製部４に供給され、内筒１１の内部空間１３を介して排出される構成も可能である。また、本装置として、本体１，内筒１１および外筒１２を円筒状の筒体とした場合を例示するが、これに限定されないことは後述する他の構成例に示す通りである。以下の説明は、第１構成例に基づき、説明する。

原料ガスＧが、原料供給部２から供給される。原料供給部２は、原料ガスＧの導入口２１および供送ファン２２から構成される。ただし、本体外に原料ガスＧの供送手段が設けられる場合には、供送ファン２２は設ける必要はない。供給された原料ガスＧは、分散部３において分散される。分散部３は、内筒１１の内部空間１３およびメッシュ状または網目状のガス流通部（図示せず）が形成された内筒１１から構成される。原料ガスＧは、内部空間１３において、加圧状態において拡散され、ガス流通部のメッシュ状または網目状の絞りを介することによって、略等圧・略同流量の流れに分散されて精製部４に供給される。このとき、原料ガスＧは、内部空間１３において、本体１の中心軸Ｍの近傍から下方に向けて供出されることによって、より等圧・同流量の流れを形成し、均等に分散された原料ガスＧを精製部４に供給することができる。

分散部３において分散された原料ガスＧが、精製部４に供給され、精製処理される。精製部４は、内筒１１と外筒１２との間に設けられた空間部１５によって形成され、吸着剤（活性炭）が充填される。内筒１１から分散されて導入された原料ガスＧは、加圧状態で内筒１１よりも表面積の大きな外筒１３を介して排出されることから、ガス流通部から放射状に拡散して精製部４の内部を流通し、長い接触時間で吸着剤と接触することから、効率よく精製処理される。吸着剤は、加熱による脱着が可能な、通気性の吸着能力の高い試剤が好ましい。具体的には、ヤシガラ炭系や石炭系あるいは木炭系等の多孔性の活性炭が好適であり、水蒸気や薬品等により処理されて作製された吸着能力の高い活性炭が好ましい。被吸着物質の種類や濃度に応じて、吸着能力を選定し、処理内容の異なる種々の活性炭が選択される。

精製部４において精製処理されたガスは、排出部５を介して精製ガスＰとして排出される。排出部５は、メッシュ状または網目状のガス流通部（図示せず）が形成された外筒１２および外周空間１４から構成される。精製ガスＰは、ガス流通部のメッシュ状または網目状の絞りを介して外部空間１４に拡散されることによって、均等に精製処理された状態で排出される。

精製部４の上部には、温度計６が設けられ、精製部４の温度計測を担う。内部温度が最も高い精製部４の上部に設けることによって、精製処理における被吸着物質により発生した吸着熱や反応熱等を的確に管理することができる。

精製部４の上部には、精製部４の冷却処理を担う冷却処理部７が設けられる。冷却処理部７は、内部を冷却媒体が流通できるとともに、所定の間隔で冷却媒体の供出が可能な開孔が設けられた構成が好ましい。精製部４の温度が所定温度を超えた場合、開孔から冷却媒体が供出されて精製部４全体の冷却処理が行われる。精製部４の上部に設けられた冷却処理部７から冷却媒体が供出され、精製部４の冷却処理が行われることによって、供出された冷却媒体が内筒１１と外筒１２との間の空間部１５に充填された吸着剤に対して上部から下部全体に行きわたるとともに、比較的高温の上部から加温された冷却媒体が比較的低温の下部を加温し、精製部４の内部の温度分布の均等化を図ることができる。精製部４の内部の温度分布の均等化は、充填された吸着剤の吸着能力の均質化を図ることができ、効率の高い精製処理ができる。

また、冷却処理部７は、図１（Ｃ）に例示するように、内筒１１の外周面または外筒１２の内周面を周回するように配設されることが好適である。精製部４の上部から吸着剤に対して均等に冷却媒体を供出することができ、精製部４の均等な冷却処理を行うことができる。具体的には、吸着剤に対して精製部４の断面方向にも均等に冷却媒体を供出することができ、供出された冷却媒体が吸着剤に対して上部から下部全体に行きわたり、精製部４の内部の温度分布の均等化をより一層図ることができる。また、内筒１１の外周面または外筒１２の内周面を周回するように配設されることによって、内筒１１または外筒１２をより効率よく冷却処理することができ、冷却された内筒１１または外筒１２を介して供給された原料ガスＧが精製部４を流通することによって、高い吸着能力を確保して精製処理を行うことができる。

本装置における精製処理が終了した後、精製部４を加温し、パージ処理を行うことが好ましい。吸着剤を脱離処理（吸着剤表面に吸着した被吸着物質を脱着させる）することによって、精製部４の吸着機能を維持することができる。また、冷却処理部７による冷却処理は、本装置における精製処理が終了した後、本装置停止前に、精製部４への冷却媒体の供出が行われることが好適である。精製処理に伴う吸着熱等の発生は、本装置の稼動時のみならず、精製処理後の精製部４に原料ガスが流通しない停止状態においても生じる可能性がある。従って、精製部４の温度管理に基づく冷却処理に加え、精製処理終了後ガス精製処理装置停止前に精製部４への冷却媒体の供給により冷却処理を行うことによって、停止状態における吸着熱等の発生を抑制することができる。精製部４の上部から冷却媒体が供出され、精製部４の冷却処理が行われることによって、供出された冷却媒体が吸着剤に対して上部から下部全体に行きわたるとともに、比較的高温の上部から加温された冷却媒体が比較的低温の下部を加温し、精製部４の内部の温度分布の均等化を図ることができる。さらに、本装置の立ち上げ時において、原料ガスＧの供給が開始された時に急激な吸着熱等の発生を抑制することができる。特に、冷却された内筒１１または外筒１２を介して供給された原料ガスＧが精製部４を流通することによって、高い吸着能力を確保して精製処理を行うことができる。より安全なガス精製処理装置を構成することができる。

〔本装置の他の構成例〕
本装置の第２構成例を、図２（Ａ）〜（Ｄ）に示す。基本的な構成は、第１構成例と同様であるが、内筒１１および外筒１２が、本体１の中心軸Ｍを共有する１または複数の壁部８（８ａ〜８ｃ）によって複数の筒体１０（１０ａ〜１０ｄ）に分割され、各筒体１０（１ａ〜１ｄ）がそれぞれ原料供給部２（２ａ〜２ｄ），分散部３（３ａ〜３ｄ），精製部４（４ａ〜４ｄ），排出部５（５ａ〜５ｄ），温度計６（６ａ〜６ｄ）および冷却処理部７（７ａ〜７ｄ）を備える。各筒体（１ａ〜１ｄ）に、それぞれ固有の精製機能を持たせ、原料ガスＧを変動に対応した精製機能を有する筒体１０（１ａ〜１ｄ）に切り替えて導入することによって、迅速に対応した精製処理を行うことができる。なお、分割する壁部８の数量および配置は、被吸着物質の種類や濃度に応じて選定し、処理内容の異なる種々の精製処理あるいは同種の複数の精製処理を行うことができる。

具体的には、図２（Ａ）は、壁部８ａによって、同容量・同機能の２つの筒体１０ａ，１０ｂに分割された構成を例示する。例えば、一方の筒体において精製処理を行い、他方の筒体において脱離処理を行い、所定時間経過後、それぞれの処理機能を逆に使用することによって、１つのユニット（本体１）において、長期間・連続的に精製処理を行うことができる（機能Ａ）。また、例えば１つの筒体１０ａの精製部４ａに特定の被吸着物質を選択的に吸着できる吸着剤を充填し、他の筒体１０ｂの精製部４ｂに他の被吸着物質を選択的に吸着できる吸着剤を充填し、１つの筒体１０ａの排出部５ａから排出された精製ガスＰを筒体１０ｂの原料供給部２ｂに供給することによって、原料ガスＧ中に含まれる異なる複数の物質を選択的に分離することができる（機能Ｂ）。また、図中破線に示すように、壁部８ａに代え壁部８ｂを配設することによって、２つの異なる容量の筒体１０ａ，１０ｂを形成することができる。

図２（Ｂ）は、壁部８ａ，８ｂによって、異なる容量（機能）を有する３つの筒体１０ａ〜１０ｃに分割された構成を例示する。容量の異なる精製部４ａ〜４ｃを有することによって、その容量に対応した、それぞれの原料ガスの分散機能，精製機能および冷却機能を有することから、より迅速に原料ガスを変動に対応した精製機能を確保することができる。ただし、図中破線に示すように、壁部８ａに代え壁部８ｃを設けて壁部８ａ〜８ｃを配設することによって、３つの同容量の筒体１０ａ〜１０ｃを形成することができる。上記図２（Ａ）同様、機能ＡおよびＢを構成することができる。また、３つの筒体１０ａ〜１０ｃを有することから、機能Ａについて、さらに多段の切り替えが可能となり、機能Ｂについて、原料ガスＧ中に含まれる異なる物質をさらに多く選択的に分離することができる。

図２（Ｃ）は、筒体の断面形状が異なる構成例を示す。壁部８ａによって分割された断面方形状の筒体１０ａ，１０ｂのそれぞれに設けられた原料供給部２ａ，２ｂ、分散部３ａ，３ｂ、精製部４ａ，４ｂ、排出部５ａ，５ｂ、温度計６ａ，６ｂ（図示せず）および冷却処理部７ａ，７ｂを有し、原料供給部２から供給され原料ガスＧが、分散部３ａ，３ｂの中心軸Ｍ方向から精製部４ａ，４ｂに供給されることによって、上記図２（Ａ）同様、機能ＡおよびＢを構成することができる。図２（Ｄ）は、壁部８ａ，８ｂによって分割された断面方形状の筒体を４つの筒体１０ａ〜１０ｄに分割した構成例を示す。４つの筒体１０ａ〜１０ｄにおいて、それぞれ原料供給部２ａ〜２ｄ、分散部３ａ〜３ｄ、精製部４ａ〜４ｄ、排出部５ａ〜５ｄ、温度計６ａ〜６ｄ（図示せず）および冷却処理部７ａ〜７ｄを有することから、機能Ａについて、さらに多段の切り替えが可能となり、機能Ｂについて、原料ガスＧ中に含まれる異なる物質をさらに多く選択的に分離することができる。なお、上記断面方形状の筒体を有する構成例において、壁部を変更する例は示さないが、上記図２（Ａ），（Ｂ）と同様である。

１ 本体，筒体
１１ 内筒
１２ 外筒
１３ 内部空間
１４ 外周空間
１５ 空間部
２ 原料供給部
２１ 導入口
２２ 供送ファン
３ 分散部
４ 精製部
５ 排出部
６ 温度計
７ 冷却処理部
Ｇ 原料ガス
Ｍ 中心軸

Claims (4)

1. メッシュ状または網目状のガス流通部が形成された内筒およびその外周に設けられたメッシュ状または網目状のガス流通部が形成された外筒を有する本体と、処理対象となる原料ガスの供給を担う原料供給部と、供給された原料ガスの分散を担う分散部と、分散された原料ガスの精製処理を担う精製部と、精製部を通過したガスが排出される排出部と、精製部の温度計測を担う温度計と、精製部の上部に設けられ精製部の冷却処理を担う冷却処理部と、を備え、
   前記分散部が内筒と内筒の内部空間によって形成され、前記排出部が外筒と外筒の外部空間および排出流路によって形成される、または前記分散部が外筒と外筒の外周空間によって形成され、前記排出部が内筒と内筒の内部空間および排出流路によって形成されるとともに、
   前記精製部が内筒と外筒との間の空間部に形成され、該空間部に加熱による脱着が可能な通気性の吸着剤が充填され、
   前記原料供給部から供給され分散部において分散された原料ガスが、精製部を通過して精製処理された後、排出部を介して精製ガスとして排出され、
   前記精製部の温度が所定温度を超えた場合、冷却処理部より冷却媒体が供出され精製部の冷却処理が行われることを特徴とするガス精製処理装置。
2. 前記吸着剤として活性炭が用いられ、冷却処理部が内筒の外周面または外筒の内周面を周回するように配設され、精製部の上部から吸着剤に対して均等に冷却媒体が供出され、精製部の冷却処理が行われることを特徴とする請求項１記載のガス精製処理装置。
3. 前記内筒および外筒が、本体の中心軸を共有する１または複数の壁部によって複数の筒体に分割され、各筒体がそれぞれ原料供給部，分散部，精製部，排出部，温度計および冷却処理部を備えることを特徴とする請求項１または２記載のガス精製処理装置。
4. ガス精製処理装置における精製処理が終了した後、ガス精製処理装置停止前に、冷却処理部より冷却媒体が供出され精製部の冷却処理が行われることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガス精製処理装置。

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