JP2003071235A - 被処理ガス中の可燃性有機溶剤の分離方法 - Google Patents

被処理ガス中の可燃性有機溶剤の分離方法

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JP2003071235A
JP2003071235A JP2001261129A JP2001261129A JP2003071235A JP 2003071235 A JP2003071235 A JP 2003071235A JP 2001261129 A JP2001261129 A JP 2001261129A JP 2001261129 A JP2001261129 A JP 2001261129A JP 2003071235 A JP2003071235 A JP 2003071235A
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organic solvent
gas
activated carbon
combustible organic
separating
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JP2001261129A
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Atsushi Ohara
淳 大原
Masabumi Kimura
正文 木村
Toshiyuki Kuwabara
稔之 桑原
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Sumitomo Chemical Co Ltd
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Sumitomo Chemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 可燃性有機溶剤を含有する被処理ガス中の可
燃性有機溶剤の分離方法であって、爆発に対する安全性
を十分に確保した、被処理ガス中の可燃性有機溶剤の分
離方法を提供する。 【解決手段】 可燃性有機溶剤を含有する被処理ガス中
の可燃性有機溶剤の分離方法であって、下記の工程を有
する被処理ガス中の可燃性有機溶剤の分離方法。 第一工程:可燃性有機溶剤を含有する被処理ガスを、活
性炭を充填した吸着層に流通させることにより可燃性有
機溶剤を活性炭に吸着させる工程 第二工程:第一工程後の吸着層に35℃以下の不活性ガ
スを流通させる工程 第三工程:第二工程後の吸着層に水蒸気を流通させるこ
とにより活性炭に吸着した可燃性有機溶剤を脱着する工

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、被処理ガス中の可
燃性有機溶剤の分離方法に関するものである。更に詳し
くは、本発明は、可燃性有機溶剤を含有する被処理ガス
中の可燃性有機溶剤の分離方法であって、爆発に対する
安全性を十分に確保した、被処理ガス中の可燃性有機溶
剤の分離方法に関するものである。 【0002】 【従来の技術】たとえば、化学工業、電子工業等の分野
においては、可燃性有機溶剤を含有するガスであって、廃
棄されるべきガスが発生する。かかるガスをそのまま大
気に廃棄することは、環境上又は安全上の問題がある。つ
まり、かかるガスから可燃性有機溶剤を除去した後、廃
棄する必要がある。可燃性有機溶剤を分離・除去する方
法として、被処理ガスを活性炭と接触させ、可燃性有機溶
剤を活性炭に吸着させる方法が知られている。ここで、活
性炭には吸着能力の限界があるので、有機溶剤を十分に
吸着した活性炭については、吸着した有機溶剤を脱離す
る操作(脱着操作)が必要となる。通常、脱着操作におい
ては、活性炭に水蒸気を流通させ、活性炭に吸着された有
機溶剤を水蒸気中に移動させる方法が汎用されている。
ところが、脱着操作の初期において発生する脱着ガスの
雰囲気が、有機溶剤の爆発範囲に入る可能性があるとい
う安全上の懸念があった。 【0003】 【発明が解決しようとする課題】かかる状況の下、本発
明が解決しようとする課題は、可燃性有機溶剤を含有す
る被処理ガス中の可燃性有機溶剤の分離方法であって、
爆発に対する安全性を十分に確保した、被処理ガス中の
可燃性有機溶剤の分離方法を提供する点にある。 【0004】 【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、可燃
性有機溶剤を含有する被処理ガス中の可燃性有機溶剤の
分離方法であって、下記の工程を有する被処理ガス中の
可燃性有機溶剤の分離方法に係るものである。 第一工程:可燃性有機溶剤を含有する被処理ガスを活性
炭を充填した吸着層に流通させることにより可燃性有機
溶剤を活性炭に吸着させる工程 第二工程:第一工程後の吸着層に35℃以下の不活性ガ
スを流通させる工程 第三工程:第二工程後の吸着層に水蒸気を流通させるこ
とにより活性炭に吸着した可燃性有機溶剤を脱着する工
程 【0005】 【発明の実施の形態】本発明は、可燃性有機溶剤を含有
する被処理ガス中の可燃性有機溶剤の分離方法である。
可燃性有機溶剤としては、常圧下で空気中の酸素と溶剤
蒸気による爆発混合気を生成するものであり、ノルマル
ヘキサン、アセトン、トルエン、ベンゼン、トリクロロ
エチレン、ガソリン等をあげることができる。被処理ガ
ス中の可燃性有機溶剤の濃度としては100〜1000
VolPPMをあげることができる。被処理ガスの可燃
性有機溶剤以外の成分及び濃度としては、窒素77〜7
9Vol%、酸素19〜21Vol%、炭酸ガス300〜
500VolPPMをあげることができる。かかる可燃
性有機溶剤を含有する被処理ガスとしては、例えば合成
ゴム製造における乾燥工程、半導体製造における洗浄工
程、溶剤貯槽における圧力調整工程で発生するガスをあ
げることができる。 【0006】本発明の第一工程は、可燃性有機溶剤を含
有する被処理ガスを活性炭を充填した吸着層に流通させ
ることにより可燃性有機溶剤を活性炭に吸着させる工程
である。本工程のための装置及び条件としては、特に制限
がないが、たとえば複数の吸着層を用い、シーケンス制
御(電子演算装置による電磁弁の自動切換え)により設
定時間で吸着と脱着を切り換える装置をあげることがで
きる。吸着層に充填する活性炭としては、従来より有機
溶剤の吸着剤として一般的に用いられてきたもので、粒
状活性炭、繊維状活性炭、球状活性炭をあげることがで
きる。これら活性炭の溶剤脱着には水蒸気、加熱空気、
加熱窒素が用いられるが、安全性やコストの関係から水
蒸気を用いる例が多い。 【0007】本発明の第二工程は、第一工程後の吸着層
に35℃以下の不活性ガスを流通させる工程である。不
活性ガスとしては、窒素をあげることができる。不活性ガ
スの温度は35℃以下である必要がある。このように、下
記の第三工程において用いる水蒸気よりも低い温度の不
活性ガスを流通させることにより、吸着層中の活性炭に
吸着されている溶剤を分離させることなく、吸着層中の
活性炭と容器との空間部の空気(酸素)を追い出す(置
換する)ことができ、このことにより、前記の本発明の
解決しようとする課題が解決されるのである。本工程の
条件としては、たとえば、溶剤と水蒸気を凝縮させる熱
交換器出口に酸素濃度計を設置し、非凝縮ガスが限界酸
素濃度以下に保たれるように、監視する方法をあげるこ
とができる。なお、一度窒素の投入量、時間を確定さ
せ、常時、酸素濃度が限界酸素濃度以下であることを確
認した後は、酸素濃度計を撤去してもよい。 【0008】限界酸素濃度とは、可燃性ガスの濃度が爆
発範囲内であっても、可燃性混合気中の酸素濃度を減ら
していくことにより火炎を伝播して爆発に至らしめるの
に必要なエネルギーを放出できなくなる限界の酸素濃度
のことをいう。限界酸素濃度は実験でも求まるが、不活
性ガスとして窒素を用いる場合は、爆発下限界における
完全燃焼に必要な酸素量から十分な精度で計算で求める
ことができる。なお、計算方法の参考文献としては、
「L.G.Britton:“Operating Atmospheric Vent Col
lection Headers Using Methane Gas Enrichmen
t”,Process Safety Progress,15(4),194-212(199
6)」をあげることができる。 【0009】本発明の第三工程は、第二工程後の吸着層
に水蒸気を流通させることにより活性炭に吸着した可燃
性有機溶剤を脱着する工程である。本工程の装置、条件
としては、特に制限がないが、たとえば圧力200〜50
0kPaの加熱蒸気を減圧弁又は手動グローブ弁で必要
流量まで自由に調整できる装置で、常圧状態の吸着層内
の活性炭に直接蒸気を吹き付ける装置をあげることがで
きる。なお、蒸気流量が不足し脱着不十分になる可能性
を考慮し、性能監視のため処理ガス出口に炭化水素計を
設置することが好ましい。 【0010】 【発明の効果】以上説明したとおり、本発明により、可
燃性有機溶剤を含有する被処理ガス中の可燃性有機溶剤
の分離方法であって、爆発に対する安全性を十分に確保
した、被処理ガス中の可燃性有機溶剤の分離方法を提供
することができた。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桑原 稔之 千葉県市原市姉崎海岸5の1 住友化学工 業株式会社内 Fターム(参考) 4D002 AA21 AA33 AA34 AA40 AB03 AC07 AC10 BA04 CA07 DA41 EA08 FA01 GA01 GA02 GB02 GB03 HA10 4D012 CA11 CD02 CE01 CF05 CG01

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】 可燃性有機溶剤を含有する被処理ガス中
    の可燃性有機溶剤の分離方法であって、下記の工程を有
    する被処理ガス中の可燃性有機溶剤の分離方法。 第一工程:可燃性有機溶剤を含有する被処理ガスを、活
    性炭を充填した吸着層に流通させることにより可燃性有
    機溶剤を活性炭に吸着させる工程 第二工程:第一工程後の吸着層に35℃以下の不活性ガ
    スを流通させる工程 第三工程:第二工程後の吸着層に水蒸気を流通させるこ
    とにより活性炭に吸着した可燃性有機溶剤を脱着する工
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55116421A (en) * 1979-03-02 1980-09-08 Nittetsu Kakoki Kk Solvent reclaiming system
JPS58153503A (ja) * 1982-03-08 1983-09-12 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 溶剤の回収方法
JPH05237333A (ja) * 1992-02-26 1993-09-17 Toyobo Co Ltd 溶剤等の回収方法
JPH06226029A (ja) * 1993-02-08 1994-08-16 Ebara Corp 溶剤の回収方法
JPH08150319A (ja) * 1994-11-28 1996-06-11 Toho Kako Kensetsu Kk 溶剤回収方法および装置
JPH1157394A (ja) * 1997-08-12 1999-03-02 G L Sci Kk 有機溶媒の回収装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55116421A (en) * 1979-03-02 1980-09-08 Nittetsu Kakoki Kk Solvent reclaiming system
JPS58153503A (ja) * 1982-03-08 1983-09-12 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 溶剤の回収方法
JPH05237333A (ja) * 1992-02-26 1993-09-17 Toyobo Co Ltd 溶剤等の回収方法
JPH06226029A (ja) * 1993-02-08 1994-08-16 Ebara Corp 溶剤の回収方法
JPH08150319A (ja) * 1994-11-28 1996-06-11 Toho Kako Kensetsu Kk 溶剤回収方法および装置
JPH1157394A (ja) * 1997-08-12 1999-03-02 G L Sci Kk 有機溶媒の回収装置

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