JPH09128970A - 半導体メモリ装置及び半導体データ処理装置 - Google Patents
半導体メモリ装置及び半導体データ処理装置Info
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Abstract
の回路規模の増大問題を共に解決するメモリ構造・回路
を提供する。 【解決手段】 情報を記憶する複数のメモリセルがアレ
イ状に形成された2つ以上のメモリセルアレイ(第1メ
モリセルアレイMAFと第2メモリセルアレイMAS)
のビット線を階層スイッチHS1,HSB1(増幅機能
があってもよい)によって接続する。センスアンプSA
1は第1メモリセルアレイMAFのビット線に接続す
る。3つのメモリセルアレイ(第1メモリセルアレイと
第2メモリセルアレイと第3メモリセルアレイと記す)
を階層スイッチによって接続した場合、第3メモリセル
アレイのビット線にもセンスアンプSA1Tを接続して
もよい。
Description
に係わり、特に高速かつ低消費電力動作に適した半導体
メモリ装置及びそれを用いたマイクロコンピュータやマ
イクロプロセッサ等の半導体データ処理装置に関する。
sonal Digital Assistant)や携帯用パソコン等の携帯情
報機器においてはバッテリー寿命を延ばす上でなくては
ならないものである。また、ハイエンドマイクロコンピ
ュータにおいても、電力消費からくる発熱の問題はデバ
イスの信頼性を劣化するという意味で重要になってきて
いる。
例えば、1990 シンポジウムオン ブイ・エル・エ
ス・アイ サーキッツ ダイジェスト オブ テクニカ
ルペーパーズ、第53頁から第54頁(1990 Sy
mposium onVLSI Circuit, D
igest of Technical Papers
(1990) pp.53−54)(以下、従来技術
(1)という。)に記載されているように、電源電圧を
低くするという方式が知られている。
シンポジウム オン ロウ パワーエレクトロニクス
ズ ダイジェスト オブ テクニカル ペーパーズ、第
16頁から第17頁(1994 IEEE Sympo
sium on Low Power Electro
nics, Digest of Technical
Papers(1994) pp.16−17)(以
下、従来技術(2)という。)に記載されているよう
に、メモリを多層に階層化したアーキテクチャで、容量
の小さいメモリを複数置く方法がある。一般に記憶容量
の小さいメモリは、ビット線等の負荷抵抗及び負荷容量
を小さく構成できるため小さい消費電力で動作可能であ
る。従って、この従来例では、記憶容量の小さいメモリ
を分散して複数用いることでメモリの低消費電力化を図
っている。
やマイクロプロセッサ等の半導体データ処理装置に内蔵
されるメモリは大容量化の方向にある。その結果、内蔵
メモリのメモリアレイのビット線に接続されるメモリセ
ルの数が多くなり(負荷が大きくなり)、アクセスタイ
ムが増大する。従って、アクセスタイムを減少するため
には、メモリセルの電流を増大させる必要がある。メモ
リセルの電流を増大させることは、MOS(Metal-Oxide
-Semiconductor)トランジスタのしきい値電圧を下げる
ことで実現できる。
源電圧が1V等の低電圧領域においては、下記の問題点
があることが本願発明者によって明らかにされた。
い値電圧(Vth)が0.5V及び0.3Vについての
メモリセルの静的雑音余裕が示されている。図14に示
されるように、Vth=0.5Vで静的雑音余裕が0.
4V、Vth=0.3Vで静的雑音余裕が0.25Vで
ある。すなわち、しきい値電圧を0.2V減少させると
静的雑音余裕が38%減少する。そのため、信頼性の観
点からメモリセルを構成するMOSトランジスタのしき
い値電圧を下げることはできないという問題点がある。
モリを用いると、下記の問題点があることが本願発明者
によって明らかにされた。
ュメモリ(L2-cache)と2Kバイトの1次キャッシュメ
モリ(L1-cache)における、読み出し速度の電源電圧依
存性が示される。円グラフは、ビット線対に所定の電位
差が生じるまでの時間(センスアンプが起動可能までの
時間、以下、メモリセル時間という。)が全体の読み出
し時間に占める割合(メモリセル電流能力を表してい
る)を示している。
域においては、図15に示すように1次キャッシュメモ
リと2次キャッシュメモリのメモリセル時間が占める割
合は30%以下と少ない。しかし、電源電圧が1V等の
低電圧領域においては、図15に示すように2次キャッ
シュメモリのメモリセル時間が占める割合が50%を越
えてしまう。つまり、電源電圧が1V等の低電圧領域で
の読み出し時間を改善するためには、メモリセルの電流
を大きくする必要がある。しかし、前述したようにメモ
リセルを構成するMOSトランジスタのしきい値電圧を
下げることはできない。
作可能なメモリについて記載されているが、本願発明者
によって見いだされた前記課題の記載はない。
憶容量の小さいメモリを複数配置する方法では、個々の
メモリに対しデコーダ等の周辺回路が必要となり回路規
模が増大するといった問題が生ずる。また、メモリアレ
イ自身の消費電力は低減できるがメモリの複数配置に伴
って増加した周辺回路等の消費電力が増加するといった
問題が生じる。
費電力化、動作の高速化、回路規模の縮小といった課題
をともに解決することは困難である。
作する半導体メモリ装置及びそれを内蔵した半導体デー
タ処理装置を実現することにある。本発明の別の目的
は、低電圧化による速度低下の問題を解決するメモリ構
造・回路を提供することにある。
ときの回路規模の増大問題を解決するメモリ構造・回路
を提供することにある。
等のデータ処理装置の内蔵に適したキャッシュメモリを
提供することにある。
特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明かになるで
あろう。
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記
の通りである。
線(WS1等)と、第1のビット線対(BS1、BSB
1等)と、該複数のワード線と該第1のビット線対との
交点に配置される複数のメモリセル(M)とを含んで構
成される第1のメモリアレイ(MAS)と、複数のワー
ド線(WF1等)と、第2のビット線対(BF1、BF
B1等)と、該複数のワード線と該第2のビット線対と
の交点に配置される複数のメモリセル(M)とを含んで
構成される第2のメモリアレイ(MAF)と、前記第2
のビット線対に出力される信号を増幅するセンスアンプ
(SA1等)と、前記第1のビット線対と上記第2のビ
ット線対との接続を制御するスイッチ手段(HS1等)
とを有し、前記第1のビット線対に出力される信号は、
前記スイッチ手段及び前記第2のビット線対を介し前記
センスアンプに伝達されるよう構成される。
線(WS1等)と、第1のビット線対(BS1、BSB
1等)と、該複数のワード線と該第1のビット線対との
交点に配置された複数のメモリセル(M)とを含んで構
成される第1のメモリアレイ(MAS)と、複数のワー
ド線(WF1等)と、第2のビット線対(BF1、BF
B1等)と、該複数のワード線と該第2のビット線対と
の交点に配置された複数のメモリセル(M)とを含んで
構成される第2のメモリアレイ(MAF)とを有し、前
記第2のメモリアレイに含まれるワード線の数は、前記
記第1のメモリアレイに含まれるワード線の数に比べ少
ない本数により構成され、前記第1のビット線対と前記
第2のビット線対とは、制御信号(HSW1)によりそ
の導通状態が制御されるスイッチ手段(HS1等)を介
して接続されて構成される。
線からなる第1及び第2のワード線群と、複数のビット
線対からなる第1及び第2のビット線対群と、前記第1
のワード線群と前記第1のビット線対群との交点及び上
記第2のワード線群と上記第2のビット線対群との交点
にマトリクス状に配置された複数のメモリセル(M)
と、前記第1のビット線対群の各ビット線対(BS1、
BSB1等)と前記第2のビット線対群の各ビット線対
(BF1、BFB1等)とは第1のスイッチ手段(HS
1等)を介して接続される。
び第3のメモリセルアレイ(DAS、DAF、TAF)
と比較器(CMP1)とを有し、前記第1、第2及び第
3のメモリセルアレイはそれぞれ、複数のワード線と、
複数のビット線対と、該複数のワード線と該複数のビッ
ト線対との交点に配置された複数のメモリセルとを有
し、前記第1のメモリセルアレイの各ビット線対と前記
第2のメモリセルアレイの各ビット線対とはスイッチ手
段(DH)を介して接続され、前記比較器は、アドレス
信号と前記第3のメモリセルアレイの記憶内容とを比較
し、前記スイッチ手段は、前記比較器での比較結果が一
致しない場合に導通状態とされるて構成される。
及び第3のメモリセルアレイ(MAS、MAF、MA
T)を有し、前記第1及び第2及び第3のメモリセルア
レイはそれぞれ、複数のワード線(WS1、WF1、W
T1等)と、複数のビット線(BS1、BF1、BT1
等)と、該複数のワード線と該複数のビット線の交点に
配置された複数のメモリセル(M)を含んで構成され、
前記第1のメモリセルアレイのビット線と前記第2のメ
モリセルアレイのビット線とはそれぞれ第1のスイッチ
手段(HS1等)を介して接続され、前記第1のメモリ
セルアレイのビット線と前記第3のメモリセルアレイの
ビット線とはそれぞれ第2のスイッチ手段(HT1等)
を介して接続されて構成される。 (6)半導体メモリ装置は、複数の第1のワード線(W
S1等)と、第1のビット線対(BS1、BSB1等)
と、該複数のワード線と該第1のビット線対との交点に
配置される複数のメモリセル(M)とを含んで構成され
る第1のメモリアレイ(MAS)と、複数の第2のワー
ド線(WF1等)と、第2及び第3のビット線対(BF
1、BFB1、BF1T、BFB1T等)と、該複数の
ワード線と該第2及び第3のビット線対との交点に配置
され、上記第2及び第3のビット線対に接続される複数
のデュアルポートメモリセル(D)とを含んで構成され
る第2のメモリアレイ(MAF)と、前記第1のビット
線対と上記第2のビット線対との間に接続された第1の
スイッチ手段(HS1等)と、前記第1のビット線対と
前記第3のビット線対との間に接続された第2のスイッ
チ手段(HU1等)と、前記第2のビット線対の出力を
増幅する第1のセンスアンプ回路(SA1等)と、前記
第3のビット線対の出力を増幅する第2のセンスアンプ
回路(SA1U等)とを有する。
ワード線(WS1等)と、第1のビット線対(SS1、
SSB1等)と、該複数のワード線と該第1のビット線
対との交点に配置される複数のメモリセル(M)とを含
んで構成される第1のメモリアレイ(MAS)と、複数
の第2のワード線(WF1等)と、第2のビット線対
(SF1、SFB1等)と、該複数のワード線と該第2
のビット線対との交点に配置される複数のメモリセル
(M)とを含んで構成される第2のメモリアレイ(MA
F)と、前記第1のビット線対と第1のスイッチ手段
(HF1等)を介して接続され、上記第2のビット線対
と第2のスイッチ手段(HE1等)を介して接続される
第3のビット線対(BF1、BFB1等)とを有し、前
記第2のビット線対の長さは前記第1のビット線対の長
さに比べ短く構成される。
び第4のメモリセルアレイと比較器とを有し、上記第
1、第2、第3及び第4のメモリセルアレイはそれぞ
れ、複数のワード線と、複数のビット線対と、該複数の
ワード線と該複数のビット線対との交点に配置された複
数のメモリセルとを有し、上記第1のメモリセルアレイ
の各ビット線対と上記第2のメモリセルアレイの各ビッ
ト線対とは第1のスイッチ手段を介して接続され、上記
第3のメモリセルアレイの各ビット線対と上記第4のメ
モリセルアレイの各ビット線対とは第2のスイッチ手段
を介して接続され、アドレス信号と上記第2のメモリセ
ルアレイの記憶内容とを上記比較器で比較し、上記比較
器での比較結果が一致しない場合には上記第1及び第2
のスイッチ手段は導通状態とされるように構成される。
と、前記CPUにバスを介して接続される記憶装置とを
単一の半導体基板上に形成し、前記記憶装置は、同一ア
ドレスに複数のアドレスデータを格納する第1のタグア
レイと、同一アドレスに複数のデータを格納する第1の
データアレイと、同一アドレスに複数のアドレスデータ
を格納する第2のタグアレイと、同一アドレスに複数の
データを格納する第2のデータアレイと、前記バスから
入力されるアドレス信号と前記第1又は第2のタグアレ
イに格納されるアドレスデータとを比較する複数の比較
器とを有し、前記第1のタグアレイのビット線と前記第
2のタグアレイのビット線とは第1のスイッチ手段を介
して接続され、前記第1のデータアレイのビット線と前
記第2のデータアレイのビット線とは第2のスイッチ手
段を介して接続され、前記第1のタグアレイ及び第1の
データアレイのビット線にセンスアンプがそれぞれ接続
され、前記第1のデータアレイのビット線に接続される
センスアンプの出力は前記バスに接続されるように構成
される。
態にすることによって、大容量のメモリアレイとして使
用できる。スイッチ手段(HS1等)を遮断状態するこ
とによって、第1のメモリアレイ(MAF)のビット線
が切り放され、第2のメモリアレイ(MAS)のビット
線の負荷を軽くすることができるので、第2のメモリア
レイ(MAF)のメモリセルは第1のメモリアレイ(M
AS)のメモリセルより速く読み出せる。読み出す頻度
の高い情報を第2のメモリアレイ(MAF)中に格納し
ておけば、その情報を選択的に速く読み出せる。また、
ビット線の負荷が小さいので、第2のメモリアレイ(M
AF)内のメモリセルをアクセスするのに必要な消費電
力は、第1のメモリアレイ(MAS)内のメモリセルを
アクセスするときよりも小さく抑えることができる。ま
た、第2のメモリアレイにアクセス頻度の大きいデータ
を格納するようにすれば、アクセス頻度を考慮した実効
的な消費電力を大幅に低減できる。
まれるワード線の数を第1のメモリアレイ(MAS)に
含まれるワード線の数より少なくすると、第2のメモリ
アレイ(MAF)の記憶容量が小さくなる。第1のメモ
リアレイ(MAS)内の情報は第2のメモリアレイ
(MAF)内の情報を包含するようにすれば、第2のメ
モリアレイ(MAF)を第1のメモリアレイ(MAS)
のキャッシュメモリのように用いることができ、第1の
メモリアレイ (MAS)内の情報のうち使用頻度の高
い情報を第2のメモリアレイ(MAF)内に格納すれ
ば、実効的に高速化でき、消費電力も低減できる。
次キャッシュメモリのデータアレイに用い、第1のメモ
リアレイ(DAS)を2次キャッシュメモリのデータア
レイ又は主記憶として用い、第3のメモリアレイ(TA
F)を1次キャッシュメモリのタグアレイに用い、第3
のメモリアレイ(TAF)に所望のアドレスデータがな
い場合に、スイッチ手段を導通状態にすることによっ
て、2次キャッシュメモリ又は主記憶のデータを読み出
すことができる。
1のメモリアレイ(MAS)、第2のメモリアレイ(M
AF)の順に第2のスイッチ手段(HT1等)と第1の
スイッチ手段(HS1等)とで各メモリアレイを接続
し、第1のメモリアレイ(MAS)と第2のメモリアレ
イ(MAF)との間の第1のスイッチ手段(HS1等)
を遮断状態にすることにより、第2のメモリアレイ(M
AF)からの読み出しは、第1のメモリアレイ(MA
S)、第3のメモリアレイ(MAT)からの読み出しよ
りも速く読み出せる。また、第3のメモリアレイと第1
のメモリアレイとの間の第2のスイッチ手段(HT1
等)を遮断状態にし、第1のメモリアレイ(MAS)と
第2のメモリアレイ(MAF)との間の第1のスイッチ
手段(HS1等)を導通状態にすることにより、 第1
のメモリアレイ(MAS)は、第3のメモリアレイ(M
AT)からの読み出しよりも速く読み出せる。アクセス
頻度の高い情報を、第2のメモリアレイ(MAF)や第
1のメモリアレイ(MAS)に格納しておけば高速な読
み出しが実現できる。消費電力についても、第2のメモ
リアレイ(MAF)、第1のメモリアレイ(MAS)、
第3のメモリアレイ(MAT)の順番で、第2のメモリ
アレイ(MAF)へのアクセスが一番小さくなる、 (5)第1のメモリアレイ(MAS)内の情報に、第2
のメモリアレイ(MAF)内の情報と第3のメモリアレ
イ(MAT)内の情報の包含関係を持たせ、第3のメモ
リアレイ(MAT)にセンスアンプ(SA1T)を接続
すると、デュアルポート化できる。シングルポートのメ
モリセルMを用いて高確率にデュアルポートアクセスで
きる。これはまたキャッシュメモリとして用いることが
でき、デュアルポートキャッシュメモリも実現できる。
第2のメモリアレイ(MAF)のビット線は第1のメモ
リアレイ(MAS)のビット線と分離でき、第3のメモ
リアレイ(MAT)のビット線は第1のメモリアレイ
(MAS)のビット線と分離できるので、消費電力につ
いても低減でき、読み出し速度に対しても、第2のメモ
リアレイ(MAF)および第3のメモリアレイ(MA
T)へのアクセスは高速に行える。さらにこのデュアル
ポートキャッシュメモリの二つのポートをインストラク
ションパスとデータパスに接続すれば、命令キャッシュ
とデータキャッシュを兼ね備えたキャッシュメモリが実
現でき、実効的にセパレートキャッシュと同様のパフォ
ーマンスをユニファイキャッシュで実現できる。
ュアルポートメモリの第2のメモリアレイ(MAF)と
を第1のスイッチ手段(HS1等)と第2のスイッチ手
段(HU1等)で接続する。第2のメモリアレイ(MA
F)をデュアルポート化しているので、メモリアクセス
の局所性より、ほとんどのアクセスはデュアルポート構
造になっている第2のメモリアレイ(MAF)へのアク
セスになり、第2のメモリアレイ(MAF)の容量は小
さく抑えることができるため、多ポートメモリセルによ
る面積増加を抑えることができる。
2のメモリアレイ(MAF)を共通のビット線にそれぞ
れ、第1のスイッチ手段(HF1)と第2のスイッチ手
段(HE1)によって接続され、第2のメモリアレイ側
の共通ビット線にセンスアンプ(SA1)が接続される
ため、第2のスイッチ手段を閉鎖すれば、第2のメモリ
アレイのビット線の負荷がなくなるので、第1のメモリ
アレイの読み出しが速くなる。
1のメモリアレイ(TAS)をタグアレイに用い、第4
のメモリアレイ(DAF)と第3のメモリアレイ(DA
S)をデータアレイに用いれば、第2のメモリアレイ
(TAF)、第4のメモリアレイ(DAF)を第1メモ
リアレイ(TAS)、第3のメモリアレイ(DAS)の
キャッシュメモリとして動作させることができ、1次キ
ャッシュメモリ(TAF、DAF)と2次キャッシュメ
モリ(TAS、DAS)を備えたキャッシュメモリが実
現できる。1組のタグアレイとデータアレイを用いれ
ば、ダイレクトマップ方式のキャッシュメモリが実現で
き、複数組のタグアレイとデータアレイを用いれば、セ
ット・アソシアティブ方式のキャッシュメモリが実現で
きる。
的な実施例を説明する。
施例であるメモリ装置の構成を示す。図1に示したメモ
リ装置10は、単結晶シリコンなどで形成された単一の
半導体基板上に形成されているものでり、特に制限され
ないが、樹脂(プラスチック)又はセラミックを用いるこ
とにより単一のパッケージに封入されるものである。な
お、第2から第10の実施例のメモリ装置も、第1の実
施例同様に単結晶シリコンなどで形成された単一の半導
体基板上に形成され、樹脂(プラスチック)又はセラミッ
クを用いることにより単一のパッケージに封入される。
樹脂封止するためには、消費電力が1W以下が望ましい
が、最大でも1.5W以下である必要がある。樹脂封止
が可能であれば、製造コスト及び販売価格を低くするこ
とができる。
複数のメモリセルがマトリックス状に配置されたメモリ
セルアレイである。特に制限されないが、本実施例のメ
モリセルMはいわゆるスタテイック型のメモリセルであ
り入出力が交差接続された一対のインバータ回路と後述
するワード線の選択状態によりインバータ回路の出力を
後述するビット線と選択的に接続する一対のスイッチ手
段とから構成されているものである。メモリセルMを構
成するインバータ回路は駆動用MISトランジスタと高
抵抗多結晶シリコンまたはMIS(Metal-Insulator-Sem
iconductor)トランジスタにより構成された負荷素子に
より構成し、スイッチ手段はMISトランジスタにより
構成された転送トランジスタにより構成することができ
る。CPU(Central Processing Unit)等と同一の半導
体基板上に形成するいわゆるオンチップのメモリ装置の
場合には、他の論理回路等を構成するトランジスタとの
製造プロセスの整合性から半導体基板に形成したCMO
Sトランジスタによりメモリセルを構成するいわゆる完
全CMOS型のメモリセルを用いることが好適である。
また、CPU等とは別のチップ上にメモリ機能に必要な
回路のみで構成されるいわゆるオフチップのメモリ装置
を構成する場合には、集積度の観点から、高抵抗を負荷
素子に用いるメモリセルや多結晶シリコンにより形成し
たPMOS(P-channel MOS)を負荷素子に用いるメモリ
セルが好適である。さらにまた、電源電圧が1V等の低
電圧では、しきい値電圧によるハイレベルの電位の低下
を防ぐためいわゆる完全CMOS型のメモリセルを用い
ることが好適である。
Fqはワード線であり、オフチップのメモリ装置の場合
は、メモリ装置の外部から図示しないアドレス入力端子
に印加されたアドレス信号ASがデコーダ回路DCによ
りデコードされ、アドレス信号ASに対応したワード線
(WS1からWFqの中の一本)が選択状態に駆動され
るよう構成されている。オンチップのメモリ装置の場合
は、チップ内のアドレスバスに印加されたアドレス信号
ASがデコーダ回路DCに入力される。
BFBnはビット線であり、同一のメモリセルに一対の
ビット線が接続されている。メモリアレイMASを構成
するビット線(BS1からBSBn)は後述する階層ス
イッチHSB1からHSBnを介して、メモリアレイM
AFを構成するビット線(BF1からBFBn)に選択
的に接続される。
からBSBn及びBF1からBFBnにはそれぞれ各ビ
ット線対を電源電圧レベルに充電するプリチャージ手段
と各ビット線対を短絡してその電位差を縮小するイコラ
イズ手段とが接続され、情報の読み出し前に各ビット線
対の電位を揃え、読み出し動作を高速化できるように構
成されている。
ビット)を同時に読み出す構成としているため、各ビッ
ト線対とセンスアンプとの接続を制御するカラム選択ス
イッチは図示していない。これに限らず、複数のビット
線対によってセンスアンプを共有する場合には、複数の
ビット線対を共通データ線対により共通のセンスアンプ
に接続し、各ビット線対の接続をカラム選択スイッチに
よって選択するよう構成することも可能である。 ま
た、SA1からSAnは一対の入力端子が一対のビット
線に接続されるセンスアンプである。本実施例において
は、選択されたワード線に接続されたメモリセル全てか
らデータを読み出す形式をとるため、センスアンプは各
ビット線対ごとに配置されている。メモリセルに記憶さ
れたデータを読み出す場合には、選択されたワード線に
接続されたメモリセルのデータがビット線対を通してセ
ンスアンプに送られ、センスアンプがこのデータを増幅
し出力する。オフチップのメモリ装置の場合は、センス
アンプの出力は直接メモリ装置の外に他のセンスアンプ
又は出力バッファ回路及び出力端子を介して送出され
る。オンチップのメモリ装置の場合は、センスアンプの
出力はバッファ回路等を介してチップ内のデータバスに
送出される。これらセンスアンプは、その動作による消
費電力を低減させるためセンスアンプ起動信号SAによ
りその活性・非活性状態が制御されている。
らHSBnは階層スイッチであり、メモリアレイMAS
を構成するビット線BS1からBSBnとメモリアレイ
MAFを構成するビット線BF1からBFBnとの間に
配置され、それぞれのビット線を選択的に接続するもの
である。この階層スイッチは例えば、MISトランジス
タを用いそのソース電極又はドレイン電極の一方をメモ
リアレイMAS側のビット線に接続し、ソース電極又は
ドレイン電極の他方をメモリアレイMAF側のビット線
に接続し、制御電極であるゲート電極に後述する制御信
号である階層指定信号HSW1が印加されるように構成
する。また、階層指定信号HSW1はメモリアレイMA
S側のビット線とメモリアレイMAF側のビット線との
接続を制御する信号である。特に制限されないが、この
階層指定信号HSW1はデコーダ回路DCの出力に基づ
いて制御回路CCから供給される。
層スイッチが導通状態とされると、階層スイッチHS1
からHSnおよびHSB1からHSBnはオン状態にな
り、ビット線BS1からBSnはビット線BF1からB
Fnに接続され、ビット線BSB1からBSBnはビッ
ト線BFB1からBFBnに接続され、メモリセルアレ
イMASとメモリセルアレイMAFが接続される。階層
指定信号HSW1がネゲートされ、各階層スイッチが非
導通状態とされると、階層スイッチHS1からHSnお
よびHSB1からHSBnはオフ状態になり、メモリセ
ルアレイMASとメモリセルアレイMAFは切り放され
る。メモリセルアレイMAFのビット線BF1、BFB
1からBFn、BFBnはセンスアンプSA1からSA
nに接続されている。
て、図1の実施例メモリ装置10の動作を詳しく記述す
る。
情報を読み出すときのタイミングチャートを示してい
る。メモリアレイMAFの情報を読み出す場合には、メ
モリセルMAS内の情報を参照する必要はないため、階
層指定信号HSW1は始めからネゲートされ、各階層ス
イッチHS1からHSBn1は非導通状態とされる。な
お、本実施例においては、階層指定信号HSW1は論理
“0”レベルにてネゲートとされる。この状態で、所定
のアドレス信号に従いメモリアレイMAF内のワード線
WF1からWFqから一つのワード線が選択される(図
2ではワード線WF1)。従って、メモリアレイMAF
側に所望のデータが存在しない場合にのみメモリアレイ
MAS側が選択されるため、消費電力を削減することが
可能となる。なお、本実施例においては、MAF側のワ
ード線とMAS側のワード線とは同時に選択されないよ
う構成しているが、後述するようにMAF側のワード線
とMAS側のワード線とを同時に選択するよう構成する
こともできる。同時に選択するような構成の場合には、
MAF側に所望のデータが存在しない場合でも、既にM
AS側のワード線が選択されているため、高速な読み出
し動作を達成することができる。
ルMは上述した転送トランジスタが導通状態となり記憶
された情報をビット線対に出力する。ビット線BS1か
らBSBn及びBF1からBFBnは読み出し期間の前
に予め電源電圧であるハイレベルにプリチャージされて
いるため、ワード線により選択されていないメモリセル
Mに接続されたビット線(メモリアレイMASのビット
線)の電位は電源電圧のまま保たれている(図2におい
てBS1、BSB1を例示)。
線(例えば、BF1、BFB1)の電位はワード線WF
1が選択された後に、メモリセルMに記憶された情報に
応じて一方はハイレベルのままとされ他方は徐々にロウ
レベルに向け低下する。(図2ではBF1、BFB
1)。次にセンスアンプ起動信号SAをアサートし増幅
動作可能な活性状態にし、センスアンプSA1からSA
nを起動すると、前記メモリセル情報(図2(a)で
は、ビット線BF1とBFB1の電位差)が増幅されデ
ータ出力D1からDnに出力される。
ら情報を読み出す場合のタイミングチャートである。こ
の場合、階層指定信号HSW1はアサートされ(本実施
例では論理“1”レベル)ている。この状態で所定のワ
ード線(ワード線WS1からWSqでメモリセルアレイ
MAS内の一行)が選択され、選択した行のメモリセル
情報がビット線BS1、BSB1からBSn、BSBn
に読み出される(図2ではBS1、BSB1を例示)。
なお、メモリセルアレイMAS内のメモリセルMを選択
する場合には、ワード線WS1は図に示すように、メモ
リセルアレイMAFのメモリセルMを選択する場合に比
較してワード線を選択状態とする時間を長くすることに
よって、比較的ビット線の駆動に時間のかかるメモリセ
ルアレイMASからの読み出し動作を確実に行えるよう
構成することができる。階層スイッチHS1からHSn
およびHSB1からHSBnがオン状態になっているの
で、前記メモリセル情報はビット線BF1、BFB1か
らBFn、BFBnに反映される。センスアンプ起動信
号SAがアサートされ、センスアンプSA1からSAn
を起動することにより、前記メモリセル情報(図2
(b)ではビット線BS1とBSB1の電位差及びビッ
ト線BF1とBFB1の電位差)が増幅されデータ出力
D1からDnに出力される。
み動作については、上述した読み出し動作を参酌するこ
とにより容易に理解できるため、その説明を省略する。
また、書き込みのための、バッファ或いはライトアンプ
はビット線対BF1接続されるが図が複雑になるため省
略されている。
等のタイミング信号であるクロック信号に同期して、ア
ドレス入力、データ入出力及び制御信号の入力が行われ
る。
出す際に、メモリセルにかかるビット線の負荷はビット
線BF1からBFnおよびBFB1からBFBnとな
る。一方、メモリセルアレイMAS内のデータを読み出
す際に、メモリセルにかかるビット線の負荷はビット線
BS1からBSnおよびBSB1からBSBnとビット
線BF1からBFnおよびBFB1からBFBnの和と
なる。したがって、メモリセルアレイMAF内のデータ
を読み出す際に、メモリセルにかかるビット線の負荷
は、メモリセルアレイMAS内のデータを読み出す際
に、メモリセルにかかるビット線の負荷よりも小さくな
るので、メモリセルアレイMAF内のデータを読み出す
速度をメモリセルアレイMAS内のデータを読み出す速
度よりも速くすることができる。以下、本実施による効
果を従来のメモリ装置と比較して説明する。
念図である。メモリ装置30のメモリセルアレイMA1
内のメモリセルの数は図1のメモリ装置10のメモリセ
ルの数と同じ数であるとする。従って、ワード線WL1
からWLrまではr=p+q行となる。階層スイッチH
S1からHSnおよびHSB1からHSBnがないこと
を除くと、他は図1のメモリ装置10と同じ構造とな
る。機能的にも図1のメモリ装置10の階層指定信号H
SW1をアサートした時と同じになる。したがって、メ
モリ装置30のメモリセルアレイMA1内のデータを読
み出す際に、メモリセルにかかるビット線の負荷はビッ
ト線BL1からBLnおよびBLB1からBLBnとな
り、メモリ装置10のメモリアレイMAS内のデータを
読み出す際にメモリセルにかかるビット線の負荷とほぼ
同一となり、読み出しに時間がかかる。一般に、メモリ
セルからのデータ読み出し速度は、ビット線の負荷すな
わち抵抗と容量に影響される。従って、図1ではメモリ
セルアレイMAFがq行、メモリセルアレイMASがp
行なので、メモリセルアレイMAF内のデータの読み出
しは、メモリセルアレイMASのデータの読み出しより
(p+q)/q倍速くできる。例えば、メモリセルアレ
イMAFがq=16行、メモリセルアレイMASがp=
128行とすると、(p+q)/q=9倍速く読み出せ
る。これにより、従来ビット線負荷の影響により高速か
つ低消費電力の達成できなかった比較的大容量のメモリ
であっても、その一部分に高速かつ低消費電力のメモリ
を包含することができる。
のメモリ装置10を用いることにより、メモリセルの一
部を他のメモリセルよりも速く読み出せるように構成で
きることを用いて、読み出す頻度の高い情報を高速な読
み出しが可能なメモリセルアレイ内に格納しておけば、
その情報を選択的に速く読み出すことが可能となる。た
とえば1.0Vなどの低電源電圧で動作させる場合で
も、MOSトランジスタを高しきい値電圧のまま使用し
ても高速な読み出しが実現できる。
モリセルをアクセスするのに必要な消費電力はビット線
対の充放電により影響をうけ、ビット線の容量とアクセ
ス頻度によって決定されるため、メモリセルアレイMA
S内のメモリセルをアクセスするよりも小さく抑えるこ
とができるので、アクセス頻度を考慮した実効的な消費
電力を大幅に低減できる。この階層化に要する回路は階
層スイッチ等のごく僅かであり、回路規模の増大は僅か
である。
置10において、読み出す頻度の高い情報をメモリセル
アレイMAF中に格納しておけば、その情報を選択的に
速く読み出すことができる。この効果を利用すると、メ
モリセルアレイMAFをメモリセルアレイMASのキャ
ッシュメモリのように用いることができる。
イMASのキャッシュメモリのように用いる場合は、p
>qとするのが望ましい。すなわち、メモリセルアレイ
MAFのワード線数はメモリセルアレイMASのワード
線よりも少なくする。従って、メモリセルアレイMAF
のビット線BF1、BFB1からBFn、BFBnはメ
モリセルアレイMASのビット線BS1、BSB1から
BSn、BSBnより短くなる。すなわち、ビット線の
負荷をより小さくできるので、高速読み出し及び低消費
電力化が可能となる。
実施例に係るメモリ装置を示す。本実施例は第1の実施
例のメモリ装置をのメモリセルアレイMAFをメモリセ
ルアレイMASのキャッシュメモリに適用した実施例で
ある。本実施例において第1の実施例と重複する説明は
省略する。第2の実施例のメモリ装置40もオンチップ
のメモリ装置及びオフチップのメモリ装置として用いら
れる。
はメモリセルアレイ、Mはメモリセル、MP1、MP
2、MP3、MP4はPMOSトランジスタ、MN1、
MN2、MN3、MN4はNMOS(N-channel MOS)ト
ランジスタ、WS1からWSpおよびWF1からWFq
はワード線、SA1はセンスアンプ回路、SAはセンス
アンプ起動信号、EQ1はイコライズ回路を示してい
る。階層スイッチHSは、PMOSトランジスタ(MP
1など)とNMOSトランジスタ(MN1など)とを用
いたCMOSトランスファーゲートにより構成されてい
る。また、メモリセルアレイMAFを構成するビット線
(BF1、BFB1等)とセンスアンプ(SA1)との
間にその接続を制御するカラム選択スイッチCSWが配
置される。カラム選択スイッチCSWは、NMOSトラ
ンジスタMN3、MN4及びPMOSトランジスタMP
3、MP4で構成され、カラム制御信号(Yスイッチ信
号)YSWにより制御される。また、センスアンプSA
1は、一対のCMOSインバータを交差接続したラッチ
型により構成され、NMOSトランジスタのソース領域
と接地電位との間に定電流源を構成するトランジスタが
配置されセンスアンプ起動信号SAにより制御されてい
る。また、センスアンプSA1の一対の入力にはイコラ
イズ回路EQ1が接続される。イコライズ回路EQ1は
センスアンプ起動信号SAによりセンスアンプSA1の
両入力をPMOSトランジスタで短絡し電位差を縮小す
る回路と、両入力の電位をPMOSトランジスタで電源
電圧にプリチャージする回路とで構成されている。
セルアレイMAS内の情報とメモリセルアレイMAF内
の情報との関連は特に限定していないが、本実施例のメ
モリ装置40においては、メモリセルアレイMAFはキ
ャッシュメモリとしての構成を前提としているため、メ
モリセルアレイMAS内の情報はメモリセルアレイMA
F内の情報を包含しているものとする。すなわち、メモ
リアレイMAFに記憶されている情報は、メモリセルア
レイMASにも同様に記憶されている。メモリセルアレ
イMAFをメモリセルアレイMASのキャッシュメモリ
として用いるため、p>qとする。すなわち、メモリセ
ルアレイMAFのワード線数はメモリセルアレイMAS
のワード線よりも少なくする。従って、メモリセルアレ
イMAFのビット線BF1、BFB1からBFn、BF
BnはメモリセルアレイMASのビット線BS1、BS
B1からBSn、BSBnより短くする。
略は以下の通りである。情報を読み出すときは、初めに
メモリセルアレイMAF内にその情報があるか否かを図
示していないタグアレイの出力とアドレス信号とを比較
器によって比較して判断し、制御信号HIT0によって
制御回路HCCに知らせる。メモリセルアレイMAF内
にその情報があれば(比較結果が一致した場合)、アド
レス信号ASFをデコーダDCFによってデコードし、
ワード線WF1からWFqの一行をアサートして読み出
す。メモリセルアレイMAF内にその情報がなければ
(比較結果が不一致の場合)、制御回路HCCが階層指
定信号HSW1をアサート(選択状態)し、アドレス信
号ASSをデコーダDCSによってデコードし、ワード
線WS1からWSpの一行をアサートして読み出し、メ
モリセルアレイMAF内にその情報を書き込む。一方、
情報を書き込むときには、階層指定信号HSW1をアサ
ートし、ワード線WF1からWFqの一行と、ワード線
WS1からWSpの各一行をアサートして、メモリセル
アレイMAF内とメモリセルアレイMAS内に同一情報
を同時に書き込むいわゆるライトスルー形式とすること
ができる。一般的に、メインメモリ部(主記憶部)や2
次キャッシュメモリ部(図4のメモリセルアレイMAS
に相当)が1次キャッシュメモリ部(図4のメモリセル
アレイMAF)と別のチップに形成されており、2次キ
ャッシュメモリ部の書き込み時間が1次キャッシュメモ
リ部の書き込み時間に比べ著しく大きく、同時に書き込
むことが1次キャッシュメモリ部の書き込み時間をも増
大させることになるが、本発明のように、メモリセルア
レイMAFとMASとを同一チップ上に形成すれば、そ
の書き込み時間の差は比較的小さいため、上述したよう
にいわゆるライトスルー形式の書き込みを行うことが可
能となる。
トを用いて詳しく記述する。
から読み出すときのタイミングチャートを示してある。
まず制御回路HCCが階層指定信号HSW1をネゲー
ト”0”にする。これによりメモリアレイMASを構成
するビット線BS1、BSB1がメモリアレイMAFを
構成するビット線BF1、BFB1と切り放される。こ
の状態で、デコーダDCFがワード線WF1からWFq
(図5(a)ではワード線WF1)をアサートし、メモ
リセルMの情報をビット線BF1、BFB1に読み出
す。予め定めた所定期間経過後、ビット線BF1、BF
B1が0.1V程度開いたところで、制御回路PCCが
センスアンプ起動信号SAをアサート(”1”)して出
力DB1、DBB1を得る。この時同時に制御回路PC
CがYスイッチ信号YSWをネゲート(”1”)してい
るので、ビット線BF1、BFB1が切り離され、セン
スアンプによってビット線BF1、BFB1の電位が増
幅されず低電力かつ高速な動作が実現できる。
から読み出すときのタイミングチャートを示している。
まず、制御回路HCCが階層指定信号HSW1を”1”
にする。これによりビット線BS1、BSB1がビット
線BF1、BFB1と接続される。この状態で、デコー
ド回路DCSがワード線WS1からWSq(図5(a)
ではワード線WS1)をアサートし、メモリセルMの情
報をビット線BS1、BSB1、およびビット線BF
1、BFB1に読み出す。予め定められた所定期間経過
後、ビット線BF1、BFB1が0.1V程度開いたと
ころで、制御回路PCCがYスイッチ信号YSWをアサ
ート(”0”)したままで、センスアンプ起動信号SA
をアサート(”1”)する。この時同時に制御回路HC
Cが階層指定信号HSW1を”0”にしているので、セ
ンスアンプによってビット線BS1、BSB1の電位が
増幅されず、低電力かつ高速になる。Yスイッチ信号Y
SWはアサートされたままであるので、メモリセルアレ
イMASから読み出した内容はビット線BF1、BFB
1に増幅されている。したがって、メモリセルアレイM
AF内への書き込みは、ワード線WF1からWFqの内
一つをアサート(図5(b)ではワード線WF1)すれ
ば実行することができる。メモリセルMが低振幅のビッ
ト線で書き込めるのであれば、Yスイッチ信号YSWを
ネゲート(”1”)してから、センスアンプ起動信号S
Aをアサート(”1”)することにより、ビット線の負
荷がなくなるため、低消費電力化及び高速化を図ること
ができる。
出されたデータはメモリアレイMAFに書き込むように
構成しているため、メモリセルアレイMAS内の情報の
うち使用頻度の高い情報はメモリセルアレイMAF内に
も記憶されていることになる。従って、メモリセルアレ
イMAFへのアクセスだけで高速に読み出すことができ
る確率が多くなり、その分高速かつ低消費電力な読み出
し動作が可能となる。
メモリセルアレイMAFへの書き込みはワード線WF1
をアサートして行ったが、メモリセルアレイMAF内で
使用頻度の一番小さい行へ書き込むように構成すれば、
読み出したいデータがメモリアレイMAFに存在する確
率(ヒット率)がより高くなり、更なる高速化、低消費
電力化が達成できる。
は1次キャッシュメモリとして、メモリセルアレイMA
Sは2次キャッシュメモリ或いは主記憶として用いるこ
とができる。オンチップのキャッシュメモリの場合に
は、一般的に、高速動作と低消費電力の要求からメモリ
容量としては32Kバイト程度が限界である。しかし、
本実施例を採用することにより、1次キャッシュメモリ
のメモリアレイMAFのメモリ容量を32Kバイト以下
にしておけば、高速・低消費電力であって、かつ、25
6Kから1Mバイト等(論理回路の規模及び微細化技術
に依存するが、1Mバイト以上も可能である)の容量の
大きいメモリ装置(キャッシュメモリ、或いはキャッシ
ュメモリと主記憶)を実現することが可能となる。ま
た、いわゆるオフチップのメモリ装置としても、数Mビ
ットの大きな記憶容量を有し、かつ、その一部に高速か
つ低消費電力のメモリを有する半導体メモリを実現する
ことが可能となる。
施例に係るメモリ装置であり、図4の実施例のメモリ装
置にさらにタグアレイを装備した、キャッシュメモリと
しての実施例である。タグアレイにはデータ部の各行の
データに対応するアドレス信号の一部が記憶されてお
り、その記憶内容をアドレス信号と比較することにより
ヒットしたか否かの判断を行うためのものである。図6
では簡単のためインデックスにより1つ(1行)のタグ
部及びデータ部が選択されるよう構成されたダイレクト
マップ構造を用いた構成を示す。後述するように、セッ
ト・アソシアティブ構造やフル・アソシアティブ構造の
場合でも同様の効果が得られることは明かである。図6
のメモリ装置60においてもメモリセルアレイや階層ス
イッチ等の構成は第1及び第2の実施例のメモリ装置と
同様であり重複する説明は省略する。第3の実施例のメ
モリ装置60もオンチップのメモリ装置及びオフチップ
のメモリ装置として用いられる。
F、DAS、DAFはメモリセルアレイ、TH、DHは
階層スイッチ、TSA、DSAはセンスアンプ、CMP
1は23ビット比較器、100、101、102、10
3はデコーダ、105、106、107、108、10
9、110はビット線を示している。タグ部のTAS、
TAF、階層スイッチTH、センスアンプTSA及びデ
ータ部のDAS、DAF、階層スイッチDH、センスア
ンプDSAはそれぞれ、図1及び図4のメモリ装置に示
すMAS、MAF、HS1〜HSBn、SA1〜SAn
に対応するものである。
を構成しており、メモリセルアレイDASとDAFでデ
ータ部を構成している。メモリセルアレイTASは20
ビットのデータ幅、メモリセルアレイTAFはメモリア
レイTASより多い23ビットのデータ幅を持ってい
る。これは、メモリセルアレイTAF及びDAFの方が
メモリセルアレイTAS及びDASより記憶容量が小さ
く、必要なインデックスの数が小さい(メモリセルアレ
イTAF及びDAFのインデックスは8ビットで、メモ
リセルアレイTAS及びDASのインデックスは5ビッ
ト)ため、アドレスデータ幅に差が生じるものである。
したがって、ビット線105は20ビット分になる。”
0”レベルに固定したビット線111と合わせて階層ス
イッチTHに接続され、ビット線106は23ビットに
なる。従って、残りの3ビット分は、後述するように、
階層指定信号HSW3がアサートされている場合には、
比較器CMP1にも同様の”0”レベルに固定した信号
が入力され、実質的に比較動作を行わないような構成と
なっている。
の構成を模式的に示してある。オンチップのメモリ装置
である場合は、アドレスはチップ内のCPU等から供給
される。オフチップのメモリ装置の場合は、アドレスは
チップ外部から供給される。アドレスA0からA31は
32ビットで、タグ部とデータ部から一行を選択するた
めのアドレスであるインデックスは、メモリセルアレイ
TAS、DASに対してはアドレスA4からA11の8
ビット(256行)、メモリセルアレイTAF、DAF
に対してはアドレスA4からA8の5ビット(32
行)、ラインサイズは128ビット(16バイト)であ
る。したがって、メモリセルアレイTAF、DAFはメ
モリセルアレイTAS、DASの1/8のビット数とな
る。
層指定信号HSW3がネゲートされている場合には、ア
ドレスA9からA11までの3ビットを選択出力する。
また、階層指定信号HSW3がアサートされている場合
には、3ビットの”0”を出力する。このセレクタの出
力と、アドレスA12からA31までの20ビットを合
わせて、比較器CMP1に入力する。
セルアレイTAS、DASのキャッシュメモリとして動
作させる。図6のメモリ装置60は1次キャッシュメモ
リ(メモリセルアレイTAF、DAF)と2次キャッシ
ュメモリ(メモリセルアレイTAS、DAS)を備えた
キャッシュメモリに類似した構成となっている。制御回
路CCNTRによって、1次キャッシュメモリと2次キ
ャッシュメモリとが制御される。
ャートを用いて詳しく説明する。
ス信号MACCSが入力されると、階層指定信号HSW
3は予めネゲート状態(階層スイッチTHとDHはオフ
状態)とされる。次に制御信号112、113に基づい
て、デコーダ100、102でアドレスA4からA11
をデコードし、メモリセルアレイTASとDASの中の
一行を選択する。同時に、制御信号114、115に基
づいて、デコーダ101、103でアドレスA4からA
8をデコードしメモリセルアレイTAFとDAFの中の
一行を選択する。選択されたワード線に対応して、ビッ
ト線107、110に選択されたメモリセルの情報が読
み出されると制御信号116、117に基づいて、セン
スアンプTSA、DSAを起動し、上記情報を増幅す
る。次に、センスアンプTSAで読み出されたタブグ部
のデータとアドレスA9からA31を比較器CMP1で
比較する。この比較結果が一致していると、制御信号H
ITがアサートされ、ここで読み出し動作が終了する。
この場合には、1次キャッシュに相当するメモリアレイ
DAFに必要なデータが存在しているため、高速なデー
タの読み出しが可能となる。
場合には、制御信号116、117はセンスアンプTS
A、DSAをネゲートし、デコーダ101、103の出
力をネゲートしてメモリセルアレイTAF、DAFを非
動作状態にする。特に制限されないが、センスアンプT
SA、DSA及びデコーダ101、103の制御は比較
器CMP1の出力である制御信号HITに基づいた制御
信号114、115、116、117により行れる。次
に制御回路CCNTRは階層指定信号HSW3をアサー
トし、デコーダ100、102で選択されたメモリセル
アレイTAS、DAS内のメモリセルの情報がビット線
105、108に読み出す。階層スイッチTH、DHが
オンで状態なので、この情報はビット線106、10
9、107、110に反映される。この時、ビット線1
05、108の容量は、ビット線106、109、10
7、110の容量よりも十分大きいので、容量分割によ
りビット線105、108の情報はそのままビット線1
06、109、107、110に反映される。従って、
ビット線106、109、107、110を予めイコラ
イズする必要がなく、イコライズ動作に必要な時間を省
略できる。もちろん、ビット線105、108の容量が
十分大きくない場合や、ビット線106、109、10
7、110の充放電を余裕をもって行う必要のある場合
などはビット線106、109、107、110を予め
イコライズするよう構成することもできる。
プTSA、DSAを起動し、最後にセンスアンプTSA
で読み出されたタグ部のデータとアドレスA12からA
31を比較器CMP1で比較する。この比較結果が一致
しない場合、ミスとして処理する(制御信号HITがネ
ゲートされる)。比較結果が一致した場合、制御信号1
14、115はデコーダ101、103の出力を再度ア
サートし、メモリセルアレイTAF、DAFに、読み出
されたメモリセルアレイTAS、DASの内容を書き込
む。
2、113に基づいて最初にデコーダ101、103の
出力と、デコーダ100、102の出力を同時にアサー
トしているが、デコーダ101、103の出力だけを最
初にアサートし、最初の比較器CMP1での比較で不一
致検出が出力された(制御信号HITがネゲートされ
た)後にデコーダ100、102の出力をアサートして
もよい。この場合デコーダ100、102の制御は比較
器CMP1の出力である制御信号HITを利用すること
により行うことができる。デコーダ101、103の出
力とデコーダ100、102の出力を同時にアサートす
る構成によれば、比較結果が不一致で合った場合でも既
にデコーダ100、102の出力がアサートされている
ため高速な読み出しが可能である。同時にアサートしな
い構成によれば、不一致の場合にのみデコーダ100、
102がアサートされるため消費電力の低減を図ること
ができる。また、いずれの構成を採用するかは、たとえ
ば本発明の半導体メモリ装置を用いるシステムの動作速
度に応じて変えればよく、CPUが高速動作を行う状態
(モード)においては同時にアサートするようにし、低
速動作を行う状態(モード)においては同時にアサート
しないようにし、システムの高速動作の要求と低消費電
力化を同時に実現することができる。
GアレイTAFとのビット線を階層スイッチTHで接続
しない構成にしてもよい。すなわち、タグアレイTAS
用のセンスアンプと比較器を別に有するような構成にし
てもよい。
置を2ウェイ・セット・アソシアティブ構造にした場合
の実施例である第4の実施例のメモリ装置を示してい
る。図8では説明の便宜上キャッシュメモリのデータ部
の構成を表している。2ウェイ・セット・アソシアティ
ブ構造では、単一のインデックスにより2つのタグとデ
ータを選択し、2つのタグを平行して比較し、一致した
タグに対応するデータが出力されるよう構成されてい
る。図示しないタグ部等の構成は図6に示したタグ部等
が2組づつ配置された構成となる。なお、本実施例にお
いても、上述の他の実施例と同様な部分については説明
を省略する。第4の実施例のメモリ装置80もオンチッ
プのメモリ装置及びオフチップのメモリ装置として用い
られる。
1、BSB11およびBF11、BFB11に接続され
ているメモリセルがウェイ1(Way1)で、ビット線
BS12、BSB12およびBF12、BFB12に接
続されているメモリセルがウェイ2(Way2)であ
る。ウェイ1を構成するビット線対とウェイ2を構成す
るビット線対は、センスアンプに共通に接続する関係上
近接して配置することが望ましく、本実施例ではそれぞ
れのビット線対を交互に配置している。図4のメモリ装
置40と比較すると、NMOSトランジスタMN7、M
N8、MN11、MN12およびPMOSトランジスタ
MP7、MP8、MP11、MP12から構成されてい
る2個のYスイッチが同一のイコライザEQ1およびセ
ンスアンプSA1に接続されている点が異なる。Yスイ
ッチ信号YSW1がアサート(“0”)されるとウェイ
1が選択され、 Yスイッチ信号YSW2がアサート
(“0”)されるとウェイ2が選択される。ここではウ
ェイセレクタをYスイッチを用いて行っているが、各ウ
ェイにセンスアンプを設けてセンスアンプの後にウェイ
セレクタを置く方法を採用しより高速な読み出し動作を
行わせることもできる。図8では2ウェイ・セット・ア
ソシアティブ構造の例を示しているが4ウェイ・セット
・アソシアティブ構造等でも同様に実現できる。なお、
メモリセルアレイMAF及びメモリセルアレイMASを
キャッシュメモリとして用いるので、p>qとする。す
なわち、メモリセルアレイMAFのワード線数はメモリ
セルアレイMASのワード線よりも少なくする。従っ
て、メモリセルアレイMAFのビット線BF11、BF
B11、BF12、BFB12はメモリセルアレイMA
Sのビット線BS11、BSB11、BS12、BSB
12より短くする。
出し動作は図4のメモリ装置40の方法と、選択された
ウェイのYスイッチを用いることを除けば同様の方法で
行える。メモリセルアレイMASから読み出した内容を
メモリセルアレイMAFへ書き込む時、読み出したウェ
イと同一のウェイに書き込んでも良いが、別のウェイを
選択して書き込んでもよい。
ちで最も古く使われたウェイに書き込むLRU(Least
Recently Used(リースト・リーセントリー・ユーズ
ド))等のリプレースアルゴリズムに従って、追い出す
ウェイを決定した後、そのウェイのYスイッチを用いて
書き込みを行えばよい。その他、さまざまな形態の読み
出しおよび書き込みアルゴリズムが採用でき、主にウェ
イの数により最適なアルゴリズムを採用し、キャッシュ
メモリとしてのヒット率が高くなり、できるならメモリ
セルアレイMAFのヒット率が高くなるようにすること
が望ましい。
施例に係るメモリ装置を示す図であり、図1のメモリ装
置10のビット線の階層化を3層にしたものである。第
1の実施例のメモリ装置10と同様な部分については説
明を省略する。第5の実施例のメモリ装置90もオンチ
ップのメモリ装置及びオフチップのメモリ装置として用
いられる。
リ装置90においては新たに階層スイッチHT1、HT
B1、ビット線BT1、BTB1、メモリセルアレイM
ATが接続している。ワード線WT1からWTuの本数
(u)、ワード線WS1からWSpの本数(p)、ワー
ド線WF1からWFqの本数(q)に応じてそれぞれの
階層からの読み出し速度が決まる。メモリセルアレイM
AFからの読み出しは、メモリセルアレイMAS、MA
Tからの読み出しよりも速く読み出せる。また、メモリ
セルアレイMASは、メモリセルアレイMATからの読
み出しよりも速く読み出せる。アクセス頻度の高い情報
を、メモリセルアレイMAFやメモリセルアレイMAS
に格納しておけば高速な読み出しが実現できる。消費電
力についても、図1の実施例のメモリ装置10で述べた
のとまったく同様の理由で低減できる。
が、図9のような3層の階層にした場合でも実現でき、
同様の効果が得られることは明かである。この場合は、
ワード線の数の関係をu>p>qとする。
1は本発明の第6及び第7の実施例に係るメモリ装置を
示す図であり、図9に示した3層構造のメモリ装置の応
用を示すものである。第5の実施例のメモリ装置90と
同様な部分については説明を省略する。第6の実施例の
メモリ装置1000及び第7の実施例のメモリ装置11
00もオンチップのメモリ装置及びオフチップのメモリ
装置として用いられる。
はメモリセルアレイMAS内の情報は、メモリセルアレ
イMAF内の情報とメモリセルアレイMAT内の情報を
包含しているものとする。すなわち、メモリセルアレイ
MAF及びメモリセルアレイMATはメモリセルアレイ
MASのキャッシュメモリとしての使用を前提としてい
ため、メモリセルアレイMAT及びMAFに記憶されて
いる情報はメモリセルアレイMASにも重複して記憶さ
れ、メモリセルアレイMASにはそれ以外の情報をも記
憶されているものである。この場合は、ワード線の数の
関係をu<p>qとする。
はビット線BT1、BTB1にビット線BF1、BFB
1と同様にセンスアンプSA1Tを接続し、データ出力
DAT1からDATnTを出力して出力を読み出す系統
を2系統としデュアルポート化したものである。このよ
うな構成により、メモリへの読み出し及び書き込みが独
立した2つの系統から行うことができる。メモリセルア
レイMATとMASに対する読み出しおよび書き込み動
作は、図1で記述したメモリセルアレイMAFとMAS
に対する方法をそのまま用いることができる。
は、メモリセルアレイMASへの書き込みおよびメモリ
セルアレイMASからの読み出しは、データ出力D1か
らDnおよびデータ出力D1TからDnTの両方から同
時にできない。しかし、このアクセス衝突は、メモリセ
ルアレイMASへのアクセスが、メモリセルアレイMA
F内あるいはMAT内に欲しい情報がある限り発生しな
いことを考慮するとほとんど発生しないため実用上はほ
とんど問題とならない。アクセス衝突が生じた場合には
それを検出し、データ出力D1からDnおよびデータ出
力D1TからDnTの両アクセスをシーケンシャルに行
えばよい。アクセス衝突を生じる確率は小さいので、シ
ングルポートのメモリセルMを用いて高確率にデュアル
ポートアクセスできる。
により、ALU(Arithmetic Logic Unit)等の演算器が
2つ存在するようなプロセッサにおいてもそれぞれの演
算器に対応したデータキャッシュメモリを構成すること
ができ、プロセッサの並列演算処理に容易に対応するこ
とが可能となる。
用いて、デュアルポートの半導体メモリ装置あるいはキ
ャッシュメモリを高速・低消費電力に実現できる。
アクセス衝突が生じても、デュアルポートのアクセスを
可能にする実施例である。
メモリ装置1000のメモリセルアレイMAS内のメモ
リセルMをデュアルポートメモリセルDに変えたもので
ある。デュアルポートメモリセルDは、ワード線WS1
からWSpによって制御されるビット線BS1およびB
SB1に接続されたポートと、ワード線WS1TからW
SpTによって制御されるビット線BS1TおよびBS
B1Tに接続されたポートを持っている。データ出力D
1からDnからのアクセスに対しワード線WS1からW
Spを用い、データ出力D1TからDnTからのアクセ
スに対しワード線WS1TからWSpTを用いれば、上
記アクセス衝突ても同時にアクセスできる。
ルアレイMAFをデュアルポート化したときの実施例で
ある第8の実施例に係るメモリ装置を示す。第1の実施
例のメモリ装置10と同様な部分については説明を省略
する。第8の実施例のメモリ装置1200もオンチップ
のメモリ装置及びオフチップのメモリ装置として用いら
れる。
が通常のメモリセルの面積の1.5倍から2倍と大きい
ため、本実施例のように、アクセス頻度の高いメモリセ
ルアレイMAFにのみデュアルポートセルを用いること
により、回路面積の増大を抑えつつデュアルポートアク
セスの可能なメモリを実現することができる。
1からBFnとBFB1からBFBn、および、BF1
TからBFnTとBFB1TからBFBnTの二対にな
っている。それぞれのビット線にはセンスアンプSA1
からSAn、および、SA1UからSAnUが接続され
ている。図12のメモリ装置1200ではビット線BF
1とBFB1が、階層スイッチHS1とHSB1を用い
てメモリセルアレイMASのビット線BS1とBS1B
に接続されており、ビット線BF1TからBFnTとB
FB1TからBFBnTが階層スイッチHU1からHU
nとHUB1からHUBnにより、メモリセルアレイM
ASのビット線BS1とBS1Bに接続されている。そ
して、階層スイッチHS1からHSnとHSB1からH
SBnとは階層制御信号HSW1により制御され、階層
スイッチHU1からHUnとHUB1からHUBnとは
階層制御信号HSW2により制御される。
に格納されている情報が、メモリセルアレイMAFに格
納されている情報を包含するようにすれば、メモリセル
アレイMAFのアクセス頻度はメモリセルアレイMAS
のアクセス頻度よりも高くなる。メモリアクセスの局所
性により、ほとんどのアクセスはデュアルポート構造に
なっているメモリセルアレイMAFへのアクセスにな
る。メモリセルアレイMAFの容量は小さく抑えること
ができるため、多ポートメモリセルによる面積増加を抑
えることができる。特に多ポートメモリの同時アクセス
に局所性がある場合には、メモリセルアレイMASへの
アクセス頻度が減るために効率が良くなる。
して、メモリセルアレイMAFを1行だけにした例(q
=1とすることを意味する)があげられる。多ポートメ
モリの同時アクセスが近接するアドレスに対して発生す
るのであれば、これで十分な効果が得られる。さらに、
図12のメモリ装置1200のメモリセルアレイMAS
とメモリセルアレイMAFの間にスイッチと同様な機能
を有するようなセンスアンプを入れてもよい。すなわ
ち、階層スイッチHS1とHSB1およびHU1とHU
B1をセンスアンプに変えてもよい。メモリセルアレイ
MAFがメモリセルアレイMASから構成された半導体
メモリの多ポートバッファとして動作する。
ではメモリセルアレイMAFおよびMATの容量をメモ
リセルアレイMASの容量よりも小さくすれば、読み出
し速度の高速化および消費電力の低減に効果があること
は言うまでない。
は、図6から図8までのキャッシュメモリとしての実施
例のメモリ装置にも応用でき、デュアルポートキャッシ
ュメモリが実現できる。消費電力についても図1の実施
例のメモリ装置で述べたのとまったく同様の理由で低減
できる。読み出し速度に対しても、メモリセルアレイM
AFおよびメモリセルアレイMATへのアクセスは、図
1の実施例のメモリ装置で記述した理由と同じ理由で高
速に行える。さらにこのデュアルポートキャッシュメモ
リの二つのポートをインストラクションパスとデータパ
スに接続すれば、命令キャッシュとデータキャッシュを
兼ね備えたキャッシュメモリとして用いることができ
る。実効的にセパレートキャッシュ(命令キャッシュと
データキャッシュが別個に存在するキャッシュ)と同様
のパフォーマンスをユニファイキャッシュで実現でき
る。
施例に係るメモリ装置である。第1から第8までの実施
例のメモリ装置と同様な部分については説明を省略す
る。第9の実施例のメモリ装置1300もオンチップの
メモリ装置及びオフチップのメモリ装置として用いられ
る。
AFはメモリセルアレイ、Mはメモリセル、HE1、H
EB1およびHF1、HFB1は階層スイッチ、WS1
からWSpおよびWF1からWFqはワード線、SA1
はセンスアンプ、SAはセンスアンプ起動信号、SS
1、SSB1およびSF1、SFB1およびBF1、B
FB1はビット線を示している。
る時、階層スイッチHE1、HEB1はオン状態にな
り、ビット線SF1をビット線BF1に、ビット線SF
B1をビット線BFB1に接続する。階層指定信号HS
W2がアサートされている時、階層スイッチHF1、H
FB1はオン状態になり、ビット線SS1をビット線B
F1に、ビット線SSB1をビット線BFB1に接続す
る。ビット線BF1、BFB1はセンスアンプSA1に
接続されている。したがって、階層指定信号HSW1と
階層指定信号HSW2がアサートされている時、メモリ
セルアレイHAFとメモリセルアレイHASは同時にセ
ンスアンプに接続される。
第1から第8までの実施例のメモリ装置と同様な構成と
動作を行い、同程度の効果がある。しかし、メモリセル
アレイMAFからの読み出しにはビット線BF1、BF
B1の容量が関係するので、第1から第8までの実施例
のメモリ装置の場合よりも若干遅くなる。但し、メモリ
セルアレイMAFの容量をメモリセルアレイMASの容
量よりも小さくする(p>q)ことにより、第1の実施
例のメモリ装置10と同様な効果が得られる。
ば、メモリセルアレイMASからの読み出しはメモリセ
ルアレイMAFの負荷がないので、第1から第8までの
実施例のメモリ装置の場合よりも高速にできるという効
果がある。
に対しては何も規定していないが、たとえば1.0Vな
どの低電圧で動作させる場合には、以下のような効果が
ある。一般に低電圧では回路の動作速度が低下するとい
う問題がある。このを解決する方法として、MOSトラ
ンジスタのしきい値電圧を下げ、低しきい値電圧化する
という方法があるが、リーク電流が増加するという新た
な問題が発生する。特にメモリセルを構成するMOSト
ランジスタを低しきい値電圧化すると、メモリセルの規
模が大きいことと、その動作頻度が低いことからリーク
電流が無視できない。本発明の方法を用いることで、M
OSトランジスタを高しきい値電圧のまま使用しても、
メモリアレイの一部に高速動作可能なメモリアレイを包
含しているため、高速な読み出しが実現できる。
た階層スイッチの代わりに、センスアンプ等の増幅機能
を持った半導体回路を用い、より高速な動作を可能とす
ることもできる。この場合にはセンスアンプとしては階
層スイッチとしての機能を有するよう構成することが必
要である。
第10の実施例に係るキャッシュメモリの論理的イメー
ジのブロック図が示されている。本実施例は第3の実施
例のメモリ装置を4ウェイ・セット・アソシアティブ構
造のキャッシュメモリにした場合のものである。キャッ
シュメモリ160は、16Kバイトの2次キャッシュメ
モリと、2Kバイトの1次キャッシュメモリとで構成さ
れる。キャッシュメモリ160は、2次キャッシュメモ
リのタグアレイL2TAとデータアレイL2DAと、1
次キャッシュメモリのタグアレイL1TAとデータアレ
イL1DAと、2次キャッシュメモリのデコーダL2D
EC(図示されていないが、タグアレイとデータアレイ
は別にデコーダを有する。)と、1次キャッシュメモリ
のデコーダL1DEC図示されていないが、タグアレイ
とデータアレイは別にデコーダを有する。)と、ウェイ
セレクタWAYSELと、読み出し/書き込みアンプR
WAMPと、比較器CMPSと、プリデコーダPRED
ECとで構成される。
3ビットのメモリアレイで構成される。データアレイL
2DAは、4X256行X128ビットのメモリアレイ
で構成される。タグアレイL1TAは、4X32行X3
2ビットのメモリアレイで構成される。データアレイL
1DAは、4X32行X128ビットのメモリアレイで
構成される。
x-address)は、8ビット、8ビット、4ビットの3群
のプリデコードアドレス(Pre-decoded address)にプ
リデコーダPREDECでデコードされる。2次キャッ
シュメモリは、3群全てのプリデコードアドレスをデコ
ーダL2DECでデコードする。一方、1次キャッシュ
メモリは、2群のプリデコードアドレスのみをデコーダ
L1DECでデコードする。23ビット長のタグアドレ
ス(Tag-address)は4つの比較器CMPSでタグアレ
イL1TA又はタグアレイL2TAから読み出されるア
ドレスと比較される。
導体チップ上のレイアウトイメージのブロック図が示さ
れる。データアレイL1DA及びデータアレイL2DA
はデコーダ/ドライバDAWDを挟んでそれぞれ2つに
分割配置されている。また、タグアレイL1TA及びタ
グアレイL2TAもデコーダ/ドライバTAWDを挟ん
でそれぞれ2つに分割配置されている。さらに、2つの
データアレイL1DA及び2つのデータアレイL2DA
は、2つのタグアレイL1TA及び2つのタグアレイL
2TAを挟んで2つに分割配置されている。すなわち、
メモリアレイは、デコーダ/ドライバTAWDを中心と
して面対象に配置されている。なお、デコーダ/ドライ
バTAWDは、図16のデコーダL1DEC、L2DE
Cに対応する。また、デコーダ/ドライバDAWDも、
図16のデコーダL1DEC、L2DECに対応する。
イL1DAとは、階層スイッチHSWを介して接続され
る。タグアレイL2TAとタグアレイL1TAとは、階
層スイッチHSWを介して接続される。すなわち、2次
キャッシュメモリアレイL2-arrayと1次キャッシュメモ
リアレイL1-arrayとは、階層スイッチHSWを介して接
続される。データアレイL2DAとタグアレイL2TA
に表示される数字(0、1、2、3)はウェイの番号を
示している。データアレイの各ウェイは、ウェイセレク
タWAYSELの出力に基づいてウェイスイッチWAY
SWによって選択される。また、ウェイセレクタWAY
SELは制御信号Hit / Missを出力して、キャッシュメ
モリのヒット或いはミスヒットを中央処理装置CPU等
に知らせる。データアレイL1DA、L2DAからのデ
ータの読み出し及びデータアレイL1DA、L2DAへ
のデータの書き込みはデータバスData及び読み出し
/書き込みアンプRWAMPを介して行われる。図18
には、データアレイL1DA、L2DAの回路図が示さ
れる。本実施例は第4の実施例を4ウェイのメモリにし
た場合である。図面が複雑になるのでイコライズ回路は
省略されている。2次キャッシュメモリアレイのビット
線対BS、BSBと1次キャッシュメモリアレイのビッ
ト線対BF、BFBは階層スイッチHSWで分割されて
いる。4つのウェイに対応する4つのビット線対がウェ
イスイッチWAYSWを介して読み出し/書き込みアン
プRWAMPに接続されている。従って、アンプの数は
ラインサイズと等しくなっている。アンプの数を少なく
することは消費電力の削減に効果がある。なお、図18
の読み出し/書き込みアンプRWAMPは、図面が複雑
になるのを避けるため、書き込みアンプについては省略
している。
クタWAYSELからのウェイ選択信号WAY0、WA
Y1、WAY2、WAY3によって制御される。
リセルの数(32行)は、ビット線対BS、BSBに接
続されるメモリセルの数(256行)より約1桁少な
い。従って、階層スイッチHSWがオフの場合のデータ
アレイL1DAと読み出し時間は、階層スイッチHSW
がオンの場合のデータアレイL2DAとL1DAの読み
出し時間より短くすることができる。
存在する場合(1次キャッシュメモリがヒットした場
合:L1-hit)は、データアレイL1DA内のデータはウ
ェイスイッチWAYSWを介してセンスアンプSAPで
読み出される。このとき、階層指定信号はネゲートされ
ており、階層スイッチHSWは遮断状態にある。センス
アンプ起動信号SAC1をアサートしたとき、制御信号
SAC2をネゲートすれば、ビット線対BA、BABが
ビット線対BF、BFBと分離されるため、高速読み出
しができる。
存在する場合(2次キャッシュメモリがヒットした場
合:L2-hit)は、データアレイL2DAがアクセスさ
れ、ビット線を介して直接データアレイL1DAに書き
込まれる。置き換え動作は、センスアンプSAPを利用
して以下のように行われる。まず、データアレイL2D
AのデータがセンスアンプSAPで読み出される。次
に、階層指定信号HSW1がネゲートされ、制御信号S
AC2はアサートされたままである。データアレイL2
DAから読み出されたデータはビット線対BF、BFB
上で増幅され、データアレイL1DAに書き込まれる。
この置き換えシーケンスによっては、データアレイL2
DAからデータアレイL1DAへの書き込みには余分な
サイクルは不要である。
有面積、消費電力及び読み出し時間において有利であ
る。すなわち、データアレイL1DAとデータアレイL
2DA、タグアレイL1TAとタグアレイL2TAで周
辺回路を共用するため、1次キャッシュメモリと2次キ
ャッシュメモリとに必要な占有面積を減少させることが
できる。周辺回路が共用になっているため、置き換えシ
ーケンス時の消費電力を削減できる。ビット線が階層ス
イッチのみを介して接続されているため、置き換えシー
ケンスに必要な時間は無視できる。
バDAWDとデータアレイL2DAのデコーダ/ドライ
バDAWDの間にあるバッファ回路BUFは、1次キャ
ッシュメモリのアドレスの負荷を軽くするためのもので
ある。1次キャッシュメモリの方が2次キャッシュメモ
リよりも読み出し時間を短くする必要があるため、1次
キャッシュメモリ側のアドレスの負荷を軽くするように
アドレスは1次キャッシュメモリ側から入力するのが望
ましい。
トした場合(上側:L1-hit)と2次キャッシュメモリが
ヒットした場合(下側:L2-hit)のデータアレイのシミ
ュレーション波形が示されている。1次キャッシュメモ
リがヒットした場合のアクセス時間は4.8nsであ
る。2次キャッシュメモリがヒットした場合のアクセス
時間は7.7nsである。本実施例を用いることによ
り、アクセス時間を38%減少することができる。
00MHz時のデータアレイの消費電力のシミュレーシ
ョン結果が示される。1次キャッシュメモリがヒットし
た場合(L1-hit)の消費電力は、6.2mWである。1
次キャッシュメモリの置き換え動作時(2次キャッシュ
メモリがヒットした場合(L2-hit))には、消費電力が
3.5mW増加して9.7mWになる。しかし、1次キ
ャッシュメモリのヒット率が90%と仮定すると、実効
消費電力は6.5mWに減少する(従来の18kバイト
のデータアレイでの8.4mWに比べて23%減少す
る)。
CMOSプロセス技術で試作したチップの特徴が示され
ている。また、図22には、プロセスとデバイスパラメ
ータが示されている。電源電圧1Vで高い特性を得るた
めに、MOSFETのゲート酸化膜厚は4.5nmにし
ている。高信頼性(高雑音余裕)とCPU等の論理回路
LSIとのプロセスの互換性のため、メモリセルには6
トランジスタ・セル(完全CMOS型メモリセル)を使
用している。また、周辺回路のMOSトランジスタとメ
モリセルのMOSトランジスタとはしきい値電圧を変え
ている。前者は、0.3Vで、後者は、0.5Vであ
る。キャッシュメモリのサイズは、3.6mmX2.1
mmである。
されている。ADDはアドレス入力、SELはタグアレ
イからのウェイ選択信号、OUTはウェイ選択信号SE
Lに対応するデータアレイからの出力信号を表してい
る。1次キャッシュメモリがヒットした場合のアクセス
時間は4.5nsである。2次キャッシュメモリがヒッ
トした場合のアクセス時間は7.5nsである。これ
は、シミュレーション結果とほぼ一致している。1次キ
ャッシュメモリのヒット率は約90%であるため、実効
アクセス時間は5nsとなる。
第11の実施例に係るキャッシュメモリの論理的イメー
ジのブロック図が示されている。本実施例は第6の実施
例のメモリ装置を4ウェイ・セット・アソシアティブ構
造のキャッシュメモリにした場合のものである。キャッ
シュメモリ240はインストラクションポートIPOR
TとデータポートDPORTを有する。マイクロプロセ
ッサ等のインストラクションパスとデータパスに接続し
て、命令キャッシュとデータキャッシュを兼ね備えたキ
ャッシュメモリとして用いるものである。すなわち、キ
ャッシュメモリ240は、2ポートを有するユニファイ
キャッシュである。キャッシュメモリ240は、32K
バイトの2次キャッシュメモリと、2つの4Kバイトの
1次キャッシュメモリとで構成される。キャッシュメモ
リ240は、2次キャッシュメモリのタグアレイL2T
AGとデータアレイL2DATと、1次キャッシュメモ
リのタグアレイL1TAI、L1TADとデータアレイ
L1DAI、L1DADと、2次キャッシュメモリのデ
コーダL2DE(図示されていないが、タグアレイとデ
ータアレイは別にデコーダを有する。)と、1次キャッ
シュメモリのデコーダL1DI、L1DD(図示されて
いないが、タグアレイとデータアレイは別にデコーダを
有する。)と、ウェイセレクタSELI、SELDと、
比較器CMPI、CMPDと、アドレスセレクタSEL
とで構成される。
レス側の配置されている。すなわち、メモリ管理ユニッ
ト(MMU)内のアドレス変換バッファTLBで論理ア
ドレス(仮想アドレス:Virtual Address)から物理ア
ドレス(Physical Address)に変換された後に、キャッ
シュメモリ240がアクセスされる。
23ビットのメモリアレイで構成される。データアレイ
L2DATは、4X256行X256ビットのメモリア
レイで構成される。タグアレイL1TAGは、4X32
行X23ビットのメモリアレイで構成される。データア
レイL1DATは、4X32行X256ビットのメモリ
アレイで構成される。
ションポート側からの2次キャッシュメモリのアクセス
とデータポート側からの2次キャッシュメモリのアクセ
スとのアドレス信号の切り替えを行っている。同時にア
クセスが発生した場合は、予め決められた優先順位に従
ってアドレスセレクタSELがアドレス信号を選択す
る。図25には、データアレイL2DAT、L1DA
D、L1DAIの回路図が示される。図25は、階層ス
イッチHSWを具体的に示している点と、プリデコーダ
PREDEC及びデコーダ/ワードドライバWDを示し
ている点が異なるのみで、図10の第6の実施例と基本
的には同じである。インストラクション及びデータのイ
ンデックスアドレスは、3群のプリデコードアドレスに
プリデコーダPREDECでデコードされる。2次キャ
ッシュメモリは、3群全てのプリデコードアドレスをデ
コーダ/ワードドライバWDでデコードする。一方、1
次キャッシュメモリは、2群のプリデコードアドレスの
みをデコーダ/ワードドライバWDでデコードする。プ
リデコードアドレス信号は1次キャッシュメモリと2次
キャッシュメモリとの間のデコーダスイッチDSWによ
って導通・遮断されるようにされる。これは、図24の
アドレスセレクタSELの機能を実現するためと1次キ
ャッシュメモリをアクセス時のプリデコードアドレス信
号の負荷を軽減するためのものである。
く、読み出し時間を小さくしているので、アドレス変換
バッファTLBで論理アドレスを物理アドレスに変換す
る時間を考慮しても1次キャッシュメモリの読み出し時
間は小さく押さえられる。
レートキャッシュよりもヒット率が高い。一方、セパレ
ートキャッシュはマイクロプロセッサとキャッシュメモ
リとのバンド幅を2倍にできる。従って、キャッシュメ
モリ240は、従来のセパレートキャッシュとユニファ
イキャッシュの双方の利点を備えることができる。
ャッシュメモリを用いたマイクロコンピュータMCUと
メインメモリMM1とのシステムの一例が示されてい
る。マイクロコンピュータMCUは、中央処理装置CP
Uと、浮動小数点処理ユニットFPU1と、乗算器MU
LTと、メモリ管理ユニットMMU1と、キャッシュメ
モリコントローラCCNTと、キャッシュメモリCAC
HEと、32ビットデータバスDBUSと、32ビット
論理アドレスバスLABUSと、32ビット物理アドレ
スバスPABUSと、32ビットデータバスDBSと、
外部バスインタフェースEBIF等から構成され、単結
晶シリコン等で形成された単一の半導体基板上に形成さ
れる。命令キャッシュとデータキャッシュが混在してい
るキャッシュメモリの例である。マイクロコンピュータ
MCUとメインメモリMM1とは外部データバスEDB
と外部アドレスバスEABとを介して接続される。メイ
ンメモリMM1には、例えばDRAM(Dynamic Random
Acess Memory)や同期型DRAM(Synchronous DRAM)の
ようなダイナミック型のメモリセルを用いた半導体メモ
リが使用される。
4ウエイ・セット・アソシアテイブ方式のキャッシュメ
モリであり、4組のタグ部とデータ部からなる1次キャ
ッシュメモリ部と4組のタグ部とデータ部からなる2次
キャッシュメモリ部とから構成され、1次キャッシュメ
モリ部のビット線と2次キャッシュメモリ部のビット線
が階層スイッチを介して接続されている。前記階層スイ
ッチは、キャッシュコントローラCCNTからの信号線
によって制御される。1次キャッシュメモリと2次キャ
ッシュメモリとがマイクロコンピュータに内蔵されるた
め、処理速度の向上が図れる。記憶容量は、1次キャッ
シュメモリ、2次キャッシュメモリ、メインメモリMM
1の順で大きくなり。アクセス時間は、1次キャッシュ
メモリ、2次キャッシュメモリ、メインメモリMM1の
順で大きくなる。1次キャッシュメモリ、2次キャッシ
ュメモリ及びメインメモリMM1でメモリの階層を形成
している。
ャッシュメモリを用いたマイクロプロセッサMPUとメ
インメモリMM2とのシステムの一例が示されている。
マイクロプロセッサMPUは、命令ユニットINST
と、浮動小数点処理ユニットFPU2と、整数処理ユニ
ットIUと、メモリ管理ユニットMMU2と、命令キャ
ッシュメモリINCAと、データキャッシュメモリDC
Aと、システムインタフェースSIF等から構成され、
単結晶シリコン等で形成された単一の半導体基板上に形
成される。データキャッシュメモリと命令キャッシュメ
モリとが分離された例である。マイクロプロセッサMP
UとメインメモリMM2とは外部データバスEDB2と
外部アドレスバスEAB2とを介して接続される。メイ
ンメモリMM2には、メインメモリMM1同様ダイナミ
ック型のメモリセルを用いた半導体メモリが使用され
る。
ャッシュメモリDCAとは、図26のキャッシュメモリ
CACHEと同様な構成とすることができる。1次キャ
ッシュメモリと2次キャッシュメモリとがマイクロプロ
セッサに内蔵されるため、図26の例と同様に処理速度
の向上が図れる。なお、デユアルポートメモリをデータ
キャッシュメモリDCAに使用した場合は、整数処理ユ
ニットIUと浮動小数点処理ユニットFPUとを別々の
データパスでデータキャッシュメモリDCAに接続すれ
ば、並列演算処理が可能になり、さらに処理速度が向上
する。図26の例と同様に1次キャッシュメモリ、2次
キャッシュメモリ及びメインメモリMM2でメモリの階
層を形成している。
ャッシュメモリと2次キャッシュメモリをマイクロプロ
セッサ等の半導体データ処理装置に内蔵するため、ヒッ
ト率の高いキャッシュメモリが内蔵できる。ヒット率の
高いキャッシュメモリを内蔵することによって、負荷の
大きいオフチップメモリのアクセスを減少させることが
できるため、半導体データ処理装置のみならず、半導体
データ処理装置を使用する携帯情報機器全体の消費電力
を低減することができる。また、オフチップの読み出し
時間の長いメモリのアクセスが減少するので、高速化を
図ることができる。
例に基づいて具体的に説明したが本発明はそれに限定さ
れるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において
種々変更可能であることはいうまでもない。例えば、メ
モリセルは、スタティック型のメモリセルの替りにダイ
ナミック型のメモリセル、不揮発性のメモリセル又は連
想メモリセルを用いてもよい。
スタティック型のメモリセルを使用し、メモリアレイM
ASのメモリセルはダイナミック型のメモリセルを使用
してもよい。さらに、メモリアレイMAFのメモリセル
はスタティック型のメモリセルを使用し、メモリアレイ
MASのメモリセルは不揮発性のメモリセルを使用して
もよい。この場合、メモリアレイMASは主記憶として
使用してもよい。大容量DRAMや大容量ROM内蔵の
マイコンにおいては、メモリアレイMAFがキャッシュ
メモリとして動作でき高速動作と低消費電力の効果が得
られる。
ならず、メモリ管理ユニットのアドレス変換バッファの
TLB(Translation Look-aside Buffer)にも適用でき
る。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
の通りである。
ルがアレイ状に形成された複数のメモリセルアレイのビ
ット線をスイッチによって接続することにより、メモリ
セルアレイの一部を高速・低消費電力にアクセスでき
る。
含関係を持たせれば、実効的に高速・低消費電力な半導
体メモリ装置およびキャッシュメモリが実現できる。
を示す図。
を示すタイミングチャートの図。
を示す図。
を示すタイミングチャートの図。
を示す図。
を示すフローチャートの図。
を示す図。
を示す図。
成を示す図。
成を示す図。
成を示す図。
成を示す図。
モリの論理的イメージを示す図。
モリの半導体チップ上のレイアウトイメージを示す図。
モリのデータアレイの回路を示す図。
モリのデータアレイのシミュレーション波形を示す図。
モリのデータアレイの消費電力のシミュレーション結果
を示す図。
モリの試作したチップの特徴を示す図。
モリの試作したチップのプロセスとデバイスパラメータ
を示す図。
モリの試作したチップのデータアレイの測定波形を示す
図。
モリの論理的イメージを示す図。
モリのデータアレイの回路を示す図。
ロコンピュータを用いたシステムのブロック図。
ロプロセッサを用いたシステムのブロック図。
イ、 TAS、TAF、DAS、DAF……メモリセルアレ
イ、 M……メモリセル、 D……デュアルポートメモリセル、 WS1、WS2、WSp……ワード線、 WS1T、WS2T、WSpT……ワード線、 WF1、WF2、WFq……ワード線、 WL1、WL2、WLr……ワード線、 WT1、WT2、WTu……ワード線、 SA、SAT、SAU……センスアンプ起動信号、 HSW1、HSW2、HSW3……階層指定信号、 BS1、BS2、BSn……ビット線、 BSB1、BSB2、BSBn……ビット線、 BF1、BF2、BFn……ビット線、 BFB1、BFB2、BFBn……ビット線、 BL1、BL2、BLn……ビット線、 BLB1、BLB2、BLBn……ビット線、 SS1、SSB1、SF1、SFB1……ビット線、 BT1、BTB1……ビット線、 BS1T、BSB1T……ビット線、 BF1T、BFB1T……ビット線、 105、106、107、108、109、110……
ビット線、 SEL0……セレクタ、 SA1、SA2、SAn、SA1T……センスアンプ、 SA1U、SA2U、SAnU……センスアンプ、 TSA、DSA……センスアンプ、 HS1、HS2、HSn……階層スイッチ、 HSB1、HSB2、HSBn……階層スイッチ、 TH、DH……階層スイッチ、 HE1、HEB1、HF1、HFB1、HT1、HTB
1……階層スイッチ、 HU1、HUB1……階層スイッチ、 D1、D2、Dn……データ出力、 D1T、D2T、DnT……データ出力、 D1U、D2U、DnU……データ出力、 DB1、DB2、DBn……データ出力、 DBB1、DBB2、DBBn……データ出力、 YSW、YSW1、YSW2……Yスイッチ信号、 EQ1……イコライザ、 MN1、MN2、MN3、MN4、MP5、MN6、M
N7、MN8、MN9、MN10、MN11、MN12
……NMOSトランジスタ、 MP1、MP2、MP3、MP4、MP5、MP6、M
P7、MP8、MP9、MP10、MP11、MP12
……PMOSトランジスタ、 CMP1……比較器、 HIT……ヒット信号、 100、101、102、103……デコーダ、 MCU……マイクロコンピュータ、 CPU……中央処理装置、 FPU1、FPU2……浮動小数点演算処理ユニット、 MULT……乗算器、 MMU1、MMU2……メモリ管理ユニット、 CCNT……キャッシュメモリコントローラ、 CACHE……キャッシュメモリ、 DBUS、DBS……32ビットデータバス、 LABUS……32ビット論理アドレスバス、 PABUS……32ビット物理アドレスバス、 EBIF……外部バスインタフェース、 MPU……マイクロプロセッサ、 IU……整数演算処理ユニット、 INCA……命令キャッシュ、 DCA……データキャッシュメモリ、 SIF……システムインタフェース。
Claims (22)
- 【請求項1】複数のワード線と、第1のビット線対と、
該複数のワード線と該第1のビット線対との交点に配置
される複数のメモリセルとを含んで構成される第1のメ
モリアレイと、 複数のワード線と、第2のビット線対と、該複数のワー
ド線と該第2のビット線対との交点に配置される複数の
メモリセルとを含んで構成される第2のメモリアレイ
と、 上記第2のビット線対に出力される信号を増幅するセン
スアンプと、 上記第1のビット線対と上記第2のビット線対との接続
を制御するスイッチ手段とを有し、 上記第1のビット線対に出力される信号は、上記スイッ
チ手段及び上記第2のビット線対を介し上記センスアン
プに伝達されるよう構成されたことを特徴とする半導体
メモリ装置。 - 【請求項2】上記半導体メモリ装置は、所定のアドレス
信号によって、上記第1のメモリアレイ及び上記第2の
メモリアレイに含まれる複数のワード線の中から単一の
ワード線が選択されるよう構成されたことを特徴とする
請求項1記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項3】複数のワード線と、第1のビット線対と、
該複数のワード線と該第1のビット線対との交点に配置
された複数のメモリセルとを含んで構成される第1のメ
モリアレイと、 複数のワード線と、第2のビット線対と、該複数のワー
ド線と該第2のビット線対との交点に配置された複数の
メモリセルとを含んで構成される第2のメモリアレイと
を有し、 上記第2のメモリアレイに含まれるワード線の数は、上
記第1のメモリアレイに含まれるワード線の数に比べ少
ない本数により構成され、 上記第1のビット線対と上記第2のビット線対とは、制
御信号によりその導通状態が制御されるスイッチ手段を
介して接続されて構成されたことを特徴とする半導体メ
モリ装置。 - 【請求項4】上記第1のメモリアレイに含まれるワード
線が選択状態とされる時間は、上記第2のメモリアレイ
に含まれるワード線が選択状態とされる時間に比べ長く
設定されて構成されたことを特徴とする請求項3記載の
半導体メモリ装置。 - 【請求項5】上記第2のビット線対の長さは、上記第1
のビット線対の長さに比べ短いことを特徴とする請求項
3記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項6】複数のワード線からなる第1及び第2のワ
ード線群と、 複数のビット線対からなる第1及び第2のビット線対群
と、 上記第1のワード線群と上記第1のビット線対群との交
点及び上記第2のワード線群と上記第2のビット線対群
との交点にマトリクス状に配置された複数のメモリセル
と、 上記第1のビット線対群の各ビット線対と上記第2のビ
ット線対群の各ビット線対とは第1のスイッチ手段を介
して接続されてなること特徴とする半導体メモリ装置。 - 【請求項7】上記第2のビット線対群の各ビット線対は
第2のスイッチ手段を介してセンスアンプに接続されて
なり、 上記第1のビット線対群のビット線の信号は、上記第2
のビット線対群のビット線を介して上記センスアンプに
伝達されることを特徴とする請求項6記載の半導体メモ
リ装置。 - 【請求項8】上記センスアンプは、上記第2のビット線
対群の各ビット線に対応して複数設けられたことを特徴
とする請求項7記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項9】上記第2のワード線群のワード線の数は、
上記第1のワード線群のワード線の数より少ないことを
特徴とする請求項6記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項10】第1及ぶ第2及び第3のメモリセルアレ
イと比較器とを有し、 上記第1及び第2及び第3のメモリセルアレイはそれぞ
れ、複数のワード線と、複数のビット線対と、該複数の
ワード線と該複数のビット線対との交点に配置された複
数のメモリセルとを有し、 上記第1のメモリセルアレイの各ビット線対と上記第2
のメモリセルアレイの各ビット線対とはスイッチ手段を
介して接続され、 上記比較器は、アドレス信号と上記第3のメモリセルア
レイの記憶内容とを比較し、 上記スイッチ手段は、上記比較器での比較結果が一致し
ない場合に導通状態とされることを特徴とする半導体メ
モリ装置。 - 【請求項11】第1及び第2及び第3のメモリセルアレ
イを有し、 上記第1及び第2及び第3のメモリセルアレイはそれぞ
れ、複数のワード線と、複数のビット線と、該複数のワ
ード線と該複数のビット線の交点に配置された複数のメ
モリセルを含んで構成され、 上記第1のメモリセルアレイのビット線と上記第2のメ
モリセルアレイのビット線とはそれぞれ第1のスイッチ
手段を介して接続され、 上記第1のメモリセルアレイのビット線と上記第3のメ
モリセルアレイのビット線とはそれぞれ第2のスイッチ
手段を介して接続されてなることを特徴とする半導体メ
モリ装置。 - 【請求項12】上記半導体メモリ装置はさらに、 上記第2のメモリセルアレイのビット線に対応して設け
られた複数のセンスアンプ回路を有することを特徴とす
る請求項11に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項13】上記第2のメモリセルアレイに含まれる
ワード線の数は、上記第1のメモリセルアレイに含まれ
るワード線の数に比べ少なく構成されたことを特徴とす
る請求項12に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項14】上記半導体メモリ装置はさらに、 上記第2のメモリセルアレイに含まれるビット線と電気
的に接続された第1のセンスアンプと、 上記第3のメモリセルアレイに含まれるビット線と電気
的に接続された第2のセンスアンプとを有することを特
徴とする請求項11記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項15】上記第1のメモリセルアレイに含まれる
メモリセルの情報は、上記第1のスイッチ手段を介して
上記第1のセンスアンプに伝達され、あるいは、上記第
2のスイッチ手段を介して上記第2のセンスアンプに伝
達されることを特徴とする請求項14記載の半導体メモ
リ装置。 - 【請求項16】上記第2のメモリセルアレイに含まれる
各ビット線の長さは、上記第1のメモリセルアレイに含
まれる各ビット線の長さより短く構成され、 上記第3のメモリセルアレイに含まれる各ビット線の長
さは、上記第1のメモリセルアレイに含まれる各ビット
線の長さより短く構成されたことを特徴とする請求項1
4記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項17】複数の第1のワード線と、第1のビット
線対と、該複数のワード線と該第1のビット線対との交
点に配置される複数のメモリセルとを含んで構成される
第1のメモリアレイと、 複数の第2のワード線と、第2及び第3のビット線対
と、該複数のワード線と該第2及び第3のビット線対と
の交点に配置され、上記第2及び第3のビット線対に接
続される複数のデュアルポートメモリセルとを含んで構
成される第2のメモリアレイと、 上記第1のビット線対と上記第2のビット線対との間に
接続された第1のスイッチ手段と、 上記第1のビット線対と上記第3のビット線対との間に
接続された第2のスイッチ手段と、 上記第2のビット線対の出力を増幅する第1のセンスア
ンプ回路と、 上記第3のビット線対の出力を増幅する第2のセンスア
ンプ回路とを有することを特徴とする半導体メモリ装
置。 - 【請求項18】複数の第1のワード線と、第1のビット
線対と、該複数のワード線と該第1のビット線対との交
点に配置される複数のメモリセルとを含んで構成される
第1のメモリアレイと、 複数の第2のワード線と、第2のビット線対と、該複数
のワード線と該第2のビット線対との交点に配置される
複数のメモリセルとを含んで構成される第2のメモリア
レイと、 上記第1のビット線対と第1のスイッチ手段を介して接
続され、上記第2のビット線対と第2のスイッチ手段を
介して接続される第3のビット線対とを有し、 上記第2のビット線対の長さは上記第1のビット線対の
長さに比べ短く構成されたことを特徴とする半導体メモ
リ装置。 - 【請求項19】上記半導体メモリ装置はさらにセンスア
ンプを有し、 上記センスアンプは上記第3のビット線対と電気的に接
続され、 上記第1又は第2のビット線対の出力は上記第3のビッ
ト線対を介して上記センスアンプに伝達され増幅される
よう構成されたことを特徴とする請求項18に記載の半
導体メモリ装置。 - 【請求項20】第1、第2、第3及び第4のメモリセル
アレイと比較器とを有し、 上記第1、第2、第3及び第4のメモリセルアレイはそ
れぞれ、複数のワード線と、複数のビット線対と、該複
数のワード線と該複数のビット線対との交点に配置され
た複数のメモリセルとを有し、 上記第1のメモリセルアレイの各ビット線対と上記第2
のメモリセルアレイの各ビット線対とは第1のスイッチ
手段を介して接続され、 上記第3のメモリセルアレイの各ビット線対と上記第4
のメモリセルアレイの各ビット線対とは第2のスイッチ
手段を介して接続され、 アドレス信号と上記第2のメモリセルアレイの記憶内容
とを上記比較器で比較し、上記比較器での比較結果が一
致しない場合には上記第1及び第2のスイッチ手段は導
通状態とされることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項21】CPUと、前記CPUにバスを介して接
続される記憶装置とを単一の半導体基板上に形成する半
導体データ処理装置であって、 前記記憶装置は、同一アドレスに複数のアドレスデータ
を格納する第1のタグアレイと、同一アドレスに複数の
データを格納する第1のデータアレイと、同一アドレス
に複数のアドレスデータを格納する第2のタグアレイ
と、同一アドレスに複数のデータを格納する第2のデー
タアレイと、前記バスから入力されるアドレス信号と前
記第1又は第2のタグアレイに格納されるアドレスデー
タとを比較する複数の比較器とを有し、 前記第1のタグアレイのビット線と前記第2のタグアレ
イのビット線とは第1のスイッチ手段を介して接続さ
れ、 前記第1のデータアレイのビット線と前記第2のデータ
アレイのビット線とは第2のスイッチ手段を介して接続
され、 前記第1のタグアレイ及び第1のデータアレイのビット
線にセンスアンプがそれぞれ接続され、 前記第1のデータアレイのビット線に接続されるセンス
アンプの出力は前記バスに接続されていることを特徴と
する半導体データ処理装置。 - 【請求項22】請求項21に記載の第1及び第2のタグ
アレイと第1及び第2のデータアレイを構成するメモリ
セルは、入出力が交差接続された一対のCMOSインバ
ータ回路と該インバータ回路の出力を前記ビット線と選
択的に接続する一対のトランスファーゲート回路とから
構成されることを特徴とする半導体データ処理装置。
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