JP3060546B2 - フラットパネルディスプレイ - Google Patents
フラットパネルディスプレイInfo
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- JP3060546B2 JP3060546B2 JP2417502A JP41750290A JP3060546B2 JP 3060546 B2 JP3060546 B2 JP 3060546B2 JP 2417502 A JP2417502 A JP 2417502A JP 41750290 A JP41750290 A JP 41750290A JP 3060546 B2 JP3060546 B2 JP 3060546B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、フラットパネルディ
スプレイに関し、特に、電界放出型カソードアレイを用
いたフラットパネルディスプレイに適用して好適なもの
である。
スプレイに関し、特に、電界放出型カソードアレイを用
いたフラットパネルディスプレイに適用して好適なもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、ミクロンオーダーのサイズのマイ
クロティップから成る電界放出型カソードアレイを用い
たフラットパネルディスプレイとして、図２に示すよう
なものが知られている。
クロティップから成る電界放出型カソードアレイを用い
たフラットパネルディスプレイとして、図２に示すよう
なものが知られている。
【０００３】図２に示すように、この従来のフラットパ
ネルディスプレイにおいては、導電性のフラットなシリ
コン（Si）基板１０１上に、キャビティ１０２ａを有す
る二酸化シリコン（SiＯ2 ）膜１０２が形成されてい
る。キャビティ１０２ａの周囲の部分におけるこのSiＯ
2 膜１０２上には、モリブデン（Mo）やニオブ（Nb）な
どから成るゲート電極１０３が形成されているととも
に、キャビティ１０２ａの内部のSi基板１０１上にはモ
リブデン（Mo）などから成るカソード１０４が形成され
ている。そして、このカソードアレイが形成されたSi基
板１０１に平行に、フラットなガラス板１０５上に蛍光
体１０６を形成した蛍光スクリーンが対向しており、こ
の蛍光スクリーンとSi基板１０１との間の空間が真空に
保たれた状態で封止されている。
ネルディスプレイにおいては、導電性のフラットなシリ
コン（Si）基板１０１上に、キャビティ１０２ａを有す
る二酸化シリコン（SiＯ2 ）膜１０２が形成されてい
る。キャビティ１０２ａの周囲の部分におけるこのSiＯ
2 膜１０２上には、モリブデン（Mo）やニオブ（Nb）な
どから成るゲート電極１０３が形成されているととも
に、キャビティ１０２ａの内部のSi基板１０１上にはモ
リブデン（Mo）などから成るカソード１０４が形成され
ている。そして、このカソードアレイが形成されたSi基
板１０１に平行に、フラットなガラス板１０５上に蛍光
体１０６を形成した蛍光スクリーンが対向しており、こ
の蛍光スクリーンとSi基板１０１との間の空間が真空に
保たれた状態で封止されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、フラ
ットパネルディスプレイの大画面化の要求が強くなって
きているが、上述の従来のフラットパネルディスプレイ
は、画面となる、蛍光体１０６が形成されたガラス板１
０５だけで大気圧と真空との差圧を持たせる構造となっ
ているため、単純に大画面化することはガラス板１０５
の強度的に困難である。
ットパネルディスプレイの大画面化の要求が強くなって
きているが、上述の従来のフラットパネルディスプレイ
は、画面となる、蛍光体１０６が形成されたガラス板１
０５だけで大気圧と真空との差圧を持たせる構造となっ
ているため、単純に大画面化することはガラス板１０５
の強度的に困難である。
【０００５】この問題を解決するために、通常のテレビ
ジョン受像機のブラウン管のように画面を図３に示すよ
うに球面状にして大画面化することが考えられるが、こ
のようにするとカソードアレイと蛍光スクリーンとの間
の距離が大きい部分が生じるのは避けられない。ところ
が、上述の従来のフラットパネルディスプレイにおいて
は、その動作原理上、カソードアレイと蛍光スクリーン
とを近接して配置する必要があるので、上述のように画
面を単純に球面状化するとフラットパネルディスプレイ
の動作に支障を来してしまう。これを防止するために、
図４に示すようにSi基板１も球面状にしてこのSi基板１
上にカソードアレイを形成することも考えられるが、こ
れは製造プロセス的に見て実現が極めて困難である。
ジョン受像機のブラウン管のように画面を図３に示すよ
うに球面状にして大画面化することが考えられるが、こ
のようにするとカソードアレイと蛍光スクリーンとの間
の距離が大きい部分が生じるのは避けられない。ところ
が、上述の従来のフラットパネルディスプレイにおいて
は、その動作原理上、カソードアレイと蛍光スクリーン
とを近接して配置する必要があるので、上述のように画
面を単純に球面状化するとフラットパネルディスプレイ
の動作に支障を来してしまう。これを防止するために、
図４に示すようにSi基板１も球面状にしてこのSi基板１
上にカソードアレイを形成することも考えられるが、こ
れは製造プロセス的に見て実現が極めて困難である。
【０００６】そこで、図５に示すように、図２に示すフ
ラットパネルディスプレイにおいて、ガラス板１０５と
Si基板１０１との間に支柱１０７を等間隔で設け、この
支柱１０７で大気圧と真空との差圧を持たせることが考
えられている。しかし、このようにすると、製造プロセ
スが複雑化するばかりでなく、支柱１０７の部分のSi基
板１０１上にカソード１０４を形成することができなく
なってしまうという問題がある。
ラットパネルディスプレイにおいて、ガラス板１０５と
Si基板１０１との間に支柱１０７を等間隔で設け、この
支柱１０７で大気圧と真空との差圧を持たせることが考
えられている。しかし、このようにすると、製造プロセ
スが複雑化するばかりでなく、支柱１０７の部分のSi基
板１０１上にカソード１０４を形成することができなく
なってしまうという問題がある。
【０００７】以上のような理由により、これまでは電界
放出型カソードアレイを用いたフラットパネルディスプ
レイを大画面化することは困難であった。従って、この
発明の目的は、大画面化することができるフラットパネ
ルディスプレイを提供することにある。
放出型カソードアレイを用いたフラットパネルディスプ
レイを大画面化することは困難であった。従って、この
発明の目的は、大画面化することができるフラットパネ
ルディスプレイを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、フラットパネルディスプレイにおい
て、フラットな基板（１）上に形成されたカソードアレ
イと、凸曲面状のガラス板から成る画面（７）と、カソ
ードアレイと画面（７）との間に基板（１）にほぼ平行
に設けられたフラットな蛍光スクリーン（５、６）とを
具備し、基板（１）、カソードアレイ及び蛍光スクリー
ン（５、６）の全体は画面（７）を構成するガラス板及
びその延長部分により封止されており、蛍光スクリーン
（５、６）と画面（７）との間の空間及び蛍光スクリー
ン（５、６）と基板（１）との間の空間が真空であり、
かつ、蛍光スクリーン（５、６）と画面（７）との間の
空間の真空度と蛍光スクリーン（５、６）と基板（１）
との間の空間の真空度とは互いに異なっている。
に、この発明は、フラットパネルディスプレイにおい
て、フラットな基板（１）上に形成されたカソードアレ
イと、凸曲面状のガラス板から成る画面（７）と、カソ
ードアレイと画面（７）との間に基板（１）にほぼ平行
に設けられたフラットな蛍光スクリーン（５、６）とを
具備し、基板（１）、カソードアレイ及び蛍光スクリー
ン（５、６）の全体は画面（７）を構成するガラス板及
びその延長部分により封止されており、蛍光スクリーン
（５、６）と画面（７）との間の空間及び蛍光スクリー
ン（５、６）と基板（１）との間の空間が真空であり、
かつ、蛍光スクリーン（５、６）と画面（７）との間の
空間の真空度と蛍光スクリーン（５、６）と基板（１）
との間の空間の真空度とは互いに異なっている。
【０００９】
【作用】上述のように構成されたこの発明のフラットパ
ネルディスプレイによれば、凸曲面状のガラス板により
画面が形成されていることから、フラットパネルディス
プレイを大画面化することができる。しかも、蛍光スク
リーンと画面との間の空間及び蛍光スクリーンと基板と
の間の空間が真空であり、かつ、蛍光スクリーンと画面
との間の空間の真空度と蛍光スクリーンと基板との間の
空間の真空度とは互いに異なっているが、この場合、蛍
光スクリーンと基板との間の空間はカソードアレイから
電子放出が行われるために真空度を高くする必要がある
のに対し、蛍光スクリーンと画面との間の空間は電子放
出とは無関係であるために高い真空度を必要とせず、場
合によっては中間的な真空度でも足りるため、フラット
パネルディスプレイの構造が簡略化され、製造も容易と
なる。
ネルディスプレイによれば、凸曲面状のガラス板により
画面が形成されていることから、フラットパネルディス
プレイを大画面化することができる。しかも、蛍光スク
リーンと画面との間の空間及び蛍光スクリーンと基板と
の間の空間が真空であり、かつ、蛍光スクリーンと画面
との間の空間の真空度と蛍光スクリーンと基板との間の
空間の真空度とは互いに異なっているが、この場合、蛍
光スクリーンと基板との間の空間はカソードアレイから
電子放出が行われるために真空度を高くする必要がある
のに対し、蛍光スクリーンと画面との間の空間は電子放
出とは無関係であるために高い真空度を必要とせず、場
合によっては中間的な真空度でも足りるため、フラット
パネルディスプレイの構造が簡略化され、製造も容易と
なる。
【００１０】
【実施例】以下、この発明の一実施例について図面を参
照しながら説明する。図１はこの発明の一実施例による
フラットパネルディスプレイを示す断面図である。
照しながら説明する。図１はこの発明の一実施例による
フラットパネルディスプレイを示す断面図である。
【００１１】図１に示すように、この実施例によるフラ
ットパネルディスプレイにおいては、例えば導電性のフ
ラットなSi基板１上に、キャビティ２ａを有する例えば
SiＯ2 膜のような絶縁膜２が形成されている。このキャ
ビティ２ａの周囲の部分におけるこの絶縁膜２上には、
例えばMoやNbから成るゲート電極３が形成されている。
また、このキャビティ２ａの内部のSi基板１上には、マ
イクロティップから成るカソード４が形成されている。
そして、これらの多数のカソード４によりカソードアレ
イが形成されている。
ットパネルディスプレイにおいては、例えば導電性のフ
ラットなSi基板１上に、キャビティ２ａを有する例えば
SiＯ2 膜のような絶縁膜２が形成されている。このキャ
ビティ２ａの周囲の部分におけるこの絶縁膜２上には、
例えばMoやNbから成るゲート電極３が形成されている。
また、このキャビティ２ａの内部のSi基板１上には、マ
イクロティップから成るカソード４が形成されている。
そして、これらの多数のカソード４によりカソードアレ
イが形成されている。
【００１２】この実施例においては、カソードアレイが
形成されたSi基板１に対向して、ガラス板５上に蛍光体
６を形成した蛍光スクリーンが設けられている。さら
に、この蛍光スクリーンの外側に、画面となる球面状の
ガラス板７が設けられている。そして、蛍光スクリーン
とカソードアレイが形成されたSi基板１との間の空間及
び蛍光スクリーンと画面となるガラス板７との間の空間
は、いずれも真空に保たれている。この場合、蛍光スク
リーンとSi基板１との間の空間と、蛍光スクリーンと球
面状のガラス板７との間の空間との真空度は互いに異な
っている。
形成されたSi基板１に対向して、ガラス板５上に蛍光体
６を形成した蛍光スクリーンが設けられている。さら
に、この蛍光スクリーンの外側に、画面となる球面状の
ガラス板７が設けられている。そして、蛍光スクリーン
とカソードアレイが形成されたSi基板１との間の空間及
び蛍光スクリーンと画面となるガラス板７との間の空間
は、いずれも真空に保たれている。この場合、蛍光スク
リーンとSi基板１との間の空間と、蛍光スクリーンと球
面状のガラス板７との間の空間との真空度は互いに異な
っている。
【００１３】次に、上述のように構成されたこの実施例
によるフラットパネルディスプレイの製造方法について
説明する。図１に示すように、まずSi基板１上に例えば
熱酸化法やＣＶＤ法やスパッタリング法によりSiＯ2 膜
のような絶縁膜２を形成した後、この絶縁膜２上に例え
ばスパッタリング法や電子ビーム蒸着法により例えばMo
やNbなどのゲート電極形成用の金属膜を形成する。次
に、この金属膜上に、形成すべきゲート電極に対応した
形状のレジストパターン（図示せず）をリソグラフィー
により形成する。
によるフラットパネルディスプレイの製造方法について
説明する。図１に示すように、まずSi基板１上に例えば
熱酸化法やＣＶＤ法やスパッタリング法によりSiＯ2 膜
のような絶縁膜２を形成した後、この絶縁膜２上に例え
ばスパッタリング法や電子ビーム蒸着法により例えばMo
やNbなどのゲート電極形成用の金属膜を形成する。次
に、この金属膜上に、形成すべきゲート電極に対応した
形状のレジストパターン（図示せず）をリソグラフィー
により形成する。
【００１４】次に、このレジストパターンをマスクとし
て金属膜をウエットエッチング法またはドライエッチン
グ法によりエッチングすることによって、ゲート電極３
を形成する。この後、レジストパターン及びゲート電極
３をマスクとして絶縁膜２をウエットエッチング法また
はドライエッチング法によりエッチングして、キャビテ
ィ２ａを形成する。
て金属膜をウエットエッチング法またはドライエッチン
グ法によりエッチングすることによって、ゲート電極３
を形成する。この後、レジストパターン及びゲート電極
３をマスクとして絶縁膜２をウエットエッチング法また
はドライエッチング法によりエッチングして、キャビテ
ィ２ａを形成する。
【００１５】次に、レジストパターンを除去した後、基
板表面に対して所定角度傾斜した方向から電子ビーム蒸
着法により斜め蒸着を行うことにより、ゲート電極上に
例えばアルミニウム（Al）やニッケル（Ni）から成る剥
離層を形成する。この後、基板表面に対して垂直な方向
からカソード形成用の材料として例えばMoを電子ビーム
蒸着法により蒸着する。これによって、キャビティ２ａ
の内部のSi基板１上にカソード４が形成される。
板表面に対して所定角度傾斜した方向から電子ビーム蒸
着法により斜め蒸着を行うことにより、ゲート電極上に
例えばアルミニウム（Al）やニッケル（Ni）から成る剥
離層を形成する。この後、基板表面に対して垂直な方向
からカソード形成用の材料として例えばMoを電子ビーム
蒸着法により蒸着する。これによって、キャビティ２ａ
の内部のSi基板１上にカソード４が形成される。
【００１６】次に、剥離層をその上に形成された金属膜
とともにリフトオフ法により除去する。この後、ガラス
板６上に蛍光体５を形成した蛍光スクリーンをカソード
アレイが形成されたSi基板１と対向させ、さらにその外
側に画面となる球面状のガラス板７を配置し、それらの
間の空間を真空に保った状態で封止して、目的とするフ
ラットパネルディスプレイを完成させる。
とともにリフトオフ法により除去する。この後、ガラス
板６上に蛍光体５を形成した蛍光スクリーンをカソード
アレイが形成されたSi基板１と対向させ、さらにその外
側に画面となる球面状のガラス板７を配置し、それらの
間の空間を真空に保った状態で封止して、目的とするフ
ラットパネルディスプレイを完成させる。
【００１７】以上のように、この実施例によれば、画面
が球面状のガラス板７により形成されていることから、
フラットパネルディスプレイを大画面化することができ
る。しかも、蛍光スクリーンとSi基板１との間の空間及
び蛍光スクリーンとガラス板７との間の空間が真空であ
り、かつ、蛍光スクリーンとSi基板１との間の空間の真
空度と蛍光スクリーンとガラス板７との間の空間の真空
度とは互いに異なっているが、この場合、蛍光スクリー
ンとSi基板１との間の空間はカソードアレイから電子放
出が行われるために真空度を高くする必要があるのに対
し、蛍光スクリーンとガラス板７との間の空間は電子放
出とは無関係であるために高い真空度を必要とせず、場
合によっては中間的な真空度でも足りるため、フラット
パネルディスプレイの構造が簡略化され、製造も容易と
なる。
が球面状のガラス板７により形成されていることから、
フラットパネルディスプレイを大画面化することができ
る。しかも、蛍光スクリーンとSi基板１との間の空間及
び蛍光スクリーンとガラス板７との間の空間が真空であ
り、かつ、蛍光スクリーンとSi基板１との間の空間の真
空度と蛍光スクリーンとガラス板７との間の空間の真空
度とは互いに異なっているが、この場合、蛍光スクリー
ンとSi基板１との間の空間はカソードアレイから電子放
出が行われるために真空度を高くする必要があるのに対
し、蛍光スクリーンとガラス板７との間の空間は電子放
出とは無関係であるために高い真空度を必要とせず、場
合によっては中間的な真空度でも足りるため、フラット
パネルディスプレイの構造が簡略化され、製造も容易と
なる。
【００１８】以上、この発明の一実施例について説明し
たが、この発明は、上述の実施例に限定されるものでは
なく、この発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能
である。例えば、上述の実施例においては、球面状のガ
ラス板７により画面が形成されているが、画面は必ずし
も球面状とする必要はなく、例えば円筒状その他の凸曲
面状とすることが可能である。
たが、この発明は、上述の実施例に限定されるものでは
なく、この発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能
である。例えば、上述の実施例においては、球面状のガ
ラス板７により画面が形成されているが、画面は必ずし
も球面状とする必要はなく、例えば円筒状その他の凸曲
面状とすることが可能である。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、画面が凸曲面状のガラス板により形成されているの
で、フラットパネルディスプレイを大画面化することが
できる。しかも、蛍光スクリーンと画面との間の空間及
び蛍光スクリーンと基板との間の空間が真空であり、か
つ、蛍光スクリーンと画面との間の空間の真空度と蛍光
スクリーンと基板との間の空間の真空度とは互いに異な
っているが、この場合、蛍光スクリーンと基板との間の
空間はカソードアレイから電子放出が行われるために真
空度を高くする必要があるのに対し、蛍光スクリーンと
画面との間の空間は電子放出とは無関係であるために高
い真空度を必要とせず、場合によっては中間的な真空度
でも足りるため、フラットパネルディスプレイの構造が
簡略化され、製造も容易となる。
ば、画面が凸曲面状のガラス板により形成されているの
で、フラットパネルディスプレイを大画面化することが
できる。しかも、蛍光スクリーンと画面との間の空間及
び蛍光スクリーンと基板との間の空間が真空であり、か
つ、蛍光スクリーンと画面との間の空間の真空度と蛍光
スクリーンと基板との間の空間の真空度とは互いに異な
っているが、この場合、蛍光スクリーンと基板との間の
空間はカソードアレイから電子放出が行われるために真
空度を高くする必要があるのに対し、蛍光スクリーンと
画面との間の空間は電子放出とは無関係であるために高
い真空度を必要とせず、場合によっては中間的な真空度
でも足りるため、フラットパネルディスプレイの構造が
簡略化され、製造も容易となる。
【図１】この発明の一実施例によるフラットパネルディ
スプレイを示す断面図である。
スプレイを示す断面図である。
【図２】従来のフラットパネルディスプレイを示す断面
図である。
図である。
【図３】従来のフラットパネルディスプレイにおいて画
面を球面状とした例を示す断面図である。
面を球面状とした例を示す断面図である。
【図４】従来のフラットパネルディスプレイにおいて画
面を球面状とした他の例を示す断面図である。
面を球面状とした他の例を示す断面図である。
【図５】従来のフラットパネルディスプレイにおいて画
面とカソードアレイが形成された基板との間に支柱を設
けた例を示す断面図である。
面とカソードアレイが形成された基板との間に支柱を設
けた例を示す断面図である。
１ Si基板 ２ 絶縁膜 ３ ゲート電極 ４ カソード ５ ガラス板 ６ 蛍光体 ７ ガラス板
Claims (1)
- 【請求項１】 フラットな基板上に形成されたカソード
アレイと、凸曲面状のガラス板から成る画面と、上記カ
ソードアレイと上記画面との間に上記基板にほぼ平行に
設けられたフラットな蛍光スクリーンとを具備し、 上記基板、上記カソードアレイ及び上記蛍光スクリーン
の全体は上記画面を構成する上記ガラス板及びその延長
部分により封止されており、 上記蛍光スクリーンと上記画面との間の空間及び上記蛍
光スクリーンと上記基板との間の空間が真空であり、か
つ、上記蛍光スクリーンと上記画面との間の空間の真空
度と上記蛍光スクリーンと上記基板との間の空間の真空
度とは互いに異なっていることを特徴とするフラットパ
ネルディスプレイ。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2417502A JP3060546B2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | フラットパネルディスプレイ |
| DE69130920T DE69130920T2 (de) | 1990-12-28 | 1991-12-19 | Flache Anzeigeeinrichtung |
| EP96101002A EP0714114A1 (en) | 1990-12-28 | 1991-12-19 | A method of manufacturing a flat panel display apparatus |
| EP96107447A EP0729171B1 (en) | 1990-12-28 | 1991-12-19 | A method of manufacturing a flat panel display apparatus |
| EP91121877A EP0494425B1 (en) | 1990-12-28 | 1991-12-19 | A flat panel display apparatus |
| DE69132385T DE69132385T2 (de) | 1990-12-28 | 1991-12-19 | Verfahren zur Herstellung einer flachen Anzeigevorrichtung |
| KR1019910023846A KR100297881B1 (ko) | 1990-12-28 | 1991-12-23 | 플래트패널디스플레이 |
| US07/815,061 US5210462A (en) | 1990-12-28 | 1991-12-30 | Flat panel display apparatus and a method of manufacturing thereof |
| US07/902,736 US5209687A (en) | 1990-12-28 | 1992-06-23 | Flat panel display apparatus and a method of manufacturing thereof |
| KR1019990024256A KR100238708B1 (ko) | 1990-12-28 | 1999-06-25 | 플래트패널디스플레이의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2417502A JP3060546B2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | フラットパネルディスプレイ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04249841A JPH04249841A (ja) | 1992-09-04 |
| JP3060546B2 true JP3060546B2 (ja) | 2000-07-10 |
Family
ID=18525595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2417502A Expired - Fee Related JP3060546B2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | フラットパネルディスプレイ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3060546B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2787899B2 (ja) * | 1995-03-20 | 1998-08-20 | 日本電気株式会社 | 冷陰極およびこれを用いた電子銃とマイクロ波管 |
| JP2787901B2 (ja) * | 1995-07-28 | 1998-08-20 | 日本電気株式会社 | 電界放射冷陰極の製造方法 |
-
1990
- 1990-12-28 JP JP2417502A patent/JP3060546B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04249841A (ja) | 1992-09-04 |
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