JPH09198998A - 強誘電性エミッターを適用した陰極構造体及びこれを適用した電子銃並びに陰極線管 - Google Patents
強誘電性エミッターを適用した陰極構造体及びこれを適用した電子銃並びに陰極線管Info
- Publication number
- JPH09198998A JPH09198998A JP34306796A JP34306796A JPH09198998A JP H09198998 A JPH09198998 A JP H09198998A JP 34306796 A JP34306796 A JP 34306796A JP 34306796 A JP34306796 A JP 34306796A JP H09198998 A JPH09198998 A JP H09198998A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- ferroelectric
- layer
- cathode layer
- electron gun
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 10
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 abstract description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 description 7
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
- H01J29/04—Cathodes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
- H01J1/312—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode having an electric field perpendicular to the surface, e.g. tunnel-effect cathodes of metal-insulator-metal [MIM] type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2201/00—Electrodes common to discharge tubes
- H01J2201/30—Cold cathodes
- H01J2201/306—Ferroelectric cathodes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 低真空の状態下でもイオン衝撃による陰極物
質の劣化が少なく、かつ製作が容易で、構造が簡単な強
誘電性エミッターを適用した陰極構造体及びこれを適用
した電子銃及び陰極線管を提供する。 【解決手段】 基板100 と、基板100 上に形成される下
部電極層110 と、前記下部電極層110 上に形成される強
誘電性エミッターを適用した強誘電性陰極層120と、前
記強誘電性陰極層120 上に形成され、強誘電性陰極層12
0 の表面からの電子放出領域を供する上部電極層130
と、前記電極層130 上に形成されて前記上部電極層130
の電子放出領域から放出される電子を制御する駆動電極
層150 とを具備することにより、低真空の状態でもイオ
ン衝撃による陰極物質の劣化が少ない強誘電性エミッタ
ーを適用した陰極構造体及びこれを適用した電子銃及び
陰極線管を提供することができる。
質の劣化が少なく、かつ製作が容易で、構造が簡単な強
誘電性エミッターを適用した陰極構造体及びこれを適用
した電子銃及び陰極線管を提供する。 【解決手段】 基板100 と、基板100 上に形成される下
部電極層110 と、前記下部電極層110 上に形成される強
誘電性エミッターを適用した強誘電性陰極層120と、前
記強誘電性陰極層120 上に形成され、強誘電性陰極層12
0 の表面からの電子放出領域を供する上部電極層130
と、前記電極層130 上に形成されて前記上部電極層130
の電子放出領域から放出される電子を制御する駆動電極
層150 とを具備することにより、低真空の状態でもイオ
ン衝撃による陰極物質の劣化が少ない強誘電性エミッタ
ーを適用した陰極構造体及びこれを適用した電子銃及び
陰極線管を提供することができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は強誘電性エミッター
を適用した陰極構造体及びこれを適用した電子銃及び陰
極線管に係り、特に電子放出源として強誘電性エミッタ
ーを使用する強誘電性エミッターを適用した陰極構造体
及びこれを適用した電子銃並びに陰極線管に関する。
を適用した陰極構造体及びこれを適用した電子銃及び陰
極線管に係り、特に電子放出源として強誘電性エミッタ
ーを使用する強誘電性エミッターを適用した陰極構造体
及びこれを適用した電子銃並びに陰極線管に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に陰極線管に用いられる陰極構造体
は熱的に励起されたBa酸化物のような陰極物質から電子
を放出する。このような陰極構造体は陰極物質を加熱す
るための熱源、例えばフィラメントを備えており、フィ
ラメントによる陰極物質の加熱方式により直熱型と放熱
型とに分けられる。
は熱的に励起されたBa酸化物のような陰極物質から電子
を放出する。このような陰極構造体は陰極物質を加熱す
るための熱源、例えばフィラメントを備えており、フィ
ラメントによる陰極物質の加熱方式により直熱型と放熱
型とに分けられる。
【0003】電子銃から放出された熱電子が活発にスク
リーンに進み、かつイオン衝撃による陰極物質の劣化を
防止するためには、陰極線管の内部が高真空の状態を保
たなければならない。
リーンに進み、かつイオン衝撃による陰極物質の劣化を
防止するためには、陰極線管の内部が高真空の状態を保
たなければならない。
【0004】一般に陰極線管の製造過程では陰極物質か
ら熱電子が円滑に放出されるように、いわゆる排気工程
及びエージング工程などの一連の製造過程を経る。
ら熱電子が円滑に放出されるように、いわゆる排気工程
及びエージング工程などの一連の製造過程を経る。
【0005】しかし、従来では、排気及びエージング工
程に相当の時間がかかるうえ、工程中に発生するイオン
衝撃により陰極物質が劣化するなどの問題点があった。
程に相当の時間がかかるうえ、工程中に発生するイオン
衝撃により陰極物質が劣化するなどの問題点があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記のような
従来の問題点を解決するためになされたものであり、低
真空の状態下でもイオン衝撃による陰極物質の劣化が少
ない強誘電性エミッターを適用した陰極構造体及びこれ
を適用した電子銃並びに陰極線管を提供することにその
目的がある。
従来の問題点を解決するためになされたものであり、低
真空の状態下でもイオン衝撃による陰極物質の劣化が少
ない強誘電性エミッターを適用した陰極構造体及びこれ
を適用した電子銃並びに陰極線管を提供することにその
目的がある。
【0007】また、本発明の他の目的は、製作が容易
で、構造が簡単な強誘電性エミッターを適用した陰極構
造体及びこれを適用した電子銃及び陰極線管を提供する
ことである。
で、構造が簡単な強誘電性エミッターを適用した陰極構
造体及びこれを適用した電子銃及び陰極線管を提供する
ことである。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明による陰極構造体は、基板と、前記基板上
に形成される下部電極層と、前記下部電極層上に形成さ
れる強誘電性陰極層と、前記強誘電性陰極層上に形成さ
れ、強誘電性陰極層の表面からの電子放出領域を供する
上部電極層と、前記電極層上に形成されて前記上部電極
層の電子放出領域から放出される電子を制御する駆動電
極と、を具備することを特徴とする。
めに、本発明による陰極構造体は、基板と、前記基板上
に形成される下部電極層と、前記下部電極層上に形成さ
れる強誘電性陰極層と、前記強誘電性陰極層上に形成さ
れ、強誘電性陰極層の表面からの電子放出領域を供する
上部電極層と、前記電極層上に形成されて前記上部電極
層の電子放出領域から放出される電子を制御する駆動電
極と、を具備することを特徴とする。
【0009】また、前記目的を達成するために、本発明
による電子銃は、電子放出源と、前記電子放出源からの
電子を制御及び加速する多数の電極を具備する電極群
と、前記電子放出源と前記電極群を支持かつ固定する支
持手段と、を具備する電子銃において、前記電子放出源
は、基板と、基板上に形成される下部電極層と、前記下
部電極層上に形成される強誘電性陰極層と、前記強誘電
性陰極層上に形成され、強誘電性陰極層の表面からの電
子放出領域を供する上部電極層と、前記電極層上に形成
されて前記上部電極層の電子放出領域から放出される電
子を制御する駆動電極と、を具備することを特徴とす
る。
による電子銃は、電子放出源と、前記電子放出源からの
電子を制御及び加速する多数の電極を具備する電極群
と、前記電子放出源と前記電極群を支持かつ固定する支
持手段と、を具備する電子銃において、前記電子放出源
は、基板と、基板上に形成される下部電極層と、前記下
部電極層上に形成される強誘電性陰極層と、前記強誘電
性陰極層上に形成され、強誘電性陰極層の表面からの電
子放出領域を供する上部電極層と、前記電極層上に形成
されて前記上部電極層の電子放出領域から放出される電
子を制御する駆動電極と、を具備することを特徴とす
る。
【0010】また、前記目的を達成するために、本発明
による陰極線管は、電子放出源と多数の電極を具備した
電子銃と、前記電子銃が装着されるネック部を具備する
ファンネルと、前記電子銃からの電子ビームにより画像
を実現するスクリーンを具備したパネルと、を具備する
陰極線管において、前記電子放出源は、基板と、前記基
板上に形成される下部電極層と、前記下部電極層上に形
成される強誘電性陰極層と、前記強誘電性陰極層上に形
成され、強誘電性陰極層の表面からの電子放出領域を供
する上部電極層と、前記電極層上に形成されて前記上部
電極層の電子放出領域から放出される電子を制御する駆
動電極と、を具備することを特徴とする。
による陰極線管は、電子放出源と多数の電極を具備した
電子銃と、前記電子銃が装着されるネック部を具備する
ファンネルと、前記電子銃からの電子ビームにより画像
を実現するスクリーンを具備したパネルと、を具備する
陰極線管において、前記電子放出源は、基板と、前記基
板上に形成される下部電極層と、前記下部電極層上に形
成される強誘電性陰極層と、前記強誘電性陰極層上に形
成され、強誘電性陰極層の表面からの電子放出領域を供
する上部電極層と、前記電極層上に形成されて前記上部
電極層の電子放出領域から放出される電子を制御する駆
動電極と、を具備することを特徴とする。
【0011】前記本発明において、前記電子放出領域を
3つ設けてカラー画像実現のための3つの電子ビームを
得ることが望ましく、特に前記駆動電極に電子が通過す
る通過孔を設けることが望ましい。
3つ設けてカラー画像実現のための3つの電子ビームを
得ることが望ましく、特に前記駆動電極に電子が通過す
る通過孔を設けることが望ましい。
【0012】また、前記強誘電性陰極の素材としてはPZ
T 又はPLZTのうち何れか一つを適用することが望まし
い。
T 又はPLZTのうち何れか一つを適用することが望まし
い。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明を添付した図面に基
づき更に詳細に説明する。
づき更に詳細に説明する。
【0014】本発明の陰極構造体の基本概念を説明する
ための図1を参照すると、120 は電子放出源の強誘電性
陰極層であり、110 と130 は強誘電性陰極層を励起させ
るための上下電極層である。
ための図1を参照すると、120 は電子放出源の強誘電性
陰極層であり、110 と130 は強誘電性陰極層を励起させ
るための上下電極層である。
【0015】下部電極層110 と上部電極層130 にサブマ
イクロ秒の高圧パルスを印加すると、強誘電性陰極層12
0 の内部及び表面に自発分極をスイッチするようにな
り、強い電子の放出が招かれる。ここで、電子は上部電
極の形成されていない露出部位から放出される。
イクロ秒の高圧パルスを印加すると、強誘電性陰極層12
0 の内部及び表面に自発分極をスイッチするようにな
り、強い電子の放出が招かれる。ここで、電子は上部電
極の形成されていない露出部位から放出される。
【0016】具体化された本発明による陰極構造体の概
略的な斜視図を示す図2および図2の断面図を示す図3
を参照すると、基板100 の表面に最下位の下部電極層11
0 が形成され、その上に強誘電性エミッターを適用した
陰極層120 、上部電極層130、絶縁層140 、駆動電極層1
50 が順次に形成されている。
略的な斜視図を示す図2および図2の断面図を示す図3
を参照すると、基板100 の表面に最下位の下部電極層11
0 が形成され、その上に強誘電性エミッターを適用した
陰極層120 、上部電極層130、絶縁層140 、駆動電極層1
50 が順次に形成されている。
【0017】前記のような構造の陰極構造体は、カラー
陰極線管に用いられるように3つの電子放出領域を有す
る。具体的に、前記上部電極層130 と下部電極層110 は
それぞれ一つずつ設けられて強誘電性陰極層120 全体を
励起させ得るようになっている。
陰極線管に用いられるように3つの電子放出領域を有す
る。具体的に、前記上部電極層130 と下部電極層110 は
それぞれ一つずつ設けられて強誘電性陰極層120 全体を
励起させ得るようになっている。
【0018】前記絶縁層140 の上には3つの駆動電極層
150 が一定間隔を隔てて設けられている。そして、各駆
動電極層150 には電子放出及び制御のための貫通孔151
が形成されている。ここで、前記各駆動電極層150 の各
貫通孔151 に対応する前記上部電極層130 の部位には、
図4に示すように、熱電子の放出のための微細孔131が
形成されているため、これを通じて電子が前記駆動電極
層150 の貫通孔151 へと進むようになっている。
150 が一定間隔を隔てて設けられている。そして、各駆
動電極層150 には電子放出及び制御のための貫通孔151
が形成されている。ここで、前記各駆動電極層150 の各
貫通孔151 に対応する前記上部電極層130 の部位には、
図4に示すように、熱電子の放出のための微細孔131が
形成されているため、これを通じて電子が前記駆動電極
層150 の貫通孔151 へと進むようになっている。
【0019】前記駆動電極層150 は画像信号などの制御
信号を受け取り、電子を放出するか否かを決定し、かつ
電子放出量を制御する。
信号を受け取り、電子を放出するか否かを決定し、かつ
電子放出量を制御する。
【0020】かかる構造の本発明の陰極構造体におい
て、前記強誘電性陰極層120 の素材としては、強誘電性
物質として公知のPZT 、PLZTなどが用いられる。また、
前記上部電極層130 及び下部電極層110 の素材として
は、アルミニウム、金、白金などの高電導性金属が用い
られる。
て、前記強誘電性陰極層120 の素材としては、強誘電性
物質として公知のPZT 、PLZTなどが用いられる。また、
前記上部電極層130 及び下部電極層110 の素材として
は、アルミニウム、金、白金などの高電導性金属が用い
られる。
【0021】また、実験の結果、前記強誘電性陰極層12
0 から電子を放出させるための駆動電圧は100 ボルト以
下の低いパルス電位を有する場合には、電流の漏れが少
なく安定的な電子放出が起こるということが分かった。
特に、駆動電圧は強誘電性陰極層の材料状態、例えば材
料の結晶相や厚さなどに依存する。実験によると、駆動
パルスの電圧を100 ボルト以下に下げるために強誘電性
陰極層120 、例えばPLZTの厚さ、即ち上下電極層130,11
0 間の間隔を10マイクロメートル以下に設定する必要が
ある。
0 から電子を放出させるための駆動電圧は100 ボルト以
下の低いパルス電位を有する場合には、電流の漏れが少
なく安定的な電子放出が起こるということが分かった。
特に、駆動電圧は強誘電性陰極層の材料状態、例えば材
料の結晶相や厚さなどに依存する。実験によると、駆動
パルスの電圧を100 ボルト以下に下げるために強誘電性
陰極層120 、例えばPLZTの厚さ、即ち上下電極層130,11
0 間の間隔を10マイクロメートル以下に設定する必要が
ある。
【0022】駆動電圧は陰極層が薄ければ薄いほど低く
なるが、約1マイクロメートル以下になると上下電極層
間の短絡が発生するので、1マイクロメートル以上にな
らなければならない。また、駆動電圧は電子放出領域の
大きさ、即ち駆動電極層に形成された貫通孔の直径にも
依存する。実験によると、300 マイクロメートル以下に
してから漸く100 ボルト以下の状態で安定的な電子放出
が可能になった。
なるが、約1マイクロメートル以下になると上下電極層
間の短絡が発生するので、1マイクロメートル以上にな
らなければならない。また、駆動電圧は電子放出領域の
大きさ、即ち駆動電極層に形成された貫通孔の直径にも
依存する。実験によると、300 マイクロメートル以下に
してから漸く100 ボルト以下の状態で安定的な電子放出
が可能になった。
【0023】前記のような構造の本発明の陰極構造体の
製作方法は次の通りである。
製作方法は次の通りである。
【0024】図5に示されたように、結晶化ガラスから
なる基板100 の表面に、まず金ペーストを印刷法にて形
成した後、所定時間だけ塑性化させて下部電極層110 を
得る。
なる基板100 の表面に、まず金ペーストを印刷法にて形
成した後、所定時間だけ塑性化させて下部電極層110 を
得る。
【0025】下部電極層110 が完成されると、図6に示
されたように、ペースト化されたPZT 又はPLZTを20マイ
クロメートルの厚さで印刷法にて形成し、再び塑性過程
を経て強誘電性陰極層120 を形成する。
されたように、ペースト化されたPZT 又はPLZTを20マイ
クロメートルの厚さで印刷法にて形成し、再び塑性過程
を経て強誘電性陰極層120 を形成する。
【0026】図7に示されたように、前記強誘電性陰極
層120 上に金ペーストを印刷法にて積層し、これを塑性
して上部電極層130 を形成する。この際、上部電極層13
0 は図4に示されたようなパターン、即ち多数の微細孔
131 を有する。
層120 上に金ペーストを印刷法にて積層し、これを塑性
して上部電極層130 を形成する。この際、上部電極層13
0 は図4に示されたようなパターン、即ち多数の微細孔
131 を有する。
【0027】図8に示されたように、印刷法を用いて絶
縁層140及び駆動電極層150を形成すると、所望の
陰極構造体が得られる。ここで、前記絶縁層140 と駆動
電極層150 は前記上部電極層130 の微細孔131 に対応す
る貫通孔を有する。
縁層140及び駆動電極層150を形成すると、所望の
陰極構造体が得られる。ここで、前記絶縁層140 と駆動
電極層150 は前記上部電極層130 の微細孔131 に対応す
る貫通孔を有する。
【0028】また、本発明による陰極構造体を製作する
ために、前述した印刷法以外の方法を用いることもでき
る。例えば、電極層の形成において、スパッタリング
法、ドクター・ブレード法などを適用することもでき、
強誘電性陰極層を形成するためにはバルク状に強誘電性
シートを製作してから、この一側面に電極層をコーティ
ングした後、これをアクリル樹脂にてモールディング
し、他面を所定の厚さでポリシングした後、基板に付着
させる。
ために、前述した印刷法以外の方法を用いることもでき
る。例えば、電極層の形成において、スパッタリング
法、ドクター・ブレード法などを適用することもでき、
強誘電性陰極層を形成するためにはバルク状に強誘電性
シートを製作してから、この一側面に電極層をコーティ
ングした後、これをアクリル樹脂にてモールディング
し、他面を所定の厚さでポリシングした後、基板に付着
させる。
【0029】図9は本発明の陰極構造体が適用された本
発明の電子銃の概略的な側面構造を示したものである。
発明の電子銃の概略的な側面構造を示したものである。
【0030】この電子銃900 は一つの主レンズを有し、
かつ前述したような陰極構造体190と、制御電極G1と、
スクリーン電極G2と、フォーカス電極G3及び加速電極G4
とが順番に並んでおり、これらはガラスビード800 によ
り一つに結合されている。820 は本発明の陰極構造体を
前記ガラスビード800 に固定させるための固定片であ
り、このような固定片は多様な形態に変更できる。
かつ前述したような陰極構造体190と、制御電極G1と、
スクリーン電極G2と、フォーカス電極G3及び加速電極G4
とが順番に並んでおり、これらはガラスビード800 によ
り一つに結合されている。820 は本発明の陰極構造体を
前記ガラスビード800 に固定させるための固定片であ
り、このような固定片は多様な形態に変更できる。
【0031】前述したように、本発明による電子銃は単
一の主レンズを有する単電子銃の構造において、熱電子
放出源の放熱型陰極構造体が本発明の陰極構造体に取り
替えられた構造を有する。
一の主レンズを有する単電子銃の構造において、熱電子
放出源の放熱型陰極構造体が本発明の陰極構造体に取り
替えられた構造を有する。
【0032】図10は前述した本発明の電子銃を具備し
た本発明による陰極線管を概略的に示した図面であり、
既存構造の陰極線管において、従来の構造の電子銃が本
発明の電子銃900 に取り替わった構造を有する。
た本発明による陰極線管を概略的に示した図面であり、
既存構造の陰極線管において、従来の構造の電子銃が本
発明の電子銃900 に取り替わった構造を有する。
【0033】全体的な構造は、電子銃900 が内蔵され、
その外周に偏向ヨーク320 が設けられるネック310 を有
するファンネル300 と、内側面にスクリーン410 の形成
されたパネル400 とが相互結合されて一つの真空容器が
構成される。前記パネル400のスクリーン410 から所定
距離離隔された位置にはシャドーマスク420 と内側シー
ルド440 が設けられており、これらはパネル400 に固定
されているフレーム430 で支持されている。
その外周に偏向ヨーク320 が設けられるネック310 を有
するファンネル300 と、内側面にスクリーン410 の形成
されたパネル400 とが相互結合されて一つの真空容器が
構成される。前記パネル400のスクリーン410 から所定
距離離隔された位置にはシャドーマスク420 と内側シー
ルド440 が設けられており、これらはパネル400 に固定
されているフレーム430 で支持されている。
【0034】前記のような構造を有する本発明の陰極線
管の組立が終了したら、陰極構造体を最適化するための
排気及びエージング工程を経るようになるが、従来の陰
極構造体を適用した陰極線管の場合には約4時間がかか
るのに対して、本発明による陰極線管の場合にはたった
2時間内に排気及びエージング工程が終了した。また、
実験によると、排気時の真空度を従来の陰極線管より一
段階程度下げても陰極構造体が損なわれなかった。
管の組立が終了したら、陰極構造体を最適化するための
排気及びエージング工程を経るようになるが、従来の陰
極構造体を適用した陰極線管の場合には約4時間がかか
るのに対して、本発明による陰極線管の場合にはたった
2時間内に排気及びエージング工程が終了した。また、
実験によると、排気時の真空度を従来の陰極線管より一
段階程度下げても陰極構造体が損なわれなかった。
【0035】
【発明の効果】本発明による陰極線管は強誘電性陰極層
を適用することにより、排気及びエージング工程が技術
的に単純化され、従って低コストとなる。その上に、フ
ィラメントのような熱源を使用しないために部品のコス
トが下がり、特に熱源による陰極構造体とこれに隣接し
た要素の熱的変形を抑制することができる。また、電子
放出方法が瞬間的なパルスにより行われるので、熱電子
の放出がすばやく行われる。
を適用することにより、排気及びエージング工程が技術
的に単純化され、従って低コストとなる。その上に、フ
ィラメントのような熱源を使用しないために部品のコス
トが下がり、特に熱源による陰極構造体とこれに隣接し
た要素の熱的変形を抑制することができる。また、電子
放出方法が瞬間的なパルスにより行われるので、熱電子
の放出がすばやく行われる。
【図1】本発明による陰極構造体を概略的に示した図。
【図2】本発明による陰極構造体を概略的に示した斜視
図。
図。
【図3】図2に示された本発明による陰極構造体の断面
図。
図。
【図4】図2に示された本発明による陰極構造体の上部
電極の一部拡大平面図。
電極の一部拡大平面図。
【図5】本発明による陰極構造体の制作工程図。
【図6】本発明による陰極構造体の制作工程図。
【図7】本発明による陰極構造体の制作工程図。
【図8】本発明による陰極構造体の制作工程図。
【図9】本発明の陰極構造体が適用された本発明による
電子銃の一実施例を示した概略断面図。
電子銃の一実施例を示した概略断面図。
【図10】本発明の電子銃が適用された本発明による陰
極線管の概略断面図。
極線管の概略断面図。
100 基板 110 下部電極 120 強誘電性陰極層 130 上部電極 131 微細孔 140 絶縁層 150 駆動電極層 151 貫通孔 190 陰極構造体 300 ファンネル 310 ネック 320 偏向ヨーク 400 パネル 410 スクリーン 420 シャドーマスク 430 フレーム 440 内側シールド 800 ガラスビード 820 固定片 900 電子銃 G1 制御電極 G2 スクリーン電極 G3 フォーカス電極 G4 加速電極
Claims (36)
- 【請求項1】 基板と、 基板上に形成される下部電極層と、 前記下部電極層上に形成される強誘電性エミッターを適
用した陰極層と、 前記強誘電性陰極層上に形成され、強誘電性陰極層表面
からの電子放出領域を供する上部電極層と、 前記電極層上に形成されて前記上部電極層の電子放出領
域から放出される電子を制御する駆動電極とを具備する
ことを特徴とする強誘電性エミッターを適用した陰極構
造体。 - 【請求項2】 前記駆動電極は3つの駆動電極からな
り、各駆動電極は電子が通過する貫通孔をそれぞれ有
し、 前記駆動電極に対応する前記上部電極の部位には各貫通
孔に対応する多数の微細孔が形成されていることを特徴
とする請求項1に記載の強誘電性エミッターを適用した
陰極構造体。 - 【請求項3】 前記貫通孔の直径は300 マイクロメート
ル以下であることを特徴とする請求項2に記載の強誘電
性エミッターを適用した陰極構造体。 - 【請求項4】 前記強誘電性陰極層の素材はPZT 又はPL
ZTであることを特徴とする請求項1に記載の強誘電性エ
ミッターを適用した陰極構造体。 - 【請求項5】 前記強誘電性陰極層の素材はPZT 又はPL
ZTであることを特徴とする請求項2に記載の強誘電性エ
ミッターを適用した陰極構造体。 - 【請求項6】 前記強誘電性陰極層の素材はPZT 又はPL
ZTであることを特徴とする請求項3に記載の強誘電性エ
ミッターを適用した陰極構造体。 - 【請求項7】 前記強誘電性陰極層の厚さは1 マイクロ
メートル乃至100 マイクロメートル内の範囲であること
を特徴とする請求項1に記載の強誘電性エミッターを適
用した陰極構造体。 - 【請求項8】 前記強誘電性陰極層の厚さは1 マイクロ
メートル乃至100 マイクロメートル内の範囲であること
を特徴とする請求項2に記載の強誘電性エミッターを適
用した陰極構造体。 - 【請求項9】 前記強誘電性陰極層の厚さは1 マイクロ
メートル乃至100 マイクロメートル内の範囲であること
を特徴とする請求項3に記載の強誘電性エミッターを適
用した陰極構造体。 - 【請求項10】 前記強誘電性陰極層の厚さは1 マイク
ロメートル乃至100マイクロメートル内の範囲であるこ
とを特徴とする請求項4に記載の強誘電性エミッターを
適用した陰極構造体。 - 【請求項11】 前記強誘電性陰極層の厚さは1 マイク
ロメートル乃至100マイクロメートル内の範囲であるこ
とを特徴とする請求項5に記載の強誘電性エミッターを
適用した陰極構造体。 - 【請求項12】 前記強誘電性陰極層の厚さは1 マイク
ロメートル乃至100マイクロメートル内の範囲であるこ
とを特徴とする請求項6に記載の強誘電性エミッターを
適用した陰極構造体。 - 【請求項13】 前記請求項1に記載の陰極構造体と、 前記電子放出源からの電子を制御及び加速する多数の電
極を具備する電極群と、 前記電子放出源と前記電極群を支持かつ固定する支持手
段と、 を具備することを特徴とする電子銃。 - 【請求項14】 前記駆動電極は3つの駆動電極からな
り、各駆動電極は電子が通過する貫通孔をそれぞれ有
し、 前記駆動電極に対応する前記上部電極の部位には各貫通
孔に対応する多数の微細孔が形成されていることを特徴
とする請求項13に記載の電子銃。 - 【請求項15】 前記貫通孔の直径は300 マイクロメー
トル以下であることを特徴とする請求項14に記載の電
子銃。 - 【請求項16】 前記強誘電性陰極層の素材はPZT 又は
PLZTであることを特徴とする請求項13に記載の電子
銃。 - 【請求項17】 前記強誘電性陰極層の素材はPZT 又は
PLZTであることを特徴とする請求項14に記載の電子
銃。 - 【請求項18】 前記強誘電性陰極層の素材はPZT 又は
PLZTであることを特徴とする請求項15に記載の電子
銃。 - 【請求項19】 前記強誘電性陰極層の厚さは1 マイク
ロメートル乃至100マイクロメートル内の範囲であるこ
とを特徴とする請求項13に記載の電子銃。 - 【請求項20】 前記強誘電性陰極層の厚さは1 マイク
ロメートル乃至100マイクロメートル内の範囲であるこ
とを特徴とする請求項14に記載の電子銃。 - 【請求項21】 前記強誘電性陰極層の厚さは1 マイク
ロメートル乃至100マイクロメートル内の範囲であるこ
とを特徴とする請求項15に記載の電子銃。 - 【請求項22】 前記強誘電性陰極層の厚さは1 マイク
ロメートル乃至100マイクロメートル内の範囲であるこ
とを特徴とする請求項16に記載の電子銃。 - 【請求項23】 前記強誘電性陰極層の厚さは1 マイク
ロメートル乃至100マイクロメートル内の範囲であるこ
とを特徴とする請求項17に記載の電子銃。 - 【請求項24】 前記強誘電性陰極層の厚さは1 マイク
ロメートル乃至100マイクロメートル内の範囲であるこ
とを特徴とする請求項18に記載の電子銃。 - 【請求項25】 前記請求項13に記載の電子放出源と
多数の電極を具備した電子銃と、 前記電子銃の装着されるネック部を具備するファンネル
と、 前記電子銃からの電子ビームにより画像を実現するスク
リーンを具備したパネルと、 を具備することを特徴とする陰極線管。 - 【請求項26】 前記駆動電極は3つの駆動電極からな
り、各駆動電極は電子が通過する貫通孔をそれぞれ有
し、 前記駆動電極に対応する前記上部電極の部位には各貫通
孔に対応する多数の微細孔が形成されていることを特徴
とする請求項25に記載の陰極線管。 - 【請求項27】 前記貫通孔の直径は300 マイクロメー
トル以下であることを特徴とする請求項26に記載の陰
極線管。 - 【請求項28】 前記強誘電性陰極層の素材はPZT 又は
PLZTであることを特徴とする請求項25に記載の陰極線
管。 - 【請求項29】 前記強誘電性陰極層の素材はPZT 又は
PLZTであることを特徴とする請求項26に記載の陰極線
管。 - 【請求項30】 前記強誘電性陰極層の素材はPZT 又は
PLZTであことを特徴とする請求項27に記載の陰極線
管。 - 【請求項31】 前記強誘電性陰極層の厚さは1 マイク
ロメートル乃至100マイクロメートル内の範囲であるこ
とを特徴とする請求項25に記載の陰極線管。 - 【請求項32】 前記強誘電性陰極層の厚さは1 マイク
ロメートル乃至100マイクロメートル内の範囲であるこ
とを特徴とする請求項26に記載の陰極線管。 - 【請求項33】 前記強誘電性陰極層の厚さは1 マイク
ロメートル乃至100マイクロメートル内の範囲であるこ
とを特徴とする請求項27に記載の陰極線管。 - 【請求項34】 前記強誘電性陰極層の厚さは1 マイク
ロメートル乃至100マイクロメートル内の範囲であるこ
とを特徴とする請求項28に記載の陰極線管。 - 【請求項35】 前記強誘電性陰極層の厚さは1 マイク
ロメートル乃至100マイクロメートル内の範囲であるこ
とを特徴とする請求項29に記載の陰極線管。 - 【請求項36】 前記強誘電性陰極層の厚さは1 マイク
ロメートル乃至100マイクロメートル内の範囲であるこ
とを特徴とする請求項30に記載の陰極線管。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1995-66821 | 1995-12-29 | ||
KR1019950066821A KR100369066B1 (ko) | 1995-12-29 | 1995-12-29 | 강유전성에미터를적용한음극구조체및이를적용한전자총과음극선관 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09198998A true JPH09198998A (ja) | 1997-07-31 |
JP3160213B2 JP3160213B2 (ja) | 2001-04-25 |
Family
ID=19447464
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34306796A Expired - Fee Related JP3160213B2 (ja) | 1995-12-29 | 1996-12-24 | 強誘電性エミッターを適用した陰極構造体及びこれを適用した電子銃並びに陰極線管 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5874802A (ja) |
JP (1) | JP3160213B2 (ja) |
KR (1) | KR100369066B1 (ja) |
CN (1) | CN1104020C (ja) |
DE (1) | DE19653602A1 (ja) |
ES (1) | ES2119714B1 (ja) |
FR (1) | FR2744564B1 (ja) |
GB (1) | GB2308729B (ja) |
RU (1) | RU2184404C2 (ja) |
Families Citing this family (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6885138B1 (en) * | 2000-09-20 | 2005-04-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Ferroelectric emitter |
EP1265263A4 (en) * | 2000-12-22 | 2006-11-08 | Ngk Insulators Ltd | ELECTRONIC TRANSMITTING ELEMENT AND USE IN A FIELD EMISSION DISPLAY |
US6936972B2 (en) | 2000-12-22 | 2005-08-30 | Ngk Insulators, Ltd. | Electron-emitting element and field emission display using the same |
US20020105262A1 (en) * | 2001-02-05 | 2002-08-08 | Plasmion Corporation | Slim cathode ray tube and method of fabricating the same |
US6911768B2 (en) * | 2001-04-30 | 2005-06-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Tunneling emitter with nanohole openings |
JP2003151466A (ja) * | 2001-11-13 | 2003-05-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電界放出型電子源素子、電子銃及びそれを用いた陰極線管装置 |
JP2003178690A (ja) * | 2001-12-10 | 2003-06-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電界放出素子 |
JP2003208856A (ja) * | 2002-01-15 | 2003-07-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 受像管装置 |
US6946800B2 (en) | 2002-02-26 | 2005-09-20 | Ngk Insulators, Ltd. | Electron emitter, method of driving electron emitter, display and method of driving display |
US6897620B1 (en) | 2002-06-24 | 2005-05-24 | Ngk Insulators, Ltd. | Electron emitter, drive circuit of electron emitter and method of driving electron emitter |
JP2004146364A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-05-20 | Ngk Insulators Ltd | 発光素子及びそれを具えるフィールドエミッションディスプレイ |
JP3822551B2 (ja) * | 2002-09-30 | 2006-09-20 | 日本碍子株式会社 | 発光素子及びそれを具えるフィールドエミッションディスプレイ |
US7067970B2 (en) | 2002-09-30 | 2006-06-27 | Ngk Insulators, Ltd. | Light emitting device |
JP2004172087A (ja) * | 2002-11-05 | 2004-06-17 | Ngk Insulators Ltd | ディスプレイ |
JP2004228065A (ja) | 2002-11-29 | 2004-08-12 | Ngk Insulators Ltd | 電子パルス放出装置 |
US7129642B2 (en) | 2002-11-29 | 2006-10-31 | Ngk Insulators, Ltd. | Electron emitting method of electron emitter |
US6975074B2 (en) | 2002-11-29 | 2005-12-13 | Ngk Insulators, Ltd. | Electron emitter comprising emitter section made of dielectric material |
JP3867065B2 (ja) | 2002-11-29 | 2007-01-10 | 日本碍子株式会社 | 電子放出素子及び発光素子 |
US7187114B2 (en) | 2002-11-29 | 2007-03-06 | Ngk Insulators, Ltd. | Electron emitter comprising emitter section made of dielectric material |
US7176609B2 (en) | 2003-10-03 | 2007-02-13 | Ngk Insulators, Ltd. | High emission low voltage electron emitter |
US20040189548A1 (en) * | 2003-03-26 | 2004-09-30 | Ngk Insulators, Ltd. | Circuit element, signal processing circuit, control device, display device, method of driving display device, method of driving circuit element, and method of driving control device |
US7379037B2 (en) | 2003-03-26 | 2008-05-27 | Ngk Insulators, Ltd. | Display apparatus, method of driving display apparatus, electron emitter, method of driving electron emitter, apparatus for driving electron emitter, electron emission apparatus, and method of driving electron emission apparatus |
JP2005070349A (ja) * | 2003-08-22 | 2005-03-17 | Ngk Insulators Ltd | ディスプレイ及びその駆動方法 |
US7474060B2 (en) | 2003-08-22 | 2009-01-06 | Ngk Insulators, Ltd. | Light source |
US20050116603A1 (en) * | 2003-10-03 | 2005-06-02 | Ngk Insulators, Ltd. | Electron emitter |
US7336026B2 (en) | 2003-10-03 | 2008-02-26 | Ngk Insulators, Ltd. | High efficiency dielectric electron emitter |
US20050073234A1 (en) * | 2003-10-03 | 2005-04-07 | Ngk Insulators, Ltd. | Electron emitter |
JP2005183361A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-07-07 | Ngk Insulators Ltd | 電子放出素子、電子放出装置、ディスプレイ及び光源 |
JP2005116232A (ja) | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Ngk Insulators Ltd | 電子放出素子及びその製造方法 |
US7719201B2 (en) | 2003-10-03 | 2010-05-18 | Ngk Insulators, Ltd. | Microdevice, microdevice array, amplifying circuit, memory device, analog switch, and current control unit |
US20070241655A1 (en) * | 2004-03-30 | 2007-10-18 | Kazuto Sakemura | Electron Emitting Device and Manufacturing Method Thereof and Image Pick Up Device or Display Device Using Electron Emitting Device |
US7528539B2 (en) * | 2004-06-08 | 2009-05-05 | Ngk Insulators, Ltd. | Electron emitter and method of fabricating electron emitter |
JP4794227B2 (ja) * | 2004-07-15 | 2011-10-19 | 日本碍子株式会社 | 電子放出素子 |
US7816847B2 (en) * | 2004-07-15 | 2010-10-19 | Ngk Insulators, Ltd. | Dielectric electron emitter comprising a polycrystalline substance |
JP2006080046A (ja) | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Ngk Insulators Ltd | 電子放出装置 |
JP4753561B2 (ja) | 2004-09-30 | 2011-08-24 | 日本碍子株式会社 | 電子放出装置 |
US20060132052A1 (en) | 2004-10-14 | 2006-06-22 | Ngk Insulators, Ltd. | Electron-emitting apparatus and method for emitting electrons |
US20060082318A1 (en) * | 2004-10-14 | 2006-04-20 | Ngk Insulators, Ltd. | Electron-emitting apparatus |
EP1679730A1 (en) * | 2004-11-30 | 2006-07-12 | Ngk Insulators, Ltd. | Electron-emitting device |
WO2008157388A1 (en) * | 2007-06-13 | 2008-12-24 | Vitaliy Ziskin | Scanning x-ray radiation |
EP3031066B1 (en) * | 2013-08-11 | 2018-10-17 | Ariel-University Research and Development Company Ltd. | Ferroelectric emitter for electron beam emission and radiation generation |
IL243367B (en) | 2015-12-27 | 2020-11-30 | Ariel Scient Innovations Ltd | A method and device for generating an electron beam and creating radiation |
RU169040U1 (ru) * | 2016-06-29 | 2017-03-02 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Белгородский государственный национальный исследовательский университет" (НИУ "БелГУ") | Пироэлектрический холодный катод с кольцевым поверхностным электродом |
CN111443225A (zh) * | 2020-04-15 | 2020-07-24 | 西安科技大学 | 一种铁电阴极测试系统及方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2639151B1 (fr) * | 1988-06-28 | 1994-02-18 | Riege Hans | Procedes et appareils pour engendrer rapidement de forts changements de polarisation dans des materiaux ferro-electriques |
DE3938752A1 (de) * | 1989-11-23 | 1991-05-29 | Riege Hans | Kathode zur grossflaechigen erzeugung von intensiven, modulierten ein- oder mehrkanal-elektronenstrahlen |
JP3184296B2 (ja) * | 1992-05-26 | 2001-07-09 | 松下電器産業株式会社 | 強誘電体冷陰極 |
US5363021A (en) * | 1993-07-12 | 1994-11-08 | Cornell Research Foundation, Inc. | Massively parallel array cathode |
US5453661A (en) * | 1994-04-15 | 1995-09-26 | Mcnc | Thin film ferroelectric flat panel display devices, and methods for operating and fabricating same |
US5508590A (en) * | 1994-10-28 | 1996-04-16 | The Regents Of The University Of California | Flat panel ferroelectric electron emission display system |
JPH08203418A (ja) * | 1995-01-20 | 1996-08-09 | Olympus Optical Co Ltd | 電荷発生器及びそれを用いた静電像形成装置並びにフラットパネルディスプレイ |
-
1995
- 1995-12-29 KR KR1019950066821A patent/KR100369066B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1996
- 1996-12-20 DE DE19653602A patent/DE19653602A1/de not_active Withdrawn
- 1996-12-24 GB GB9626898A patent/GB2308729B/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-12-24 JP JP34306796A patent/JP3160213B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-12-27 US US08/777,312 patent/US5874802A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-12-27 RU RU96124398/09A patent/RU2184404C2/ru not_active IP Right Cessation
- 1996-12-27 ES ES09700029A patent/ES2119714B1/es not_active Expired - Lifetime
- 1996-12-27 FR FR9616131A patent/FR2744564B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1996-12-28 CN CN96123989A patent/CN1104020C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2184404C2 (ru) | 2002-06-27 |
ES2119714A1 (es) | 1998-10-01 |
FR2744564B1 (fr) | 1998-08-28 |
GB9626898D0 (en) | 1997-02-12 |
KR970051753A (ko) | 1997-07-29 |
FR2744564A1 (fr) | 1997-08-08 |
GB2308729B (en) | 2000-05-24 |
KR100369066B1 (ko) | 2003-03-28 |
US5874802A (en) | 1999-02-23 |
DE19653602A1 (de) | 1997-07-03 |
CN1104020C (zh) | 2003-03-26 |
JP3160213B2 (ja) | 2001-04-25 |
ES2119714B1 (es) | 1999-05-01 |
CN1164120A (zh) | 1997-11-05 |
GB2308729A (en) | 1997-07-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3160213B2 (ja) | 強誘電性エミッターを適用した陰極構造体及びこれを適用した電子銃並びに陰極線管 | |
US6129603A (en) | Low temperature glass frit sealing for thin computer displays | |
JP2004228084A (ja) | 電界放出素子 | |
JP3131339B2 (ja) | 陰極、陰極線管および陰極線管の作動方法 | |
JPH07220616A (ja) | 可制御熱電子放出器 | |
WO2002071437A2 (en) | Slim cathode ray tube and method of fabricating the same | |
US20050104494A1 (en) | Flat panel display and method of manufacturing the same | |
KR100432110B1 (ko) | 평면형 화상 표시 장치의 제조 방법 및 평면형 화상 표시장치의 제조 장치 | |
JP3971263B2 (ja) | 画像表示装置およびその製造方法 | |
US5650689A (en) | Vacuum airtight device having NbN electrode structure incorporated therein | |
JPH08203423A (ja) | 電界放出冷陰極のエージング方法 | |
US5898262A (en) | Cathode structure and electron gun for cathode ray tube using the same | |
JP2000182543A (ja) | 平面型表示装置 | |
JP2003016916A (ja) | 電子放出素子、電子源及び画像形成装置 | |
JP2005251475A (ja) | 画像表示装置 | |
KR100522692B1 (ko) | 전계 방출 소자 및, 그것의 제조 방법 | |
JP2005251474A (ja) | 画像表示装置の製造方法、および封着材充填装置 | |
US5766054A (en) | Method of manufacturing cathode ray tube | |
JP3060546B2 (ja) | フラットパネルディスプレイ | |
JPH0787074B2 (ja) | 電子放出素子およびその製造方法 | |
JPH0142930Y2 (ja) | ||
EP1544892A1 (en) | Image-displaying device, method of producing spacer used for image-displaying device, and image-displaying device with the spacer produced by the method | |
JP2003016919A (ja) | 電子放出素子、電子源、電子源集合体および画像形成装置 | |
KR100249213B1 (ko) | 음극선관용 전자총의 음극과 그 제조방법 | |
JP3082290B2 (ja) | 平面型表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010122 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |