JPH09179085A - 液晶素子の製造方法及び該製造方法に用いられる放電処理装置 - Google Patents

液晶素子の製造方法及び該製造方法に用いられる放電処理装置

Info

Publication number
JPH09179085A
JPH09179085A JP7341415A JP34141595A JPH09179085A JP H09179085 A JPH09179085 A JP H09179085A JP 7341415 A JP7341415 A JP 7341415A JP 34141595 A JP34141595 A JP 34141595A JP H09179085 A JPH09179085 A JP H09179085A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
crystal element
panel
discharge treatment
polarizing film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP7341415A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3234141B2 (ja
Inventor
Shigehisa Hotta
薫央 堀田
Kazuya Ishiwatari
和也 石渡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP34141595A priority Critical patent/JP3234141B2/ja
Publication of JPH09179085A publication Critical patent/JPH09179085A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3234141B2 publication Critical patent/JP3234141B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】パネル表面の濡れ性を改善して、偏光フィルム
の接着力を高める。 【解決手段】液晶パネルPを図示の位置に配置した状態
で高周波電源13をONにし、クォーツ電極11に20
kV程度の高電圧を印加する。これにより、コロナ放電
が生じてオゾンO3 が発生し、酸素ラジカル(遊離基)
O・によってパネル表面が酸化され、パネル表面の濡れ
性が向上される。このとき、移動ステージ3はテーブル
2上を摺動されるため、パネル表面全体が改質される。
その後、パネル表面には偏光フィルムが貼付されるが、
この偏光フィルムの接着力は高められ、偏光フィルムが
剥離されにくくなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、特に大面積の液晶
素子に好適な液晶素子の製造方法及び該製造方法に用い
られる放電処理装置に係り、詳しくは基板の表面を改質
する液晶素子の製造方法及び該製造方法に用いられる放
電処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、液晶素子(以下、“液晶パネ
ル”とする)は、平行に配置された一対の基板を備えて
おり、これらの基板の間隙には液晶が挟持されていた。
また、これらの基板の外面(以下、“パネル表面”とす
る)には偏光フィルムが直接貼付されていた。
【0003】ところで、この液晶パネルは、 様々な工程を経て加工された一対の基板を貼り合わ
せ(基板貼り合わせ工程)、 基板間隙に液晶を注入し(液晶注入工程)、 さらにパネル表面に偏光フィルムを貼付する(偏光
フィルム貼付工程)、 ことにより製造されていた。
【0004】なお、偏光フィルムを貼付する前のパネル
表面には様々な汚れが付着しており、かかる汚れは偏光
フィルムの接着力を弱めることから、偏光フィルムを貼
付するに際してはパネル表面の簡単な洗浄が行なわれて
いた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような簡
単な洗浄だけではパネル表面の汚れが完全には除去され
なかった。特に、製造プロセスで、例えばシリコン樹脂
を配合した処理剤等が使用されてパネル表面が該処理剤
によって汚染され、かつ、該汚れが、製造プロセスにて
加えられる熱によって焼き付けられたりした場合には、
汚れは、パネル表面に化学的に安定に吸着され、従来の
ような簡単な洗浄だけでは除去されなかった。そして、
このような汚れは、撥水基を外側に向けるために、偏光
フィルムの接着力を弱めていた。
【0006】一方、貼付された偏光フィルムは温度変化
に伴って収縮するが、偏光フィルムの面積(すなわち、
液晶パネルの面積)が大きければ、その収縮量も大きな
ものとなる。
【0007】近年、大容量の情報表示を可能とした大面
積の液晶パネルが注目されているが、このような液晶パ
ネルにあっては、温度変化に伴う偏光フィルムの熱収縮
量も大きなものとなり、上述のような汚れによる接着力
の低下と相まって、偏光フィルムが剥れ易いという問題
があった。
【0008】そこで、本発明は、基板の表面の濡れ性を
改善して、貼付する偏光フィルムの接着力を高めるよう
に液晶素子を製造する液晶素子の製造方法を提供するこ
とを目的とするものである。
【0009】また、本発明は、基板の表面の濡れ性を改
善して、偏光フィルムの接着力を高める放電処理装置を
提供することを目的とするものである。
【0010】さらに、本発明は、放電処理を行なうに際
して液晶素子の破壊を防止する放電処理装置を提供する
ことを目的とするものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述事情に鑑
みなされたものであって、一対の基板を貼り合わせる基
板貼り合わせ工程と、該基板貼り合わせ工程にて貼り合
わせた基板の間隙に液晶を注入する液晶注入工程と、を
少なくとも備えた液晶素子の製造方法において、前記基
板貼り合わせ工程にて貼り合わせた基板の表面にコロナ
放電処理を施し、該基板の表面の表面エネルギを40dy
n/cm以上にすると共に水の接触角を60°以下にする放
電処理工程と、該放電処理工程の後に、該工程にて処理
された基板の表面に偏光フィルムを貼り付ける偏光フィ
ルム貼付工程と、を備えてなる、ことを特徴とする。
【0012】また、本発明は、液晶素子を保持する液晶
素子保持手段と、前記液晶素子に対向するように配置さ
れた電極と、該電極に接続されて該電極に高電圧を印加
する電源と、を備え、かつ、前記電極に高電圧を印加す
ることに基づき、前記液晶素子保持手段に保持された液
晶素子の表面にコロナ放電処理を施してなる、ことを特
徴とする。この場合、導電体にて形成されると共にアー
スされた被覆手段を、前記液晶素子に形成された端子電
極部を覆うように配置し、かつ、前記電極からの高電圧
が前記端子電極部に印加されないようすると好ましい。
また、前記被覆手段が金属にて形成されてなる、ように
してもよい。
【0013】なお、以上構成に基づき、基板貼り合わせ
工程にて一対の基板を貼り合わせ、液晶注入工程にて、
前記基板貼り合わせ工程で貼り合わせた基板の間隙に液
晶を注入する。次に、放電処理工程において、前記基板
貼り合わせ工程にて貼り合わせた基板の表面にコロナ放
電処理を施し、該基板の表面の表面エネルギを40dyn/
cm以上にすると共に水の接触角を60°以下にする。さ
らに、該放電処理工程の後に偏光フィルム貼付工程を実
施し、前記放電処理工程にて処理された基板の表面に偏
光フィルムを貼り付ける。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、図面に沿って、本発明の実
施の形態について説明する。
【0015】まず、本発明の実施の形態について、図1
乃至図5に沿って説明する。
【0016】液晶パネル(液晶素子)は、公知のよう
に、平行に配置された一対の基板を備えており、各基板
の内面には走査電極や情報電極が形成されている。そし
て、それらの電極は、基板端縁にて露出されて端子電極
部8(図3参照)を形成している。また、これら一対の
基板の間隙には液晶が挟持されており、走査電極や情報
電極に種々の信号を印加して液晶をスイッチングするこ
とに基づき、様々な情報を表示するように構成されてい
る。
【0017】次に、液晶パネルの製造方法について簡単
に説明する。
【0018】液晶パネルを製造するにあたっては、ま
ず、基板の内面にITO膜を形成し、そのITO膜をパ
ターニングして所定形状の走査電極や情報電極を形成す
る。次に、これらの走査電極や情報電極を覆うように、
絶縁膜や配向制御膜を形成する。 (基板貼り合わせ工程)さらに、これらの薄膜が形成さ
れた基板に、スペーサを散布すると共にシール材を塗布
し、これら一対の基板を貼り合わせる。 (液晶注入工程)次に、基板貼り合わせ工程にて貼り合
わせた基板の間隙に液晶を注入する。これにより、液晶
パネルが製造される。 (放電処理工程)次に、上述のように製造した液晶パネ
ルを、図1に示すような放電処理装置1にセットし、パ
ネル表面(図3の符号Pa参照)にコロナ放電処理を施
し、該パネル表面Paの表面エネルギを40dyn/cm以上
にすると共に水の接触角を60°以下にする。ここで、
この放電処理装置1について説明する。
【0019】放電処理装置1は、液晶パネルPを載置・
保持する金属製のテーブル(液晶素子保持手段)2を備
えており、このテーブル2の上面には、金属製の移動ス
テージ(液晶素子保持手段)3が載置されている。この
移動ステージ3は、図示のようにハンドル3aが取り付
けられており、このハンドル3aを自動又は手動で操作
することにより移動されるように構成されている。
【0020】また、この移動ステージ3の上面には、パ
ネル保護トレー(被覆手段)5と、該パネル保護トレー
5の中に納められた液晶パネルPとが載置されている。
このパネル保護トレー5は、図2及び図3に詳示するよ
うに、開閉自在となるようにカバープレート6とベース
プレート7とによって形成されており、カバープレート
6には開口部6aが形成されて、液晶パネルPの端子電
極部8が被覆されると共に、パネル表面Paが外部に露
出されるように構成されている。なお、上述したテーブ
ル2と移動ステージ3とはアースされており、また、パ
ネル保護トレー5は、導電体である金属プレートによっ
て形成されると共に移動ステージ3を介してアースされ
ている。
【0021】一方、上述したテーブル2の上面には、移
動ステージ3を挟み込むように一対の絶縁ホルダー10
a,10bが取り付けられており(図1参照)、これら
の絶縁ホルダー10a,10bにはクォーツ電極11が
取り付けられている。そして、図3に詳示するように、
クォーツ電極11は、一定の距離(以下、“放電ギャッ
プ”とする)dを隔てて液晶パネルPに対向するように
配置されている。なお、本実施の形態においては、パネ
ルPの厚さは2.0mmであり、放電ギャップはd=1.
0mmに設定されている。したがって、無負荷時には3.
0mmのギャップとなる。
【0022】また一方、クォーツ電極11は、昇圧トラ
ンス12を介して高周波電源(春日電機株式会社製のA
GI−020)13に接続されており、クォーツ電極1
1に高電圧が印加されるようになっている。なお、本実
施の形態においては、高周波電源13の出力は150〜
500W程度であり、発振周波数は40〜22kHzで
あり、放電電圧は20kVとしている。
【0023】次に、放電処理工程の作業内容について具
体的に説明する。
【0024】放電処理を行なうに際しては、まず、移動
ステージ3上の所定位置に、パネル保護トレー5に収納
した液晶パネルPを載置する。この状態で、液晶パネル
Pは、端子電極部8が被覆されると共に、パネル表面P
aが外部に露出されている。
【0025】次に、高周波数電源13の主電源スイッチ
をオンとし、出力を150〜500Wの範囲で設定す
る。
【0026】この状態で、作動スイッチ(不図示)をオ
ンにしてクォーツ電極11に高電圧を印加すると、放電
ギャップ付近ではコロナ放電が生じてオゾンO3 が発生
する。また、このオゾンO3 が放電エネルギを受けるこ
とに基づき酸素ラジカル(遊離基)O・が発生する。
【0027】ところで、パネル表面Paは、放電処理工
程までの工程においてシリコンオイル等による汚染を受
けており、該オイルは、製造プロセスに加えられる熱処
理の影響を受けて、ジメチルシロキサンを定着させたも
のとなっている。
【0028】しかし、本放電処理工程においては、上述
の酸素ラジカルO・が、パネル表面PaのCH3 基など
を酸化してカルボニルC=Oを形成し、シラノール(−
OH基)を生成して、パネル表面Paの濡れ性を改善す
る。なお、本工程においては、移動ステージ3を移動さ
せてパネルPの全体に放電処理を施すことから、パネル
表面全体の濡れ性が改善される。ここで、所要時間は、
1枚のパネル当たり5〜6秒である。 (偏光フィルム貼付工程)さらに、放電処理工程にて処
理されたパネル表面Paに偏光フィルムを貼り付ける。
【0029】次に、本実施の形態の効果について説明す
る。
【0030】本実施の形態によれば、放電処理工程によ
って−OH基が生成され、パネル表面Paの濡れ性が改
善される。その結果、偏光フィルムの接着力が向上さ
れ、大型の液晶パネルにおいて偏光フィルムが熱収縮を
受けても剥れにくくなる。また、偏光フィルムの接着に
関する耐久性が向上される。
【0031】なお、本発明者は、上述の効果を確認すべ
く実験を行なった。以下、実験の内容を説明する。
【0032】本実験においては、放電処理を施した液晶
パネル(以下、“処理パネル”とする)と、該処理を施
さなかった液晶パネル(以下、“未処理パネル”とす
る)とを製造し、これらのパネルについて、パネル表面
Paにおける表面エネルギと接触角とを測定した。な
お、実験に用いたパネルは、サイズを15インチとし
た。また、本実験においては、放電処理を施す前のパネ
ル表面Paはシリコンオイルの汚染を受けていることが
確認された。
【0033】その後、パネル表面Paにそれぞれ偏光フ
ィルムを貼付し、該偏光フィルムを貼付した液晶パネル
Pを、60℃の高温環境下に保持して、高温保存耐久試
験を行ない、何時間で偏光フィルムが剥れるかを調べ
た。下表に、パネル表面Paの表面エネルギと、パネル
表面Paの接触角と、偏光フィルムの剥離までに要した
時間(hrs )とをまとめた。
【0034】
【表1】 注; ここで示した表面エネルギー値はJIS又はAS
TMに記載の「ぬれ張力試験法」に基づく、ぬれ試薬に
よる値である。
【0035】本実験により、放電処理を施した処理パネ
ルの方が、該処理を施さない未処理パネルよりも表面エ
ネルギが大きくかつ接触角が小さく、濡れ性が向上され
ていることが確認された。
【0036】また、本実験においては、放電処理を施さ
なかった未処理パネルの場合、偏光フィルムを貼付した
液晶パネルPを60℃の高温環境下に保持すると、24
0時間経過前に偏光フィルムの剥れが確認された。これ
に対して、放電処理を施した処理パネルの場合、偏光フ
ィルムを貼付した液晶パネルPを60℃の高温環境下に
保持すると、1000時間経過しても偏光フィルムの剥
れは確認されず、放電処理によって耐久性が向上されて
いることが確認された。
【0037】ところで、上述のようなパネル保護トレー
5が無ければ、移動ステージ3の移動に伴ってクォーツ
電極11がパネルの端子電極部8に対向し、20kVも
の高電圧が端子電極部8に直接印加される場合がある。
そして、このような場合には、端子電極部8に放電が集
中して隣接電極間が大きな電位差となり、これらの電極
間で放電が発生し得る。また、パネルの上下基板間で放
電が発生する場合もあり、このような放電により、パネ
ルPが破壊されてしまうおそれもある。しかし、本実施
の形態においては、端子電極部8はパネル保護トレー5
によって被覆されているため、端子電極部8に直接高電
圧が印加されることが防止され、パネルPの破壊が防止
される。
【0038】なお、本発明者は、放電処理工程において
情報電極と走査電極との間に印加される電圧を、図4に
示すように試算した。これによると、クォーツ電極11
に印加される電圧は20kVもの高電圧であるにもかか
わらず、走査電極−情報電極の間に印加される実効的な
電圧は1mV以下であった。つまり、液晶分子を反転さ
せる程の高い電圧は印加されていないので、液晶パネル
内部への影響は全く無いことが推察される。
【0039】ところで、パネル表面Paの表面エネルギ
は、放電処理を施した直後が最も高く、時間が経過する
に従って低下し、濡れ性が経時的に悪化する。本発明者
が実験により確認したところによると、図5に示すよう
に、放電処理直後は54dyn/cmであった表面エネルギ
も、300時間経過すると40dyn/cm程度に低下してい
た。したがって、放電処理した後はできるだけ早く偏光
フィルムを貼付することが望ましい。
【0040】なお、上述した実施の形態においては、放
電処理工程を液晶注入工程の後に実施しているが、もち
ろんこれに限る必要はなく、放電処理工程を液晶注入工
程の前に実施するようにしてもよい。
【0041】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
基板の表面にコロナ放電処理が施されれて、該基板の表
面の表面エネルギが40dyn/cm以上にされると共に、水
の接触角が60°以下にされるため、該基板の表面の濡
れ性が向上される。その結果、偏光フィルムの接着力が
向上され、大型の液晶パネルにおいて偏光フィルムが熱
収縮を受けても剥れにくくなる。
【0042】また、放電処理を行なうに際して、導電体
にて形成されると共にアースされた被覆手段を、前記液
晶素子に形成された端子電極部を覆うように配置した場
合には、液晶素子の電極間や、液晶には高電圧が印加さ
れず、液晶素子が破壊されることも無い。
【図面の簡単な説明】
【図1】放電処理工程、及び放電処理装置の構造を説明
するための斜視図。
【図2】図1のA矢視図。
【図3】図1のB−B断面図。
【図4】走査電極と情報電極との間に印加される電圧の
試算方法を説明するための図。
【図5】表面エネルギの時間的変化を説明するための
図。
【符号の説明】
1 放電処理装置 2 テーブル(液晶素子保持手段) 3 移動ステージ(液晶素子保持手段) 5 パネル保護トレー(被覆手段) 8 端子電極部 11 クォーツ電極(電極) 13 高周波電源(電源) P 液晶パネル(液晶素子) Pa パネル表面(基板の表面)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一対の基板を貼り合わせる基板貼り合わ
    せ工程と、該基板貼り合わせ工程にて貼り合わせた基板
    の間隙に液晶を注入する液晶注入工程と、を少なくとも
    備えた液晶素子の製造方法において、 前記基板貼り合わせ工程にて貼り合わせた基板の表面に
    コロナ放電処理を施し、該基板の表面の表面エネルギを
    40dyn/cm以上にすると共に水の接触角を60°以下に
    する放電処理工程と、 該放電処理工程の後に、該工程にて処理された基板の表
    面に偏光フィルムを貼り付ける偏光フィルム貼付工程
    と、 を備えてなる液晶素子の製造方法。
  2. 【請求項2】 液晶素子を保持する液晶素子保持手段
    と、 前記液晶素子に対向するように配置された電極と、 該電極に接続されて該電極に高電圧を印加する電源と、
    を備え、かつ、 前記電極に高電圧を印加することに基づき、前記液晶素
    子保持手段に保持された液晶素子の表面にコロナ放電処
    理を施してなる、 ことを特徴とする放電処理装置。
  3. 【請求項3】 導電体にて形成されると共にアースされ
    た被覆手段を、前記液晶素子に形成された端子電極部を
    覆うように配置し、かつ、 前記電極からの高電圧が前記端子電極部に印加されない
    ようにした、 ことを特徴とする放電処理装置。
  4. 【請求項4】 前記被覆手段が金属にて形成されてな
    る、 請求項3記載の放電処理装置。
JP34141595A 1995-12-27 1995-12-27 放電処理装置 Expired - Fee Related JP3234141B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34141595A JP3234141B2 (ja) 1995-12-27 1995-12-27 放電処理装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34141595A JP3234141B2 (ja) 1995-12-27 1995-12-27 放電処理装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09179085A true JPH09179085A (ja) 1997-07-11
JP3234141B2 JP3234141B2 (ja) 2001-12-04

Family

ID=18345901

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP34141595A Expired - Fee Related JP3234141B2 (ja) 1995-12-27 1995-12-27 放電処理装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3234141B2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2004046230A1 (ja) * 2002-11-20 2006-03-16 株式会社きもと 指紋消去性フィルム
JP2006258958A (ja) * 2005-03-15 2006-09-28 Shibaura Mechatronics Corp 基板接着方法及び基板接着装置
JP2008102229A (ja) * 2006-10-18 2008-05-01 Hitachi Ltd 表示装置
JP2011059576A (ja) * 2009-09-14 2011-03-24 Tohoku Ricoh Co Ltd 表面処理装置及び転写材処理装置
JP2011059575A (ja) * 2009-09-14 2011-03-24 Ricoh Co Ltd 画像形成装置及び画像形成システム

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2004046230A1 (ja) * 2002-11-20 2006-03-16 株式会社きもと 指紋消去性フィルム
JP4627437B2 (ja) * 2002-11-20 2011-02-09 株式会社きもと 指紋消去性フィルム
JP2006258958A (ja) * 2005-03-15 2006-09-28 Shibaura Mechatronics Corp 基板接着方法及び基板接着装置
JP2008102229A (ja) * 2006-10-18 2008-05-01 Hitachi Ltd 表示装置
JP2011059576A (ja) * 2009-09-14 2011-03-24 Tohoku Ricoh Co Ltd 表面処理装置及び転写材処理装置
JP2011059575A (ja) * 2009-09-14 2011-03-24 Ricoh Co Ltd 画像形成装置及び画像形成システム

Also Published As

Publication number Publication date
JP3234141B2 (ja) 2001-12-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5938854A (en) Method and apparatus for cleaning surfaces with a glow discharge plasma at one atmosphere of pressure
KR940010866A (ko) 마이크로파 플라즈마 처리장치 및 처리방법
KR960002620A (ko) 웨이퍼 및 기판 처리 장치 및 처리 방법, 웨이퍼 및 기판 이동 적재 장치
TWI375261B (ja)
JPH09179085A (ja) 液晶素子の製造方法及び該製造方法に用いられる放電処理装置
JP4068572B2 (ja) 液晶表示パネルの製造方法
JP2002028597A (ja) 電気物品の洗浄方法
JP2000049143A (ja) プラズマ処理装置
JP2000267106A (ja) 液晶ディスプレイ基板処理方法と、その方法を利用した処理装置
KR100345925B1 (ko) 자외선 조사에 의한 재료의 표면 개질 및 세정방법
JPH09281474A (ja) 液晶装置及び該液晶装置の製造方法
JP3394263B2 (ja) 真空処理方法及び装置
JP2008041355A (ja) プラズマ表面処理装置及び表面処理方法
JP2000010093A (ja) 液晶素子及びその製造方法
JPH0467776B2 (ja)
JP2001125117A (ja) 液晶素子の製造方法
JPH0534652A (ja) 液晶表示素子製造方法
JPH06302509A (ja) レジスト剥離方法およびその装置
JPS635322A (ja) 液晶表示器の製造方法
JPH07318878A (ja) 液晶表示装置の製法およびその製造装置
JP7439515B2 (ja) 樹脂接合体の製造方法
JPH10338555A (ja) 接合方法
JPH01316935A (ja) 洗浄装置
JP3073675B2 (ja) 半導体薄膜製造装置用トレイ
JP2003113475A (ja) 放電プラズマ処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees