JPH0915040A - 焦電型赤外線検出器 - Google Patents
焦電型赤外線検出器Info
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- JPH0915040A JPH0915040A JP18777795A JP18777795A JPH0915040A JP H0915040 A JPH0915040 A JP H0915040A JP 18777795 A JP18777795 A JP 18777795A JP 18777795 A JP18777795 A JP 18777795A JP H0915040 A JPH0915040 A JP H0915040A
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- infrared
- light receiving
- infrared detector
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- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 斜め入射やクロストークを低減することがで
き、干渉影響の少ない焦電型赤外線検出器を提供するこ
と。 【構成】 開口部３が赤外線透過性の窓材４で封止され
た容器１内に、複数の受光素子７，８，９，１０を形成
した赤外線検出素子６を配置し、特定の受光素子８．１
０に対して外部の赤外光を入射させないように窓材４に
遮光部を形成した焦電型赤外線検出器において、前記窓
材４の表裏両面の対応する箇所に遮光部１９を設けた。
き、干渉影響の少ない焦電型赤外線検出器を提供するこ
と。 【構成】 開口部３が赤外線透過性の窓材４で封止され
た容器１内に、複数の受光素子７，８，９，１０を形成
した赤外線検出素子６を配置し、特定の受光素子８．１
０に対して外部の赤外光を入射させないように窓材４に
遮光部を形成した焦電型赤外線検出器において、前記窓
材４の表裏両面の対応する箇所に遮光部１９を設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、焦電型赤外線検出器
に関し、特に、開口部が赤外線透過性の窓材で封止され
た容器内に、複数の受光素子を形成した赤外線検出素子
を配置し、特定の受光素子に対して外部の赤外光を入射
させないように窓材に遮光部を形成した焦電型赤外線検
出器に関する。
に関し、特に、開口部が赤外線透過性の窓材で封止され
た容器内に、複数の受光素子を形成した赤外線検出素子
を配置し、特定の受光素子に対して外部の赤外光を入射
させないように窓材に遮光部を形成した焦電型赤外線検
出器に関する。
【０００２】
【従来の技術】図８は、従来の焦電型赤外線検出器を示
し、この図において、４１は下方が開放した筒状の金属
製容器で、その上面部４２のほぼ中央には開口部４３が
形成されている。４４は開口部４３を密閉するように嵌
め込まれた赤外線透過性の窓材で、その周側面のほぼ全
体と開口部４３の周辺部とを絶縁性樹脂接着剤４５を用
いて容器４１に接合されている。
し、この図において、４１は下方が開放した筒状の金属
製容器で、その上面部４２のほぼ中央には開口部４３が
形成されている。４４は開口部４３を密閉するように嵌
め込まれた赤外線透過性の窓材で、その周側面のほぼ全
体と開口部４３の周辺部とを絶縁性樹脂接着剤４５を用
いて容器４１に接合されている。
【０００３】４６は窓材４４に対して受光素子４７，４
８を臨ませるようにして容器４１内に収容されたデュア
ルタイプの赤外線検出素子である。この赤外線検出素子
４６は、スペーサ４９を介して回路基板５０上に設けら
れている。そして、回路基板５０の下面側にはＦＥＴ
（電界効果トランジスタ）５１や高抵抗５２などからな
る回路が設けられているとともに、複数のリードピン５
３が突設されている。これらのリードピン５３は、容器
４１の下部開放部を閉塞するステム５４を貫通して容器
４１の外部に延設されている。
８を臨ませるようにして容器４１内に収容されたデュア
ルタイプの赤外線検出素子である。この赤外線検出素子
４６は、スペーサ４９を介して回路基板５０上に設けら
れている。そして、回路基板５０の下面側にはＦＥＴ
（電界効果トランジスタ）５１や高抵抗５２などからな
る回路が設けられているとともに、複数のリードピン５
３が突設されている。これらのリードピン５３は、容器
４１の下部開放部を閉塞するステム５４を貫通して容器
４１の外部に延設されている。
【０００４】このように構成された焦電型赤外線検出器
においては、例えば人体などの熱源から発せられた赤外
線が窓材４４を通過して赤外線検出素子４６の受光素子
４７，４８に入射すると、リードピン５３からは所定の
信号が出力される。
においては、例えば人体などの熱源から発せられた赤外
線が窓材４４を通過して赤外線検出素子４６の受光素子
４７，４８に入射すると、リードピン５３からは所定の
信号が出力される。
【０００５】このような焦電型赤外線検出器は、例えば
窓材４４の外部前方に特定の波長域の赤外光を通過させ
る光学フィルタとともにガス分析計のセルに対応するよ
うにして設けた場合、セルを透過した光は、さらに前記
光学フィルタを透過することにより、所望の波長域の赤
外光のみが入射する。
窓材４４の外部前方に特定の波長域の赤外光を通過させ
る光学フィルタとともにガス分析計のセルに対応するよ
うにして設けた場合、セルを透過した光は、さらに前記
光学フィルタを透過することにより、所望の波長域の赤
外光のみが入射する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、焦電型赤外
線検出器において、その最大視野角θ1 の大きさは、前
記開口部４３の形状（窓材４４の形状）と受光素子４
７，４８との間の距離によって決定されるが、前記光学
フィルタに入射角が大きい光（斜め光）が入ると、その
中心波長が短波長側にシフトし、このシフトした赤外光
が受光素子４７，４８に入射することによって、意図し
ない波長の赤外光が入射し、干渉影響が増大してしま
う。
線検出器において、その最大視野角θ1 の大きさは、前
記開口部４３の形状（窓材４４の形状）と受光素子４
７，４８との間の距離によって決定されるが、前記光学
フィルタに入射角が大きい光（斜め光）が入ると、その
中心波長が短波長側にシフトし、このシフトした赤外光
が受光素子４７，４８に入射することによって、意図し
ない波長の赤外光が入射し、干渉影響が増大してしま
う。
【０００７】また、上記デュアルツインタイプの焦電型
赤外線検出器においては、受光素子４７，４８に対向し
て設けられる光学フィルタの透過波長帯域を異ならせ、
別々の波長の赤外光が受光素子４７，４８に入射するよ
うに構成されているが、前記距離によっては、一方の受
光素子４７にのみ入射すべき赤外光が他方の受光素子４
８に、他方の受光素子４８にのみ入射すべき赤外光が一
方の受光素子４７に、それぞれ斜めに入射して所謂クロ
ストークが発生し、正確な出力が得られず、分析精度が
低下することがある。なお、このクロストークは、前記
受光素子４７，４８のうちの片方（例えば受光素子４
８）を温度補償用電極として用いるように構成した場合
においても生じ、この場合、温度補償効果が低下すると
いった問題がある。
赤外線検出器においては、受光素子４７，４８に対向し
て設けられる光学フィルタの透過波長帯域を異ならせ、
別々の波長の赤外光が受光素子４７，４８に入射するよ
うに構成されているが、前記距離によっては、一方の受
光素子４７にのみ入射すべき赤外光が他方の受光素子４
８に、他方の受光素子４８にのみ入射すべき赤外光が一
方の受光素子４７に、それぞれ斜めに入射して所謂クロ
ストークが発生し、正確な出力が得られず、分析精度が
低下することがある。なお、このクロストークは、前記
受光素子４７，４８のうちの片方（例えば受光素子４
８）を温度補償用電極として用いるように構成した場合
においても生じ、この場合、温度補償効果が低下すると
いった問題がある。
【０００８】そこで、図９に示すように、窓材４４の裏
面（容器４１の内部側）に遮光部５５を形成し、特定の
受光素子に外部の赤外光が入射しないようにすることが
試みられている。このような構成を有する焦電型赤外線
検出器については、本願出願人が平成６年３月５日付け
で特許出願している（特願平６−６０２４７号「赤外線
検出器における窓材およびその接合方法」）。
面（容器４１の内部側）に遮光部５５を形成し、特定の
受光素子に外部の赤外光が入射しないようにすることが
試みられている。このような構成を有する焦電型赤外線
検出器については、本願出願人が平成６年３月５日付け
で特許出願している（特願平６−６０２４７号「赤外線
検出器における窓材およびその接合方法」）。
【０００９】上記図９のように構成したものにおいて
は、その最大視野角θ2 を、前記図８に示したものにお
ける最大視野角θ1 よりも小さくすることができ、前記
斜め光の受光素子４７，４８への到達や上記クロストー
クを防止する効果がある程度認められるものの、窓材４
４と受光素子４７，４８間の距離がある程度小さい場合
には、前記斜め入射やクロストークを完全に防止でき
ず、クロストークを生じていた。
は、その最大視野角θ2 を、前記図８に示したものにお
ける最大視野角θ1 よりも小さくすることができ、前記
斜め光の受光素子４７，４８への到達や上記クロストー
クを防止する効果がある程度認められるものの、窓材４
４と受光素子４７，４８間の距離がある程度小さい場合
には、前記斜め入射やクロストークを完全に防止でき
ず、クロストークを生じていた。
【００１０】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、斜め入射やクロストークを低減することがで
き、干渉影響の少ない焦電型赤外線検出器を提供するこ
とを目的としている。
たもので、斜め入射やクロストークを低減することがで
き、干渉影響の少ない焦電型赤外線検出器を提供するこ
とを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この出願の第１発明は、開口部が赤外線透過性の窓
材で封止された容器内に、複数の受光素子を形成した赤
外線検出素子を配置し、特定の受光素子に対して外部の
赤外光を入射させないように窓材に遮光部を形成した焦
電型赤外線検出器において、前記窓材の表裏両面の対応
する箇所に遮光部を設けている。
め、この出願の第１発明は、開口部が赤外線透過性の窓
材で封止された容器内に、複数の受光素子を形成した赤
外線検出素子を配置し、特定の受光素子に対して外部の
赤外光を入射させないように窓材に遮光部を形成した焦
電型赤外線検出器において、前記窓材の表裏両面の対応
する箇所に遮光部を設けている。
【００１２】そして、この出願の第２発明は、開口部が
赤外線透過性の窓材で封止された容器内に、複数の受光
素子を形成した赤外線検出素子を配置し、特定の受光素
子に対して外部の赤外光を入射させないように窓材に遮
光部を形成した焦電型赤外線検出器において、前記窓材
の表面に光学フィルタを設け、前記窓材の裏面と光学フ
ィルタの表面とのそれぞれ対応する箇所に遮光部を設け
ている。
赤外線透過性の窓材で封止された容器内に、複数の受光
素子を形成した赤外線検出素子を配置し、特定の受光素
子に対して外部の赤外光を入射させないように窓材に遮
光部を形成した焦電型赤外線検出器において、前記窓材
の表面に光学フィルタを設け、前記窓材の裏面と光学フ
ィルタの表面とのそれぞれ対応する箇所に遮光部を設け
ている。
【００１３】
【作用】上記いずれの焦電型赤外線検出器においても、
斜め光が受光素子に対して入射することが大幅に低減さ
れ、したがって、光学フィルタにおいて短波長側にシフ
トした赤外光が受光素子に入射するのが防止され、クロ
ストークが生じない干渉影響の少ない焦電型赤外線検出
器が得られる。
斜め光が受光素子に対して入射することが大幅に低減さ
れ、したがって、光学フィルタにおいて短波長側にシフ
トした赤外光が受光素子に入射するのが防止され、クロ
ストークが生じない干渉影響の少ない焦電型赤外線検出
器が得られる。
【００１４】
【実施例】以下、この発明の詳細を、図を参照しながら
説明する。図１〜図６は、この発明の第１実施例を示す
もので、この実施例の焦電型赤外線検出器は、デュアル
ツインタイプに構成されている。まず、図１において、
１は鉄やニッケルあるいはコバールなどの金属よりなる
下部側が開放された筒状の容器で、その上面部２のほぼ
中央には、図３に示すように、開口部３が形成されてい
る。４は開口部３を閉塞するように設けられる赤外線透
過性の窓材で、半田接合などの接合部５によって開口部
３の周辺において固着されている。なお、この窓材４の
構成は、後述する。
説明する。図１〜図６は、この発明の第１実施例を示す
もので、この実施例の焦電型赤外線検出器は、デュアル
ツインタイプに構成されている。まず、図１において、
１は鉄やニッケルあるいはコバールなどの金属よりなる
下部側が開放された筒状の容器で、その上面部２のほぼ
中央には、図３に示すように、開口部３が形成されてい
る。４は開口部３を閉塞するように設けられる赤外線透
過性の窓材で、半田接合などの接合部５によって開口部
３の周辺において固着されている。なお、この窓材４の
構成は、後述する。
【００１５】６は容器１内に収容される赤外線検出素子
で、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛系セラミック
ス）よりなる。この赤外線検出素子６には、図２に示す
ように、４つの受光素子７，８，９，１０が形成されて
いる。受光素子７と８、受光素子９と１０は、同一形
状、同一受光面積を有し、対称（受光素子７と８、受光
素子９と１０がそれぞれ線対称）にしかも近接した状態
で、例えば「田」字状に配置されている。そして、受光
素子７と８とで一対のデュアル素子１１を構成し、受光
素子９と１０とでもう一対のデュアル素子１２を構成し
ている。
で、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛系セラミック
ス）よりなる。この赤外線検出素子６には、図２に示す
ように、４つの受光素子７，８，９，１０が形成されて
いる。受光素子７と８、受光素子９と１０は、同一形
状、同一受光面積を有し、対称（受光素子７と８、受光
素子９と１０がそれぞれ線対称）にしかも近接した状態
で、例えば「田」字状に配置されている。そして、受光
素子７と８とで一対のデュアル素子１１を構成し、受光
素子９と１０とでもう一対のデュアル素子１２を構成し
ている。
【００１６】前記赤外線検出素子６は、スペーサ１３を
介してセラミックスなどよりなる回路基板１４上に設け
られている。そして、回路基板１４の下面側にはＦＥＴ
１５や高抵抗１６などからなる回路が設けられていると
ともに、複数のリードピン１７が突設されている。これ
らのリードピン１７は、容器２の下部開放側を閉塞する
ステム１８を貫通して容器２の外部に延設されている。
介してセラミックスなどよりなる回路基板１４上に設け
られている。そして、回路基板１４の下面側にはＦＥＴ
１５や高抵抗１６などからなる回路が設けられていると
ともに、複数のリードピン１７が突設されている。これ
らのリードピン１７は、容器２の下部開放側を閉塞する
ステム１８を貫通して容器２の外部に延設されている。
【００１７】そして、前記受光素子７と８、９と１０
は、図５に示すように、それらの電極（符号＋，−で示
す）が直列逆接続されている。この図５において、１５
１，１５２はインピーダンス変換用のＦＥＴ、１６１，
１６２は時定数調整用の高抵抗、Ｄはデュアル素子１
１，１２に電圧を供給するための電源端子、Ｓ1 ，Ｓ2
はデュアル素子１１，１２の出力端子、Ｇはデュアル素
子１１，１２に共通のアース端子である。
は、図５に示すように、それらの電極（符号＋，−で示
す）が直列逆接続されている。この図５において、１５
１，１５２はインピーダンス変換用のＦＥＴ、１６１，
１６２は時定数調整用の高抵抗、Ｄはデュアル素子１
１，１２に電圧を供給するための電源端子、Ｓ1 ，Ｓ2
はデュアル素子１１，１２の出力端子、Ｇはデュアル素
子１１，１２に共通のアース端子である。
【００１８】上記のように電気的接続されるデュアル素
子１１，１２は、それらの受光素子７〜１０が全て赤外
光を受光するのではなく、図２に示すように、それぞれ
における一方の受光素子７，９に外部の赤外光が入射す
るように、窓材４の表裏（上下）両面に遮光部１９（図
中、仮想線で示すハッチング部分）を設け、受光素子
７，９に対応する部分のみを光透過部２０（図中、白抜
き部分）とし、他方の受光素子８，１０には外部の赤外
光が入射しないようにして、受光素子８，１０を例えば
温度補償用としている。
子１１，１２は、それらの受光素子７〜１０が全て赤外
光を受光するのではなく、図２に示すように、それぞれ
における一方の受光素子７，９に外部の赤外光が入射す
るように、窓材４の表裏（上下）両面に遮光部１９（図
中、仮想線で示すハッチング部分）を設け、受光素子
７，９に対応する部分のみを光透過部２０（図中、白抜
き部分）とし、他方の受光素子８，１０には外部の赤外
光が入射しないようにして、受光素子８，１０を例えば
温度補償用としている。
【００１９】ここで、この実施例における窓材４の構成
について詳しく説明すると、この窓材４は、その母材４
Ａがシリコン（Ｓｉ）またはゲルマニウム（Ｇｅ）また
はこれらの母材に無反射コーティングを施したものより
なり、適宜厚さ（例えば０．４ｍｍ程度）のチップ状態
に切り出され、その上下両面は反射コーティング層によ
って適宜表面処理されている。
について詳しく説明すると、この窓材４は、その母材４
Ａがシリコン（Ｓｉ）またはゲルマニウム（Ｇｅ）また
はこれらの母材に無反射コーティングを施したものより
なり、適宜厚さ（例えば０．４ｍｍ程度）のチップ状態
に切り出され、その上下両面は反射コーティング層によ
って適宜表面処理されている。
【００２０】前記母材４Ａに適宜の防着マスクを施し
て、スパッタリング、メッキなどの薄膜形成技術手法あ
るいは塗装などの手法によって表面処理を行い、図４に
示すように、母材４Ａの表裏両面に受光素子７，９に対
応する部分（光透過部２０）を除いて遮光部１９を形成
する。この場合、遮光部１９は、母材４Ａの表裏両面の
対応する箇所に設ける。また、母材４Ａの周縁部分にお
いては、断面視コ字状に遮光部１９を形成しておく。
て、スパッタリング、メッキなどの薄膜形成技術手法あ
るいは塗装などの手法によって表面処理を行い、図４に
示すように、母材４Ａの表裏両面に受光素子７，９に対
応する部分（光透過部２０）を除いて遮光部１９を形成
する。この場合、遮光部１９は、母材４Ａの表裏両面の
対応する箇所に設ける。また、母材４Ａの周縁部分にお
いては、断面視コ字状に遮光部１９を形成しておく。
【００２１】そして、前記遮光部１９を形成するには、
薄膜形成ほうであるスパッタ、真空蒸着、めっきなどの
手法を用い、反射層の材料としては、赤外光を透過させ
ない金、ニッケル、クロームなどを用いるのがよい。そ
して、いずれの場合も遮光部１９を鏡面仕上げするのが
よい。すなわち、遮光部１９が所謂反射コートとなるよ
うにするのである。このようにすることにより、反射効
果を期待できる。また、薄膜であることにより、遮光部
断面での不要な反射による視野の拡大を抑制することが
できる。
薄膜形成ほうであるスパッタ、真空蒸着、めっきなどの
手法を用い、反射層の材料としては、赤外光を透過させ
ない金、ニッケル、クロームなどを用いるのがよい。そ
して、いずれの場合も遮光部１９を鏡面仕上げするのが
よい。すなわち、遮光部１９が所謂反射コートとなるよ
うにするのである。このようにすることにより、反射効
果を期待できる。また、薄膜であることにより、遮光部
断面での不要な反射による視野の拡大を抑制することが
できる。
【００２２】上記構成の焦電型赤外線検出器において
は、窓材４の表裏両面に遮光部１９を形成してあるの
で、最大視野角がθ3 となり、この最大視野角θ3 は、
図９に示した窓材４４の裏面にのみ遮光部５５を形成し
た場合における最大視野角θ2 に比べてかなり小さくな
っている。したがって、各受光素子７，９に対する斜め
光の入射が大幅に制限される。
は、窓材４の表裏両面に遮光部１９を形成してあるの
で、最大視野角がθ3 となり、この最大視野角θ3 は、
図９に示した窓材４４の裏面にのみ遮光部５５を形成し
た場合における最大視野角θ2 に比べてかなり小さくな
っている。したがって、各受光素子７，９に対する斜め
光の入射が大幅に制限される。
【００２３】したがって、焦電型赤外線検出器の入射側
に設けらた光学フィルタ（図示してない）に入射角の大
きい光が入ることによって生ずる短波長側にシフトした
赤外光が受光素子７，９に入射することが大いに低減さ
れる。また、受光素子７または９に本来入射すべき赤外
光が他の受光素子に入射するといったクロストークが大
いに低減される。したがって、干渉影響が低減され、測
定精度が向上する。
に設けらた光学フィルタ（図示してない）に入射角の大
きい光が入ることによって生ずる短波長側にシフトした
赤外光が受光素子７，９に入射することが大いに低減さ
れる。また、受光素子７または９に本来入射すべき赤外
光が他の受光素子に入射するといったクロストークが大
いに低減される。したがって、干渉影響が低減され、測
定精度が向上する。
【００２４】なお、上記第１実施例において、窓材４そ
のものに波長選択性（フィルタ機能）を持たせるように
してもよい。すなわち、例えば真空蒸着法を用いて、母
材４Ａの例えば両面に高屈折率物質としてのＧｅと低高
屈折率物質としての硫化亜鉛（ＺｎＳ）とを交互に数１
０層重畳して、母材４Ａの表面に波長選択性多層膜を形
成し、光学フィルタとしてもよい。
のものに波長選択性（フィルタ機能）を持たせるように
してもよい。すなわち、例えば真空蒸着法を用いて、母
材４Ａの例えば両面に高屈折率物質としてのＧｅと低高
屈折率物質としての硫化亜鉛（ＺｎＳ）とを交互に数１
０層重畳して、母材４Ａの表面に波長選択性多層膜を形
成し、光学フィルタとしてもよい。
【００２５】図７は、この発明の第２実施例を示すもの
で、この実施例においては、波長選択性を備えてない窓
材２１（前記窓材４と同様構成）の表面（上面）に、波
長選択領域が異なる二つの光学フィルタ２２Ａ，２２Ｂ
を並列的に設け、窓材２１の裏面（下面）に上記実施例
と同様にスパッタリングなどの手法により遮光部２３を
形成し、光学フィルタ２２Ａ，２２Ｂの表面に前記遮光
部２３と対応する箇所に遮光部２４を設けている。この
場合、窓材２１、光学フィルタ２２Ａ，２２Ｂの周縁部
分においては、断面視コ字状に遮光部２３，２４を形成
しておく。なお、光学フィルタ２２Ａと２２Ｂは、適宜
の接合法によって相互に固着され、また、これらの光学
フィルタ２２Ａ，２２Ｂはその状態で、窓材２１に対し
て適宜の接着剤によって固着されている。
で、この実施例においては、波長選択性を備えてない窓
材２１（前記窓材４と同様構成）の表面（上面）に、波
長選択領域が異なる二つの光学フィルタ２２Ａ，２２Ｂ
を並列的に設け、窓材２１の裏面（下面）に上記実施例
と同様にスパッタリングなどの手法により遮光部２３を
形成し、光学フィルタ２２Ａ，２２Ｂの表面に前記遮光
部２３と対応する箇所に遮光部２４を設けている。この
場合、窓材２１、光学フィルタ２２Ａ，２２Ｂの周縁部
分においては、断面視コ字状に遮光部２３，２４を形成
しておく。なお、光学フィルタ２２Ａと２２Ｂは、適宜
の接合法によって相互に固着され、また、これらの光学
フィルタ２２Ａ，２２Ｂはその状態で、窓材２１に対し
て適宜の接着剤によって固着されている。
【００２６】なお、前記光学フィルタ２２Ａ，２２Ｂ
は、例えば赤外線透過性のＳｉ基板の両面に、高屈折率
物質としてのＧｅと低高屈折率物質としてのＺｎＳとを
交互に数１０層重畳して、所定の透過特性を有するよう
に構成されている。
は、例えば赤外線透過性のＳｉ基板の両面に、高屈折率
物質としてのＧｅと低高屈折率物質としてのＺｎＳとを
交互に数１０層重畳して、所定の透過特性を有するよう
に構成されている。
【００２７】上記第２実施例の焦電型赤外線検出器にお
いては、窓材２１に対して光学フィルタ２２Ａ，２２Ｂ
を重ね合わせたものであり、したがって、窓材２１が第
１実施例の窓材４と同じ厚さを有する場合、光学フィル
タ２２Ａ，２２Ｂの厚みの分だけ厚くなっている。した
がって、この場合の最大視野角θ4 は、図９における最
大視野角θ3 に比べて小さいことは勿論のこと、第１実
施例における最大視野角θ3 よりも小さい。したがっ
て、各受光素子７，９に対する斜め光の入射がより一層
大幅に制限され、より一層Ｓ／Ｎが向上し、測定精度が
向上する。
いては、窓材２１に対して光学フィルタ２２Ａ，２２Ｂ
を重ね合わせたものであり、したがって、窓材２１が第
１実施例の窓材４と同じ厚さを有する場合、光学フィル
タ２２Ａ，２２Ｂの厚みの分だけ厚くなっている。した
がって、この場合の最大視野角θ4 は、図９における最
大視野角θ3 に比べて小さいことは勿論のこと、第１実
施例における最大視野角θ3 よりも小さい。したがっ
て、各受光素子７，９に対する斜め光の入射がより一層
大幅に制限され、より一層Ｓ／Ｎが向上し、測定精度が
向上する。
【００２８】なお、上記第２実施例において、窓材２１
に対して二つの光学フィルタ２２Ａ，２２Ｂを載置して
いたが、単一の光学フィルタを窓材２１に載置するよう
にしてあってもよい。
に対して二つの光学フィルタ２２Ａ，２２Ｂを載置して
いたが、単一の光学フィルタを窓材２１に載置するよう
にしてあってもよい。
【００２９】そして、上記第１、第２実施例の焦電型赤
外線検出器は、受光素子を４つ設け、２つの異なった出
力タイプで、特にデュアルツイン型に構成してあった
が、この発明はこれに限られるものではなく、２ｎ個の
受光素子を設け、ｎ個の出力を得るようにしてあっても
よい（但し、ｎは１以上の整数）。
外線検出器は、受光素子を４つ設け、２つの異なった出
力タイプで、特にデュアルツイン型に構成してあった
が、この発明はこれに限られるものではなく、２ｎ個の
受光素子を設け、ｎ個の出力を得るようにしてあっても
よい（但し、ｎは１以上の整数）。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、この発明において
は、窓材の表裏両面の対応する箇所に遮光部を設けた
り、窓材の裏面と光学フィルタの表面とのそれぞれ対応
する箇所に遮光部を設けたことによって、斜め光が受光
素子に対して入射することが大幅に低減され、受光素子
に対して直進する光を有効に受光素子に入射させること
ができる。
は、窓材の表裏両面の対応する箇所に遮光部を設けた
り、窓材の裏面と光学フィルタの表面とのそれぞれ対応
する箇所に遮光部を設けたことによって、斜め光が受光
素子に対して入射することが大幅に低減され、受光素子
に対して直進する光を有効に受光素子に入射させること
ができる。
【００３１】したがって、光学フィルタにおいて短波長
側にシフトした赤外光が受光素子に入射するのが防止さ
れ、クロストークが生じず、干渉影響の少ない測定精度
の良好な焦電型赤外線検出器が得られる。
側にシフトした赤外光が受光素子に入射するのが防止さ
れ、クロストークが生じず、干渉影響の少ない測定精度
の良好な焦電型赤外線検出器が得られる。
【図１】第１実施例に係る焦電型赤外線検出器の一例を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】前記焦電型赤外線検出器の平面図で、特に、受
光素子の配置と、遮光部、光透過部との関係を示す図で
ある。
光素子の配置と、遮光部、光透過部との関係を示す図で
ある。
【図３】前記焦電型赤外線検出器の窓材近傍を示す一部
を破断した分解斜視図である。
を破断した分解斜視図である。
【図４】窓材の断面図である。
【図５】前記焦電型赤外線検出器の電気的構成を概略的
に示す図である。
に示す図である。
【図６】前記焦電型赤外線検出器の動作説明図である。
【図７】第２実施例に係る焦電型赤外線検出器の要部を
概略的に示す断面図である。
概略的に示す断面図である。
【図８】従来技術を説明するため図である。
【図９】従来技術を改良した先願に開示された技術を説
明するための図である。
明するための図である。
１…容器、３…開口部、４，２１…窓材、６…赤外線検
出素子、７，８，９，１０…受光素子、１９，２３，２
４…遮光部、２２Ａ，２２Ｂ…光学フィルタ。
出素子、７，８，９，１０…受光素子、１９，２３，２
４…遮光部、２２Ａ，２２Ｂ…光学フィルタ。
Claims (2)
- 【請求項１】 開口部が赤外線透過性の窓材で封止され
た容器内に、複数の受光素子を形成した赤外線検出素子
を配置し、特定の受光素子に対して外部の赤外光を入射
させないように窓材に遮光部を形成した焦電型赤外線検
出器において、前記窓材の表裏両面の対応する箇所に遮
光部を設けたことを特徴とする焦電型赤外線検出器。 - 【請求項２】 開口部が赤外線透過性の窓材で封止され
た容器内に、複数の受光素子を形成した赤外線検出素子
を配置し、特定の受光素子に対して外部の赤外光を入射
させないように窓材に遮光部を形成した焦電型赤外線検
出器において、前記窓材の表面に光学フィルタを設け、
前記窓材の裏面と光学フィルタの表面とのそれぞれ対応
する箇所に遮光部を設けたことを特徴とする焦電型赤外
線検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18777795A JPH0915040A (ja) | 1995-07-01 | 1995-07-01 | 焦電型赤外線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18777795A JPH0915040A (ja) | 1995-07-01 | 1995-07-01 | 焦電型赤外線検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0915040A true JPH0915040A (ja) | 1997-01-17 |
Family
ID=16212042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18777795A Pending JPH0915040A (ja) | 1995-07-01 | 1995-07-01 | 焦電型赤外線検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0915040A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012177680A (ja) * | 2011-02-01 | 2012-09-13 | Nec Tokin Corp | 焦電型赤外線センサ |
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| US8901480B2 (en) | 2010-09-10 | 2014-12-02 | Denso Corporation | Optical sensor having a blocking film disposed over light receiving elements on a semiconductor substrate via a light transparent film for detecting an incident angle of light |
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-
1995
- 1995-07-01 JP JP18777795A patent/JPH0915040A/ja active Pending
Cited By (19)
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