WO2013111366A1

WO2013111366A1 - 焦電型赤外線センサ

Info

Publication number: WO2013111366A1
Application number: PCT/JP2012/067710
Authority: WO
Inventors: 正博斎藤
Original assignee: Ｎｅｃトーキン株式会社
Priority date: 2012-01-27
Filing date: 2012-07-11
Publication date: 2013-08-01
Also published as: JP5226883B2; US9329087B2; CN104011517A; CN104011517B; TWI567370B; JP2012177680A; DE112012005759T5; TW201331561A; US20150053859A1

Abstract

【課題】小型・広視野角・高出力の焦電型赤外線センサを提供する。【解決手段】焦電型赤外線センサは、センサ素子１と、前記センサ素子１を覆うシールドケース８と、赤外線透過フィルター７と、前記センサ素子１の出力信号をインピーダンス変換して出力する出力回路と、少なくとも１つの反射膜９とを備えている。かかる焦電型赤外線センサにおいて、シールドケース８に装着された赤外線透過フィルター７と表面電極２ａ、２ｂとの間に、赤外線を反射する反射膜９を少なくとも１つ以上設け、赤外線透過フィルター７を表面電極２ａ、２ｂの極めて近くに配置した。

Description

焦電型赤外線センサ

　本発明は、焦電型赤外線センサに関し、特に数ｍの範囲で十分な検知能力が得られる焦電型赤外線センサに関する。

　焦電型赤外線センサは、赤外線センサの一種であり、焦電体基板の表裏に電極が設置されてなる焦電素子を検出画素として備えている。

　焦電体基板の表面には自発分極による表面電荷が存在する。通常は表面電荷が周囲の浮遊電荷を引き寄せるため、焦電体基板の周囲の温度が一定であれば焦電体基板の表面の電荷は電気的に中性の状態に保たれている。

　焦電体基板の周囲の温度が変化すると、それに伴い焦電体基板における自発分極の状態は変化する。自発分極の状態変化は焦電体基板の周囲に存在する浮遊電荷の応答よりも早いため、焦電体基板表面においては電気的な中性状態が崩れる。この結果、焦電体基板表面には表面電荷が生じる。この表面電荷を電極から出力信号として取り出すことで、焦電素子をセンサとして使用できる。焦電型赤外線センサの多くは、上記のような焦電素子を検出画素として用いており、複数の焦電素子から構成されるセンサ素子群により構成されている。

　焦電型赤外線センサの例として、特許文献１には補償シングル型と呼ばれる焦電型赤外線センサが開示されている。当該焦電型赤外線センサは、赤外線を検知する電極（受光主エレメント）と周囲の温度変化をモニターして温度変化を補正する電極（温度補償エレメント）とを備えている。

　特許文献１において、赤外線フィルターのシールドケース（外装缶）の窓部にはフィルターが設けられている。このフィルターは、受光主エレメントのみに赤外線が入光するように赤外線を透過させる。温度補償エレメントは外部から照射される赤外線の影響を受けないように、遮蔽されている。

　また特許文献２には、分極方向が互いに異なる２つの集電素子を、直列または並列に接続したデュアル型の赤外線センサが開示されている。

実用新案登録第３０４３３８１号公報特開昭６２－１８７２７７号公報

　特許文献１及び特許文献２に開示されている受光主エレメント及び温度補償エレメントの構造（形状、寸法）は、シールドケースの大きさと、赤外線が透過する開口部の面積によって制限を受ける。

　例えば、シールドケース上面部に形成された開口部を大きくして赤外線の照射量を増やし、センサの視野角を拡げようとすると、温度補償エレメントに赤外線が回り込んでセンサの感度に影響を及ぼす可能性がある。一方、開口部を小さくすると、赤外線の照射範囲や照射量を制限してしまうだけでなくセンサの視野角も狭くなり、センサ出力が低下する。

　また、センサの視野角は、開口部の面積を変えなければ受光主エレメントと開口部との距離が長い程狭くなり、短い程広くなる。しかし、開口部とセンサ素子の空間にセンサ感度を向上させるための遮光板や集光ミラーを配置する場合、シールドケースとセンサ素子の間には一定の空間が必要である。この空間が存在することは実際の設計において視野角の設定可能範囲を制限する要因であり、センサを小型化するための妨げとなっていた。

　そこで、本発明の課題は、小型、広視野角で十分な出力が得られる焦電型赤外線センサを提供することにある。

　本発明の一の側面は、第１の焦電型赤外線センサとして、センサ素子と、前記センサ素子を覆うシールドケースと、赤外線透過フィルターと、前記センサ素子の出力信号をインピーダンス変換して出力する出力回路と、少なくとも１つの反射膜を備える焦電型赤外線センサが得られる。前記センサ素子は、少なくとも１つの焦電素子を有している。前記焦電素子は、受光面となる表面及び前記表面の反対の面である裏面を有する焦電体基板と、前記表面に設けられた表面電極と、前記裏面のうち前記表面電極に対応する位置に設けられた裏面電極とを備えている。前記シールドケースは、開口部を有している。前記開口部は、前記表面電極の上方に位置するように形成されている。前記赤外線透過フィルターは、前記開口部に設けられている。前記反射膜は、外部から入射する赤外線を反射する。前記反射膜の少なくとも一部は、前記赤外線透過フィルターと前記表面電極との間の領域に位置している。

　ここで、表面電極と裏面電極は焦電体基板を挟んで互いに対向して配置されるため、コンデンサが形成される。表面電極は、赤外線の受光量に応じて出来るだけ大きな表面電荷を得られるよう、電極面積を大きくすることが望ましい。電極面積を大きくすることで、センサ素子の静電容量が大きくなり、センサのＳ／Ｎ比が向上する。

　また、必要に応じて表面電極の表面に酸化チタンまたはカーボン等の赤外線吸収膜をコーティングすることにより、赤外線の吸収効率が向上する。すなわち、熱効率が高く、外来ノイズに強い、高感度の赤外線センサが得られる。

　焦電体基板の裏面には、裏面電極のほかにセンサの出力信号を引き出す出力電極が設けられる。出力電極は、表面電極及び裏面電極から出来るだけ離して配置することが望ましい。これにより、表面電極で吸収された熱の放出を少なくすることができる。

　シールドケースは電磁シールド性能が高く線膨張係数の低い４２アロイを使用することが望ましい。しかし、その代用として安価なＦｅ系金属または非磁性系の金属にＮｉメッキ等で表面処理を施したものを使用してもよい。

　赤外線透過フィルターは、珪素やゲルマニウムなどの赤外線透過材に硫化亜鉛等の層を多層形成して作成される。赤外線透過フィルターを透過可能な赤外線の波長は５μｍ～１５μｍ程度とするのが望ましい。必要であれば、さらに反射防止膜を多層形成することにより透過率を向上できる。

　出力回路は接合型電界効果トランジスタのみで構成されることが望ましい。しかし、必要に応じて抵抗値の高い（数ＧΩ～数十ＧΩ程度）抵抗器をセンサ素子と並列に接続してもよい。これにより、基準電圧の変動を抑制し、安定したセンサ出力が得られる。

　また、本発明の他の側面によれば、第２の焦電型赤外線センサとして、第１の焦電型赤外線センサであって、前記表面電極は、少なくとも２つの領域と、前記２つの領域を接続する接続部とを有しており、前記反射膜は、前記接続部と対向するように設けられている、焦電型赤外線センサが得られる。

　また、本発明の他の側面によれば、第３の焦電型赤外線センサとして、第１又は第２の焦電型赤外線センサであって、前記反射膜は、スパッタ法又は真空蒸着法により形成される、焦電型赤外線センサが得られる。

　また、本発明の他の側面によれば、第４の焦電型赤外線センサとして、第１又は第２の焦電型赤外線センサであって、前記反射膜は、印刷法または塗布、転写又はディップ工法により形成される、焦電型赤外線センサが得られる。

　また、本発明の他の側面によれば、第５の焦電型赤外線センサとして、第１又は第２の焦電型赤外線センサであって、前記反射膜は、薄板の表面に形成されており、前記薄板は、前記シールドケース又は前記赤外線透過フィルターへ貼り合わせられている、焦電型赤外線センサが得られる。

　さらに、表面電極を複数に分割し、隣り合った表面電極をペアにして接続することにより、一方を反射膜で遮蔽して温度補償電極として使用し、他方を赤外線検知電極として使用することができる。これにより、センサ素子は極性を反転させて直列に接続された状態となり、外乱光による影響をさらに低減できる。

　さらに、反射膜と、上記ペアにして接続した表面電極の導体パターンとを互いに対向するように配置してもよい。それぞれのセンサ素子が赤外線を検知できる範囲（視野角）は、集電素子の各々の電極と反射膜との位置関係によって決まる。従って、反射膜と導体パターンとを互いに対向するように配置することにより、視野角が互いに交わらないように配置できる。

　本発明による焦電型赤外線センサにおいては、赤外線透過フィルターと表面電極との間の領域の一部分に外部から入射する赤外線を反射する反射膜が設けられている。また、赤外線透過フィルターと表面電極との距離は近い。その結果、反射膜を赤外線の遮光板として使用できる。すなわち、赤外線の遮蔽が必要な補償電極に対しては、赤外線の回り込みを防ぐことができるため、補償電極を赤外線から確実に遮蔽することができる。

　さらに、本発明による焦電型赤外線センサは、十分な視野角を持つ受光側電極を備えている。さらに、シールドケースとセンサ素子のクリアランスを低減することにより、焦電型赤外線センサの小型化も容易となる。

　また、赤外線透過フィルターと表面電極との間の距離をきわめて短く（赤外線透過フィルターと表面電極とをきわめて近い距離で配置）しているため、視野角を自由に且つ高い精度で変更できる焦電型赤外線センサが得られる。例えば、デュアル型の焦電型赤外線センサにおいては、二つに分割された表面電極を互いに接続して、当該表面電極それぞれが検知可能な視野角を、互いに打ち消さないよう調整することにより、赤外線受光領域を分割されたそれぞれの電極に分担できる。

　このような構成とすることで、１つの電極で構成する視野角に比べて広範囲な視野角を持つ焦電型赤外線センサが得られる。さらに、各々の受光電極で検知可能な領域に、赤外線が検知されない領域（不感帯領域）を設けて受光範囲からの出入りを検知することで、さらに狭い範囲での移動を検知可能な焦電型赤外線センサが得られる。

　また、反射膜はスパッタ法または真空蒸着法により形成してもよい。これらの方法を用いることで膜厚を薄くできる。膜圧の薄い反射膜は熱容量が非常に少なく、放熱性が向上する。これにより、センサ素子に及ぼす熱的な影響を低減することができる。

　また、赤外線透過フィルターに形成される反射膜を、印刷法または塗布、転写、ディップ工法により形成してもよい。かかる工法によれば、スパッタ装置や真空蒸着装置のような大掛かりな製造設備を用いることなく反射膜を形成できる。すなわち、焦電型赤外線センサを安価に製造することができる。

　また、上記方法に変えて、表面に反射膜を形成した薄板をシールドケースまたは前記赤外線透過フィルターに貼り合わせることにより、焦電型赤外線センサの製造がより簡便になる。

　添付の図面を参照しながら下記の最良の実施の形態の説明を検討することにより、本発明の目的が正しく理解され、且つその構成についてより完全に理解されるであろう。

本発明の第１の実施の形態による焦電型赤外線センサの動作と表面電極の電圧の変化とを示した図である。図１の焦電型赤外線センサのセンサ素子の表面を表す平面図である。図１の焦電型赤外線センサのセンサ素子の裏面を表す平面図である。図１の焦電型赤外線センサの赤外線透過フィルターの平面図である。図１の焦電型赤外線センサの回路を表すブロック図である。本発明の第２の実施の形態による焦電型赤外線センサの動作と表面電極の電圧の変化とを示した図である。図６の焦電型赤外線センサのセンサ素子の表面を表す平面図である。図６の焦電型赤外線センサのセンサ素子の裏面を表す平面図である。図６の焦電型赤外線センサの赤外線透過フィルターの平面図である。本発明の第３の実施の形態による焦電型赤外線センサの動作と表面電極の電圧の変化とを示した図である。図１０の焦電型赤外線センサのセンサ素子の表面を表す平面図である。図１０の焦電型赤外線センサのセンサ素子の裏面を表す平面図である。図１０の焦電型赤外線センサの赤外線透過フィルターの平面図である。本発明の第４の実施の形態による焦電型赤外線センサのセンサ素子の表面を表す平面図である。本発明の第４の実施の形態による焦電型赤外線センサのセンサ素子の裏面を表す平面図である。本発明の第４の実施の形態による焦電型赤外線センサの赤外線透過フィルターの平面図である。

　本発明については多様な変形や様々な形態にて実現することが可能であるが、その一例として、図面に示すような特定の実施の形態について、以下に詳細に説明する。図面及び実施の形態は、本発明をここに開示した特定の形態に限定するものではなく、添付の請求の範囲に明示されている範囲内においてなされる全ての変形例、均等物、代替例をその対象に含むものとする。

（第１の実施の形態）
　本実施の形態による赤外線センサは、例えば、次のように利用される。図１の上部に示すように、測定対象物（人）が赤外線センサの視野角１１ａに図の左側から進入すると、表面電極２ａ近傍の電気的な中性状態が崩れ、Ｖｏｕｔの電圧を基準としてマイナス側に電位が検出される。さらに移動を続けて視野角１１ｂに進入すると、表面電極２ｂ近傍の電気的な中性状態が崩れ、Ｖｏｕｔの電圧を基準としてプラス側に電位が検出される。これにより、焦電型赤外線センサは、測定対象物が出入りする際の方向検知として利用することが可能である。

　図１に示されるように、本実施の形態による焦電型赤外線センサは、センサ素子１と、シールドケース８と、赤外線透過フィルター７と、反射膜９とを備えている。

　図２に示されるように、本実施の形態によるセンサ素子１は、１つの焦電素子を有している。焦電素子は、表面及び裏面を有する焦電体基板と、表面に設けられた表面電極２ａ及び２ｂと、裏面に設けられた裏面電極３ａ及び３ｂとを備えている。ここで、焦電体基板の表面は、受光面である。表面電極２ａ及び２ｂは、互いに接続され、焦電体基板の受光面側（表面）に配置されている。表面電極２ａは温度補償電極として使用され、表面電極２ｂは受光電極として使用される。また、図３に示されるように、センサ素子１の裏面には、裏面電極３ａ及び３ｂが配置されている。裏面電極３ａ及び３ｂは、表面電極２ａ及び２ｂとそれぞれ対向するように位置している。

　図１及び図３に示されるように、裏面電極３ａ及び３ｂに設けられた出力電極は導電接着剤５により回路基板６に接着される。回路基板６には、インピーダンス変換回路として、接合型電界効果トランジスタ４が実装されている。図５に示すように、接合型電界効果トランジスタ４のゲート入力電極は裏面電極３ａに接続され、ＧＮＤは裏面電極３ｂにそれぞれ接続される。接合型電界効果トランジスタ４は、センサ素子１の出力信号をインピーダンス変換して出力する。

　図１に示されるように、回路基板６の外周はシールドケース８で覆われている。シールドケース８は、開口部（窓部）１０を有している。開口部１０は、表面電極２ａ及び２ｂの上方に位置するように形成されている。即ち、表面電極２ａ及び２ｂは、開口部１０を通して視認することができる。開口部１０には赤外線透過フィルター７が固着される。図４に示すとおり、赤外線透過フィルター７には、赤外線を反射する反射膜９が設けられる。反射膜９は、赤外線透過フィルター７と表面電極２ａとの間の領域に位置している。即ち、反射膜９は、表面電極２ａの上方、且つ、赤外線透過フィルター７の下方に設けられている。本実施の形態による反射膜の一部は、表面電極２ａと対向している。本実施の形態による反射膜９は、厚み０．５μｍのＡｇ膜である。

　ここで、反射膜９は、センサ素子の高さに影響を与えないようにするため、スパッタ法または真空蒸着法等により１μｍ以下の厚みで形成する。反射膜９の熱容量はセンサ素子１の熱容量に比較して十分小さいため、センサ素子の特性に与える影響はきわめて小さい。この反射膜を形成する工程は、赤外線透過フィルター７の製造工程に含まれる真空蒸着工程において、赤外線透過膜の形成と同時に行うことができる。

　また、反射膜９は、印刷法または塗布、転写、ディップ工法のいずれかにより形成することもできる。他の方法として、表面に反射膜を形成した薄板を所定の形状にカットし、シールドケースまたは前記赤外線透過フィルターに貼付してもよい。これらの方法によれば、スパッタ装置や真空蒸着装置のような製造設備を用いることなく反射膜を形成できるので、焦電型赤外線センサを安価に製造することができる。

　赤外線を検知可能な視野角は、この反射膜９と、シールドケース８の開口部１０と、表面電極２ａ及び２ｂの位置関係によって決まる。反射膜９は、シールドケースの外側（即ち、赤外線透過フィルター７の上面）に配置しても構わない。しかし、シールドケース８の内側（即ち、赤外線透過フィルター７の下面）に配置することにより、表面電極２ａ（温度補償電極）の視野角を狭くする一方、表面電極２ｂ（受光電極）の視野角を広くできる。そのため視野角が重複した場合でも、センサ出力が相殺される領域を極めて少なくできる。その結果、数ｍの範囲であれば十分な検知能力を有する焦電型赤外線センサが得られる。

（第２の実施の形態）
　図６乃至図９を参照して、本発明の第２の実施の形態による赤外線センサは、第１の実施形態と同様のセンサ素子１を備えている。しかし、表面電極２ａ及び２ｂを共に受光電極として使用している点、及び、図６、図７及び図９に示されるように、反射膜９は、表面電極２ａ、２ｂの中間に存在する接続パターンを覆うように形成する点が、第１の実施の形態と異なっている。

　本実施の形態による構成によれば、分極方向の異なる焦電体が二つ直列に接続された状態となる。仮に外部温度の変化または外来光等で両焦電素子に電荷が発生したとしても、表面電極２ａ及び２ｂ上に存在する電荷の総量は一定であるから、各々の出力が相殺される。この結果、赤外線以外の影響が補償される。

　本実施の形態による焦電型赤外線センサの動作を、図６を用いて説明する。図６に示されるように、測定対象物が図の左側から視野角１１ｂに進入すると、表面電極２ａ近傍の電気的な中性状態が崩れ、Ｖｏｕｔの電圧を基準としてマイナス側に電位が検出される。さらに移動を続けて視野角１１ａに進入すると、表面電極２ｂ近傍の電気的な中性状態が崩れ、Ｖｏｕｔの電圧を基準としてプラス側に電位が検出される。よって、測定対象物が出入りする際の方向検知として利用することが可能である。また、反射膜の幅を変えることで、各視野角で検知されない中間の領域（不感帯領域）を容易に形成できる。この不感帯領域と視野角との間の出入りを検知することで、測定対象物がより狭い範囲で動く場合にもセンサを反応できる。

　本実施の形態において、センサ素子１と回路基板６は一定の間隔を空けて実装することが好ましい。これにより、センサ素子表面電極で吸収した熱の放出を少なくすることができる。

　また、ノイズ対策として、赤外線透過フィルター７はシールドケース８の開口部に固着し、シールドケース８と回路基板６のグランドとを電気的に接続しておくことが好ましい。

　赤外線を検知可能な視野角は、この反射膜９と、シールドケース８の開口部１０と、表面電極２ａ及び２ｂの位置関係によって決まる。接続パターンを覆うように反射膜９を形成することにより、表面電極２ａの視野角と、表面電極２ｂの視野角とが重なることがなくなるため、センサ出力が相殺されることはない。

（第３の実施の形態）
　本発明の第３の実施の形態による焦電型赤外線センサの動作を、図１０を用いて説明する。図１０の上部に示されるように、本実施の形態による赤外線センサは、測定対象物が左側の視野角１１ｂに図の左側から進入した場合、表面電極２ａ近傍の電気的な中性状態が崩れ、Ｖｏｕｔの電圧を基準としてマイナス側に電位が検出される。さらに移動を続けて視野角１１ａに進入すると、プラス側の電位が検出される。さらに右に移動を続けて右側の視野角１１ｂに侵入すると表面電極２ｂ近傍の電気的な中性状態が崩れ、Ｖｏｕｔからマイナスの電位が検出される。また、視野角１１ａと１１ｂの間には、どちらの視野範囲にも属さない不感帯領域をつくることにより検知領域を細分化することが可能となる。各領域を横切った場合のみならず、細かい動作が行われた場合にもセンサ出力が得られる。

　図１１に示されるように、センサ素子１は、焦電体基板の中央に配置された表面電極２ａと、表面電極２ａの両側に配置された表面電極２ｂとを有している。表面電極２ａと２つの表面電極２ｂとは、接続パターンで接続されている。表面電極２ａと表面電極２ｂとは高さが等しい。表面電極２ｂの幅は表面電極２ａのほぼ半分である。さらに、図１２に示されるように、焦電体基板を挟んで表面電極２ａ及び２ｂと対向するように裏面電極３ａ及び３ｂが配置されている。

　図１３に示されるように、反射膜９は、上述した第２の実施形態と同様に、表面電極２ａ及び２ｂを接続する接続パターンを覆うように形成されている。赤外線を検知可能な視野角は、この反射膜９と、シールドケース８の開口部１０と、表面電極２ａ及び２ｂの位置関係によって決定される。接続パターンを覆うように反射膜９を形成することにより、表面電極２ａの視野角と、表面電極２ｂの視野角とが重なることがなくなり、センサ出力の相殺はなくなる。

　（第４の実施の形態）
　図１４に示されるように、本発明の第４の実施の形態による赤外線センサのセンサ素子１は、４つの表面電極２ａ、２ｂ、２ｃ及び２ｄを備えている。表面電極２ａ、２ｂ、２ｃ及び２ｄの面積は、互いに等しい。表面電極２ａと表面電極２ｂとが互いに接続され、表面電極２ｃと表面電極２ｄとが互いに接続されている。図１５に示されるように、センサ素子１の裏面には、その表面電極にそれぞれ対向して形成された裏面電極３ａ、３ｃ、３ｂ及び３ｄが形成されている。表面電極２ａ、２ｂは、出力電極によって互いに接続され、表面電極２ｃ、２ｄも出力電極によって互いに接続されている。図１６に示されるように、反射膜９は、赤外線透過フィルターを十字に切って４等分した４つの領域のうち、表面電極２ｂの上方の領域と、表面電極２ｃの上方の領域に設けられている。このような構成とすることで、電極が２つの場合に比べてより細かい位置の検知が可能となる。さらに細かい検知を必要とするような電極を複数並べるアレイ型の素子においても、これら同様、容易に対応できる。

　なお、これらの実施例に留まらず、請求の範囲内で様々な工夫を加えることも可能であり、様々な要求に応じて変形することでもよい。

　本発明は２０１２年１月２７日に日本国特許庁に提出された日本特許出願第２０１２－０１４９８４号に基づいており、その内容は参照することにより本明細書の一部をなす。

　本発明の最良の実施の形態について説明したが、当業者には明らかなように、本発明の精神を逸脱しない範囲で実施の形態を変形することが可能であり、そのような実施の形態は本発明の範囲に属するものである。

１　　　センサ素子
２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ　　　表面電極
３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ　　　裏面電極
４　　　接合型電界効果トランジスタ
５　　　導電接着剤
６　　　回路基板
７　　　赤外線透過フィルター
８　　　シールドケース
９　　　反射膜
１０　　　開口部
１１ａ、１１ｂ　　　視野角

Claims

　センサ素子と、前記センサ素子を覆うシールドケースと、赤外線透過フィルターと、前記センサ素子の出力信号をインピーダンス変換して出力する出力回路と、少なくとも１つの反射膜とを備える焦電型赤外線センサであって、
　前記センサ素子は、少なくとも１つの焦電素子を有しており、
　前記焦電素子は、受光面となる表面及び前記表面の反対の面である裏面を有する焦電体基板と、前記表面に設けられた表面電極と、前記裏面のうち前記表面電極に対応する位置に設けられた裏面電極とを備えており、
　前記シールドケースは、開口部を有しており、
　前記開口部は、前記表面電極の上方に位置するように形成されており、
　前記赤外線透過フィルターは、前記開口部に設けられており、
　前記反射膜は、外部から入射する赤外線を反射するものであり、
　前記反射膜の少なくとも一部は、前記赤外線透過フィルターと前記表面電極との間の領域に位置している、
焦電型赤外線センサ。
　請求項１に記載の焦電型赤外線センサであって、
　前記表面電極は、少なくとも２つの領域と、前記２つの領域を接続する接続部とを有しており、
　前記反射膜は、前記接続部と対向するように設けられている、
焦電型赤外線センサ。
　請求項１又は請求項２に記載の焦電型赤外線センサであって、
　前記反射膜は、スパッタ法又は真空蒸着法により形成される、
焦電型赤外線センサ。
　請求項１又は請求項２に記載の焦電型赤外線センサであって、
　前記反射膜は、印刷法または塗布、転写又はディップ工法により形成される、
焦電型赤外線センサ。
　請求項１又は請求項２に記載の焦電型赤外線センサであって、
　前記反射膜は、薄板の表面に形成されており、
　前記薄板は、前記シールドケース又は前記赤外線透過フィルターへ貼り合わせられている、
焦電型赤外線センサ。