JPH1157394A - 有機溶媒の回収装置 - Google Patents

有機溶媒の回収装置

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JPH1157394A
JPH1157394A JP9217253A JP21725397A JPH1157394A JP H1157394 A JPH1157394 A JP H1157394A JP 9217253 A JP9217253 A JP 9217253A JP 21725397 A JP21725397 A JP 21725397A JP H1157394 A JPH1157394 A JP H1157394A
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tank
gas
solvent gas
condenser
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JP9217253A
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English (en)
Inventor
Nobuyoshi Shikima
摩 信 義 色
Keiji Hirako
子 敬 二 平
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G L SCI KK
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G L SCI KK
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  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 有機溶媒を安全で合理的かつ効率良く回収で
きるとともに、この種装置の小形化と製作費の低減を図
れる有機溶媒の回収装置を提供すること。 【解決手段】 有機溶媒ガス発生源1に連通する吸気管
2と、該管2から導入した有機溶媒ガスを加圧かつ冷却
して凝縮可能なコンデンサタンク6を有する。コンデン
サタンク6から流入した有機溶媒ガスを吸着可能な吸着
剤を収容した吸着タンク21と、前記吸着剤に吸着した
有機溶媒ガスを脱着可能な加熱手段27とを有する。吸
着タンク21と吸気管2とに連通可能なリターンパイプ
28とを備える。吸着タンク21の有機溶媒ガスを脱着
し液化可能にする。吸着タンク21の脱着した有機溶媒
ガスをリターンパイプ28を介して前記コンデンサタン
ク6へ導き、該コンデンサタンク6で有機溶媒ガスを液
化可能にする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は有機溶媒を安全で合
理的かつ効率良く回収できるとともに、この種装置の小
形化と製作費の低減を図れるようにした有機溶媒の回収
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体や電子機器等の洗浄に用いられる
フロンまたは塩素系溶剤は、その殆どが蒸気圧が高いた
め、その使用過程で大気中に蒸発し飛散する性質を有し
ているこれらの有機溶媒は、その殆どが有毒のため、環
境の汚染や人体への悪影響を来たし、また溶媒の消費を
助長する等から、従来よりこれを回収し再利用してい
る。
【0003】例えば特公平7ー112522号公報で
は、フロン洗浄機に連通する吸気ラインに高圧冷却塔と
減圧冷却塔とを接続し、これらの冷却塔内部に冷凍サイ
クルの蒸発器を配置するとともに、高圧冷却塔と減圧冷
却塔との間に高圧活性炭吸着塔を介挿し、該吸着塔の内
部にヒートポンプ装置の熱交換器を配置している。
【0004】そして、フロン洗浄機で発生した有機溶媒
ガスを回収する場合は、上記ガスを高圧冷却塔に導き、
該冷却塔内を昇圧かつ冷却して有機溶媒ガスを液化し、
有機溶媒を回収する。一方、高圧冷却塔内で液化されな
い比較的低濃度の有機溶媒ガスを回収する場合は、上記
ガスを高圧活性炭吸着塔に導き、該吸着塔を加圧冷却し
て上記ガスを活性炭に吸着させ、この後上記吸着塔を減
圧し、かつ減圧冷却塔を負圧に減圧処理後に前記活性炭
吸着塔内を加熱し、活性炭に吸着した低濃度ガスを脱着
して減圧冷却塔内に導き、該冷却塔を冷却して上記ガス
を液化し、回収するようにしている。
【0005】しかし、この従来の回収装置は、比較的低
濃度の有機溶媒ガスを回収する場合、活性炭吸着塔から
上記ガスを導く減圧冷却塔を要して、この種装置の大形
化を助長するとともに、上記吸着塔を加熱し、活性炭か
ら脱着した有機溶媒ガスを減圧冷却塔との圧力差を介し
て該冷却塔に導いているため、上記吸着塔と減圧冷却塔
とが早期に同圧になり、脱着した有機溶媒ガスが活性炭
吸着塔に滞留し易くなる結果、該ガスが加熱されて発火
する惧れがあった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題を解決し、有機溶媒を安全で合理的かつ効率良く回収
できるとともに、この種装置の小形化と製作費の低減を
図れるようにした有機溶媒の回収装置を提供することを
目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】このため、請求項1の発
明は、有機溶媒ガス発生源に連通する吸気管と、該管か
ら導入した有機溶媒ガスを加圧かつ冷却して凝縮可能な
コンデンサタンクと、該タンクから流入した有機溶媒ガ
スを吸着可能な吸着剤を収容した吸着タンクと、前記吸
着剤に吸着した有機溶媒ガスを脱着可能な加熱手段とを
備え、脱着した有機溶媒ガスを液化可能にした有機溶媒
の回収装置において、前記吸着タンクと吸気管とに連通
可能なリターンパイプを備え、前記吸着タンクの脱着し
た有機溶媒ガスをリターンパイプを介して前記コンデン
サタンクへ導き、該コンデンサタンクで有機溶媒ガスを
液化可能にして、該コンデンサタンクを、有機溶媒ガス
発生源から有機溶媒ガスを導入して有機溶媒を回収する
工程と、脱着した吸着タンクの有機溶媒ガスを導入して
有機溶媒を回収する工程とに両用し、従来のような吸着
タンクから脱着した有機溶媒ガスの有機溶媒回収用の専
用のコンデンサタンクを要せず、構成が簡単で、この種
装置の小形化と製作費の低減を図れるとともに、有機溶
媒の回収率を向上し、その系外への排出を防止して環境
汚染を防止する。
【0008】請求項2の発明は、前記吸気管のリターン
パイプとの連通部またはその上流側にシステム制御弁を
設け、該制御弁を、吸着タンクで脱着した有機溶媒ガス
の液化時に閉弁可能にし、有機溶媒ガス発生源から有機
溶媒ガスを前記コンデンサタンクへ導入時に開弁可能に
し、有機溶媒の回収条件に応じて有機溶媒ガスを確実に
コンデンサタンクへ導入し、有機溶媒の確実な回収を実
現する。
【0009】請求項3の発明は、不活性ガス源に連通す
るガス導管を吸着タンクに接続し、吸着剤に吸着した有
機溶媒ガスの脱着前に、不活性ガスを吸着タンクとリタ
ーンパイプとコンデンサタンクへ供給し、これらのタン
クおよびリターンパイプ内の空気を不活性ガスに置換可
能にし、吸着タンク内の活性炭等の吸着剤が酸化によっ
て劣化したり、有機溶媒が毒性のガスに変質する事態を
未然に防止するとともに、脱着時の加熱で有機溶媒が発
火する事態を未然に防止し、この種回収作業の安全性を
確保する。
【0010】請求項4の発明は、リターンパイプに制御
弁を設け、該制御弁を、有機溶媒ガス発生源から有機溶
媒ガスをコンデンサタンクへ導入時に閉弁し、吸着タン
クで脱着した有機溶媒ガスの液化時に開弁可能にし、有
機溶媒の回収条件に応じて有機溶媒ガスを確実にコンデ
ンサタンクへ導入し、有機溶媒の確実な回収を実現す
る。
【0011】請求項5の発明は、吸着剤に吸着した有機
溶媒ガスの脱着時に、吸着タンクとリターンパイプとコ
ンデンサタンクおよびそれらの連通路に不活性ガスを満
たして循環させ、該不活性ガス消費の低減を図る。請求
項6の発明は、コンデンサタンクの内部にヒートポンプ
型冷凍サイクルを構成する熱交換器を配置し、該熱交換
器を冷却および加熱可能にし、その冷却時には有機溶媒
ガスを液化して有機溶媒の回収を可能にし、加熱時には
氷結した水分や有機溶媒を氷解し、その回収を可能にす
る。
【0012】請求項7の発明は、有機溶媒ガス発生源か
ら有機溶媒ガスをコンデンサタンクへ導入して液化する
有機溶媒回収運転休止時、吸着タンクで脱着した有機溶
媒ガスをコンデンサタンクへ導き、該有機溶媒ガスを液
化して有機溶媒を回収可能にし、有機溶媒の合理的かつ
効率良い回収を実現するとともに、有機溶媒を吸着した
吸着剤の廃棄および交換する面倒を低減し得る。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明すると、図1において1は密閉空間または開放空
間等の有機溶媒ガス(蒸気)発生源1で、該発生源1に
吸気管2の一端が接続され、該管2にバッファタンク3
とフィルタ4と、送気手段である真空ポンプ5とが介挿
され、この他端がコンデンサタンク6の下部に接続され
ているこの場合、送気手段として真空ポンプ5の代わり
に、エアーコンプレッサやブロアを用いることも可能で
ある。図中、7は吸気管2に介挿した開閉弁で、該弁7
の下流側にシステム制御弁である電磁弁8と、電磁弁9
が介挿されている。
【0014】前記コンデンサタンク6の内部には、冷凍
サイクルを構成する蒸発器等の熱交換器10が設けら
れ、該熱交換器10に導通する冷媒導管11が冷凍機1
2に連通している。
【0015】冷凍機12は実施形態の場合、ヒートポン
プ型冷凍サイクルを駆使した空調装置が用いられ、該冷
凍機12は例えば有機溶媒回収時に冷却運転され、また
氷結した水分や有機溶媒を氷解する際に暖房運転され、
その吐出冷媒を熱交換器10に供給可能にしている。
【0016】コンデンサタンク6の下部には回収管13
の一端が接続され、この他端が回収タンク14に接続さ
れていて、該タンク14とコンデンサタンク6の間に電
磁弁15が介挿されている。回収タンク14の下部には
排出管16が設けられ、該管16に開閉弁17が設けら
れている。
【0017】コンデンサタンク6の上部には連通管18
の一端が接続され、この他端がガス導管19に接続され
ている。ガス導管19の一端は窒素ガス等の不活性ガス
を収容した不活性ガス供給源であるガス容器20に接続
され、その他端が吸着タンク21の下部に接続されてい
る。図中、22,23はガス導管19の両端部に介挿し
た電磁弁、24は調圧弁、25は電磁弁23を迂回する
バイパス管で、該管25にニードル弁26が介挿されて
いる。
【0018】吸着タンク21の内部には活性炭等の吸着
剤が充填され、その周面にヒーター27が装着されてい
る。ヒータ27は例えば夜間等の有機溶媒再回収時に発
熱作動して、吸着タンク21内の吸着剤を加熱し、吸着
剤に吸着された有機溶媒ガスを脱着可能にしている。
【0019】吸着タンク21の上部にはリターンパイプ
28の一端が接続され、該パイプ2の他端が電磁弁8と
バッファタンク3との間の吸気管2に接続され、該パイ
プ28に制御弁である電磁弁29が介挿されている。図
中、30は一端をリターンパイプ28に接続した排気管
で、該管30に電磁弁31と背圧弁32とが介挿され、
この他端が大気に開放されている。33はリターンパイ
プ28の一部をガス導管19に捲回し、当該部の熱伝導
を良好にした熱交換部である。
【0020】この他、図中34は真空ポンプ5と電磁弁
9との間の吸気管2に一端を接続した連通管で、他端を
大気に開放しており、該管34に電磁弁35が介挿され
ている。
【0021】このように構成した有機溶媒の回収装置
は、コンデンサタンク6を有機溶媒回収用と、吸着剤か
ら脱着した有機溶媒再回収用とに共用し、従来のように
吸着剤から脱着した有機溶媒回収用の専用のコンデンサ
タンクを新設する必要がないから、換言すればコンデン
サタンク6と吸着タンク21との二つのタンクで所期の
目的を達成できるから、構成が簡単になり、この種装置
の小形化と製作費の低減を図れる。
【0022】次に本発明装置を使用して有機溶媒を回収
する場合は、例えば昼間時に電磁弁22,31,35を
閉弁し、開閉弁7および電磁弁8,9,15,23,3
1を開弁し、更に冷凍機12を冷却運転して、コンデン
サタンク6内部を約−30°Cに冷却する。
【0023】このような状況の下で真空ポンプ5を駆動
し、有機溶媒ガス発生源1内に拡散した有機溶媒ガスを
吸い込み、これを吸気管2へ導いてコンデンサタンク6
へ送り込み、上記ガスを圧縮かつ冷却して液化し、その
有機溶媒を回収管13より回収タンク14へ導いて収容
する。
【0024】その際、コンデンサタンク6で液化または
氷結されなかった有機溶媒ガスは、連通管18よりガス
導管19に導かれて吸着タンク21へ送り込まれ、該タ
ンク21内の吸着剤に吸着除去された後、リターンパイ
プ28から排気管30に導かれて大気へ排出される。
【0025】こうして、有機溶媒の回収かつ脱臭運転の
終了後、電磁弁8,9,15,31と開閉弁7とを閉弁
し、電磁弁23,31,35を開弁して、真空ポンプ5
を駆動する。
【0026】このようにすると、バッファタンク3内の
空気が吸気管2に導かれて吸入され、また吸着タンク2
1内の空気がリターンパイプ28を経由し、吸気管2に
導かれて吸入され、更にコンデンサタンク6内の空気
が、連通管18から吸着タンク21を経てリターンパイ
プ28に導かれ、吸気管2を移動して吸入される。その
際、前記空気の各通路と、該通路に連通するガス導管1
9内の空気が吸入され、前記タンク3,21,6を含む
主要な通路を真空引きする。
【0027】このような状況の下で電磁弁35を閉弁し
電磁弁22を開弁して、ガス容器20内の不活性ガスを
ガス導管19へ導き、通気管18を経てコンデンサタン
ク6へ流入させ、また電磁弁23を経て吸着タンク21
へ導き、更に該タンク21からリターンパイプ28を経
てバッファタンク3へ導き、これらのタンク6,21,
3が所定圧になるまで供給する。
【0028】この後、電磁弁9,15を開弁し、電磁弁
23を閉弁したところで、冷凍機12を冷却運転し、コ
ンデンサタンク6を冷却するとともに、ヒータ27を加
熱し、また真空ポンプ5を駆動して、吸着タンク21内
の吸着剤に吸着させた有機溶媒ガスを加熱脱着し、脱着
した有機溶媒ガスをコンデンサタンク6へ導く。
【0029】このように本発明は、ヒータ27の加熱前
に各タンク3,6,21とその連通路の空気を吸入し、
当該部を不活性ガスで置換したから、吸着タンク21内
の活性炭等の吸着剤が劣化したり、有機溶媒が毒性を持
ったガスに変質したり、有機溶媒ガスが発火する事態を
未然に防止し得る。また、不活性ガスを前記各所に循環
することで、その消費を抑制し合理的かつ経済的な使用
を図れる。
【0030】前記脱着した有機溶媒ガスは、リターンパ
イプー28からバッファタンク3へ導かれ、該タンク3
より吸気管2を経てコンデンサタンク6へ流入し、該タ
ンク6で冷却されて液化し、これが電磁弁15を経て回
収タンク14に回収される。
【0031】一方、コンデンサタンク6で液化されなか
った有機溶媒ガスは、連通管18を経てリターンパイプ
28へ移動し、該パイプ28よりニードル弁26を経て
吸着タンク21に導かれる。
【0032】この場合、ニードル弁26は絞り弁として
作用し、その通路抵抗を増大させてコンデンサタンク6
の加圧を促し、有機溶媒ガスの液化作用を増進させて、
有機溶媒の回収効率を向上する一方、吸着タンク21の
減圧作用を促し、吸着剤の脱着作用を増進させて、その
脱着効率を向上する。
【0033】こうして、吸着タンク21内の吸着剤に吸
着した有機溶媒ガスの脱着を繰り返し、有機溶媒を回収
したところで、ヒータ27の発熱を停止し、真空ポンプ
5の駆動を停止するとともに、冷凍機12の冷却運転を
停止し、電磁弁22,31を閉弁する。
【0034】この後、冷凍機12を暖房運転してコンデ
ンサタンク6を加熱し、該タンク6内に氷結した水分や
有機溶媒を氷解し、これを回収タンク14に滴下し、開
閉弁17を開弁して回収容器(図示略)に回収する。
【0035】
【発明の効果】以上のように、請求項1の発明は、吸着
タンクの脱着した有機溶媒ガスをリターンパイプを介し
て前記コンデンサタンクへ導き、該コンデンサタンクで
有機溶媒ガスを液化可能にしたから、該コンデンサタン
クを、有機溶媒ガス発生源から有機溶媒ガスを導入して
有機溶媒を回収する工程と、脱着した吸着タンクの有機
溶媒ガスを導入して有機溶媒を回収する工程とに両用で
きる。したがって、従来のような吸着タンクから脱着し
た有機溶媒ガスの有機溶媒回収用の専用のコンデンサタ
ンクを要せず、構成が簡単で、この種装置の小形化と製
作費の低減を図れるとともに、有機溶媒の回収率を向上
し、その系外への排出を防止して環境汚染を防止するこ
とができる。
【0036】請求項2の発明は、前記吸気管のリターン
パイプとの連通部またはその上流側にシステム制御弁を
設け、該制御弁を、吸着タンクで脱着した有機溶媒ガス
の液化時に閉弁可能にし、有機溶媒ガス発生源から有機
溶媒ガスを前記コンデンサタンクへ導入時に開弁可能に
したから、有機溶媒の回収条件に応じて有機溶媒ガスを
確実にコンデンサタンクへ導入し、有機溶媒の確実な回
収を実現することができる。
【0037】請求項3の発明は、不活性ガス源に連通す
るガス導管を吸着タンクに接続し、吸着剤に吸着した有
機溶媒ガスの脱着前に、不活性ガスを吸着タンクとリタ
ーンパイプとコンデンサタンクへ供給し、これらのタン
クおよびリターンパイプ内の空気を不活性ガスに置換可
能にしたから、吸着タンク内の活性炭等の吸着剤が酸化
によって劣化したり、有機溶媒が毒性のガスに変質する
事態を未然に防止するとともに、脱着時の加熱で有機溶
媒が発火する事態を未然に防止し、この種回収作業の安
全性を確保することができる。
【0038】請求項4の発明は、リターンパイプに制御
弁を設け、該制御弁を、有機溶媒ガス発生源から有機溶
媒ガスをコンデンサタンクへ導入時に閉弁し、吸着タン
クで脱着した有機溶媒ガスの液化時に開弁可能にしたか
ら、有機溶媒の回収条件に応じて有機溶媒ガスを確実に
コンデンサタンクへ導入し、有機溶媒の確実な回収を実
現することができる。
【0039】請求項5の発明は、吸着剤に吸着した有機
溶媒ガスの脱着前に、吸着タンクとリターンパイプとコ
ンデンサタンクおよびそれらの連通路に不活性ガスを満
たして循環させたから、該不活性ガス消費の低減を図る
ことができる。請求項6の発明は、コンデンサタンクの
内部にヒートポンプ型冷凍サイクルを構成する熱交換器
を配置し、該熱交換器を冷却および加熱可能にしたか
ら、その冷却時には有機溶媒ガスを液化して有機溶媒の
回収を可能にし、加熱時には氷結した水分や有機溶媒を
氷解し、その回収を可能にすることができる。
【0040】請求項7の発明は、有機溶媒ガス発生源か
ら有機溶媒ガスをコンデンサタンクへ導入して液化する
有機溶媒回収運転休止時、吸着タンクで脱着した有機溶
媒ガスをコンデンサタンクへ導き、該有機溶媒ガスを液
化して有機溶媒を回収可能にしたから、有機溶媒の合理
的かつ効率良い回収を実現するとともに、有機溶媒を吸
着した吸着剤の廃棄および交換する面倒を低減し得る効
果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示す説明図である。
【符号の説明】
1 有機溶媒ガス発生源 2 吸気管 8 システム制御弁 6 コンデンサタンク 10 熱交換器 20 不活性ガス供給源 21 吸着タンク 27 加熱手段 28 リターンパイプ 29 制御弁

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 有機溶媒ガス発生源に連通する吸気管
    と、該管から導入した有機溶媒ガスを加圧かつ冷却して
    凝縮可能なコンデンサタンクと、該タンクから流入した
    有機溶媒ガスを吸着可能な吸着剤を収容した吸着タンク
    と、前記吸着剤に吸着した有機溶媒ガスを脱着可能な加
    熱手段とを備え、脱着した有機溶媒ガスを液化可能にし
    た有機溶媒の回収装置において、前記吸着タンクと吸気
    管とに連通可能なリターンパイプを備え、前記吸着タン
    クの脱着した有機溶媒ガスをリターンパイプを介して前
    記コンデンサタンクへ導き、該コンデンサタンクで有機
    溶媒ガスを液化可能にした有機溶媒の回収装置。
  2. 【請求項2】 前記吸気管のリターンパイプとの連通部
    またはその上流側にシステム制御弁を設け、該制御弁
    を、吸着タンクで脱着した有機溶媒ガスの液化時に閉弁
    可能にし、有機溶媒ガス発生源から有機溶媒ガスを前記
    コンデンサタンクへ導入時に開弁可能にした請求項1記
    載の有機溶媒の回収装置。
  3. 【請求項3】 不活性ガス源に連通するガス導管を吸着
    タンクに接続し、吸着剤に吸着した有機溶媒ガスの脱着
    前に、不活性ガスを吸着タンクとリターンパイプとコン
    デンサタンクへ供給し、これらのタンクおよびリターン
    パイプ内の空気を不活性ガスに置換可能にした請求項1
    記載の有機溶媒の回収装置。
  4. 【請求項4】 リターンパイプに制御弁を設け、該制御
    弁を、有機溶媒ガス発生源から有機溶媒ガスをコンデン
    サタンクへ導入時に閉弁し、吸着タンクで脱着した有機
    溶媒ガスの冷却かつ凝縮時に開弁可能にした請求項1記
    載の有機溶媒の回収装置。
  5. 【請求項5】 吸着剤に吸着した有機溶媒ガスの脱着時
    に、吸着タンクとリターンパイプとコンデンサタンクお
    よびそれらの連通路に不活性ガスを満たして循環させた
    請求項3または請求項4記載の有機溶媒の回収装置。
  6. 【請求項6】 コンデンサタンクの内部にヒートポンプ
    型冷凍サイクルを構成する熱交換器を配置し、該熱交換
    器を冷却および加熱可能にした請求項1記載の有機溶媒
    の回収装置。
  7. 【請求項7】 有機溶媒ガス発生源から有機溶媒ガスを
    コンデンサタンクへ導入して液化する有機溶媒回収運転
    休止時、吸着タンクで脱着した有機溶媒ガスをコンデン
    サタンクへ導き、該有機溶媒ガスを液化して有機溶媒を
    回収可能にした請求項1記載の有機溶媒の回収装置。
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