JPH09157060A - 無機焼結多孔体およびフィルタ - Google Patents

無機焼結多孔体およびフィルタ

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JPH09157060A
JPH09157060A JP7345289A JP34528995A JPH09157060A JP H09157060 A JPH09157060 A JP H09157060A JP 7345289 A JP7345289 A JP 7345289A JP 34528995 A JP34528995 A JP 34528995A JP H09157060 A JPH09157060 A JP H09157060A
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Masahide Mori
正英 毛利
Tetsu Umeda
鉄 梅田
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Sumitomo Chemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】均一な細孔径分布を有し、濾過性に優れた無機
粒子充填体を濾過層とするフィルタを提供する。 【解決手段】形状ならびに粒径が均一で、多面体結晶で
ある無機粒子の集合体からなり、粒子間の間隙として形
成される細孔を有するとともに、累積細孔体積分布の大
径側から累積10%、累積90%に相当する細孔直径を
それぞれD10、D90としたとき、D10/D90比
が3以下の細孔直径分布を有し、かつ空隙率が10〜5
0%である無機焼結多孔体ならびに無機焼結多孔体を濾
過層とするフィルタ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、多孔質セラミック
スに関する。さらに詳しくは、無機焼結多孔体および該
無機焼結多孔体を濾過層とするフィルタ、ならびに無機
粒子充填体を濾過層とするフィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】多孔質セラミックスは、食品、医薬品、
エレクトロニクス、バイオ産業などの工業分野におい
て、濾過、濃縮、分離の工程に用いられるなど、種々の
分野に利用されている。また、多孔質セラミックスは、
排ガス浄化用触媒の担体、酵素あるいは微生物といった
いわゆる生体触媒を固定したバイオリアクターの担体と
しての利用もなされている。これらの利用例において、
多孔質セラミックスは耐熱性、耐化学性、高強度、生体
に無害といった優れた特徴を有している。
【0003】上記用途に好適な、均一な細孔径分布を有
する多孔質セラミックスを作製する方法としては、例え
ば、セラミックス球状粒子または球状造粒粒子を骨剤と
する方法(特開昭62−191480号公報)、高圧条
件下で焼成する方法(特開平2−83277号公報)、
還元雰囲気中で1800℃以上の高温で焼成することに
よりアルミナ骨剤粒子の表面に丸みを与える方法(特開
平2−149482号公報)等が開示されている。
【発明が解決しようとする課題】
【0004】しかしながら、上記の公報に開示されてい
る従来の方法は、球状粒子の製造や造粒、あるいは特殊
な条件下での焼成が必要であり、工業的には必ずしも有
利ではない。さらに、特開昭62−191480号公報
で開示された方法では、微細な球状粒子を得ることは難
しいため、細孔径を1μm以下に制御した多孔質セラミ
ックスを製造することは困難である。一方、特開平2−
149482号公報で開示された製造条件では、180
0℃以上の高温で焼成するため焼結の進行により細孔径
の分布が広がる問題があり、また微細な細孔構造を残存
させることも困難である。
【0005】本発明は、上記のような従来の技術の問題
を解決しようとするものである。すなわち、本発明は、
均一な細孔径分布を有し、濾過性に優れた無機焼結多孔
体および該無機焼結多孔体を濾過層とするフィルタを提
供しようとするものである。また本発明は、均一な細孔
径分布を有し、濾過性に優れた無機粒子充填体を濾過層
とするフィルタを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【0006】本発明は、無機粒子の集合体からなる焼結
多孔体であって、該無機粒子間の間隙として形成される
細孔を有し、該細孔が累積細孔体積分布の大径側から累
積10%、累積90%に相当する細孔直径をそれぞれD
10、D90としたとき、D10/D90比が3以下の
細孔直径分布を有するものであり、空隙率が10〜50
%である無機焼結多孔体に係るものである。
【0007】また本発明は、上記の無機焼結多孔体を濾
過層として有するフィルタに係るものである。
【0008】また本発明は、無機粒子の充填体を濾過層
として有するフィルタであって、該無機粒子は多面体結
晶であり、該充填体は該多面体結晶である無機粒子間の
間隙として形成される細孔を有し、該細孔が累積細孔体
積分布の大径側から累積10%、累積90%に相当する
細孔直径をそれぞれD10、D90としたとき、D10
/D90比が3以下の細孔直径分布を有するものであ
り、空隙率が10〜50%であることを特徴とするフィ
ルタに係るものである。以下に本発明について詳細に説
明する。
【0009】
【発明の実施の形態】まず、本発明の無機焼結多孔体の
製造方法について説明する。原料の骨剤として用いる無
機粒子は多面体結晶である。該多面体結晶は均一な粒径
ならびに形状をもつものが好ましい。その成分は特に限
定されないが、耐化学薬品性や耐熱性の点から、例え
ば、α−アルミナ、チタニア、ジルコニアの多面体結晶
が好ましい。
【0010】均一な粒径ならびに形状を持つ多面体結晶
である無機粒子、例えば、α−アルミナやチタニアの多
面体結晶の製造方法としては、特開平6−191833
号公報、特開平6−191836号公報、或いは特開平
7−187613号公報に開示されている方法を好適に
用いることができる。すなわち、例えば、α−アルミナ
やチタニアの前駆体をハロゲン化水素、好ましくは塩化
水素を含有する雰囲気ガス中で加熱処理することによ
り、均一な粒径ならびに形状を持つ、実質的に破面を有
しない高純度のα−アルミナやチタニアの多面体結晶粒
子を製造することができる。これらの方法で製造された
多面体結晶である無機粒子に凝集粒子が含まれる場合に
は、解砕を行なってから用いるのが好ましい。
【0011】上記の製造方法で得られる無機粒子は、例
えば、α−アルミナの場合、平均一次粒子径は0.1〜
30μmの範囲で任意に選べる多面体粒子であり、a面
{1120}、c面{0001}、n面{2243}お
よびr面{1012}からなる結晶面の現れ方で特徴づ
けられる多面体結晶である。そしてその粒子の純度は9
9.9重量%以上であり、その一次粒子径の分布は狭く
均一な粒度分布を有している。また、チタニアの場合、
その平均一次粒子径は0.1〜15μmの範囲で任意に
選べる多面体粒子であり、α−アルミナの場合と同様
に、その一次粒子径の分布は狭く均一な粒度分布を有し
ている。
【0012】得られた無機粒子を所望の形状に成形し、
これを焼成することにより、本発明の無機焼結多孔体を
製造することができる。
【0013】無機粒子を所望の形状に成形する方法とし
ては、具体的には、プレス成形や静水圧成形、押出成
形、スリップキャスト成形等をあげることができる。こ
のとき、成形体の強度を上げるために成形助剤を用いる
ことができる。成形助剤としては焼成によって除去され
る有機質、あるいは焼成によって原料無機粒子と同化す
る無機質のものが好ましい。具体的にはポリビニルアル
コール、ポリビニルブチラール、メチルセルロース、ア
ルミナゾル、チタニアゾル等を例示することができる
が、これらに限定されるものではない。
【0014】焼成の条件は、無機粒子の種類によって異
なるので必ずしも限定されないが、焼成温度は、好まし
くは1000〜1800℃、より好ましくは1200〜
1600℃である。焼成温度が1000℃未満であれば
焼結多孔体の強度が小さいために実用的ではなく、18
00℃を越えると細孔直径分布が広くなり、また空隙率
が小さくなるために好ましくない。
【0015】焼成により得られる無機焼結多孔体は、無
機粒子間の間隙として形成される細孔を有し、該細孔が
累積細孔体積分布の大径側から累積10%、累積90%
に相当する細孔直径をそれぞれD10、D90としたと
き、D10/D90比が3以下、好ましくは2以下の細
孔直径分布を有する。また空隙率は10〜50%であ
る。
【0016】原料である無機粒子の平均一次粒子径を選
ぶことにより、無機焼結多孔体の細孔の径および空隙率
を用途に応じて適宜調節することができる。例えば、平
均一次粒子径が0.1〜30μmの範囲のα−アルミナ
を用いる場合、それから得られる無機焼結多孔体の細孔
の径は、用いるα−アルミナの平均一次粒子径に対応し
て、0.01〜10μmの範囲のものとなり、空隙率は
10〜50%程度のものとなる。
【0017】また、上記の製造方法で得られる多面体結
晶である無機粒子を保持容器中に充填することにより、
無機粒子充填体を得ることができる。上述したような方
法で製造された無機粒子は形状ならびに粒径が揃ってい
るので、保持容器に容易に充填することが可能である。
該無機粒子充填体を濾過層として用いて、本発明の、無
機粒子充填体を濾過層として有するフィルタを製造する
ことができる。
【0018】また、無機粒子充填体を製造する他の具体
的な実施形態として、例えば、一軸成形等のプレス成
形、静水圧成形、押出成形あるいはスリップキャスト成
形により無機粒子充填体を製造することもできる。
【0019】このようにして得られる無機粒子充填体
は、それを構成する無機粒子が多面体結晶であり、該多
面体結晶である無機粒子間の間隙として形成される細孔
を有し、該細孔が累積細孔体積分布の大径側から累積1
0%、累積90%に相当する細孔直径をそれぞれD1
0、D90としたとき、D10/D90比が3以下、好
ましくは2以下の細孔直径分布を有するものである。ま
た、その空隙率は10〜50%である。
【0020】該無機粒子充填体および上記した本発明の
無機焼結多孔体は、フィルタとして好適に用いられる。
これらは、単独でフィルタとして用いる他に、他の基材
と併用、または、他の基材の上に積層することにより、
これらを実質的な濾過層とする多層フィルタとして用い
ることもできる。
【0021】本発明の無機焼結多孔体については、他の
基材の上に積層することにより、該無機焼結多孔体を実
質的な濾過層とする多層フィルタとして用いることが好
ましい。この場合、基材としては水等の流体の透過性に
優れたものを用いる。この方法では、該無機焼結多孔体
の優れた濾過特性を保ちながら、透過性を向上させ、フ
ィルタの処理能力を向上させることが可能である。
【0022】本発明によるフィルタは、フィルタを構成
する無機粒子の粒度分布が狭いために、粒子の間隙とし
て形成される細孔径の分布も狭く、優れた濾過特性を得
ることができる。また、該無機粒子は多面体形状であ
り、表面が平滑であるので、流体の通過抵抗は小さく、
優れた透過特性が得られる。
【0023】
【実施例】以下本発明を実施例により更に詳細に説明す
るが、本発明はこれらに限定されるものではない。実施
例における物性測定は、以下の方法により行なった。
【0024】(1)平均一次粒子径の測定 多面体結晶の走査型電子顕微鏡(日本電子(株)製、T
−300型)写真を写し、その写真から80〜100個
の粒子を選びだして画像解析を行い、円相当径の平均値
を求めた。円相当径とは、面積が等しい真円の直径に換
算した値をいう。
【0025】(2)平均細孔直径と細孔径分布(D10
/D90)の測定 水銀圧入法を測定原理とする湯浅アイオニクス社製水銀
ポロシメータ「オートスキャン−60」を用いて測定し
た。得られた累積細孔体積分布の大径側から累積10
%、50%、90%に相当する細孔径をそれぞれD1
0、D50、D90とし、D50の値を平均細孔直径と
し、細孔径分布の尺度としてD10/D90の比を求め
た。
【0026】(3)透水率の測定 POROUS MATERIAL社製流通式細孔径分布
測定装置「PermPorometer」を用いて測定
した。板状試料を直径2cmの円形ゴムリングで両面よ
り挟み、この円内に片面より加圧したイオン交換水を透
過させ、透水率を測定した。
【0027】(4)空隙率の測定 無機焼結多孔体、もしくは無機粒子の充填体の乾燥重量
を測定後、エタノールに浸漬した状態で脱気を行い、空
隙中の空気をエタノールで置換した。置換後、エタノー
ル中で液中重量を測定した。さらに、エタノールから引
上げ、空隙中にエタノールが充満した状態で湿潤重量を
測定した。空隙率は以下の式により算出した。 空隙率(%)=100×(湿潤重量−乾燥重量)/(湿
潤重量−液中重量)
【0028】本実施例で用いた均一な粒径ならびに形状
を持つ多面体のα−アルミナ粒子からなる粉末(以下、
多面体α−アルミナ粉末と称する)は、特開平6−19
1833号公報あるいは特開平6−191836号公報
で開示された方法によって製造した。
【0029】酸化アルミニウム粉末(住友化学工業
(株)製、AKP−G15、γ−アルミナ)を塩化水素
ガスを導入した反応系(塩化水素ガス濃度100体積
%)で焼成した。また、種結晶として酸化アルミニウム
粉末(住友化学工業(株)製、AKP−50、α−アル
ミナ)を添加した混合粉末を調製し、この混合粉末を塩
化水素ガスを導入した反応系(塩化水素ガス濃度100
体積%)で焼成した。保持温度は900ないし1100
℃、保持時間は60分とした。
【0030】実施例1 多面体α−アルミナ粉末(平均一次粒子径0.5μm)
を一軸プレスを用いた金型成形(成形圧力300kg/
cm2 )により、直径54mm、厚さ2mmの円板状に
成形した。この成形体を空気雰囲気で焼成した。焼成温
度は1100℃、焼成時間は2時間とした。得られた焼
結多孔体の水銀圧入法による累積細孔体積曲線を図1に
示した。平均細孔直径、D10/D90および空隙率の
評価結果を表1に示した。
【0031】実施例2 多面体α−アルミナ粉末(平均一次粒子径2μm)を用
い、焼成温度を1500℃に上昇した他は実施例1と同
様の条件で焼結多孔体を作製し評価した。評価結果を表
1に示した。
【0032】実施例3 多面体α−アルミナ粉末(平均一次粒子径2μm)に成
形助剤としてアルミナゾル(CONDEA社製、Pur
al SB、比表面積250m2 /g。この粉末を硝酸
1重量%水溶液に分散させてアルミナゾルとした。)を
粉末重量に換算して多面体α−アルミナ粉末の10重量
%添加し、乾燥処理により混合粉末を得た。この混合粉
末を用い、焼成温度を1300℃に上昇した他は実施例
1と同様の条件で焼結多孔体を作製し評価した。評価結
果を表1に示した。
【0033】実施例4 多面体α−アルミナ粉末(平均一次粒子径3μm)を用
い、焼成温度を1700℃に上昇した他は実施例1と同
様の条件で焼結多孔体を作製し評価した。評価結果を表
1に示した。得られた焼結多孔体の微細構造を示す電子
顕微鏡写真(3500倍)を図2に示した。図2より、
多面体結晶粒子が緻密に集合し、均質な細孔が形成され
ていることが確認された。
【0034】実施例5 多面体α−アルミナ粉末(平均一次粒子径5μm)を5
0g秤量し、イオン交換水200gならびに成形助剤と
してポリビニルアルコール(クラレ(株)製、クラレポ
バールPVA−205)を粉末重量に換算して多面体α
−アルミナ粉末の1重量%添加し、スラリーを調製し
た。スラリーの乾燥処理により混合粉末を得た。この混
合粉末を用いて実施例1と同様の条件で成形体を作製
し、1700℃で焼成し焼結多孔体を作製し、評価し
た。評価結果を表1に示した。得られた焼結多孔体の水
銀圧入法による累積細孔体積曲線を図3に示した。
【0035】実施例6 多面体α−アルミナ粉末(平均一次粒子径10μm)を
用いて実施例5と同様の条件で成形体を作製し、150
0℃で焼成し焼結多孔体を作製し、評価した。評価結果
を表1に示した。
【0036】実施例7 多面体α−アルミナ粉末(平均一次粒子径18μm)を
用いて実施例5と同様の条件で成形体を作製し、160
0℃で焼成し焼結多孔体を作製し、評価した。評価結果
を表1に示した。得られた焼結多孔体の微細構造を示す
電子顕微鏡写真(1000倍)を図4に示した。
【0037】比較例1 電融法により作製されたα−アルミナ粉末(不二見研磨
剤工業(株)製、WA#6000、平均一次粒子径2μ
m、多面体結晶でない粒子からなるもの。)に成形助剤
としてアルミナゾル(CONDEA社製、Pural
SB、比表面積250m2 /g。この粉末を硝酸1重量
%水溶液に分散させてアルミナゾルとした。)を粉末重
量に換算して電融α−アルミナ粉末の10重量%添加
し、乾燥処理により混合粉末を得た。この混合粉末を用
いて実施例3と同様の条件で焼結多孔体を作製し、評価
した。評価結果を表1に示した。得られた焼結多孔体の
微細構造を示す電子顕微鏡写真(3500倍)を図5に
示した。
【0038】比較例2 電融法により作製されたα−アルミナ粉末(不二見研磨
剤工業(株)製、WA#2000、平均一次粒子径8μ
m、多面体結晶でない粒子からなるもの。)を一軸プレ
スを用いた金型成形(成形圧力300kg/cm2 )に
より、直径54mm、厚さ2mmの円板状に成形した。
この成形体を空気雰囲気で焼成した。焼成温度は170
0℃、焼成時間は2時間とした。得られた焼結多孔体を
評価し、評価結果を表1に示した。
【0039】比較例3 電融法により作製されたα−アルミナ粉末(不二見研磨
剤工業(株)製、WA#2000、平均一次粒子径8μ
m、多面体結晶でない粒子からなるもの。)を用い、比
較例1と同様の条件で焼結多孔体を作製し、評価した。
評価結果を表1に示した。得られた焼結多孔体の水銀圧
入法による累積細孔体積曲線を図6に示した。
【0040】比較例4 電融法により作製されたα−アルミナ粉末(不二見研磨
剤工業(株)製、WA#800、平均一次粒子径20μ
m、多面体結晶でない粒子からなるもの。)を用い、比
較例2と同様の条件で焼結多孔体を作製し、評価した。
評価結果を表1に示した。
【0041】比較例5 電融法により作製されたα−アルミナ粉末(不二見研磨
剤工業(株)製、WA#800、平均一次粒子径20μ
m、多面体結晶でない粒子からなるもの。)を用い、比
較例1と同様の条件で焼結多孔体を作製し、評価した。
評価結果を表1に示した。
【0042】比較例6 加水分解法により作製されたα−アルミナ粉末(住友化
学工業(株)製、AKP−20、平均一次粒子径0.5
μm、多面体結晶でない粒子からなるもの。)を用いて
実施例1と同様の条件で成形体を作製し、1100℃で
焼成した。得られた焼結多孔体を評価し、評価結果を表
1に示した。
【0043】実施例8 多面体α−アルミナ粉末(平均一次粒子径2μm)を5
0g秤量し、イオン交換水30gを添加し、さらに分散
剤(SN−5468、サンノプコ(株)製)を粉末重量
の0.5重量%、成形助剤のポリビニルアルコール(ク
ラレ(株)製、クラレポバールPVA−205)を粉末
重量の1重量%添加し、スラリーを調製した。 このス
ラリーを用いてスリップキャスト法により成形体を4種
類作製し、1400℃で焼成し、直径30〜60mm、
厚さ1〜3mmの無機焼結多孔体を得た。これらの無機
焼結多孔体の平均細孔直径は0.5〜0.6μm、D1
0/D90は1.4〜1.5であった。
【0044】さらに、多面体α−アルミナ粉末(平均一
次粒子径18μm)を用い、同様の方法で成形体を作製
し、1700℃で焼成した。得られた焼結多孔体を、上
述の多面体α−アルミナ粉末を含有するスラリー(平均
一次粒子径2μm)に浸漬した後に引き上げ、乾燥後に
1400℃で焼成し、該焼結多孔体の上に、平均一次粒
子径2μmの多面体α−アルミナ粉末の焼結多孔体であ
る約100μmの厚さの濾過層を有する2層焼結多孔体
のフィルタを作製した。
【0045】これらの焼結多孔体の透水率を、イオン交
換水を用いて測定した。測定結果を、濾過層厚さと透水
率の関係として整理して、図7に示した。図7から明ら
かなように、この焼結多孔体の透水率は、下記の比較例
7の焼結多孔体の透水率より優れていた。
【0046】比較例7 電融法により作製されたα−アルミナ粉末(不二見研磨
剤工業(株)製、WA#6000、平均一次粒子径2μ
m、多面体結晶でない粒子からなるもの。)を用い、実
施例8と同様の方法で直径30〜60mm、厚さ1〜3
mmの無機焼結多孔体を得た。これらの無機焼結多孔体
の平均細孔直径は0.6〜0.7μm、D10/D90
は2.0〜2.7であった。
【0047】さらに、多面体α−アルミナ粉末(平均一
次粒子径18μm)を用い、同様の方法で成形体を作製
し、1700℃で焼成した。得られた焼結多孔体を、上
述の電融法により作製されたα−アルミナ粉末を含有す
るスラリー(平均一次粒子径2μm)に浸漬した後に引
き上げ、乾燥後に1400℃で焼成し、該焼結多孔体の
上に、平均一次粒子径2μmの電融法α−アルミナ粉末
の焼結多孔体である約50μmの厚さの濾過層を有する
2層焼結多孔体のフィルタを作製した。これらのフィル
タ焼結多孔体の透水率を、イオン交換水を用いて測定し
た。測定結果を、濾過層厚さと透水率の関係として整理
して、図7に示した。
【0048】実施例9 多面体α−アルミナ粉末(平均一次粒子径2μm)を円
筒型金属容器(内径2cm、底部は平均細孔直径10μ
mの焼結金属板)に投入し、タッピングにより充填し
た。その後、一軸プレス機により粉末を300kg/c
2 で加圧した。得られた粉末層の厚さが3mmの充填
体を用いて実施例8と同様に透水率を測定し、0.35
ml/secの値を得た。濾過性は良好であった。
【0049】
【表1】
【0050】
【発明の効果】本発明の無機焼結多孔体は、無機多面体
粒子の集合体からなり、無機粒子間の間隙として形成さ
れる細孔の累積細孔体積分布の大径側から累積10%、
累積90%に相当する細孔直径をそれぞれD10、D9
0としたとき、D10/D90比が3以下であるような
狭い細孔体積分布を有する。よって、該無機焼結多孔体
をフィルタとして用いる場合、目的とする粒径以上の大
径粒子を通過させる割合が小さく、フィルタとしての篩
別特性が優れている。
【0051】また、本発明の無機焼結多孔体は、実質的
に破面を有しない多面体粒子の集合体からなり、粒子表
面の滑らかさや、不均一な粒子や焼結に由来する閉気孔
が少ない。よって、該無機焼結多孔体をフィルタとして
用いる場合、流体の透過抵抗が小さく透水率が大きく、
フィルタとしての透過特性が優れている。
【0052】さらに、本発明の無機粒子充填体を濾過層
とするフィルタにおいても、本発明の無機焼結多孔体と
同様に、無機粒子間の間隙として形成される細孔の累積
細孔体積分布の大径側から累積10%、累積90%に相
当する細孔直径をそれぞれD10、D90としたとき、
D10/D90比が3以下であるような狭い細孔体積分
布を有し、フィルタとしての透過特性に優れている。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1で得た焼結多孔体の累積細孔体積分布
曲線である。
【図2】実施例4で得た焼結多孔体の構造を示す。(倍
率3500倍の電子顕微鏡写真。図面に代わる写真。)
【図3】実施例5で得た焼結多孔体の累積細孔体積分布
曲線である。
【図4】実施例7で得た焼結多孔体の構造を示す。(倍
率1000倍の電子顕微鏡写真。図面に代わる写真。)
【図5】比較例1で得た焼結多孔体の構造を示す。(倍
率3500倍の電子顕微鏡写真。図面に代わる写真。)
【図6】比較例3で得た焼結多孔体の累積細孔体積分布
曲線である。
【図7】実施例8および比較例7で得た各種の焼結多孔
体フィルタの濾過層厚さと、差圧1気圧における透水率
の関係を示す。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】無機粒子の集合体からなる焼結多孔体であ
    って、該無機粒子が多面体結晶であり、該多面体結晶で
    ある該無機粒子間の間隙として形成される細孔を有し、
    該細孔が累積細孔体積分布の大径側から累積10%、累
    積90%に相当する細孔直径をそれぞれD10、D90
    としたとき、D10/D90比が3以下の細孔直径分布
    を有するものであり、空隙率が10〜50%であること
    を特徴とする無機焼結多孔体。
  2. 【請求項2】原料としての無機粒子が、アルミナ多面体
    粒子であることを特徴とする請求項1記載の無機焼結多
    孔体。
  3. 【請求項3】原料としての無機粒子が、チタニア多面体
    粒子であることを特徴とする請求項1記載の無機焼結多
    孔体。
  4. 【請求項4】請求項1、2または3記載の無機焼結多孔
    体を濾過層として有することを特徴とするフィルタ。
  5. 【請求項5】無機粒子の充填体を濾過層として有するフ
    ィルタであって、該無機粒子は多面体結晶であり、該充
    填体は該多面体結晶である該無機粒子間の間隙として形
    成される細孔を有し、該細孔が累積細孔体積分布の大径
    側から累積10%、累積90%に相当する細孔直径をそ
    れぞれD10、D90としたとき、D10/D90比が
    3以下の細孔直径分布を有するものであり、空隙率が1
    0〜50%であることを特徴とするフィルタ。
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