JPH09143685A - 連続真空蒸着装置用るつぼの割れ防止方法 - Google Patents
連続真空蒸着装置用るつぼの割れ防止方法Info
- Publication number
- JPH09143685A JPH09143685A JP30459595A JP30459595A JPH09143685A JP H09143685 A JPH09143685 A JP H09143685A JP 30459595 A JP30459595 A JP 30459595A JP 30459595 A JP30459595 A JP 30459595A JP H09143685 A JPH09143685 A JP H09143685A
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- JP
- Japan
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- crucible
- deposition apparatus
- vapor deposition
- continuous vacuum
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 るつぼの耐熱容器の冷やし方を調節して、耐
熱容器の温度勾配を少なくするようにした連続真空蒸着
装置用るつぼの割れ防止方法を提供することにある。 【解決手段】 真空成膜室内を連続走行する帯状の基板
に電子ビームにより加熱されてるつぼから蒸発した蒸発
材料を蒸着させる連続真空蒸着装置に使用されるるつぼ
の割れ防止方法であって、るつぼ内の蒸発材料の電子ビ
ームによる加熱を停止した後、るつぼ内部に配設した棒
状のヒータおよびるつぼ外面に配設した板状のヒータに
通電して、るつぼ内部の温度勾配を調節しながら蒸発材
料を冷却・凝固させるようにする。
熱容器の温度勾配を少なくするようにした連続真空蒸着
装置用るつぼの割れ防止方法を提供することにある。 【解決手段】 真空成膜室内を連続走行する帯状の基板
に電子ビームにより加熱されてるつぼから蒸発した蒸発
材料を蒸着させる連続真空蒸着装置に使用されるるつぼ
の割れ防止方法であって、るつぼ内の蒸発材料の電子ビ
ームによる加熱を停止した後、るつぼ内部に配設した棒
状のヒータおよびるつぼ外面に配設した板状のヒータに
通電して、るつぼ内部の温度勾配を調節しながら蒸発材
料を冷却・凝固させるようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、連続真空蒸着装置
用るつぼの割れ防止方法に関するものである。
用るつぼの割れ防止方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】真空蒸着は、真空中で蒸発材料を加熱し
て蒸発させ、蒸発材料を基板の表面に蒸着させて皮膜を
作る成膜プロセスである。
て蒸発させ、蒸発材料を基板の表面に蒸着させて皮膜を
作る成膜プロセスである。
【０００３】この成膜プロセスにおいては、従来から蒸
発材料を加熱するために電子ビームを用い、るつぼ内の
蒸発材料に電子ビームを放射して蒸発材料を溶融・蒸発
させることが行われている。
発材料を加熱するために電子ビームを用い、るつぼ内の
蒸発材料に電子ビームを放射して蒸発材料を溶融・蒸発
させることが行われている。
【０００４】この連続真空蒸着装置用のるつぼは、例え
ば特開平６−９３４２９に開示されたものがある。図３
は、連続真空蒸着装置とるつぼとを示す断面図である。
図３において、連続真空蒸着装置は、電子ビームａを放
射する電子銃ｂと、溶融する蒸発材料ｃを収容するるつ
ぼｆと、連続して走行する帯状の基板ｄとを内蔵し真空
に排気された真空成膜室ｅとを有している。
ば特開平６−９３４２９に開示されたものがある。図３
は、連続真空蒸着装置とるつぼとを示す断面図である。
図３において、連続真空蒸着装置は、電子ビームａを放
射する電子銃ｂと、溶融する蒸発材料ｃを収容するるつ
ぼｆと、連続して走行する帯状の基板ｄとを内蔵し真空
に排気された真空成膜室ｅとを有している。
【０００５】前記基板ｄは、例えば、鋼板やステンレス
板等である。電子ビームａは、電子銃ｂにより水平方向
に放射され、次いで真空成膜室ｅに付加された図示しな
い磁界により曲げられ、るつぼｆ内の蒸発材料ｃを加熱
して溶融・蒸発させるようになっている。なお、真空成
膜室ｅ内は、図示しない真空ポンプにより排気されて通
常１０-3〜１０-5Ｔｏｒｒの真空に保持されている。
板等である。電子ビームａは、電子銃ｂにより水平方向
に放射され、次いで真空成膜室ｅに付加された図示しな
い磁界により曲げられ、るつぼｆ内の蒸発材料ｃを加熱
して溶融・蒸発させるようになっている。なお、真空成
膜室ｅ内は、図示しない真空ポンプにより排気されて通
常１０-3〜１０-5Ｔｏｒｒの真空に保持されている。
【０００６】このような構成により、連続真空蒸着装置
は、電子銃ｂにより電子ビームａを放射し、るつぼｆ内
の蒸発材料ｃを加熱して溶融・蒸発させ、蒸発した蒸発
材料ｃを基板ｄの表面に蒸着させる。なお、るつぼｆの
数は、１つでも２つ以上であってもよい。
は、電子銃ｂにより電子ビームａを放射し、るつぼｆ内
の蒸発材料ｃを加熱して溶融・蒸発させ、蒸発した蒸発
材料ｃを基板ｄの表面に蒸着させる。なお、るつぼｆの
数は、１つでも２つ以上であってもよい。
【０００７】図３において、るつぼｆは、蒸発材料ｃを
収容する凹部ｇを上面に有する耐熱容器ｈと、この耐熱
容器ｈの上面以外の外面を囲むケーシングｉと、耐熱容
器ｈとケーシングｉとの間に充填された耐熱粉末ｊと、
この耐熱粉末ｊ内に挿入されたヒータｋとから構成され
ている。
収容する凹部ｇを上面に有する耐熱容器ｈと、この耐熱
容器ｈの上面以外の外面を囲むケーシングｉと、耐熱容
器ｈとケーシングｉとの間に充填された耐熱粉末ｊと、
この耐熱粉末ｊ内に挿入されたヒータｋとから構成され
ている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たるつぼｆは、基板ｄへの蒸発材料ｃの蒸着作業が終了
すると、徐々に冷され、十分冷えてから大気にさらされ
るが、その徐冷の際、るつぼｆの耐熱容器ｈに割れが発
生することがある。冷却時のるつぼｆの耐熱容器ｈの割
れの原因は、必ずしも明らかではないが、冷却時に耐熱
容器ｈの内外面の温度差が大きくなる時期があるためと
考えられる。また、蒸発材料ｃと耐熱容器ｈとの濡れ特
性がよい場合に、溶融が冷却して凝固しながら収縮し、
蒸発材料ｃと耐熱容器ｈとの間の熱膨張係数の差のため
耐熱容器ｈに引張り応力が発生するためとも考えられ
る。
たるつぼｆは、基板ｄへの蒸発材料ｃの蒸着作業が終了
すると、徐々に冷され、十分冷えてから大気にさらされ
るが、その徐冷の際、るつぼｆの耐熱容器ｈに割れが発
生することがある。冷却時のるつぼｆの耐熱容器ｈの割
れの原因は、必ずしも明らかではないが、冷却時に耐熱
容器ｈの内外面の温度差が大きくなる時期があるためと
考えられる。また、蒸発材料ｃと耐熱容器ｈとの濡れ特
性がよい場合に、溶融が冷却して凝固しながら収縮し、
蒸発材料ｃと耐熱容器ｈとの間の熱膨張係数の差のため
耐熱容器ｈに引張り応力が発生するためとも考えられ
る。
【０００９】本発明は、上記のような問題点を解決する
ために創案されたものである。すなわち、本発明は、る
つぼｆの耐熱容器ｈの冷やし方を調節して、耐熱容器ｈ
内の温度勾配を少なくするようにした連続真空蒸着装置
用るつぼの割れ防止方法を提供することを目的とするも
のである。
ために創案されたものである。すなわち、本発明は、る
つぼｆの耐熱容器ｈの冷やし方を調節して、耐熱容器ｈ
内の温度勾配を少なくするようにした連続真空蒸着装置
用るつぼの割れ防止方法を提供することを目的とするも
のである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明によれば、真空成膜室内を連続走行する帯状
の基板に電子ビームにより加熱されてるつぼから蒸発し
た蒸発材料を蒸着させる連続真空蒸着装置に使用される
るつぼの割れ防止方法であって、るつぼ内の蒸発材料の
電子ビームによる加熱を停止した後、るつぼ内部に配設
した棒状のヒータおよびるつぼの外面に配設した板状の
ヒータに通電して、るつぼ内部の温度勾配を調節しなが
ら蒸発材料を冷却・凝固させることを特徴とする連続真
空蒸着装置用るつぼの割れ防止方法が提供される。
め、本発明によれば、真空成膜室内を連続走行する帯状
の基板に電子ビームにより加熱されてるつぼから蒸発し
た蒸発材料を蒸着させる連続真空蒸着装置に使用される
るつぼの割れ防止方法であって、るつぼ内の蒸発材料の
電子ビームによる加熱を停止した後、るつぼ内部に配設
した棒状のヒータおよびるつぼの外面に配設した板状の
ヒータに通電して、るつぼ内部の温度勾配を調節しなが
ら蒸発材料を冷却・凝固させることを特徴とする連続真
空蒸着装置用るつぼの割れ防止方法が提供される。
【００１１】また、るつぼの外面近傍と内面近傍とに熱
電対を埋め込んで温度勾配を検出し、それによりるつぼ
内部の棒状のヒータとるつぼ外面の板状のヒータに通電
する電流を調節することが好ましい。
電対を埋め込んで温度勾配を検出し、それによりるつぼ
内部の棒状のヒータとるつぼ外面の板状のヒータに通電
する電流を調節することが好ましい。
【００１２】上記本発明の構成によれば、基板への蒸発
材料の蒸着作業が終了して、るつぼを徐冷する際、るつ
ぼ内部の温度勾配を調節しながら蒸発材料を冷却・凝固
させるので、るつぼの割れを防止することができる。
材料の蒸着作業が終了して、るつぼを徐冷する際、るつ
ぼ内部の温度勾配を調節しながら蒸発材料を冷却・凝固
させるので、るつぼの割れを防止することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を図面に基づいて説明する。図１および図２は、本発
明の一実施の形態を示すものであり、図１は本発明によ
る連続真空蒸着装置の真空成膜室の断面図、図２はるつ
ぼの拡大鳥瞰断面図である。
態を図面に基づいて説明する。図１および図２は、本発
明の一実施の形態を示すものであり、図１は本発明によ
る連続真空蒸着装置の真空成膜室の断面図、図２はるつ
ぼの拡大鳥瞰断面図である。
【００１４】図１および図２において、１は真空成膜室
で、図示しない真空ポンプにより排気されて通常１０-3
〜１０-5Ｔｏｒｒの真空に保持されている。２はこの真
空成膜室１内を連続して走行する帯状の基板で、例えば
鋼板，ステンレス板等である。３は図示しない供給手段
により供給され、電子銃１１から放射された電子ビーム
１２により加熱されて溶解された蒸発材料である。４は
この蒸発材料３を収容するるつぼである。るつぼ４内の
溶湯の温度は、約１，７００°Ｃ位まで高温とする。こ
のるつぼ４は、箱状ケーシング５と、この箱状ケーシン
グ５に内嵌した内部に棒状のヒータ６を埋め込み、か
つ、上面に前記蒸発材料３を収容する窪み７を有する耐
熱容器８と、箱状ケーシング５の外面に配設した板状の
ヒータ９とから構成されている。１０および１０ａは、
るつぼ４の外面近傍と内面近傍に配設した熱電対で、図
では前記耐熱容器８の厚さ方向に前記棒状ヒータ６を挟
んで２か所に配設している。
で、図示しない真空ポンプにより排気されて通常１０-3
〜１０-5Ｔｏｒｒの真空に保持されている。２はこの真
空成膜室１内を連続して走行する帯状の基板で、例えば
鋼板，ステンレス板等である。３は図示しない供給手段
により供給され、電子銃１１から放射された電子ビーム
１２により加熱されて溶解された蒸発材料である。４は
この蒸発材料３を収容するるつぼである。るつぼ４内の
溶湯の温度は、約１，７００°Ｃ位まで高温とする。こ
のるつぼ４は、箱状ケーシング５と、この箱状ケーシン
グ５に内嵌した内部に棒状のヒータ６を埋め込み、か
つ、上面に前記蒸発材料３を収容する窪み７を有する耐
熱容器８と、箱状ケーシング５の外面に配設した板状の
ヒータ９とから構成されている。１０および１０ａは、
るつぼ４の外面近傍と内面近傍に配設した熱電対で、図
では前記耐熱容器８の厚さ方向に前記棒状ヒータ６を挟
んで２か所に配設している。
【００１５】前記耐熱容器８は、蒸発材料３の溶融温度
に耐える耐火材で、通常、例えば、アルミナなどが使用
されるが、銅などの場合は、カーボンが使用される。
に耐える耐火材で、通常、例えば、アルミナなどが使用
されるが、銅などの場合は、カーボンが使用される。
【００１６】前記棒状のヒータ６は、耐熱容器８内に全
体が収納され、図示しない耐熱性の電線により相互に連
結され、箱状ケーシング５から電線が外部に取り出され
ている。
体が収納され、図示しない耐熱性の電線により相互に連
結され、箱状ケーシング５から電線が外部に取り出され
ている。
【００１７】前記熱電対１０および１０ａは、先端が耐
熱容器８内に埋め込まれて配設されており、端部は電線
を通じて、外部に設けた図示しない制御装置に連結され
る。
熱容器８内に埋め込まれて配設されており、端部は電線
を通じて、外部に設けた図示しない制御装置に連結され
る。
【００１８】次に実施の形態に基づく作用について説明
する。真空成膜室１内で、るつぼ４内に供給された蒸発
材料３を、電子銃１１の電子ビーム１２により加熱して
溶融・蒸発させ、連続走行する基板２の表面に蒸着させ
る。その際、２つの熱電対１０および１０ａによりるつ
ぼの耐熱容器８の温度勾配を検出し、その温度勾配が大
きくなり過ぎると棒状のヒータ６と板状のヒータ９に通
電して温度勾配が少なくなるように温度調節を行う。ま
た、蒸発材料３が凝固する場合も中心から凝固し、耐熱
容器８内部の内面の部分の凝固を遅らせるようにヒータ
で加熱しながら凝固させるようにすれば蒸発材料３の収
縮により耐熱容器８に発生する引張り応力が抑制され
る。
する。真空成膜室１内で、るつぼ４内に供給された蒸発
材料３を、電子銃１１の電子ビーム１２により加熱して
溶融・蒸発させ、連続走行する基板２の表面に蒸着させ
る。その際、２つの熱電対１０および１０ａによりるつ
ぼの耐熱容器８の温度勾配を検出し、その温度勾配が大
きくなり過ぎると棒状のヒータ６と板状のヒータ９に通
電して温度勾配が少なくなるように温度調節を行う。ま
た、蒸発材料３が凝固する場合も中心から凝固し、耐熱
容器８内部の内面の部分の凝固を遅らせるようにヒータ
で加熱しながら凝固させるようにすれば蒸発材料３の収
縮により耐熱容器８に発生する引張り応力が抑制され
る。
【００１９】本発明は、上記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更
し得ることは勿論である。
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更
し得ることは勿論である。
【００２０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、る
つぼ内部の温度勾配を調節しながら蒸発材料を冷却・凝
固させるので、るつぼの割れを防止することができるな
ど優れた効果を奏する。
つぼ内部の温度勾配を調節しながら蒸発材料を冷却・凝
固させるので、るつぼの割れを防止することができるな
ど優れた効果を奏する。
【図１】本発明による連続真空蒸着装置の真空成膜室の
断面図である。
断面図である。
【図２】図１のるつぼの拡大鳥瞰断面図である。
【図３】従来の連続真空蒸着装置とるつぼの断面図であ
る。
る。
１ 真空成膜室 ２ 基板 ３ 蒸発材料 ４ るつぼ ５ 箱状ケーシング ６ 棒状のヒータ ７ 窪み ８ 耐熱容器 ９ 板状のヒータ １０，１０ａ 熱電対 １１ 電子銃 １２ 電子ビーム ａ 電子ビーム ｂ 電子銃 ｃ 蒸発材料 ｄ 基板 ｅ 真空成膜室 ｆ るつぼ ｇ 凹部 ｈ 耐熱容器 ｉ ケーシング ｊ 耐熱粉末 ｋ ヒータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 毛利 元治 神奈川県横浜市磯子区新中原町１番地 石 川島播磨重工業株式会社横浜エンジニアリ ングセンター内 (72)発明者 松田 至康 神奈川県横浜市磯子区新中原町１番地 石 川島播磨重工業株式会社横浜エンジニアリ ングセンター内
Claims (2)
- 【請求項１】 真空成膜室内を連続走行する帯状の基板
に電子ビームにより加熱されてるつぼから蒸発した蒸発
材料を蒸着させる連続真空蒸着装置に使用されるるつぼ
の割れ防止方法であって、るつぼ内の蒸発材料の電子ビ
ームによる加熱を停止した後、るつぼ内部に配設した棒
状のヒータおよびるつぼの外面に配設した板状のヒータ
に通電して、るつぼ内部の温度勾配を調節しながら蒸発
材料を冷却・凝固させることを特徴とする連続真空蒸着
装置用るつぼの割れ防止方法。 - 【請求項２】 るつぼの外面近傍と内面近傍とに熱電対
を埋め込んで温度勾配を検出し、それによりるつぼ内部
の棒状のヒータとるつぼ外面の板状のヒータに通電する
電流を調節する請求項１記載の連続真空蒸着装置用るつ
ぼの割れ防止方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30459595A JPH09143685A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 連続真空蒸着装置用るつぼの割れ防止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30459595A JPH09143685A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 連続真空蒸着装置用るつぼの割れ防止方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09143685A true JPH09143685A (ja) | 1997-06-03 |
Family
ID=17934901
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30459595A Pending JPH09143685A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 連続真空蒸着装置用るつぼの割れ防止方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09143685A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100589237B1 (ko) * | 2004-08-23 | 2006-06-14 | 세메스 주식회사 | 박막 소스의 소모량을 줄일 수 있는 보트를 가지는 열증착 장치 |
| WO2019111901A1 (ja) * | 2017-12-08 | 2019-06-13 | 住友化学株式会社 | 蒸着源、電子ビーム真空蒸着装置及び電子デバイスの製造方法 |
| JP2021143417A (ja) * | 2020-03-11 | 2021-09-24 | ティー オー エス カンパニー リミテッドT.O.S Co., Ltd. | 可変温度調節装置を備えた金属−酸化物電子ビーム蒸発源 |
-
1995
- 1995-11-22 JP JP30459595A patent/JPH09143685A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100589237B1 (ko) * | 2004-08-23 | 2006-06-14 | 세메스 주식회사 | 박막 소스의 소모량을 줄일 수 있는 보트를 가지는 열증착 장치 |
| WO2019111901A1 (ja) * | 2017-12-08 | 2019-06-13 | 住友化学株式会社 | 蒸着源、電子ビーム真空蒸着装置及び電子デバイスの製造方法 |
| JP2019104946A (ja) * | 2017-12-08 | 2019-06-27 | 住友化学株式会社 | 蒸着源、電子ビーム真空蒸着装置及び電子デバイスの製造方法 |
| JP2021143417A (ja) * | 2020-03-11 | 2021-09-24 | ティー オー エス カンパニー リミテッドT.O.S Co., Ltd. | 可変温度調節装置を備えた金属−酸化物電子ビーム蒸発源 |
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