JP2631025B2 - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は磁気記録材料を蒸着により支持体に付着させ
る方式の磁気記録媒体の製造装置、特にその磁気記録材
料を溶融した状態で収容するルツボの構造に改良を加え
た磁気記録媒体の製造装置に関するものである。

（従来の技術） 磁気記録媒体、すなわちカセットテープやビデオテー
プあるいはコンピュータ用磁気テープにおいては、記録
性能の向上のため、金属を蒸着した薄膜型蒸着テープが
広く普及している。この蒸着テープの製造は、ポリエチ
レンテレフタレート（PET）、ポリイミド、ポリアミ
ド、ポリアラミド、PEN等の高分子フイルムからなる支
持体を広幅にしたウェブに、巻取式真空蒸着機で磁気材
料を蒸着することにより行なわれている。

すなわち、第３図に示すように、広幅の高分子フイル
ムからなるウェブ２を、送出軸４から送り出し、冷却キ
ャン６を介して巻取軸８に巻き取る搬送系において、冷
却キャン６の周面に沿って搬送されるウェブ２の部分に
斜めに磁気材料を蒸着させる蒸発源10を設ける。

この蒸発源10は、電子ビーム12により加熱されて溶融
した金属からなる磁気材料14を収容するルツボ16からな
り、ルツボ16は第４図に示すように広幅のウェブ２の幅
方向に長く、この中の磁気材料14を電子ビーム12がその
長さ方向（ウェブ２の幅方向）に走査して、加熱し、溶
融させ、蒸発させるようになっている。（特公昭57−31
38号） 蒸着用の上記磁気材料には、Fe,Co,Ni等の高融点金属
が使用され、これを1000Å/sec以上の蒸着速度で蒸着す
る必要があるため、真空蒸着用の蒸着機構として知られ
ている抵抗加熱、誘導加熱、電子ビーム加熱の内、高速
の蒸着が可能な電子ビーム加熱が採用される。また、電
子ビーム加熱の中でも、特に大電流を得るため、ピアス
式電子銃を使用した電子ビーム加熱法が望ましい。

ルツボの材料としては、一般に水冷銅，カーボン,BN,
MgO,Al₂O₃,ZrO,CaO等を主成分とした耐火物等が使用で
きるが、蒸着テープの製造には、耐火物の使用が望まし
い。

（MgO主成分のルツボは例えば特開昭56−169229号に開
示されている） 冷却キャン６は比較的大きいドラム状の回転体である
が、この下方にはその周面に沿って間隔をおいた位置に
マスク18が配され、蒸発源10からの磁気材料14のウェブ
２上への蒸着位置を制限している。

冷却キャン６の前後には、ウェブ２の搬送路に沿っ
て、ウェブ表面に吸着しているガス等を除去するための
ボンバード室20,22が設置されている。

（発明が解決しようとする課題） このような真空蒸着機を用いた磁気記録媒体の製造装
置においては、蒸発源のルツボに関して次のような問題
がある。

１） 蒸着時の高温と、蒸着終了後に真空リークしたと
きの室温の、温度の変化を繰り返すので、このヒートサ
イクルに伴なってルツボに割れが生ずる。

２） 蒸発源からの輻射熱により、高分子フイルムのウ
ェブが熱ダメージを受ける。

３） 十分にフォーカスしきれない電子ビームがルツボ
中の磁気材料から外れて、ルツボの部分に当たって、ル
ツボを損傷することがあり、この破片の一部がウェブに
付着して記録媒体にブツやピンホールを形成することが
ある。

本発明は上記問題に鑑み、これら全ての不都合を除去
した磁気記録媒体の製造装置を提供することを目的とす
るものである。

（課題を解決するための手段） 本発明による磁気記録媒体の製造装置は、 ルツボ中の溶融金属からなる磁気材料を蒸着によりウ
ェブ状の支持体に付着させて、該支持体上に磁気記録層
を形成する磁気記録媒体の製造装置において、 前記ルツボを、耐火物製のルツボ本体と、このルツボ
本体の周囲を囲む粒状の耐火物を主体とした補強枠体
と、これらルツボ本体と補強枠体の上面を覆う冷却カバ
ーと、この冷却カバーを冷却する冷却手段とをもって構
成したことを特徴とするものである。

上記粒状の耐火物を主体とした補強枠体とは、例えば
MgOを主成分とした耐火物を粒状にしたものを、水ガラ
ス等で固めたもので、粒状耐火物と、これを固める媒体
との混合体の固化したものからなるものである。

また、上記冷却カバーとは、例えば銅のように熱の伝
導性が良好な材料で形成され、水冷用のパイプ等の冷却
手段を備えたもので、前記ルツボと補強枠体の上面を覆
うとともにこれらの表面を冷却するものである。

（作用および効果） 本発明の製造装置は上記のようにルツボの外側に粒状
の耐火物を主体とした補強枠体を備え、さらにこの上に
冷却手段を備えた冷却用カバーを有するものであるか
ら、ヒートサイクルに伴なうルツボの割れに対する耐久
性が向上するとともに蒸着源からの幅射熱がウェブの方
へ放射されないため、この幅射熱によるウェブのダメー
ジが防止され、さらにフォーカスしきれなかった電子ビ
ームがルツボに当たってルツボの一部がウェブに付着す
ることもない。

（実 施 例） 以下、図面により本発明の実施例を詳細に説明する。

第１図は本発明による磁気記録媒体の製造装置に使用
されるルツボの一実施例を示す縦断面図、第２図はその
斜視図である。

溶融した金属の磁気材料20、例えばFe,Co,Ni等を収容
する横長の枡形のルツボ本体22が耐火物で一体的に形成
されている。

ルツボ本体を形成する耐火物としては、MgO主成分の
もの,Al₂O₃主成分のもの,ZrO主成分のもの,CaO主成分の
もの等が使用可能であるが、ZrOは比較的高価であり、C
aOは湿けやすいという難点があるので、MgOまたはAl₂O₃
を主成分とするものが好ましい。これらの耐火物は広幅
（すなわちウェブの幅方向に長い）のルツボの形状に一
体的に成形される。

このルツボ本体22は、これより大きい略同形状の容器
24に入れられる。この容器24な例えば鉄製で作られる。
この容器24とルツボ本体22の間に形成された間隙の中
に、例えば＋10メッシュ10％，＋32メッシュ20％，＋60
メッシュ60％，＋100メッシュ10％程度の粒状分布から
なるMgO98％以上を含む耐火物と、水ガラス（硅酸ソー
ダ）：水を20:1程度とした水溶液とを混合した粘性を有
する混合物を注入し、この間隙を詰める。その後これを
400℃電気で24時間加熱し、ガス抜きをして固化さ
せ、乾燥せしめる。

このようにして、前記ルツボ本体22の周囲に粒状耐火
物を主体とした補強枠体26を形成する。

次にこれらルツボ本体22と補強枠体26の上面を覆うよ
うに銅板等からなる冷却カバー28を設ける。冷却カバー
28には、水冷用の冷却水を循環させる冷却パイプ30をス
ポット溶接32等で固定する。この冷却カバー28は、ルツ
ボ本体22の上面と補強枠体26の上面を実質的に覆うもの
であるが、その内縁28aはルツボ本体22の内周面22aの上
端よりも少し外方へずれた位置にあるようにし、溶解し
た蒸着材料20がこの冷却カバー28に触れて冷やされるこ
とがないようにする。

（実施結果） このようにして構成したルツボを使用して蒸着をした
結果、ルツボの耐久性は飛躍的に向上し、従来のもの
（粒状耐火物の補強枠体も、冷却カバーもないもの）で
は１回の使用（ヒートサイクル）で割れが生じて使用で
きなくなったのに対し、10回以上のヒートサイクルに亘
って割れが発生せず、使用に耐えた。

また、従来のものではウェブに熱に起因するシワ等の
発生が見られたが、これが認められなかった。

さらに、従来のものを使用した場合に見られたウェブ
へのブツ巻込みが見られず、ピンホールの数も大幅に減
少した。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による磁気記録媒体の製造装置に使用さ
れるルツボの一実施例を示す縦断面図、 第２図はその斜視図、 第３図は巻取式真空蒸着機の全体の構成を示す側面図、 第４図は、それに使用されるルツボと電子ビームの走査
方向を示す斜視図である。 ２……ウェブ、10……蒸発源 12……電子ビーム、14,20……蒸着（蒸発）材料 16……ルツボ、22……ルツボ本体 24……容器 26……粒状耐火物（補強枠体） 28……冷却カバー、30……冷却パイプ

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ルツボ中の溶融金属からなる磁気材料を蒸
   着によりウェブ状の支持体に付着させて、該支持体上に
   磁気記録層を形成する磁気記録媒体の製造装置におい
   て、 前記ルツボを、耐火物製のルツボ本体と、このルツボ本
   体の周囲を囲む粒状の耐火物を主体とした補強枠体と、
   これらルツボ本体と補強枠体の上面を覆う冷却カバー
   と、この冷却カバーを冷却する冷却手段とをもって構成
   したことを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。