JPH09214121A - ハンダによるコラム・グリッド・アレー相互接続を有する回路ボード上に実装されたマイクロエレクトロニクス集積回路及びコラム・グリッド・アレー作成方法 - Google Patents

ハンダによるコラム・グリッド・アレー相互接続を有する回路ボード上に実装されたマイクロエレクトロニクス集積回路及びコラム・グリッド・アレー作成方法

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JPH09214121A
JPH09214121A JP8285420A JP28542096A JPH09214121A JP H09214121 A JPH09214121 A JP H09214121A JP 8285420 A JP8285420 A JP 8285420A JP 28542096 A JP28542096 A JP 28542096A JP H09214121 A JPH09214121 A JP H09214121A
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デシィン・リャン
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ボール・グリッド・アレーの容易さを有する
コラム・グリッド・アレーを製造する方法を提供するこ
と。 【解決手段】 集積回路(60)を回路ボード(76)
の上に実装し、導電性のコラムのアレーによって相互接
続する。コラムに対応するリフロー可能な導電性のハン
ダ・ボール(74)を用いて相互接続するが、回路ボー
ド(76)は、集積回路(60)がその下方向に延長す
るように保持する。次に熱を加えてハンダ・ボール(7
4)をリフローさせる。すると、重力の作用により、ボ
ールが伸長してコラムの形状になり、所望のコラム・グ
リッド・アレーが得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明が属する技術分野】この発明は、広くは、マイク
ロエレクトロニクス集積回路技術に関し、更に詳しく
は、ハンダによるコラム・グリッド・アレー相互接続を
用いて回路ボード上に実装されたマイクロエレクトロニ
クス集積回路と、そのコラム・グリッド・アレーを作成
する方法とに関する。
【0002】
【従来技術】パッケージされた集積回路は、表面実装技
術を用いて、プリント回路ボードすなわちマザーボード
上に適切に実装される。この技術の1つの好適な形態
は、ボール・グリッド・アレー(BGA)実装として知
られ、集積回路と回路ボードとの表面上に実装パッド又
は接点の結合すべき平面アレーを形成することと、これ
らの接点をハンダ・ボールのアレーを用いて相互接続す
ることとを含む。
【0003】図1に見られるように、従来のマイクロエ
レクトロニクス・アセンブリ10は、導電性のハンダ・
ボール16のアレーによってプリント回路ボード14上
に実装されたパッケージされた集積回路12を含む。回
路12とボード14との上の接点は、図解を簡潔にする
ために、明示されていない。
【0004】ハンダ・ボール16は、300℃を超える
比較的高い融点を有する90Pb−10Snの合金から
作られている。ボール16は、約220℃の比較的低い
融点を有する共融(eutectic)Pb−Snのハンダのフ
ィレット(fillet)18aによって、集積回路12上の
接点に接着され、電気的に相互接続される。ボール16
も、共融Pb−Snハンダのフィレット18bによって
回路ボード14上の接点に接着され、電気的に接続され
る。
【0005】ボール16は、従来は、所望のハンダ・ボ
ール・アレーに一致するパターンでホールが空けられた
(穿たれた)グラファイト又は類似する材料から作られ
た固定具(フィクスチャ)すなわちボートを用いて、集
積回路12又は回路ボード14に接着される。90Pb
−10Snのハンダ・ボール16が、ボートにおけるホ
ールの中に入れられ、共融ハンダ・ペーストがアレーの
上に直接にスクリーンされる。集積回路12は、ボール
・アレーの頂部に整列され、共融ハンダだけを融解させ
てフィレット18a及び18bを形成するプロファイル
で炉の中で加熱される。
【0006】集積回路12は、様々な構成を有し得る。
図1に図解されているように、回路12は、1又は複数
の電気的絶縁層及び電気的メタライゼーション層を含む
セラミック基板20を含む。集積回路チップ22は、基
板20の頂部に付着され、ワイヤ・ボンド24等によっ
て、それと相互接続される。チップ22とワイヤ・ボン
ド24とは、エポキシ樹脂等から形成される封止26に
よる物理的な損傷及び汚染から、環境的に保護されてい
る。
【0007】従来型の別のボール・グリッド・アレー実
装構成が、図2に図解されており、ここでは、図1と同
じ構成要素については、同じ参照番号を付してある。マ
イクロエレクトロニクス・アセンブリ30は、集積回路
20と同じ態様で回路ボード14上に実装された集積回
路32を含む。しかし、回路32は、層34a、34
b、34cを含む基板34を含む。層34a、34b
は、空洞(キャビティ)36を画定する開口を伴って形
成されている。
【0008】集積回路22は、空洞内において層34c
の頂部に実装され、ワイヤ・ボンド24によって基板3
4と相互接続されている。空洞36が回路ボード14と
は逆の方向に向いているので、図2の構成は、「キャビ
ティ・アップ」実装として知られている。空洞36は、
ワイヤ・ボンディングを容易にし、冷却を改善して、封
止38によって密封される。
【0009】従来型の別のアセンブリ40が、図3に図
解されており、「キャビティ・ダウン」実装として知ら
れている。この場合には、集積回路42は、層44a、
44bを有する基板44を含み、開口が、層44b内に
形成され、回路ボード14の方向を向いた空洞46を構
成している。この下向きの空洞46は、封止48を用い
て保護される。
【0010】ボール・グリッド・アレー構成にはいくつ
かの問題がある。問題の1つは、ハンダ・ボール16の
高さが比較的小さくアスペクト比がほぼ1に等しいこと
によって、アレーが、受け入れられないほどの高い故障
率を結果的に生じる機械的及び熱的な応力(ストレス)
を被ることである。
【0011】別の問題は、特に図3のキャビティ・ダウ
ン構成において、封止48と回路ボード14の表面との
間の空間(距離、スペーシング)sが極めて小さいこと
である。ボール16はフラックス・ハンダを用いて実装
されるので、残存するフラックスは、封止に先立つクリ
ーニング作業によって除去されなければならない。空間
sが小さいことは、このクリーニングを難しくする。更
に、封止48が薄くなりすぎることと、封止48が回路
ボード14に接触することとを回避するためには、封止
の公差(トレランス)が正確に維持されなければならな
い。
【0012】
【発明が解決すべき課題】これらの問題は、図4に示さ
れているコラム・グリッド・アレー(CGA)実装構成
によって軽減される。アセンブリ50においては、キャ
ビティ・ダウン型の集積回路42と回路ボード14とは
図3と同じである。しかし、ボール・グリッド・アレー
は、90Pb−10Snハンダから形成され共融Pb−
Snハンダのフィレット54a、54bを用いて接着さ
れた円柱型のハンダ・コラム52を含むコラム・グリッ
ド・アレーによって代替されている。
【0013】コラム52は、集積回路42と回路ボード
14との間の空間をより大きくし、それにより、封止4
8と回路ボード14との間の空間s’も大きくなる。ハ
ンダ・ボール16は典型的には直径が30ミル(0.7
62mm)であるのに対して、ハンダ・コラム52は、
典型的には高さが50ミル(1.27mm)であり直径
は20ミル(0.508mm)である。コラム52の高
さとアスペクト比とが増加したことにより、ボール16
の場合よりも、応力が軽減され、フラックスのクリーニ
ングが容易になり、封止の高さの交差が緩和される。
【0014】コラム・グリッド・アレー・アセンブリ5
0は、ボール・グリッド・アレー・アセンブリと類似す
る態様で製造され、コラムがグラファイトの固定具すな
わちボートに空けられたホールの中に挿入され、次に、
共融フィレット54a、54bによって集積回路42と
回路ボード14とに付着される。
【0015】ハンダ・ボールは、ボートの表面上に過剰
な数のボールを注ぎ、ボートを振ってホールの中に落ち
なかったボールを除去することによって、ホールの中に
フィットさせることができる。しかし、コラム52は、
ボール16の場合よりも、グラファイトのボートの中に
挿入するのが困難である。形状が長いので、コラム52
は、ボートのホールの中に個別に挿入されなければなら
ない。コラムは、サイズが小さく、多数(典型的には数
百)あるので、この作業は難しく、時間がかかる。
【0016】本発明は、コラム・グリッド・アレー相互
接続を有するマイクロエレクトロニクス・アセンブリの
従来型の製造に内在する問題を解決する。
【0017】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、集積回
路が回路ボード上に実装され、導電性のコラムによって
その回路ボードと相互接続される。アセンブリは、集積
回路と回路ボードとを、最初に、コラムにそれぞれ対応
しリフロー可能(reflowable)な導電性のハンダ・ボー
ルのアレーを用いて作成される。
【0018】回路ボードは、そこから下向きに延長する
集積回路と共に保持される。十分な熱が加えられ、ハン
ダ・ボールをリフローさせる。集積回路は、重力によっ
て回路ボードから離れる方向に下向きに引かれ、ボール
が伸長してコラムを形成し、アセンブリは冷却して、コ
ラムが固体化する。
【0019】固定具が、コラムが正確に決められた高さ
を有するように所定の距離だけ回路ボードから離れる方
向に移動した後に集積回路が接するように、与えられ
る。
【0020】本発明によるコラム・グリッド・アレー
は、図4を参照して上述した従来型のコラム・グリッド
・アレーのすべての利点を有しながら、同時に、ボール
・グリッド・アレーの容易さで製造できる。更に詳しく
は、小さなハンダ・コラムをグラファイトの固定具すな
わちボートのホールの中に個別に挿入する困難で時間の
かかる作業が、本発明では不要になる。
【0021】本発明のこれらの及びその他の特徴及び長
所は、当業者にとっては、以下で述べる詳細な説明を添
付の図面を参照して読めば、明らかであろう。ただし、
図面では、同じ部分を示す際には同じ参照番号を用いて
いる。
【0022】
【実施例】本発明によるコラム・グリッド実装を含むマ
イクロエレクトロニクス・アセンブリの製造方法が、図
5に図解されている。図示されているように、この方法
によれば、図3及び図4に示されているキャビティ・ダ
ウン型の集積回路を含むアセンブリが作成される。しか
し、本発明は、それに限定されるのではなく、図1及び
図2に示されているような様々な集積回路構成を与える
こともできる。
【0023】この方法の第1のステップは、図5に示さ
れるような、その上にボール・グリッド・アレーが形成
されているパッケージされた集積回路60を作成するこ
とである。回路60は、1又は複数の絶縁性及びメタラ
イゼーション層を含むセラミック・ラミネート又は他の
基板62を含む。示されているように、基板62は、層
62a、62bを含む。開口が層62bに形成され、空
洞64を形成する。
【0024】集積回路チップ66は、空洞64において
層62a上に実装され、ワイヤ・ボンド68等により基
板62と相互接続される。空洞64は、封止材料70に
よって環境的に密封される。電気的な実装用又は接触パ
ッド72のアレーは、基板62の表面上に形成され、導
電性のハンダ・ボール74のアレーは、パッド72上に
形成される。ボール74は、好ましくは、約220℃の
融点を有する共融性のPb−Snハンダから、形成され
る。
【0025】ボール74は、フラックスをパッド72に
与え、ボール74を従来の態様でグラファイトの固定具
すなわちボートのホールの中に挿入し、ボール74の頂
部でパッド72を整列( align)させ、ボール74が約
1分の間およそ220℃の温度に達するような温度プロ
ファイルを用いて加熱することによって、パッド72に
接着される。これにより、ボールはパッド72上にリフ
ローし、パッド72にオーム接点を形成する。ボール7
4の底部は、リフローの間はパッド72の平坦な形状に
一致する。
【0026】図6に示されたように、集積回路60は、
回路ボード76に付着され、ボール・グリッド・アレー
実装を含む中間的なアセンブリを形成する。回路60
は、ハンダ・ボール74がボード76上の結合端子すな
わち接触パッド78と係合するように、反転され、回路
ボード76上に配置される。好ましくは、共融Pb−S
nハンダ/フラックス・ペーストが、回路ボード76上
の集積回路60上への実装に先立って、ボール74に加
えられる。次に、十分な熱が加えられ、ボール74はリ
フローし、パッド78に接着する。
【0027】図6の中間的なアセンブリは、従来型のボ
ール・グリッド・アレー構成に類似しているが、本発明
では、ハンダ・ボールは、従来のように高温のリフロー
90Pb−10Snハンダではなく、低いリフロー温度
共融ハンダから形成されている点が異なる。
【0028】次に、図7に示されているように、図6の
アセンブリを反転させ、集積回路60が回路ボード76
から下向きに延長するようにする。回路ボード76は、
静止して保持され、ハンダ・ボール74は、再びリフロ
ー温度(220℃)まで加熱されると、回路60は、重
力の作用により、矢印82で示されているように、回路
ボード76に対して下向きに移動するように促される。
これにより、ハンダ・ボール74は、長い形状に伸長さ
れ、ハンダ・コラム80を形成する。次に、熱を除去す
ると、ハンダは、図示のようなコラムの形状に固体化
し、マイクロエレクトロニクス・アセンブリ84を与え
る。
【0029】このようにして、ハンダによるボール・グ
リッド・アレーは、ハンダによるコラム・グリッド・ア
レーに変形される。この構造の寸法は特定の応用例によ
って変動するが、ハンダ・ボール74の当初の直径は、
約30ミル(0.762mm)である。ハンダ・コラム
80は、高さが、約45から50ミル(1.143から
1.27mm)であり、直径が約20ミル(0.5m
m)である。
【0030】本発明によるコラム・グリッド・アレー
は、図4を参照して上述した従来のコラム・グリッド・
アレーのすべての長所を有するが、ボール・グリッド・
アレーの容易さをもって作ることができる。更に詳しく
は、小さなハンダ・コラムをグラファイトの固定具すな
わちボートのホールの中に個別に挿入する際の困難で時
間のかかる作業が、本発明では不要になる。
【0031】図8は、集積回路60と回路ボード76と
の間に正確な距離を、従って、ハンダ・コラム80の正
確な高さを与えるために固定具90がどのように与えら
れるかを図解している。固定具90は、矩形の開いた箱
の形状を有し、立っている壁部90aと底部90bとか
ら構成されている。
【0032】底部90bの上方の壁部90aの高さは、
回路ボード76が壁部90aによって保持され、集積回
路60は、所望の距離が達成される距離だけハンダ・リ
フローの間に回路ボード76から離れる方向に下向きに
移動する際に底部90bに接する。これにより、ハンダ
・コラム80のための正確な高さが与えられる。
【0033】図9は、集積回路60が軽量であってその
重さがハンダ・リフローの間に回路ボード76から離れ
る方向に移動させるには不十分である場合に用いられ得
る構成を図解している。この場合には、重り(ウェイ
ト)92が、クリップ94などによって集積回路60に
一時的に付着される。
【0034】重り92のサイズは、集積回路がリフロー
の間に所望の距離だけ移動するように選択される。重り
92の下方にストッパ96を設けて、重り92が、集積
回路60が所望の量だけ下向きに移動した際にこのスト
ッパ96に接するようにすることもまた、本発明の技術
的範囲に含まれる。この概念は、図8を参照して既に述
べたことと類似する。
【0035】この開示による教示を得た後では、当業者
には、その技術的範囲を離れずに、様々な修正が可能で
あろう。
【0036】例えば、このハンダ・ボール74は、90
Pb−10Snなどの高いリフロー温度のハンダから作
ることもでき、その場合は、図7のリフローのステップ
を、約350℃の温度で実行することになる。
【0037】更に、重力に頼るのではなく、リフローの
間に回路ボード76から離れる方向に集積回路60を手
動で引くことも本発明の技術的範囲に含まれる。この場
合には、リフローの間の集積回路と回路ボードとの間の
相対的な向きは、制限されない。
【図面の簡単な説明】
【図1】ボール・グリッド・アレー実装を含む従来型の
マイクロエレクトロニクス・アセンブリを図解する簡略
化された断面図である。
【図2】ボール・グリッド・アレー実装を含む従来型の
マイクロエレクトロニクス・アセンブリを図解する簡略
化された断面図である。
【図3】ボール・グリッド・アレー実装を含む従来型の
マイクロエレクトロニクス・アセンブリを図解する簡略
化された断面図である。
【図4】コラム・グリッド・アレー実装を含む従来型の
マイクロエレクトロニクス・アセンブリを図解する簡略
化された断面図である。
【図5】本発明によるコラム・グリッド実装を含むマイ
クロエレクトロニクス・アセンブリを製造する方法を図
解する簡略化された断面図である。
【図6】本発明によるコラム・グリッド実装を含むマイ
クロエレクトロニクス・アセンブリを製造する方法を図
解する簡略化された断面図である。
【図7】本発明によるコラム・グリッド実装を含むマイ
クロエレクトロニクス・アセンブリを製造する方法を図
解する簡略化された断面図である。
【図8】図5から図7の方法を実現する固定具を図解す
る簡略された断面図である。
【図9】図5から図7の方法を実現する重りとストッパ
・アセンブリとを図解する簡略された断面図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マーク・アール・シュナイダー アメリカ合衆国カリフォルニア州94539, フリーモント,ヴィレッジウッド・ウェイ 6948

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1及び第2のマイクロエレクトロニク
    ス・デバイスを相互接続する導電性コラムのアレーを形
    成する方法であって、 (a)前記第1及び第2のマイクロエレクトロニクス・
    デバイスを、前記コラムにそれぞれ対応するリフロー可
    能な導電性ボールのアレーを用いて相互接続するステッ
    プと、 (b)熱を加えて前記ボールをリフローさせるステップ
    と、 (c)前記第1及び第2のマイクロエレクトロニクス・
    デバイスを相互に離間する方向に相対的に移動させ、前
    記ボールが伸長して前記コラムを形成するようにするス
    テップと、 (d)前記熱を除去するステップと、 を含むことを特徴とする方法。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の方法において、ステップ
    (a)は、前記ボールをハンダから形成するステップと
    含むことを特徴とする方法。
  3. 【請求項3】 請求項2記載の方法において、 ステップ(a)は、前記ボールをPb−Sn共融ハンダ
    から形成するステップを含み、 ステップ(b)は、ボールが約220℃の温度に達する
    ように熱を加えるステップを含むことを特徴とする方
    法。
  4. 【請求項4】 請求項1記載の方法において、 前記第1のマイクロエレクトロニクス・デバイスは、第
    1の電気接点の平面アレーを有する集積回路を含み、 前記第2のマイクロエレクトロニクス・デバイスは、前
    記第1の電気接点と結合する第2の電気接点の平面アレ
    ーを有する回路ボードを含み、 ステップ(a)は、前記ボールを用いて第1及び第2そ
    れぞれの電気接点を相互接続するステップを含むことを
    特徴とする方法。
  5. 【請求項5】 請求項4記載の方法において、 前記集積回路は、ステップ(d)を実行した後で、前記
    回路ボードに面し前記回路ボードから離間する封止され
    た空洞を有し、この方法は、更に、 (e)前記封止された空洞と回路ボードとの間に画定さ
    れる空間をクリーニングするステップを含むことを特徴
    とする方法。
  6. 【請求項6】 請求項5記載の方法において、 ステップ(a)は、フラックスを含むハンダから前記ボ
    ールを形成するステップを含み、 ステップ(e)は、前記空間からフラックスを除去する
    ステップを含むことを特徴とする方法。
  7. 【請求項7】 請求項1記載の方法において、ステップ
    (b)及び(c)は、共同して、前記第1のマイクロエ
    レクトロニクス・デバイスを前記第2のマイクロエレク
    トロニクス・デバイスの上方に保持するステップと、重
    力によって前記第2のマイクロエレクトロニクス・デバ
    イスが前記第1のマイクロエレクトロニクス・デバイス
    から離間する方向に下向きに引かれることを許容させる
    ステップと、を含むことを特徴とする方法。
  8. 【請求項8】 請求項7記載の方法において、ステップ
    (b)及び(c)は、共同して、前記第1のマイクロエ
    レクトロニクス・デバイスを、前記第2のマイクロエレ
    クトロニクス・デバイスが所定の距離だけ前記第1のマ
    イクロエレクトロニクス・デバイスから下向きに離間し
    た後で接する表面を有する固定具を用いて、保持するス
    テップを含むことを特徴とする方法。
  9. 【請求項9】 請求項7記載の方法において、ステップ
    (c)は、更に、前記第2のマイクロエレクトロニクス
    ・デバイスに重りを付加するステップを含むことを特徴
    とする方法。
  10. 【請求項10】 請求項9記載の方法において、ステッ
    プ(c)は、更に、前記重りの下方にストッパを設け、
    前記第2のマイクロエレクトロニクス・デバイスが所定
    の距離だけ前記第1のマイクロエレクトロニクス・デバ
    イスから下向きに離間した後で前記重りが前記ストッパ
    に接するようにするステップを含むことを特徴とする方
    法。
  11. 【請求項11】 回路ボード上に実装され導電性コラム
    のアレーによって前記回路ボードと相互接された集積回
    路を含むマイクロエレクトロニクス・アセンブリにおい
    て、前記アセンブリは、 (a)前記集積回路と前記回路ボードとを、前記コラム
    にそれぞれ対応するリフロー可能な導電性ボールのアレ
    ーを用いて相互接続するステップと、 (b)熱を加えて前記ボールをリフローさせるステップ
    と、 (c)前記集積回路を前記回路ボードから離間する方向
    に相対的に移動させ、前記ボールが伸長して前記コラム
    を形成するようにするステップと、 (d)前記熱を除去するステップと、 を含む方法によって作成されることを特徴とするマイク
    ロエレクトロニクス・アセンブリ。
  12. 【請求項12】 請求項11記載のマイクロエレクトロ
    ニクス・アセンブリにおいて、前記ボールは、ハンダを
    含むことを特徴とするマイクロエレクトロニクス・アセ
    ンブリ。
  13. 【請求項13】 請求項12記載のマイクロエレクトロ
    ニクス・アセンブリにおいて、 前記ボールは、Pb−Sn共融ハンダを含み、 ステップ(b)は、ボールが摂氏約220度の温度に達
    するように熱を加えるステップを含むことを特徴とする
    マイクロエレクトロニクス・アセンブリ。
  14. 【請求項14】 請求項11記載のマイクロエレクトロ
    ニクス・アセンブリにおいて、 前記集積回路は、第1の電気接点の平面アレーを含み、 前記回路ボードは、前記第1の電気接点と結合する第2
    の電気接点の平面アレーを含み、 コラムの前記アレーは、前記第1及び第2の電気接点を
    相互接続することを特徴とするマイクロエレクトロニク
    ス・アセンブリ。
  15. 【請求項15】 請求項14記載のマイクロエレクトロ
    ニクス・アセンブリにおいて、 前記集積回路は、前記回路ボードに面し前記回路ボード
    から離間する封止された空洞を有することを特徴とする
    マイクロエレクトロニクス・アセンブリ。
  16. 【請求項16】 請求項15記載のマイクロエレクトロ
    ニクス・アセンブリにおいて、 前記ボールは、フラックスを含むハンダを含み、 ステップ(e)は、前記空洞と前記回路ボードとの間に
    画定された空間からフラックスを除去するステップを含
    むことを特徴とするマイクロエレクトロニクス・アセン
    ブリ。
  17. 【請求項17】 請求項11記載のマイクロエレクトロ
    ニクス・アセンブリにおいて、ステップ(b)及び
    (c)は、共同して、前記回路ボードを前記集積回路の
    上方に保持するステップと、重力によって前記集積回路
    が前記回路ボードから離間する方向に下向きに引かれる
    ことを許容させるステップと、を含むことを特徴とする
    マイクロエレクトロニクス・アセンブリ。
  18. 【請求項18】 請求項17記載のマイクロエレクトロ
    ニクス・アセンブリにおいて、ステップ(b)及び
    (c)は、共同して、前記回路ボードを、前記集積回路
    が所定の距離だけ前記回路ボードから下向きに離間した
    後で接する表面を有する固定具を用いて、保持するステ
    ップを含むことを特徴とするマイクロエレクトロニクス
    ・アセンブリ。
  19. 【請求項19】 請求項17記載のマイクロエレクトロ
    ニクス・アセンブリにおいて、ステップ(c)は、更
    に、前記集積回路に重りを付加するステップを含むこと
    を特徴とするマイクロエレクトロニクス・アセンブリ。
  20. 【請求項20】 請求項11記載のマイクロエレクトロ
    ニクス・アセンブリにおいて、ステップ(c)は、更
    に、前記重りの下方にストッパを与えて、前記集積回路
    が所定の距離だけ前記回路ボードから下向きに離間した
    後で前記重りが前記ストッパに接するようにするステッ
    プを含むことを特徴とするマイクロエレクトロニクス・
    アセンブリ。
JP8285420A 1996-01-31 1996-10-28 ハンダによるコラム・グリッド・アレー相互接続を有する回路ボード上に実装されたマイクロエレクトロニクス集積回路及びコラム・グリッド・アレー作成方法 Pending JPH09214121A (ja)

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