JPH0915077A - 配管継手の液漏れ検知機構 - Google Patents
配管継手の液漏れ検知機構Info
- Publication number
- JPH0915077A JPH0915077A JP16389895A JP16389895A JPH0915077A JP H0915077 A JPH0915077 A JP H0915077A JP 16389895 A JP16389895 A JP 16389895A JP 16389895 A JP16389895 A JP 16389895A JP H0915077 A JPH0915077 A JP H0915077A
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- JP
- Japan
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- liquid
- detection cable
- pipe joint
- cable
- flange
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- Pending
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- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】配管継手の液漏れ検知機構において、僅かな液
漏れでも確実に検知するとともに安価で検知ケーブルの
交換が容易になるようにする。 【構成】フランジ継手１３のシール面の間の隙間を塞ぐ
ように検知ケーブル１を巻き付け、検知ケーブルの両端
部を保持する取付具３を設け、この取付具３における検
知ケーブル１を保持する押さえ部の着脱の簡易化および
検知ケーブルの着脱接続用のコネクタ２の追加してい
る。
漏れでも確実に検知するとともに安価で検知ケーブルの
交換が容易になるようにする。 【構成】フランジ継手１３のシール面の間の隙間を塞ぐ
ように検知ケーブル１を巻き付け、検知ケーブルの両端
部を保持する取付具３を設け、この取付具３における検
知ケーブル１を保持する押さえ部の着脱の簡易化および
検知ケーブルの着脱接続用のコネクタ２の追加してい
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、薬液を送液する配管の
フランジ継手における該薬液の漏れを検出する配管継手
の液漏れ検知機構に関する。
フランジ継手における該薬液の漏れを検出する配管継手
の液漏れ検知機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の液漏れ検知機構は、火災を引起
す薬液や有毒ガスを発生させる薬液など危険な液の漏れ
を検出のに用いられていた。特に、半導体装置の製造に
使用される処理装置には、種々の危険な薬液を圧送しな
ければならず配管から漏れる薬液の監視をする必要があ
った。
す薬液や有毒ガスを発生させる薬液など危険な液の漏れ
を検出のに用いられていた。特に、半導体装置の製造に
使用される処理装置には、種々の危険な薬液を圧送しな
ければならず配管から漏れる薬液の監視をする必要があ
った。
【０００３】図３は従来の一例を示す配管継手の液漏れ
検知機構の部分破断図である。この配管継手の液漏れ検
知機構は、図３に示すように、フランジ１３ａ，１３ｂ
どうしをつき合せパッキング１６を介して配管１４ａ，
１４ｂを接続するフランジ継手の周囲を包む二つ割りの
箱１１と、配線ケーブル１５と接続し箱１１内に導入さ
れ箱１１の底部に置かれる検知ケーブル１２とを備えて
いる。
検知機構の部分破断図である。この配管継手の液漏れ検
知機構は、図３に示すように、フランジ１３ａ，１３ｂ
どうしをつき合せパッキング１６を介して配管１４ａ，
１４ｂを接続するフランジ継手の周囲を包む二つ割りの
箱１１と、配線ケーブル１５と接続し箱１１内に導入さ
れ箱１１の底部に置かれる検知ケーブル１２とを備えて
いる。
【０００４】この検知ケーブル１２は、フッ素樹脂製の
導電性のケーブルであって、箱１１の底にこぼれ落ちた
薬液と接触すると、検知ケーブル１２の電気抵抗が例え
ば３倍以上急増する。そして、この配管継手の液漏れ検
知機構は、この現象を利用して配管継手の液漏れを検知
していた。また、箱１１は、フランジ継手から漏れた有
害な薬液が外部に漏れないように設けられていた。
導電性のケーブルであって、箱１１の底にこぼれ落ちた
薬液と接触すると、検知ケーブル１２の電気抵抗が例え
ば３倍以上急増する。そして、この配管継手の液漏れ検
知機構は、この現象を利用して配管継手の液漏れを検知
していた。また、箱１１は、フランジ継手から漏れた有
害な薬液が外部に漏れないように設けられていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の配管継
手の液漏れ検知機構では、箱の底に検知ケーブルを這わ
してあるだけで、継手から漏れる薬液が必らずしも検知
ケーブルの上のパッキング部分とは限らず、他の部分か
ら漏れる薬液が検知ケーブル上に落ち込まず箱の他の場
所に落ちる場合がある。かかる場合は液漏れを検知でき
ないことになる。また、このような場合は、接触するま
でにはある程度箱の底に溜らない限り検知できず、その
間に溜った薬液が、検知ケーブルの際に箱を開けたと
き、人体に付着したりして人身事故を引起す恐れがあ
る。
手の液漏れ検知機構では、箱の底に検知ケーブルを這わ
してあるだけで、継手から漏れる薬液が必らずしも検知
ケーブルの上のパッキング部分とは限らず、他の部分か
ら漏れる薬液が検知ケーブル上に落ち込まず箱の他の場
所に落ちる場合がある。かかる場合は液漏れを検知でき
ないことになる。また、このような場合は、接触するま
でにはある程度箱の底に溜らない限り検知できず、その
間に溜った薬液が、検知ケーブルの際に箱を開けたと
き、人体に付着したりして人身事故を引起す恐れがあ
る。
【０００６】一方、張巡らされた配管を接続する配管継
手の姿勢は垂直あるは斜めなど多様であり、その姿勢に
応じて箱を設計製作しなければならず標準化できないと
いう欠点がある。また、製作するにしても箱自体が高価
なものとなりトータルコストの低減が図れないという欠
点がある。
手の姿勢は垂直あるは斜めなど多様であり、その姿勢に
応じて箱を設計製作しなければならず標準化できないと
いう欠点がある。また、製作するにしても箱自体が高価
なものとなりトータルコストの低減が図れないという欠
点がある。
【０００７】また、検知ケーブルを交換する際に、この
二つ割の箱を開けてから交換しなければならず、大きい
ものであると重量があり、一人では開けることが困難で
ある。さらに、検知ケーブル自身を交換するのに時間が
かかるという欠点がある。
二つ割の箱を開けてから交換しなければならず、大きい
ものであると重量があり、一人では開けることが困難で
ある。さらに、検知ケーブル自身を交換するのに時間が
かかるという欠点がある。
【０００８】従って、本発明の目的は、僅かな液漏れで
も確実に検知するとともに安価で検知ケーブルの交換が
容易な配管継手の液漏れ検知機構を提供することであ
る。
も確実に検知するとともに安価で検知ケーブルの交換が
容易な配管継手の液漏れ検知機構を提供することであ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、薬液を
送液する配管のフランジ継手における該薬液の漏れを検
出する配管継手の液漏れ検知機構において、前記フラン
ジ継手のパッキングを介して互に向き合うシール面の隙
間を塞ぐように覆い該フランジ継手の全周囲に巻き付け
られるとともに前記薬液を外部から内部に拡散し電気特
性の変化で前記薬液の漏れを検知する検知ケーブルと、
この液漏れ検知ケーブルの両端部を保持する押さえ部を
具備し前記フランジ継手のフランジに固定される取付具
とを備える配管継手の液漏れ検知機構である。
送液する配管のフランジ継手における該薬液の漏れを検
出する配管継手の液漏れ検知機構において、前記フラン
ジ継手のパッキングを介して互に向き合うシール面の隙
間を塞ぐように覆い該フランジ継手の全周囲に巻き付け
られるとともに前記薬液を外部から内部に拡散し電気特
性の変化で前記薬液の漏れを検知する検知ケーブルと、
この液漏れ検知ケーブルの両端部を保持する押さえ部を
具備し前記フランジ継手のフランジに固定される取付具
とを備える配管継手の液漏れ検知機構である。
【００１０】また、配線ケーブルと前記液漏れ検知セン
サとの接続および切離しを着脱で行なうコネクタを備え
ることが望ましい。さらに、前記取付具は前記押さえ部
が旋回し得る回転自在ピンを備えることが望ましい。
サとの接続および切離しを着脱で行なうコネクタを備え
ることが望ましい。さらに、前記取付具は前記押さえ部
が旋回し得る回転自在ピンを備えることが望ましい。
【００１１】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１２】図１（ａ）および（ｂ）は本発明の配管継
手の液漏れ検知機構の一実施例を示す側面図および部分
拡大斜視図である。この配管継手の液漏れ検知機構は、
図１に示すように、それぞれの配管のフランジ１３ａと
１３ｂとの間の隙間を覆うように挿入されフランジ継手
１３の全周囲に巻き付けられるとともに薬液を外皮から
内部に拡散し電気特性の変化で薬液の漏れを検知する検
知ケーブル１と、検知ケーブル１のフランジ継手１３か
ら出る部分を保持する押さえ部５ａ，５ｂを有しフラン
ジ１３ａ，１３ｂを締付けるボルト１７とナット１８に
よりフランジ１３ｂに取付けられるブラケット６とを備
えている。
手の液漏れ検知機構の一実施例を示す側面図および部分
拡大斜視図である。この配管継手の液漏れ検知機構は、
図１に示すように、それぞれの配管のフランジ１３ａと
１３ｂとの間の隙間を覆うように挿入されフランジ継手
１３の全周囲に巻き付けられるとともに薬液を外皮から
内部に拡散し電気特性の変化で薬液の漏れを検知する検
知ケーブル１と、検知ケーブル１のフランジ継手１３か
ら出る部分を保持する押さえ部５ａ，５ｂを有しフラン
ジ１３ａ，１３ｂを締付けるボルト１７とナット１８に
よりフランジ１３ｂに取付けられるブラケット６とを備
えている。
【００１３】このように、フランジ継手１３のシール面
の隙間が塞がるように検知ケーブル１で被せ巻き付けれ
ば、パッキングから滲み出るような僅かな薬液の漏れで
も検知することができる。また、漏れ出した薬液も検知
ケーブル１とシール面との空間部に溜るので、フランジ
継手１３の外部には零れない。すなわち、この検知ケー
ブル１があたかも従来例で示した箱の役目をこなしてい
る。
の隙間が塞がるように検知ケーブル１で被せ巻き付けれ
ば、パッキングから滲み出るような僅かな薬液の漏れで
も検知することができる。また、漏れ出した薬液も検知
ケーブル１とシール面との空間部に溜るので、フランジ
継手１３の外部には零れない。すなわち、この検知ケー
ブル１があたかも従来例で示した箱の役目をこなしてい
る。
【００１４】なお、薬液が外部から内部に拡散し使えな
くなった検知ケーブルを新しいものに代える場合、短時
間で交換できるように検知ケーブル１と配線ケーブルと
が簡単に着脱接続できるようにコネクタ２を設けること
が望ましい。
くなった検知ケーブルを新しいものに代える場合、短時
間で交換できるように検知ケーブル１と配線ケーブルと
が簡単に着脱接続できるようにコネクタ２を設けること
が望ましい。
【００１５】図２は本発明の配管継手の液漏れ検知機構
の他の実施例における検知ケーブルを保持するブラケッ
トを示す斜視図である。この配管継手の液漏れ検知機構
におけるブラケット６ａは、図２に示すように、図示さ
れていない検知ケーブルを保持する押さえ部７ａ，７ｂ
が矢印に示すように回転できるようにブラケット６ａ上
に回転自在ピン８ａを設けたことである。それ以外は、
例えば、フランジの取付ボルトで共締めされるための切
欠き穴９など前述の実施例と同じようにブラケット６ａ
に設けられている。
の他の実施例における検知ケーブルを保持するブラケッ
トを示す斜視図である。この配管継手の液漏れ検知機構
におけるブラケット６ａは、図２に示すように、図示さ
れていない検知ケーブルを保持する押さえ部７ａ，７ｂ
が矢印に示すように回転できるようにブラケット６ａ上
に回転自在ピン８ａを設けたことである。それ以外は、
例えば、フランジの取付ボルトで共締めされるための切
欠き穴９など前述の実施例と同じようにブラケット６ａ
に設けられている。
【００１６】このように、押さえ部７ａ，７ｂが旋回で
きるようにしておけば、検知ケーブルの交換をより早く
できる利点がある。すなわち、検知ケーブルの交換のと
き、この押さえ部７ａ，７ｂを旋回しブラケット６ａと
直角の状態にすれば、検知ケーブルはフランジの隙間か
ら外れ交換し易くなる。また、交換後、押さえ部７ａ，
７ｂを旋回し元の位置に戻せば、検知ケーブルは必然的
にフランジ継手の全周を巻き付く状態になり、その後
は、へらなどを用いて検知ケーブルをシール面の隙間に
押し込むようにすればよい。さらに、図示していない回
転自在ピン８ａ，８ｂの外径ねじと噛み合うロックナッ
トを回転し押さえ部７ａ，７ｂが回らないようにブラケ
ット６ａの面に固定する。
きるようにしておけば、検知ケーブルの交換をより早く
できる利点がある。すなわち、検知ケーブルの交換のと
き、この押さえ部７ａ，７ｂを旋回しブラケット６ａと
直角の状態にすれば、検知ケーブルはフランジの隙間か
ら外れ交換し易くなる。また、交換後、押さえ部７ａ，
７ｂを旋回し元の位置に戻せば、検知ケーブルは必然的
にフランジ継手の全周を巻き付く状態になり、その後
は、へらなどを用いて検知ケーブルをシール面の隙間に
押し込むようにすればよい。さらに、図示していない回
転自在ピン８ａ，８ｂの外径ねじと噛み合うロックナッ
トを回転し押さえ部７ａ，７ｂが回らないようにブラケ
ット６ａの面に固定する。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、フランジ
継手のシール面の間の隙間を塞ぐように検知ケーブルを
巻き付け、検知ケーブルの両端部を保持する金具を設け
ることによって、シール面に挟まれるパッキングのいず
れの場所から漏れる薬液を確実に検知できるという効果
がある。また、検知ケーブルで隙間が塞がれているの
で、薬液がパッキングから漏れても、検知ケーブルとシ
ール面の隙間とでなる空間部に溜めることができるの
で、従来、液溜め用の箱が不用となりその分価格が安く
なるという効果がある。さらに、この箱が無くなること
と検知ケーブルを保持する金具への着脱の簡易化および
検知ケーブルの着脱接続用のコネクタの追加などにより
検知ケーブルの交換が短時間で容易にできるという効果
がある。
継手のシール面の間の隙間を塞ぐように検知ケーブルを
巻き付け、検知ケーブルの両端部を保持する金具を設け
ることによって、シール面に挟まれるパッキングのいず
れの場所から漏れる薬液を確実に検知できるという効果
がある。また、検知ケーブルで隙間が塞がれているの
で、薬液がパッキングから漏れても、検知ケーブルとシ
ール面の隙間とでなる空間部に溜めることができるの
で、従来、液溜め用の箱が不用となりその分価格が安く
なるという効果がある。さらに、この箱が無くなること
と検知ケーブルを保持する金具への着脱の簡易化および
検知ケーブルの着脱接続用のコネクタの追加などにより
検知ケーブルの交換が短時間で容易にできるという効果
がある。
【図１】本発明の配管継手の液漏れ検知機構の一実施例
を示す側面図および部分拡大斜視図である。
を示す側面図および部分拡大斜視図である。
【図２】本発明の配管継手の液漏れ検知機構の他の実施
例における検知ケーブルを保持するブラケットを示す斜
視図である。
例における検知ケーブルを保持するブラケットを示す斜
視図である。
【図３】従来の一例を示す配管継手の液漏れ検知機構の
部分破断図である。
部分破断図である。
１，１２ 検知ケーブル ２ コネクタ ３ 取付具 ５ａ，５ｂ，７ａ，７ｂ 押さえ部 ６，６ａ ブラケット ８ａ，８ｂ 回転自在ピン ９ 切欠き穴 １１ 箱 １３ フランジ継手 １３ａ，１３ｂ フランジ １４ａ，１４ｂ 配管 １５ 配線ケーブル １６ パッキング １７ ボルト １８ ナット
Claims (3)
- 【請求項１】 薬液を送液する配管のフランジ継手にお
ける該薬液の漏れを検出する配管継手の液漏れ検知機構
において、前記フランジ継手のパッキングを介して互に
向き合うシール面の隙間を塞ぐように覆い該フランジ継
手の全周囲に巻き付けられるとともに前記薬液を外部か
ら内部に拡散し電気特性の変化で前記薬液の漏れを検知
する検知ケーブルと、この液漏れ検知ケーブルの両端部
を保持する押さえ部を具備し前記フランジ継手のフラン
ジに固定される取付具とを備えることを特徴とする配管
継手の液漏れ検知機構。 - 【請求項２】 配線ケーブルと前記液漏れ検知センサと
の接続および切離しを着脱で行なうコネクタを備えるこ
とを特徴とする請求項１記載の配管継手の液漏れ検知機
構。 - 【請求項３】 前記取付具は前記押さえ部が旋回し得る
回転自在ピンを備えることを特徴とする請求項１または
請求項２記載の配管継手の液漏れ検知機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16389895A JPH0915077A (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | 配管継手の液漏れ検知機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16389895A JPH0915077A (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | 配管継手の液漏れ検知機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0915077A true JPH0915077A (ja) | 1997-01-17 |
Family
ID=15782917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16389895A Pending JPH0915077A (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | 配管継手の液漏れ検知機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0915077A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010031921A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Tlv Co Ltd | 弁類の作動状態検出装置 |
| JP2012037400A (ja) * | 2010-08-09 | 2012-02-23 | Noora Engineering Kk | 配管の施工確認方法 |
| JP6307648B1 (ja) * | 2017-04-11 | 2018-04-04 | 株式会社堀内機械 | 漏洩検知システム付シリンダ装置、漏洩検知用カートリッジおよび漏洩検知システム付ドレンパイプ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS621145B2 (ja) * | 1981-05-08 | 1987-01-12 | Iiguru Kogyo Kk | |
| JPH0547840B2 (ja) * | 1990-10-30 | 1993-07-19 | Yamaha Corp | |
| JP3093677B2 (ja) * | 1997-05-16 | 2000-10-03 | 株式会社東芝 | 反射型移相器 |
-
1995
- 1995-06-29 JP JP16389895A patent/JPH0915077A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS621145B2 (ja) * | 1981-05-08 | 1987-01-12 | Iiguru Kogyo Kk | |
| JPH0547840B2 (ja) * | 1990-10-30 | 1993-07-19 | Yamaha Corp | |
| JP3093677B2 (ja) * | 1997-05-16 | 2000-10-03 | 株式会社東芝 | 反射型移相器 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010031921A (ja) * | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Tlv Co Ltd | 弁類の作動状態検出装置 |
| JP2012037400A (ja) * | 2010-08-09 | 2012-02-23 | Noora Engineering Kk | 配管の施工確認方法 |
| JP6307648B1 (ja) * | 2017-04-11 | 2018-04-04 | 株式会社堀内機械 | 漏洩検知システム付シリンダ装置、漏洩検知用カートリッジおよび漏洩検知システム付ドレンパイプ |
| JP2018179702A (ja) * | 2017-04-11 | 2018-11-15 | 株式会社堀内機械 | 漏洩検知システム付シリンダ装置、漏洩検知用カートリッジおよび漏洩検知システム付ドレンパイプ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980113 |