JPH09203806A

JPH09203806A - カラーフィルター用ネガ型感光性組成物

Info

Publication number: JPH09203806A
Application number: JP1257696A
Authority: JP
Inventors: Tameichi Ochiai; 為一落合; Ryuichiro Takasaki; 龍一郎高崎
Original assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Current assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Priority date: 1996-01-29
Filing date: 1996-01-29
Publication date: 1997-08-05

Abstract

(57)【要約】【課題】露光に対して高感度で重合性に優れ、高濃度
顔料においても硬化し、かつ耐薬品性に優れたカラーフ
ィルター用ネガ型感光性組成物。【解決手段】ａ）カルボキシル基を含有するアクリル
樹脂、ｂ）光酸発生剤、ｃ）酸の作用により硬化作用を
有する架橋剤、ｄ）顔料及びｅ）溶剤を含有するカラー
フィルター用ネガ型感光性組成物。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶の表示装置ま
たは固体撮像素子と組み合わせて用いるカラーフィルタ
ーの製造に好適なネガ型感光性組成物である。赤、青、
緑の着色パターンおよびブラックマトリックスとなる黒
色パターン形成に好適に使用できる。

【０００２】

【従来の技術】カラーフィルターは染色法、印刷法、電
着法、顔料分散法などによりガラス等の透明基板上に
赤、緑、青、などの画素を形成したものが用いられてい
る。また、カラーフィルターのコントラストを向上させ
るために、着色画像の間にブラックマトリックスと呼ば
れる黒色パターンを配置する場合もある。染色法による
カラーフィルターはゼラチンやポリビニルアルコールな
どに感光剤として重クロム酸塩を混合した感光性樹脂に
より画像を形成した後、染色して製造される。多色を同
一基板に形成するためには、防染工程が必須であり、工
程が複雑になる問題点がある。また、染料を使用してい
るため耐候性に劣る。感光剤として用いる重クロム酸は
公害防止の観点からも問題である。

【０００３】印刷法によるカラーフィルターはスクリー
ン印刷またはフレキソ印刷などの方法で、熱硬化または
光硬化インキをガラス基板に転写させる。画像形成、染
色が不要であるため工程が簡略である反面、高精細な画
像が得られず、インキの平滑性にも問題がある。電着法
によるカラーフィルターは、顔料または染料を含んだ浴
に電極をもうけたガラス基板を浸し電気泳動により色相
を付着させるものである。平滑性に優れるが、あらかじ
め、ガラス基板に電極が必要なため、複雑なパターンを
形成させるのが困難である。

【０００４】顔料分散法は光硬化性樹脂に顔料を分散さ
せた着色感光性組成物により画像を形成する。高耐熱
性、染色がいらないなどの利点があり、また、高精度な
画像形成が可能なため現在カラーフィルター製造の主流
となっている。しかし、高濃度で顔料を分散させた着色
感光性組成物を使用するため光硬化性に劣り感度が低
く、また、耐薬品性も低いため作業性において大きな問
題点を有している。ブラックマトリックスはガラス基板
全体にクロムを蒸着し、エッティング処理により形成す
るのが一般的である。この方法は、クロムを使用してい
るため、高コスト、高反射率であり、廃液処理にも問題
を有している。このため、黒色顔料を有した感光性組成
物でブラックマトリックスを形成する方法が検討されて
きているが、着色感光性組成物の場合以上に感度低下が
大きく、高濃度に顔料を添加すると画像形成ができなく
なる問題を有している。従って、黒色レジストで形成す
るブラックマトリックスは、顔料濃度を低濃度に抑制し
なければならず、コントラストが低下する問題点を有し
ていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来、赤、青、緑、黒
等の顔料を分散させた着色感光性組成物でパターン形成
を行う場合、顔料により強い光吸収が起こる上に酸素に
よる硬化阻害もうけるため著しく感度が低く、硬化が困
難であった。このため、画像を形成するためには長い露
光時間が必要であり作業効率が著しく悪く、また、酸素
による硬化阻害を防ぐためには感光性組成物膜上にさら
に酸素遮断の保護膜を形成する必要があり一層プロセス
を複雑にする要因となっていた。

【０００６】さらに、このようにして形成された画像は
光硬化が十分でないため、耐熱性、耐薬品性に劣り、液
晶の配向膜となるポリイミド膜を形成する際には着色画
像の保護を必要としていた。また、ブラックマトリック
ス形成の場合には以上の問題点が、さらに、深刻となる
ため顔料濃度を抑制する必要性が生じ、コントラストを
十分確保できない問題点を有していた。本発明の目的は
上記にあげた従来の着色感光性樹脂の問題点を解決し、
高感度、耐薬品性に優れたカラーフィルター用ネガ型感
光性組成物を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者らは鋭意研究を
進めた結果、ａ）カルボキシル基を含有するアクリル樹
脂、ｂ）光酸発生剤、ｃ）酸の作用により硬化作用を有
する架橋剤及びｄ）顔料を含有するカラーフィルター用
ネガ型感光性組成物が高感度であり、かつ、耐薬品性に
も優れることを見い出し本発明を完成するに至った。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明に用いられる、ａ）カルボ
キシル基を含有するアクリル樹脂は、具体的には、（メ
タ）アクリル酸、（無水）マレイン酸、クロトン酸、イ
タコン酸、フマル酸、などのカルボキシル基を有するモ
ノマーとこれ等と共重合可能なコモノマーとの共重合体
が用いられる。カルボキシ基を有するモノマーと反応性
のコモノマーとしては、一般にビニルモノマー等の炭素
・炭素二重結合を有するモノマーが使用でき、具体的に
は、スチレン、α−メチルスチレン、（メタ）アクリル
酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリ
ル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メ
タ）アクリル酸ブチル、酢酸ビニル、アクリロニトリ
ル、（メタ）アクリルアミド、グリシジル（メタ）アク
リレート、アリルグリシジルエーテル、エチルアクリル
酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、クロト
ン酸グリシジルエーテル、（メタ）アクリル酸クロライ
ド、ベンジル（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル
（メタ）アクリレート、Ｎ−メチロールアクリルアミ
ド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、Ｎ−メタクリロ
イルモルホリン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メ
タ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルアク
リルアミド、などのコモノマーを共重合させたバインダ
ーポリマーが挙げられる。

【０００９】なお、カルボキシル基を有するモノマーと
して（メタ）アクリル酸以外のモノマーを選択した場
合、そのコモノマーとしては、（メタ）アクリル酸エス
テル、（メタ）アクリル酸アミド、等の（メタ）アクリ
ル酸誘導体あるいはこれと他のコモノマー混合物が用い
られる。得られたアクリル樹脂中の構成比としては、
（メタ）アクリル酸とその誘導体の合計量が５〜８０モ
ル％、好ましくは１０〜７５モル％とすることが望まし
い。特に、（メタ）アクリル酸およびスチレンから実質
的になるバインダーポリマーが好ましい。

【００１０】また、これらの樹脂側鎖にエチレン性２重
結合を付加させることもできる。エチレン性２重結合を
導入する合成手段として、例えば、特公５０−３４４４
３、特公５０−３４４４４などに記載の方法等が挙げら
れる。具体的には、アクリル樹脂に含有されるグリシジ
ル基、カルボキシル基あるいは水酸基にグリシジル基、
エポキシシクロヘキシル基および（メタ）アクリロイル
基を併せ持つ化合物やアクリル酸クロライドなどを反応
させる方法が挙げられる。例えば、（メタ）アクリル酸
グリシジル、アリルグリシジルエーテル、α−エチルア
クリル酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、
（イソ）クロトン酸グリシジルエーテル、（３，４−エ
ポキシシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレート、
（メタ）アクリル酸クロライド、（メタ）アリルクロラ
イドなどの化合物を使用し、カルボキシル基や水酸基を
有する樹脂に反応させることにより側鎖に重合基を有す
る樹脂を得ることができる。エチレン性２重結合は、ア
クリル樹脂の骨格を形成するモノマー１００分子当り２
〜５０個、好ましくは３〜４５個、特に好ましくは４〜
４０個を有することが望ましい。

【００１１】こうして得られたアクリル樹脂のＧＰＣで
測定した重量分子量の好ましい範囲は１０００〜１００
０００である。重量平均分子量が１０００以下であると
均一な塗膜をえるのが難しく、また、１０００００を超
えると現像性が低下する傾向がある。また、カルボキシ
ル基の好ましい含有量の範囲は酸価で５〜２００、更に
好ましくは１０〜１８０である。酸価が５以下であると
アルカリ現像液に不溶となり、また、２００を超えると
感度が低下することがある。本発明ｂ）光酸発生剤は、
紫外光により酸を発生させる化合物であり、有機ハロゲ
ン化合物、オニウム塩、スルホン酸エステル等が挙げら
れる。これらのなかでは有機ハロゲン化合物が好まし
く、特に、ハロメチル化トリアジン、ハロメチル化オキ
サジアゾール化合物が好ましい。具体的にはハロメチル
化トリアジン化合物は一般式（１）で示される。

【００１２】

【化１】

【００１３】（式中Ｒ¹及びＲ²は、ハロメチル基であ
り、Ｙは炭素数５以上の有機基である。）ハロメチル基としては、例えばトリクロロメチル基、ト
リブロモメチル基、ジクロロメチル基、ジブロモメチル
基などがあり、炭素数５以上の有機基としては、例えば
置換基を有していてもよい、フェニル基、ナフチル基、
スチリル基、スチリルフェニル基、フリルビニル基、四
級化アミノエチルアミノ基などがある。ハロメチル化ト
リアジン化合物の具体例としては、以下の式（２）〜
（２３）で示される化合物がある。

【００１４】

【化２】

【００１５】

【化３】

【００１６】

【化４】

【００１７】

【化５】

【００１８】

【化６】

【００１９】

【化７】

【００２０】一般式（１）で示されるハロメチル化トリ
アジン化合物の中でも好ましいものは、以下の一般式
（２４）〜（２６）で示される化合物である。

【００２１】

【化８】

【００２２】式中Ｒ¹及びＲ²は、ハロメチル基であ
り、Ｒはそれぞれ独立して炭素数１〜４のアルキル基ま
たは炭素数１〜４のアルコキシ基であり、ｎは０〜３の
整数である。

【００２３】

【化９】

【００２４】式中Ｒ¹及びＲ²は、ハロメチル基であ
り、Ｒはそれぞれ独立して炭素数１〜４のアルキル基ま
たは炭素数１〜４のアルコキシ基であり、ｎは０〜３の
整数である。

【００２５】

【化１０】

【００２６】式中Ｒ¹及びＲ²は、ハロメチル基であ
り、Ｒはそれぞれ独立して炭素数１〜４のアルキル基で
あり、ｎは０〜１の整数である。一般式（２４）〜（２
６）で示される化合物の中でも好ましいものは、Ｒ¹及
びＲ²がトリクロロメチル基であり、Ｒの炭素数が１〜
２であり、一般式（２４）、（２５）ではｎが０〜２の
整数であり、一般式（２６）は０〜１の整数である化合
物である。ハロメチル化オキサジアゾール化合物は、一
般式（２７）で示される。

【００２７】

【化１１】

【００２８】式中Ｒ³は、ハロメチル基であり、Ｚは置
換基を有していてもよいベンゾフリル基またはベンゾフ
リルビニル基である。ハロメチル化オキサジアゾール化
合物の具体例としては、以下の式（２８）〜（４５）で
示される化合物がある。

【００２９】

【化１２】

【００３０】

【化１３】

【００３１】

【化１４】

【００３２】

【化１５】

【００３３】一般式（２７）で示されるハロメチル化オ
キサジアゾール化合物の中でも好ましいのは、以下の一
般式（４６）で示される化合物である。

【００３４】

【化１６】

【００３５】式中、Ｒ³はハロメチル基であり、Ｒはそ
れぞれ独立して炭素数１〜４のアルキル基または炭素数
１〜４のアルコキシ基であり、ｎは０〜２の整数であ
る。さらに好ましいのは、Ｒ³がトリクロロメチル基で
あり、Ｒがそれぞれ独立して炭素数１〜２のアルキル基
またはアルコキシ基であり、ｎが０〜１の整数である化
合物である。本発明ｃ）酸の作用により硬化作用を有す
る架橋剤としてはメラミン、ベンゾグアナミン、グリコ
ールウリル又は尿素にホルムアルデヒドを作用させた化
合物またはそれらのアルキル変性化合物、エポキシ化合
物、レゾール化合物等が挙げられる。

【００３６】具体的には、三井サイアナミド社のサイメ
ル（登録商標）３００、３０１、３０３、３５０、７３
６、７３８、３７０、７７１、３２５、３２７、７０
３、７０１、２６６、２６７、２８５、２３２、２３
５、２３８、１１４１、２７２、２５４、２０２、１１
５６、１１５８を、メラミンにホルムアルデヒドを作用
させた化合物またはそのアルキル変性物の例である。サ
イメル（登録商標）１１２３、１１２５、１１２８は、
ベンゾグアナミンにホルムアルデヒドを作用させた化合
物またはそのアルキル変性物の例である。サイメル（登
録商標）１１７０、１１７１、１１７４、１１７２はグ
リコールウリルにホルムアルデヒドを作用させた化合物
またはそのアルキル変性物の例である。尿素にホルムア
ルデヒドを作用させた化合物またはそのアルキル変性物
の例として三井サイアナミド社のＵＦＲ（登録商標）６
５、３００を挙げることができる。

【００３７】エポキシ化合物の例として、ノボラックエ
ポキシ樹脂（東都化成社製ＶＤＰＮ−６３８、７０１、
７０２、７０３、７０４等）、アミンエポキシ樹脂（東
都化成社製ＹＨ−４３４等）、ビスフェノールＡエポキ
シ樹脂、ソルビトール（ポリ）グリシジルエーテル、
（ポリ）グリセロール（ポリ）グリシジルエーテル、ペ
ンタエリスリトール（ポリ）グリシジルエーテル、トリ
グリシジルトリスヒドロキシエチルイソシアヌレート、
アリルグリシジルエーテル、エチルヘキシルグリシジル
エーテル、フェニルグリシジルエーテル、フェノールグ
リシジルエーテル、ラウリルアルコールグリシジルエー
テル、アジピン酸グリシジルエーテル、フタル酸グリシ
ジルエーテル、ジブロモフェニルグリシジルエーテル、
ジブロモネオペンチルグリコールジグリシジルエーテ
ル、グリシジルフタルイミド、（ポリ）エチレングリコ
ールグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジ
グリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシ
ジルエーテル、グリセリンポリグリシジルエーテル、ト
リメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、ブチル
グリシジルエーテル等を挙げることができる。

【００３８】この中で特に好ましい化合物として、分子
中に−Ｎ（ＣＨ₂ＯＲ）₂基を有する化合物（式中、Ｒ
は水素原子またはアルキル基を示す）が挙げられる。詳
しくは、尿素あるいはメラミンにホルムアルデヒドを作
用させた化合物またはそのアルキル変性物が特に好まし
い。レゾール化合物の例として、群栄化学社製のＰＰ−
３０００ｓ、ＰＰ−３０００Ａ、ＲＰ−２９７８、ＳＰ
−１９７４、ＳＰ−１９７５、ＳＰ−１９７６、ＳＰ−
１９７７、ＲＰ−３９７３等が挙げられる。

【００３９】本発明ｄ）顔料としては、硫酸バリウム、
硫酸鉛、酸化チタン、黄色鉛、ベンガラ、酸化クロム、
カーボンブラック、などの無機顔料、アントラキノン系
顔料、ペリレン系顔料、ジスアゾ顔料、フタロシアニン
顔料、イソインドリン顔料、ジオキサジン顔料、キナク
リドン顔料、ペリノン系顔料、トリフェニルメタン系顔
料、チオインジゴ顔料などの有機顔料などが挙げられ
る。これらを単独または混合してもちいることができ
る。これ等顔料の中ではアントラキノン、フタロシアニ
ン、ジオキサジン、カーボンブラックが特に好ましい。

【００４０】具体的にカラーインデックス（Ｃ．Ｉ）ナ
ンバーでしめす。Ｃ．Ｉ．赤；９、９７、１２２、１２３、１４９、１６
８、１７７、１８０、１９２、２１５、２１６、２１
７、２２０、２２３、２２４、２２６、２２７、２２
８、２４０Ｃ．Ｉ．青；１５、１５；６、２２、６０、６４Ｃ．Ｉ．緑；７、３６Ｃ．Ｉ．黒；７Ｃ．Ｉ．黄色；２０、２４、８６、９３、１０９、１１
０、１１７、１２５、１３７、１３８、１４７、１４
８、１５３、１５４、１６６、１６８Ｃ．Ｉ．オレンジ；３６、４３、５１、５５、５９、６
１Ｃ．Ｉ．バイオレット；１９、２３、２９、３０、３
７、４０、５０Ｃ．Ｉ．茶；２３、２５、２６

【００４１】これら顔料の平均粒径は０．００５〜３μ
ｍの範囲にあるのが好ましい。より好ましくは０．０１
〜１μｍである。平均粒径がこれ以下であるとチクソト
ロピーがでやすく良好な塗布性が得られず、また、これ
以上であると塗膜の透明性に欠けるようになる。このよ
うな粒径にするためには、ボールミル、サンドミル、ビ
ーズミル、３本ロール、ペイントシェーカー、超音波な
どの分散処理が有効である。

【００４２】本発明ｅ）の溶剤としては具体的に、ジイ
ソプロピルエーテル、ミネラルスピリット、ｎ−ペンタ
ン、アミルエーテル、エチルカプリレート、ｎ−ヘキサ
ン、ジエチルエーテル、イソプレン、エチルイソブチル
エーテル、ブチルステアレート、ｎ−オクタン、バルソ
ル＃２、アプコ＃１８ソルベント、ジイソブチレン、ア
ミルアセテート、ブチルブチレート、アプコシンナー、
ブチルエーテル、ジイソブチルケトン、メチルシクロヘ
キセン、メチルノニルケトン、プロピルエーテル、ドデ
カン、ＳｏｃａｌｓｏｌｖｅｎｔＮｏ１およびＮｏ
２、アミルホルメート、ジヘキシルエーテル、ジイソプ
ロピルケトン、ソルベッソ＃１５０、（ｎ，ｓｅｃ，
ｔ）−酢酸ブチル、ヘキセン、シェルＴＳ２８ソル
ベント、ブチルクロライド、エチルアミルケトン、エチ
ルベンゾネート、アミルクロライド、エチレングリコー
ルジエチルエーテル、エチルオルソホルメート、メトキ
シメチルペンタノン、メチルブチルケトン、メチルヘキ
シルケトン、メチルイソブチレート、ベンゾニトリル、
エチルプロピオネート、メチルセロソルブアセテート、
メチルイソアミルケトン、メチルイソブチルケトン、プ
ロピルアセテート、アミルアセテート、アミルホルメー
ト、ビシクロヘキシル、ジエチレングリコールモノエチ
ルエーテルアセテート、ジペンテン、メトキシメチルペ
ンタノール、メチルアミルケトン、メチルイソプロピル
ケトン、プロピルプロピオネート、プロピレングリコー
ル−ｔ−ブチルエーテル、メチルエチルケトン、メチル
セロソルブ、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセ
テート、カルビトール、シクロヘキサノン、酢酸エチ
ル、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノ
メチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエー
テルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエー
テル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテ
ート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジ
プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレン
グリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メト
キシプロピオン酸、３−エトキシプロピオン酸、３−エ
トキシプロピオン酸メチルエチル、３−メトキシプロピ
オン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−
エトキシプロピオン酸、３−メトキシプロピオン酸プロ
ピル、３−メトキシプロピオン酸ブチル、ジグライム、
ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレン
グリコールアセテート、エチルカルビトール、ブチルカ
ルビトール、エチレングリコールモノブチルエーテル、
プロピレングリコール−ｔ−ブチルエーテル、３−メチ
ル−３−メトキシブタノール、トリプロピレングリコー
ルメチルエーテル、３−メチル−３−メトキシブチルア
セテートなどの有機溶剤が挙げられる。溶剤は沸点が１
００℃から２００℃の範囲のものを選択するのが好まし
い。より好ましくは１２０℃〜１７０℃の沸点をもつも
のである。これらの溶剤は単独もしくは混合して使用さ
れる。

【００４３】本発明はａ）アクリル樹脂１００重量部に
対しｂ）光酸発生剤は０．０５重量部〜３０重量部、好
ましくは０．１重量部〜２０重量部、更に好ましくは
０．１５重量部〜１５重量部、ｃ）酸の作用により硬化
する架橋剤は５〜２００重量部、好ましくは１０重量部
〜１７０重量部、更に好ましくは１５重量部〜１５０重
量部、ｄ）顔料は１０重量部〜５００重量部、好ましく
は１５重量部〜４５０重量部、ｅ）溶剤は２００〜５０
００重量部、好ましくは２５０重量部〜４５００重量部
の範囲で含有される。

【００４４】ｂ）光重合開始剤の添加量が上記範囲以下
であると十分な感度がえられず、また、上記範囲を超え
ると、ときに光酸発生剤が析出することがある。ｃ）酸
の作用により硬化する架橋剤が上記範囲以下であると像
露光された画線部の架橋密度が十分でなくなり良好な画
像が得られにくく、また、上記範囲を超えると乾燥後の
感光性組成物膜のベタつきが大きくなり作業性に劣るよ
うになる。ｄ）顔料の添加量が上記範囲以下であるとカ
ラーフィルター作成に必要な色濃度が出しにくくなり、
また、上記範囲を超えると顔料による光吸収が強くなり
すぎ、内部光硬化が起こらなくなり画像がでなくなる。
ｅ）溶剤の添加量が上記範囲以下であると塗布むらがで
やすく膜厚の均一性に欠け、上記範囲を超えると十分な
膜厚を得ることができず、また、ピンホールなどの塗布
欠陥がでやすくなる。

【００４５】本発明にはこれら、必須成分以外に増感
剤、顔料分散助剤、塗布性改良剤、現像改良剤、重合禁
止剤、可塑剤、難燃剤、などを好適に添加することがで
きる。これらは単独もしくは数種併用することも可能で
ある。本発明の組成物はスピンコーター、ロールコータ
ー、カーテンコーター、スクリーン印刷などの公知の方
法でガラス基板に塗布される。塗布膜厚は０．３μｍ〜
１０μｍが好ましい。塗布膜を乾燥させるためにコンベ
クションオーブンまたはホットプレートが使用される。
乾燥温度は５０℃〜１５０℃、乾燥時間は３０秒〜６０
分が好適である。露光は高圧水銀灯が一般的に用いら
れ、マスクを通して露光し、ポストイクポージャーベー
ク（ＰＥＢ）を行うことにより感光性組成物膜に潜像が
形成される。ＰＥＢには乾燥と同様にコンベクションオ
ーブンまたはホットプレートが使用され、ＰＥＢ温度は
６０〜１５０℃、ＰＥＢ時間は３０秒〜３０分が好適で
ある。その後、未露光部分を溶解させる溶剤で現像する
ことにより画像が形成される。現像液はアセトン、トル
エン、ＭＥＫなどの有機溶剤も使用可能であるが、環境
問題からアルカリ現像液の方が好ましい。一例をあげる
ならば水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶
液、炭酸ナトリウム水溶液、炭酸カリウム、アンモニア
水、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶
液、などが用いられる。現像方法としては、特に制限は
なく、パドル法、ディッピング法、スプレー法など公知
の方法でおこなうことができる。またプリウエットを採
用してもよい。画像形成後現像液の乾燥、感光性組成物
膜の硬化を高める目的でポストベーク、後光硬化などを
採用してもよい。

【００４６】

【実施例】次に、実施例を用いて具体的に説明するが、
本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例に限定さ
れるものではない。合成例−１酸価２００、分子量５０００のスチレン・アクリル酸樹
脂２０ｇ、ｐ−メトキシフェノール０．２ｇ、ドデシル
トリメチルアンモニウムクロリド０．２ｇ、プロピレン
グリコールモノメチルエーテルアセテート４０ｇをフラ
スコに仕込み（３，４エポキシシクロヘキシル）メチル
アクリレート７．６ｇを滴下し１００℃の温度で３０時
間反応させた。反応液を水に再沈殿、乾燥させて樹脂を
得た。ＫＯＨによる中和滴定をおこなったところ樹脂の
酸価は８０であった。

【００４７】感光性組成物の調合ａ）樹脂１０ｇ、ｂ）光酸発生剤０．１０ｇ、ｃ）架橋
剤５ｇ、ｄ）顔料１０ｇ、ｅ）溶剤７５ｇの割合で表−
１の組成で感光性組成物液を調合した。感光性組成物膜の評価スピンコーターにてガラス基板に塗布し、ホットプレー
トで８０℃で１分間乾燥した。膜厚は１μであった。こ
のサンプルをマスクを通して高圧水銀燈で像露光した
後、ホットプレートで１００℃、１分間ＰＥＢを行っ
た。０．１％水酸化ナトリウム水溶液に現像温度２５℃
で１分間浸漬して感光性組成物パターンを得た。感光性
組成物パターンがマスクの画像寸法とおりに仕上がる露
光量をもって感光性組成物の感度とした。また、耐薬品
試験は現像されたサンプルをさらに２００℃で３０分間
コンベクションオーブンで熱硬化させたあとＮ−メチル
ピロリドンに室温で３０分間浸漬させ、感光性組成物膜
の状態を目視観察して判定した。 ○：変化が認められなかった。 △：一部にはがれが認められた。

【００４８】

【表１】

【００４９】

【表２】

【００５０】

【発明の効果】表−２の実施例の如く、本発明の感光性
組成物は露光時に酸素の影響を受けず高感度で、耐薬品
性に優れ、高顔料濃度であっても画像形成が可能であ
る。本発明の感光性組成物は赤、青、緑の着色画像ばか
りでなく、ブラックマトリックスとなる黒色パターンも
形成できる。従って、本発明の感光性組成物を用いるこ
とにより、高精度、高品位、低コストで液晶ディスプレ
ー用カラーフィルターを製造することができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ０３Ｆ 7/028 Ｇ０３Ｆ 7/028 7/039 7/039

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ａ）カルボキシル基を含有するアクリル
樹脂、ｂ）光酸発生剤、ｃ）酸の作用により硬化作用を
有する架橋剤、ｄ）顔料及びｅ）溶剤を含有することを
特徴とするカラーフィルター用ネガ型感光性組成物。
【請求項２】ａ）アクリル樹脂が少なくともスチレン
および（メタ）アクリル酸をその構成成分とする請求項
１記載のカラーフィルター用ネガ型感光性組成物。
【請求項３】ｂ）光酸発生剤がハロメチル化トリアジ
ンまたはハロメチル化オキサジアゾール化合物である請
求項１記載のカラーフィルター用ネガ型感光性組成物。
【請求項４】ｃ）架橋剤がメラミン樹脂または尿素樹
脂である請求項１記載のカラーフィルター用ネガ型感光
性組成物。
【請求項５】ｄ）顔料がアントラキノン、フタロシア
ニン、ジオキサジンまたはカーボンブラックである請求
項１記載のカラーフィルター用ネガ型感光性組成物。
【請求項６】全固形分中の顔料濃度が２５〜６０％で
ある請求項１記載のカラーフィルター用ネガ型感光性組
成物。
【請求項７】ａ）アクリル樹脂が樹脂側鎖にエチレン
性２重結合を有する請求項１記載のカラーフィルター用
ネガ型感光性組成物。