JPH09134676A

JPH09134676A - プラズマ表示装置用基板及びその製造方法

Info

Publication number: JPH09134676A
Application number: JP34012495A
Authority: JP
Inventors: Kouji Hamada; 浩児濱田; Kiyohiro Sakasegawa; 清浩逆瀬川; Toshikazu Kishino; 敏和岸野; Hisamitsu Sakai; 久満酒井
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 1995-09-06
Filing date: 1995-12-27
Publication date: 1997-05-20
Anticipated expiration: 2015-12-27
Also published as: JP3340011B2

Abstract

(57)【要約】【課題】プラズマ表示装置用基板において、高精度で微
細な形状の隔壁１１を容易に形成する。【解決手段】セラミックス又はガラス粉体とバインダー
との混合物を成形型２０中に充填して得た成形体と、セ
ラミックス又はガラスからなる背面板１０とを接合一体
化してプラズマ表示装置用基板を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高精度かつ安価な
薄型の大画面用カラー表示装置等に用いられるプラズマ
表示装置用基板及びその製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】薄型の大画面用カラー表示装置等に用い
られるプラズマ表示装置は、微小な表示セルと呼ばれる
隔壁で囲まれた空間に、対向する電極を設け、前記空間
に希ガス等の放電可能なガスを封入した構造を成してお
り、対向する電極間に放電によりプラズマを発生させ、
該プラズマにより蛍光体を発光させて画面の発光素子と
して利用するものである。

【０００３】具体的な構造を図３に示すように、背面板
１０の一面に多数の隔壁１１を形成して各隔壁１１間を
セル１３とし、このセル１３の底面に電極１２を備えた
ものを基板１とする。この基板１に対して、セル１３の
内壁面１３ａに蛍光体を塗布し、一方電極１５を備えた
正面板１４を基板１の隔壁１１上に接合して、セル１３
にガスを封入することにより、プラズマ表示装置を構成
することができる。

【０００４】ところで、前記プラズマ表示装置用の基板
１を製造する際には、予め背面板１０上に多数の電極１
２を形成した後で各電極１２間に隔壁１１を形成する
が、この隔壁１１の製造方法としては、印刷積層法やブ
ラスト法等が知られている。

【０００５】印刷積層法は、隔壁１１を成す材料のペー
ストを用いて厚膜印刷法により背面板１０上に所定パタ
ーンの隔壁１１を印刷形成するもので、１回の印刷で形
成できる厚さが約１０〜１５μｍ程度であることから、
印刷・乾燥を繰り返しながら約１００〜２００μｍ程度
の高さを必要とする隔壁１１を形成するものである（特
開平２−２１３０２０号公報参照）。

【０００６】また、ブラスト法は、背面板１０の全面に
所定厚さのガラス層を形成し、この表面に隔壁１１形状
のレジストマスクを形成しておいて、サンドブラストに
て隔壁１１以外の部分のガラス層を除去するようにした
ものである（特開平４−２５９７２８号公報参照）。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記印
刷積層法では、所定の高さの隔壁１１を形成するために
何回も印刷・乾燥工程を繰り返して積層しなければなら
ず、極めて工程数が多くなり、その上、積層毎に精度よ
く印刷する必要があるため、非常に歩留りが悪かった。
さらに、印刷時の位置ズレにより隔壁１１が変形し易
く、かつ印刷製版の伸び等のために、隔壁１１によって
形成される表示セルの寸法精度としては、１０００セル
分の寸法を４５列測定した時の測定値の最大差が０．３
５ｍｍ程度あり、高精細度化の要求を満足するものでは
なかった。

【０００８】また、上記ブラスト法においても、マスク
形成にフォトレジストを用いた後サンドブラストを行う
ため、工程が複雑であり、しかも高精度に隔壁１１を形
成することは困難であった。さらに、ブラスト加工に用
いる研磨剤を回収し繰り返して使用する場合は、研磨剤
の摩耗劣化による研削力の低下や経時変化があり、安定
して量産することが困難であった。一方、研磨剤を回収
せずに使用する場合は、研磨剤のコストが高くなり、こ
の場合も大量生産は困難であった。

【０００９】従って、前記いずれの製造方法でも、高精
度で微細なピッチを有する大型のプラズマ表示装置用基
板１を簡単な工程で安価に製造することは困難であっ
た。

【００１０】

【発明の目的】本発明は前記課題に鑑みなされたもの
で、その目的は、プラズマ表示装置用基板を、１回の簡
単な成形工程で、歩留り良く製造するとともに、変形の
ない平滑表面を有する高精度な隔壁を所定高さで得ら
れ、４０インチ以上の大画面化が容易に実現でき、表示
セルのピッチが０．２５ｍｍ未満の高精細度化が実現で
きるプラズマ表示装置用基板及びその製造方法を提供す
ることにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明のプラズマ表示装
置用基板は、セラミックス又はガラスの粉体とバインダ
ーとの混合物を隔壁用の凹部を有する成形型中に充填し
て得た成形体と、セラミックス又はガラスからなる背面
板とを一体化したものである。

【００１２】また、本発明のプラズマ表示装置用基板
は、セラミックス又はガラスから成る背面板に、セラミ
ックス又はガラスからなる複数の隔壁を備えて表示セル
を構成し、上記表示セル１０００セル分の寸法を４５列
測定した時の測定値の最大差が０．０５ｍｍ以下となる
ようにしたものである。

【００１３】さらに、本発明のプラズマ表示装置用基板
の製造方法は、セラミックス又はガラスの粉体と溶媒及
び有機性添加物から成るバインダーとの混合物を、隔壁
用の凹部を有する成形型中に充填した後、これらの混合
物をセラミックス又はガラスからなる背面板に接合し一
体化する工程からなることを特徴とする。

【００１４】

【作用】本発明のプラズマ表示板用基板及びその製造方
法によれば、セラミックス又はガラスの粉体とバインダ
ーの混合物を成形型に充填して隔壁の成形体を得ること
から、隔壁の表面状態が良好で、かつ成形型の寸法精度
がそのまま成形体に反映され、１回の成形工程で大型の
基板を容易に製造できる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施形態を説明す
る。

【００１６】図１に示すように、プラズマ表示装置用の
基板１はセラミックス又はガラスから成る背面板１０の
一面にセラミックス又はガラスから成る複数の隔壁１１
を備え、各隔壁１１間にセル１３が形成されたものであ
る。

【００１７】そして、このセル１３の底面に電極１２を
備えており、セル１３の内壁面１３ａに蛍光体が塗布さ
れた後、図３に示すように電極１５を備えた正面板１４
で隔壁１１の上端を覆い、セル１３にガスを封入するこ
とでプラズマ表示装置を構成することができる。そし
て、電極１２、１５間で放電することにより、セル１３
の内壁面１３ａに塗布した蛍光体を発光させることがで
きる。

【００１８】次に、上記基板１の製造方法を説明する。

【００１９】まず、図２（ａ）に示すように、隔壁１１
の形状に合致した凹部２０ａを有する成形型２０を用意
し、この成形型２０の凹部２０ａに、隔壁１１を成す材
質としてセラミックス又はガラス粉末と溶媒及び有機性
添加物のバインダーとの混合物２１を充填する。

【００２０】一方、セラミックス又はガラスから成る背
面板１０を別に用意し、この背面板１０に上記混合物２
１の成形体を接合一体化し、隔壁１１を形成するが、具
体的には以下のように製造する。

【００２１】まず、上記成形型２０に充填した混合物２
１の表面に背面板１０を押し当てて加圧接着し、混合物
２１を反応硬化するか又は乾燥して固化させる。その
後、図２（ｂ）に上下を逆にして示すように成形型２０
を離型することによって、背面板１０上に混合物２１の
成形体からなる隔壁１１を転写する。最後に全体を脱バ
インダー処理した後、同時焼成して一体化することによ
り、図１に示すプラズマ表示装置用基板１を製造するこ
とができる。

【００２２】また他の方法としては、成形型２０に充填
した混合物２１を反応硬化又は乾燥固化した後、成形型
から離型し、混合物２１の成形体を背面板１０に接着す
る。最後に全体を脱バインダー処理した後、同時焼成し
て一体化することによってもプラズマ表示装置用基板１
を得ることができる。

【００２３】さらに他の方法としては、成形型２０に充
填した混合物２１を反応硬化又は乾燥固化した後、成形
型から離型し、脱バインダー処理した後でこの成形体を
背面板１０に接着する。最後に全体を同時焼成して一体
化することによってもプラズマ表示装置用基板１を得る
ことができる。

【００２４】あるいは、成形型２０に充填した混合物２
１を反応硬化又は乾燥固化した後、成形型から離型し、
脱バインダー処理して焼成した後でこの焼結体を背面板
１０に接着、熱圧着又は同時焼成により接合することに
よってもプラズマ表示装置用基板１を得ることができ
る。

【００２５】即ち、背面板１０に混合物２１の成形体を
接合するのは、互いの部材が未焼成体、脱バインダー状
態、焼結体のいずれの段階であっても良い。

【００２６】このような本発明の製造方法によれば、一
回で隔壁１１を形成できるため製造工程を極めて簡略化
できる。しかも、隔壁１１は成形型２０の凹部２０ａの
形状が転写されるため、微細形状を高精度に成形でき
る。その結果、本発明の製造方法では、表示セル１００
０セル分の寸法を４５列測定した時の測定値の最大差が
０．０５ｍｍ以下となるように高精度とすることができ
る。

【００２７】なお、セル１３の底面に備える電極１２に
ついては、隔壁１１を接合する前に予め背面板１０の表
面に備えておけば良い。

【００２８】ここで、隔壁１１を成すセラミックス粉体
としては、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、ジルコニア（Ｚｒ
Ｏ₂）等の酸化物系セラミックスや、窒化珪素（Ｓｉ₃
Ｎ₄）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、炭化珪素（Ｓｉ
Ｃ）等の非酸化物系セラミックス等、あるいはアパタイ
ト（Ｃａ₅（ＰＯ₄）₃（Ｆ，Ｃｌ，ＯＨ））等のいず
れをも用いることができ、これらのセラミックス粉体に
は各種焼結助剤を所望量添加することができる。

【００２９】上記焼結助剤としては、アルミナ粉末には
シリカ（ＳｉＯ₂）、カルシア（ＣａＯ）、イットリア
（Ｙ₂Ｏ₃）及びマグネシア（ＭｇＯ）等を、ジルコニ
ア粉末にはイットリア（Ｙ₂Ｏ₃）やセリウム（Ｃ
ｅ）、ジスプロシウム（Ｄｙ）、イッテルビウム（Ｙ
ｂ）等の希土類元素の酸化物を、また窒化珪素粉末には
イットリア（Ｙ₂Ｏ₃）とアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）等
を、窒化アルミニウム粉末には周期律表第３ａ族元素酸
化物（ＲＥ₂Ｏ₃）等を、炭化珪素粉末にはホウ素
（Ｂ）とカーボン（Ｃ）等を所望量添加することができ
る。

【００３０】また、隔壁１１をなすガラス粉体として
は、ケイ酸塩を主成分とし、鉛（Ｐｂ）、硫黄（Ｓ）、
セレン（Ｓｅ）、明礬等の一種以上を含有した各種ガラ
スを用いることができる。

【００３１】尚、これらセラミックス又はガラス粉体の
粒径は、数十ミクロンからサブミクロンのものが好適に
用いることができ、具体的には０．２〜１０μｍ、好ま
しくは０．２〜５μｍの範囲のものが良い。

【００３２】さらに、これらのセラミックス又はガラス
の粉末に添加する有機性添加物としては、尿素樹脂、メ
ラミン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポ
リエステル樹脂、アルキド樹脂、ウレタン樹脂、エボナ
イト、ポリシロキ酸シリケート等が挙げられる。そして
これらの有機性添加物を反応硬化させる手段としては、
加熱硬化、紫外線照射硬化、Ｘ線照射硬化等がある。な
お、作業上、装置上の点からは加熱硬化が最適であっ
て、とりわけポットライフの点からは不飽和ポリエステ
ル樹脂が好適である。前記有機性添加物の含有量は、セ
ラミックス又はガラスの粉体と焼結助剤等との混合物の
流動性及び成形性を維持するためには、粘性が高くなら
ないようにする必要があり、一方、硬化時には十分な保
形性を有していることが望ましい。このような点から、
有機性添加物の含有量は、セラミックス又はガラスの粉
体１００重量部に対して０．５重量部以上で、かつ硬化
による成形体の収縮という点からは３５重量部以下がよ
り望ましく、なかでも焼成時の収縮を考慮すると、１〜
１５重量部が最も好適である。

【００３３】また、混合物２１中に加えられる溶媒と
は、前記有機性添加物を相溶するものであれば特に限定
するものではなく、例えば、トルエン、キシレン、ベン
ゼン、フタル酸エステル等の芳香族溶剤や、ヘキサノー
ル、オクタノール、デカノール、オキシアルコール等の
高級アルコール類、あるいは酢酸エステル、グリセライ
ド等のエステル類を用いることができる。

【００３４】とりわけ、前記フタル酸エステル、オキシ
アルコール等は好適に使用でき、更に、溶媒を緩やかに
揮発させるために、前記溶媒を２種類以上併用すること
も可能であるまた、前記溶媒の含有量は、成形性の点からは成形体の
保形性を維持するために、セラミックス又はガラスの粉
体１００重量部に対して０．１重量部以上必要であり、
一方セラミックス又はガラスの粉体と有機性添加物の混
合物の粘性を低くすることが望ましいことからは３５重
量部以下がより望ましく、乾燥時と焼成時の収縮を考慮
すると１〜１５重量部であることが最も望ましい。

【００３５】なお本発明における成形型２０は、有機性
添加物を硬化させる時に何ら支障無きものであれば良
く、材質は特に限定されないが、例えば金属や樹脂、あ
るいはゴム等が使用でき、必要ならば離型性向上や磨耗
防止のために、表面被覆等の表面処理を行ってもよい。

【００３６】また、上記背面板１０は、未焼成のグリー
ンシートあるいは焼結体で、材質は特に限定しないが、
例えば各種セラミックグリーンシートや各種ガラス基
板、磁器基板等で隔壁１１の材質と熱膨張率が近似して
いることが望ましい。なお、ガラス基板としては、例え
ばソーダライムガラスやその歪み点を向上するために無
機フィラーを分散させた物など比較的安価なガラスを使
用できる。

【００３７】また、前記混合物２１と背面板１０とを圧
着する際の接着性向上のために、シランカップリング剤
やチタネートカップリング剤、アルミネートカップリン
グ剤等の各種カップリング剤を使用することができ、な
かでも反応性が高いことからシランカップリング剤が好
適である。

【００３８】さらに、混合物２１と背面板１０との圧着
は、均一に圧力を加えるという点からは静水圧の装置を
用いるのが望ましく、加圧条件としては、成形型２０を
変形させない圧力範囲となり、該圧力範囲は成形型２０
の強度に左右されるが、例えばシリコンゴム製の成形型
２０を用いた場合、約１００ｇ／ｃｍ²程度の加圧条件
で行うのが望ましい。

【００３９】また、混合物２１において、セラミックス
又はガラス粉体の分散性の向上のために、例えば、ポリ
エチレングリコールエーテル、アルギルスルホン酸塩、
ポリカルボン酸塩、アルキルアンモニウム塩等の界面活
性剤を添加してもよく、その含有量としては分散性の向
上及び熱分解性の点から、セラミックス又はガラス粉体
１００重量部に対して０．０５〜５重量部が望ましい。

【００４０】さらに、混合物２１中のバインダーには硬
化反応促進剤または重合開始剤等と称される硬化触媒を
添加することができる。前記硬化触媒としては、有機過
酸化物やアゾ化合物を使用することができ、例えば、ケ
トンパーオキサイド、ジアシルパーオキサイド、パーオ
キシケタール、パーオキシエステル、ハイドロパーオキ
サイド、パーオキシカーボネート、ｔ−ブチルパーオキ
シ−２−エチルヘキサノエート、ビス（４−ｔ−ブチル
シクロヘキシル）パーオキシジカーボネート、ジクミル
パーオキサイド等の有機過酸化物や、アゾビス、イソブ
チロニトリル等のアゾ化合物が挙げられるなお、図１、２には台形状の隔壁１１を示したが、本発
明はこの例に限るものではない。

【００４１】

【実施例】実施例１本発明のプラズマ表示装置用基板及びその製造方法を評
価するために、平均粒径が０．２〜５μｍのアルミナ
（Ａｌ₂Ｏ₃）、ジルコニア（ＺｒＯ₂）、窒化珪素
（Ｓｉ₃Ｎ₄）及び窒化アルミニウム（ＡｌＮ）をそれ
ぞれ主成分とし、前記公知の焼結助剤を必要に応じて添
加混合したものをセラミッスクス粉体とし、該セラミッ
クス粉体１００重量部に対して表１のＮｏ．１〜７に示
すようなバインダー組成物をそれぞれ添加混合し攪拌混
合機で混合して粘度を調整し、混合物２１を調製した。
尚、表１に示すバインダー組成物の種類は、表２に記載
した物質名の通りである。

【００４２】

【表１】

【００４３】

【表２】

【００４４】かくして得られた混合物２１を真空装置で
脱泡した後、シリコン樹脂で作成した成形型２０の凹部
２０ａにドクターブレードを用いてシート成形の要領で
注入充填した。この凹部２０ａは逆台形状であり、焼結
後の隔壁１１の寸法がセルピッチ寸法で０．２２ｍｍ、
隔壁１１の幅が０．０５ｍｍ、セル上面開口寸法が０．
１７ｍｍ、セル底面寸法が０．０５ｍｍ、セル高さが
０．１０ｍｍとなるように設計したものである。尚、前
記脱泡処理は、成形型２０に混合物２１を充填した後に
行っても良い。

【００４５】その後、前記成形型２０に充填した混合物
２１表面に、混合物２１と同系のセラミックス焼結体か
ら成る背面板１０を載置し、該平板を成形型２０と共に
１００ｇ／ｃｍ²の圧力で加圧しながら加熱炉等に収容
し、１００℃の温度で４５分間保持して加熱硬化させ
た。

【００４６】硬化完了後、前記成形型２０から背面板１
０と密着した混合物２１の成形体を離型し、該成形体を
１２０℃の温度で５時間乾燥し、次いで、窒素雰囲気中
で、まず２５０℃の温度で３時間保持した後、５００℃
に昇温してその温度で１２時間保持して脱バインダーし
た。その後、アルミナを主成分とするものは大気中、１
６００℃の温度に２時間保持、ジルコニアの場合には大
気中、１４５０℃の温度に２時間保持、窒化珪素の場合
は窒素雰囲気中、１６５０℃の温度で１０時間保持、窒
化アルミニウムの場合には窒素雰囲気中、１８００℃の
温度で３時間保持してそれぞれ焼成一体化し、本発明の
プラズマ表示装置用基板１を得た。

【００４７】一方比較例として、前記と同じアルミナを
主成分とするセラミックス粉体に、表１のＮｏ．８に示
すようにメチルセルロースとαテルピネオールを加えて
混練した印刷用ペーストを用い、厚膜印刷法で印刷を繰
り返して前記と同じ仕様の隔壁１１を有するプラズマ表
示装置用基板１を作製した。

【００４８】かくして得られた本発明実施例及び比較例
のプラズマ表示装置用基板１を用いて、隔壁１１の表面
粗さを接触式の表面粗さ計（サーフコーダＳＥ−２３０
０）により測定し、また隔壁１１の寸法精度は１０００
セル間の長さをマイクロメータで４５列測定して、測定
値間の最大差により評価した。その結果を表３に示す。

【００４９】

【表３】

【００５０】この結果より、比較例である厚膜印刷法で
成形した隔壁１１を有するＮｏ．８は、隔壁１１の表面
粗さがＲｍａｘで６．７μｍと粗く、寸法精度も測定値
間の最大差が０．３５ｍｍで、かつ表示セルの形状に一
部潰れが認められる。

【００５１】それに対して、本発明実施例であるＮｏ．
１〜７では、いずれのセラミックス粉体を用いたもので
も、隔壁１１の表面粗さはＲｍａｘで１．８μｍ以下と
小さく、また測定値間の最大差が０．０５ｍｍ以下と寸
法精度にも優れ、表示セルの形状に潰れは認められなか
った。

【００５２】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、セラミック粉体の主成分として、アパタイ
ト（Ｃａ₅（ＰＯ₄）₃（Ｆ、Ｃｌ、ＯＨ））やガラス
（Ｎａ₂Ｏ・ＣａＯ・５ＳｉＯ₂）等を用いても同様の
効果が得られることを確認した。

【００５３】また、本発明における表示セルを構成する
隔壁１１を成すための成形型２０の形状は、前記実施例
では断面が逆台形状の凹部２０ａで説明したが、何らこ
の形状に限定されるものではない。

【００５４】実施例２次に、上記本発明実施例のうちＮｏ．１、６の混合物２
１を用いて、実施例１と同様に成形型を用いて隔壁１１
を成形し、背面板１０に接合した。

【００５５】このとき、隔壁１１をなす混合物２１を未
焼成の状態、または焼成後の状態でそれぞれ接合し、か
つ背面板１０として未焼成セラミックス板、焼成セラミ
ック板、ガラス板の３種類を用いた。それぞれ、焼成一
体化させた時の剥離やクラックの有無について調べたと
ころ表４の通りであった。

【００５６】この結果より、セラミックス粉体から成る
混合物２１を未焼成の状態でガラス製の背面板１０に接
合すると、焼成時の温度が異なるためにクラックが生じ
た。これに対し、セラミックス粉体から成る混合物２１
を予め焼成しておけば、ガラス製の背面板１０に接合し
一体化させることが可能であった。

【００５７】

【表４】

【００５８】実施例３隔壁１１を成す混合物２１として、表５に示すように平
均粒径０．２〜１０μｍ（好ましくは０．２〜５μｍ）
のガラス粉体と各種溶媒、有機性添加物と若干の分散剤
を加えたスラリーを作製し、この混合物２１を成形型２
０の凹部２０ａに充填し、脱泡した。

【００５９】この表面にガラス製の背面板１０を載せて
加圧、乾燥後、混合物２１が固化し背面板１０に接合し
たことを確認して成形型２０を離型した。その後、全体
を５００〜７００℃で焼成し、プラズマ表示装置用基板
１を作製した。

【００６０】

【表５】

【００６１】一方、比較例として、従来の印刷方式によ
り、ガラス製の背面板１０上に隔壁１１を形成すべくス
クリーン印刷、乾燥を１０回繰り返した後、５００〜７
００℃で焼成してプラズマ表示装置用基板１を作製した
（Ｎｏ．７）。

【００６２】以上のようにして得られたＮｏ．１〜７の
試料について、隔壁１１の形状、クラックの有無を双眼
顕微鏡で観察した結果を表６に示す。

【００６３】この結果より、比較例であるＮｏ．７は隔
壁１１の形状が不明確であった。これに対し、本発明実
施例（Ｎｏ．１〜６）では、Ｎｏ．６が溶媒量が多いた
めに若干隔壁１１に潰れが発生したものの、全般に隔壁
１１の形状が良好でありクラックも発生しなかった。し
たがって、背面板１０や隔壁１１にガラスを用いた場合
でも良好にプラズマ表示装置用基板１を製造できること
がわかった。

【００６４】

【表６】

【００６５】

【発明の効果】叙上の如く、本発明のプラズマ表示装置
用基板及びその製造方法は、セラミックス又はガラス粉
体とバインダーとの混合物を成形型中に充填して得た成
形体と、セラミックス又はガラスからなる背面板とを接
合一体化したものであることから、１回の成形工程で製
造でき、かつ成形型の寸法精度がそのまま成形体に転写
されることから、表面状態が良好な隔壁が得られ、大型
化が容易に実現できる。その結果、製造工程の短縮及び
簡略化と高い製品歩留りを実現でき、高精細度化が実現
できるプラズマ表示装置用基板及びその製造方法を提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプラズマ表示装置用基板を示す一部破
断斜視図である。

【図２】（ａ）（ｂ）は本発明のプラズマ表示装置用基
板の製造方法を説明するための図である。

【図３】従来のプラズマ表示装置用基板を示す断面図で
ある。

【符号の説明】

１：基板１０：背面板１１：隔壁１２：電極１３：セル１４：電極１５：正面板２０：成形型２１：混合物

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者酒井久満京都府京都市山科区東野北井ノ上町５番地の22 京セラ株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】セラミックス又はガラスの粉体とバインダ
ーとの混合物を隔壁用の凹部を有する成形型中に充填し
て得た成形体と、セラミックス又はガラスからなる背面
板とを一体化して成るプラズマ表示装置用基板。
【請求項２】セラミックス又はガラスから成る背面板
に、セラミックス又はガラスからなる複数の隔壁を備え
て表示セルを構成し、上記表示セル１０００セル分の寸
法を４５列測定した時の測定値の最大差が０．０５ｍｍ
以下であることを特徴とするプラズマ表示装置用基板。
【請求項３】セラミックス又はガラスの粉体と溶媒及び
有機性添加物から成るバインダーとの混合物を、隔壁用
の凹部を有する成形型中に充填した後、これらの混合物
をセラミックス又はガラスからなる背面板に接合し一体
化する工程からなるプラズマ表示装置用基板の製造方
法。