JPH09123456A - インクジェットヘッド、該ヘッド用基板、インクジェットカートリッジ及びインクジェット装置 - Google Patents
インクジェットヘッド、該ヘッド用基板、インクジェットカートリッジ及びインクジェット装置Info
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- JPH09123456A JPH09123456A JP22122396A JP22122396A JPH09123456A JP H09123456 A JPH09123456 A JP H09123456A JP 22122396 A JP22122396 A JP 22122396A JP 22122396 A JP22122396 A JP 22122396A JP H09123456 A JPH09123456 A JP H09123456A
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Abstract
ラが少なくなるようにし、印字濃度ムラの少ない出力が
得られるインクジェットヘッドを提供する。 【解決手段】 インクを吐出する吐出口が設けられ、該
吐出口からインクを吐出するための熱エネルギーを発生
する複数の電気熱変換体からなる列が複数並んで設けら
れた基板であって該複数の列の間に該列の長さに対応し
てインクの供給口が設けられた基板を有するインクジェ
ットヘッドであって、前記複数の列が設けられた前記基
板の部分同士が、前記基板とほぼ同じか、或いはそれ以
上の熱伝導率を有する部材によって連結されたインクジ
ェットヘッド。
Description
ッド、該ヘッド用基板、インクジェットカートリッジ及
びインクジェット装置に関する。
ンインパクト記録方式の記録装置である。すなわち、高
速であり且つ様々な記録メディアに対して記録すること
が可能であり、更に記録時における騒音がほとんど生じ
ない特徴を有することから、プリンタ、ワードプロセッ
サ、ファクシミリ、複写機等の記録機構を担う装置とし
て広く採用されている。
しては、電気熱変換素子を用い、微小な吐出口から微小
な液滴を吐出させ、記録紙に対し記録を行うものがあ
る。
るインクジェットヘッドは、一般に液滴を形成するため
のインク射出器と、このインク射出器に対してインクを
供給する供給系から構成される。例えば、電気熱変換素
子を用いたインクジェットヘッドは、電気熱変換素子が
加圧室内に設けられ、これに記録信号となる電気パルス
を与えることにより記録液に熱エネルギーを与え、その
時の記録液の相変化より生じる記録液の発泡時、すなわ
ち沸騰時の気泡圧力を記録液滴の吐出に利用する構成と
なっている。
た記録方式であるが、その記録画像がインクジェットヘ
ッドの温度に依存してしまう問題がある。例えば、吐出
量はヘッドの温度によって変化し、具体的には環境温度
が高いと吐出量が大きくなるという現象が起こる。この
問題は以前から知られており、印字中のヘッドの昇温に
より印字開始時と印字途中でのヘッド温度に差が生じる
ため、吐出量の差から生じた印字濃度ムラが起きる。こ
の問題に対し、従来とられていた解決手段は、ヘッド温
度を検知する手段、例えばダイオードセンサーを1個な
いし複数個インクジェットヘッドに設け、この検出手段
から受け取った温度に関する情報を参照してヘッド温度
をある点まで上げるという手法や、一回の記録液吐出の
直前に記録液が吐出しない程度のごくエネルギーの小さ
いパルスを複数与えることにより、電気熱変換素子近傍
の記録液の温度を制御する手法が提案されていた。
は、インクジェットヘッドが均一の温度であること、換
言すれば同一ヘッド内で温度センサー近傍の温度と遠方
の温度とがほぼ等しいことを前提にして提案されてい
る。
示されているように基板の背面にあるインクタンクから
インクを供給するような場合、インク供給口によっては
複数列ある電気熱変換素子の列が互いに熱的に隔たれて
おり、一方の列にある電気熱変換素子から発生した熱が
他方の列側に伝わりにくい。図9は従来のインクジェッ
トヘッドの素子基板全体の平面図である。電気熱変換素
子1を配置した基板4は、普通、熱伝導性の良いSiで
きているが、図9から解るように、A部で発生した熱は
P部およびP’部を介さなければB部に伝わらない。す
なわち、A部→B部への熱伝導性が悪いために、インク
ジェットヘッド内に熱の偏りが生じやすい。
による電気エネルギーは、電気熱変換素子によって熱エ
ネルギーに変換される。この熱エネルギーは、インク液
滴の吐出の運動エネルギーに変換される以外に、大気や
記録液へ放熱されたりインクジェットヘッド上に残留す
る。インクジェットヘッド上に残留した熱は、そのまま
放置しておけばいずれは大気に放熱されるが、高周波数
の電気パルスを電気熱変換素子に連続的に加えてインク
液滴を吐出させる、通常の印字下では事情が異なる。残
留した熱が放熱されるまでに費やされる緩和時間は、吐
出の周期よりも長いために、インクジェットヘッド上に
蓄熱され、インクジェットヘッドは自己昇温する。この
インクジェットヘッド上に残留した熱は以下の理由で問
題となる。
の全体的な問題として、ヘッドが熱を帯びると吐出量が
変化し、そのため印字開始時点と印字終了間際とでの記
録濃度に差が生じてしまうことである。第二に、インク
ジェットヘッドの局所的な問題として、電気熱変換素子
に与える記録信号、すなわち電気パルスは、通常の記録
を行えば異なるインクジェット記録素子間で吐出の頻度
やタイミングにバラつきが生じるが、この吐出頻度やタ
イミングのバラつきは、上述のインクジェットヘッド上
に残留した熱のために、インクジェットヘッド上の温度
分布ムラとなって現れることである。インクジェットヘ
ッド上で温度分布にムラが生じた場合、そのインクジェ
ットヘッドを構成している各インクジェット記録素子間
で記録液の吐出量や吐出速度の変動が起きるため、局所
的な記録画像の記録濃度ムラによる画質の低下が生じ
る。
第一の問題は解決できるが、第二の問題は各ノズル列に
ついての温度情報が必要であるため解決できない。
を解決するものであり、吐出後の熱をインクジェットヘ
ッド内に分散させ、ヘッド全体が温度ムラの少ない均一
な温度となるようにし、濃度ムラの少ない出力が得られ
るインクジェットヘッド、該ヘッド用基板、インクジェ
ットカートリッジ及びインクジェット装置を提供するこ
とにある。
を達成するために種々の検討を重ねた結果、本発明を完
成した。
設けられ、該吐出口からインクを吐出するために利用さ
れる熱エネルギーを発生する複数の電気熱変換体からな
る列が複数並んで設けられた基板であって該複数の列の
間に該列の長さに対応してインクの供給口が設けられた
基板を有するインクジェットヘッドであって、前記複数
の列が設けられた前記基板の部分同士が、前記基板とほ
ぼ同じか、或いはそれ以上の熱伝導率を有する部材によ
って連結されていることを特徴とするインクジェットヘ
ッドに関する。
はIr−W合金からなる第1の発明のインクジェットヘ
ッドに関する。
1又は第2の発明のインクジェットヘッドに関する。
の列の間に複数個配列して設けられ、前記部材が前記基
板材料からなる第1の発明のインクジェットヘッドに関
する。
体を覆うように前記基板に直付けされたフィルターであ
る第1の発明のインクジェットヘッドに関する。
れ異なるインクが供給される複数の前記供給口が設けら
れた第1〜第5のいずれかの発明のインクジェットヘッ
ドに関する。
用される熱エネルギーを発生する複数の電気熱変換体か
らなる列が複数並んで設けられ、該複数の列の間に該列
の長さに対応してインクの供給口が設けられたインクジ
ェットヘッド用基板であって、前記複数の列が設けられ
た前記基板の部分同士が、前記基板とほぼ同じか、或い
はそれ以上の熱伝導率を有する部材によって連結されて
いることを特徴とするインクジェットヘッド用基板に関
する。
はIr−W合金からなる第7の発明のインクジェットヘ
ッド用基板に関する。
7又は第8の発明のインクジェットヘッド用基板に関す
る。
数の列の間に複数個配列して設けられ、前記部材が前記
基板材料からなる第7の発明のインクジェットヘッド用
基板に関する。
全体を覆うように前記基板に直付けされたフィルターで
ある第7の発明のインクジェットヘッド用基板に関す
る。
ぞれ異なるインクが供給される複数の前記供給口が設け
られた第7〜第11のいずれかの発明のインクジェット
ヘッド用基板に関する。
発明のインクジェットヘッドと、該インクジェットヘッ
ドに前記供給口を介して供給されるインクを貯溜するた
めのインクタンクとを有することを特徴とするインクジ
ェットカートリッジに関する。
発明のインクジェットヘッドと該インクジェットヘッド
を搭載するための搭載部を有することを特徴とするイン
クジェット装置に関する。
て詳細に説明する。
気熱変換素子列が設けられた基板の部分同士を連結する
材料は、基板を構成する材料とほぼ同じか或いはそれ以
上の熱伝導率を有する材料であることが必要である。こ
のような材料としては、一般に基板として用いられるS
i等の有する熱伝導率(Siの熱伝導率は0℃で168
W・m-1・K-1、常温で800W・m-1・K-1である)
と同程度の、一般的には常温で800W・m-1・K-1以
上、より好ましくは1000W・m-1・K-1以上の熱伝
導率を有する材料が用いられる。
ンク供給口によって互いに隔てられた電気熱変換素子列
が設けられた基板の部分同士を1ヶ所以上連結する具体
的方法としては、インクジェットヘッド上の温度ムラを
分散し均一化する機能を有する形態であればどのような
ものでも差支えないが、例えば後述する実施例1で採用
する図1及び図2に示したインクジェットヘッドの基板
のように、電気熱変換素子列の間を結ぶ1個ないし複数
個のブリッジ状の連結部分6であってもよい。
び図5に示した金属製記録液フィルター8であってもよ
い。このような金属製記録液フィルターは、電気熱変換
素子が配列されている基板に直付けすることが好まし
く、これによって本発明の目的がより確実に達成され
る。用いられる金属材料としては、前記の熱伝導率を有
する金属材料が好適なものとして挙げることができる
が、これに加えて、インク等で腐蝕されない材料である
ことが望ましい。具体的には、金、イリジウム・タング
ステン等の合金製の材料が好ましい。
とヘッドへ供給されるインクを貯溜するインク室102
が設けられたインクタンク101とを一体化したインク
ジェットカートリッジを示す斜視図である。ヘッドとイ
ンクタンクとは、着脱自在に一体化されていてもよい
し、着脱困難に固定されて一体化されていてもよい。基
板4の端部上には、電気熱変換素子に電気エネルギーを
供給するための端子9が設けられており、装置側の端子
との電気的な接続がなされている。
に搭載するインクジェット装置の一例を以下に説明す
る.図12は、本実施形態のインクジェット装置の概略
的構成を説明するための部分断面斜視図である。
ンクジェットヘッドを着脱自在に装着するためのキャリ
ッジである。本例におけるインクジェットヘッドは、イ
ンクの色の種類に応じて4種類装着され、各ヘッドは、
イエローインクのタンク201Y、マゼンタインクのタ
ンク201M、シアンインクのタンク201C、ブラッ
クインクのタンク201Bと共にキャリッジ200上に
搭載されている。
2に支持され、モータ203により順方向または逆方向
に駆動される無端ベルト204によってガイドシャフト
202上を矢印A方向に往復移動可能とされる。無端ベ
ルト204はプーリ205と206間に巻回されてい
る。
向に直交する矢印B方向に間欠的に搬送される。記録紙
Pは上流側の一対のローラユニット207、208と、
下流側の一対のローラユニット209、210とによ
り、扶持され、一定の張力を印加され、へッドに対する
平面性を確保しながら搬送される。各ローラユニットに
対する駆動力の付与は駆動部211により行われるが、
前述の駆動モータを利用して上記ローラユニットを駆動
する構成としてもよい。
録中に必要に応じてホームポジションに停止する。この
ポジションには、各へッドの吐出口面をキャップするキ
ャップ部材212が設けられ、このキャップ部材212
には、吐出口面の吐出口に対して強制的に吸引して吐出
口内の目詰まりを防止するための吸引回復用ポンプ(図
示略)が接続されている。
を適用したインクジェット装置である記録装置を動作さ
せるための装置全体のブロック図である。
り印字情報を制御信号として受ける。印字情報は印字装
置内部の入出力インタフェイス301に一時保存される
と同時に、記録装置内で処理可能なデータに変換され、
ヘッド駆動信号供給手段を兼ねるCPU302に入力さ
れる。
いる制御プログラムに基づき、CPU302に入力され
たデータをRAM304等の周辺ユニットを用いて処理
し、印字するデータ(画像データ)に変換する。
上の適当な位置に記録するために、画像データに同期し
て記録用紙およびヘッドを移動させる駆動用モータを駆
動するための駆動データを作る。画像データおよびモー
タ駆動データは、各々ヘッドドライバ307とモータド
ライバ305を介してヘッド308及び駆動モータ30
6に伝達され、それぞれ制御されたタイミングで駆動さ
れ画像を形成する。
等の液体の付与が行われる被記録媒体としては、各種の
紙やOHPシート、コンパクトディスクや装飾板等に用
いられるプラスチック材、布帛、アルミニウムや銅等の
金属材、牛皮・豚皮・人工皮革等の皮革材、木板・合板
等の木材、竹材、タイル等のセラミックス材、スポンジ
等の三次元構造体等を対象とすることができる。
シート等に対して記録を行うプリンタ装置、コンパクト
ディスク等のプラスチック材に記録を行うプラスチック
用記録装置、金属板に記録を行う金属用記録装置、皮革
に記録を行う皮革用記録装置、木材に記録を行う木材用
記録装置、セラミックス材に記録を行うセラミックス用
記録装置、スポンジ等の三次元網状構造体に対して記録
を行う記録装置、又は布帛に記録を行う捺染装置等をも
含む。
る吐出液としては、それぞれの被記録媒体や記録条件に
合わせた液体を用いればよい。
録へッドとして用い被記録媒体に対して記録を行う、イ
ンクジェット記録システムの一例を説明する。
トヘッドを用いたインクジェット記録システムの構成を
説明するための模式図である。本実施形態におけるイン
クジェットへッドは、被記録媒体Pの記録可能幅に対応
した長さに360dpiの間隔で吐出口を複数配したフ
ルライン型のヘッドであり、イエロー(Y)、マゼンタ
(M)、シアン(C)、ブラック(Bk)の4色に対応
した4つのへッド401a〜401dをホルダ402に
よりX方向に所定の間隔を持って互いに平行に固定支持
されている。
供給手段を構成するヘッドドライバ307から信号が供
給され、この信号に基づいて各ヘッドの駆動が成され
る。
Bkの4色のインクがそれぞれ404a〜404dのイ
ンク容器から供給されている。なお、符号404eは発
泡液が蓄えられた発泡液容器であり、この容器から各へ
ッドに発泡液が供給される構成になっている。
ジ等のインク吸収部材が配されたヘッドキャップ403
a〜403dが設けられており、非記録時に各へッドの
吐出口を覆うことでヘッドの保守を成すことができる。
非記録媒体を搬送するための搬送手段を構成する搬送ベ
ルトである.搬送ベルト406は、各種ローラにより所
定の経路に引き回されており、モータドライバ305に
接続された駆動用ローラにより駆動される。
の記録システムにおいては、記録を行う前後に被記録媒
体に対して各種の処理を行う前処理装置451および後
処理装置452をそれぞれ被記録媒体搬送経路の上流と
下流に設けている。
の種類やインクの種類に応じてその処理内容が異なる
が、例えば、金属、プラスチック、セラミックス等の被
記録媒体に対しては、前処理として紫外線とオゾンの照
射を行い、その表面を活性化することでインクの付着性
の向上を図ることができる。また、プラスチック等の静
電気を生じやすい被記録媒体においては、静電気によっ
てその表面にゴミが付着しやすく、このゴミによって良
好な記録が妨げられる場合があるため、前処理としてイ
オナイザ装置を用いて被記録媒体の静電気を除去するこ
とで、被記録媒体からごみの除去を行うことができる。
また、被記録媒体として布帛を用いる場合には、滲み防
止や先着率の向上等の観点から、布帛にアルカリ性物
質、水溶性物質、合成高分子、水溶性金属塩、尿素およ
びチオ尿素から選択される物質を付与する処理を前処理
として行うことができる。前処理としては、これらに限
らず、被記録媒体の温度を記録に適切な温度にする処理
等であってもよい。
録媒体に対して熱処理や紫外線照射等によるインクの定
着を促進する定着処理や、前処理で付与し末反応で残っ
た処理剤を洗浄する処理等を行うものである。
ラインヘッドを用いて説明したが、これに限らず、前述
したような小型のヘッドを被記録媒体の方向に搬送して
記録を行う形態のものであってもよい。
が、本発明はこれらに限定するものではない。
要部断面図であり、図2は基板全体の平面図である。図
中において1は電気熱変換素子、2は吐出口、3はノズ
ルオリフィスプレート、4はSi基板、5は供給口、6
は本発明の特徴の連結部分である。3と4の間をインク
(記録液)が埋めており、Si基板の裏側からインクが
供給される。
対面して設けられた、いわゆるサイドシュター型であっ
て、電気熱変換素子を複数設けた基板があり、インク供
給口5として背面のインクタンクに連通させるためにこ
の基板上に開けられた箇所があり、このインク供給口5
を挟んで電気熱変換素子もしくは圧電素子1が基板上に
複数設けられている。本実施例における基板の連結部分
6の素材は電気熱変換素子を配置した基板と同じSiで
あり、連結部の幅は60μmで、連結部と連結部の間隔
は100μm離れている。連結部の幅は、広すぎると記
録液の供給がしづらくなるため、このくらいのオーダー
にすることが望ましい。
用いて、電気熱変換素子の片側列のみ連続吐出させた場
合の温度変化を、吐出列側(実線)と非吐出列側(破
線)で比較してグラフにしたものである。図10は、図
8及び図9に示されるような従来のヘッドについて同じ
ことを行った場合の温度変化のグラフである。2機種と
もインクジェットヘッドは360dpiの256ノズル
であり、機内温度センサ及びヘッド内温度センサを備
え、ヘッドの適当な温度調節を行っている。ヘッドの駆
動周波数は10.0kHzで行った。
に、本発明のインクジェットヘッドは熱特性に優れてお
り、非吐出列側の温度が吐出列側の温度に近い値を取
る。すなわち、ヘッド全体が均一な温度になりやすい。
後にもう一方の列のノズルでベタを印字するという実験
を従来ヘッドと本実施例のヘッドにより行ったが、従来
ヘッドの場合、印字する列の変更時のOD値の変化が
1.45→1.37であったのに対し、本実験例のヘッ
ドでは1.45→1.43とかなり改善された。
面図であり、図5は基板全体の平面図である。図中にお
いて1は電気熱変換素子、2は吐出口、3はノズルオリ
フィスプレート、4はSi基板、5は供給口、7はイン
クタンクであり、8は本発明の特徴の金属製フィルター
である。3と4の間をインク(記録液)が埋めており、
Si基板の裏側からインクが供給される。
対面して設けられた、いわゆるサイドシュター型であっ
て、電気熱変換素子を複数設けた基板があり、インク供
給口5として背面のインクタンクに連通させるためにこ
の基板上に開けられた箇所があり、このインク供給口5
を挟んで電気熱変換素子もしくは圧電素子1が基板上に
複数設けられている。本実施例における金属製フィルタ
ー8は、Au製で、メッシュ幅は12μmのものを使用
した。
用いて、電気熱変換素子の片側列のみ連続吐出させた場
合の温度変化を、吐出列側(実線)と非吐出列側(破
線)で比較してグラフにしたものである。この機種もヘ
ッドは360dpiの256ノズルであり、機内温度セ
ンサ及びヘッド内温度センサを備え、ヘッドの適当な温
度調節を行っている。ヘッドの駆動周波数は10.0k
Hzで行った。
本発明のインクジェットヘッドは熱特性に優れており、
非吐出列側の温度が吐出列側の温度に近い値を取る。す
なわち、ヘッド全体が均一な温度になりやすい。
果を得ることができた。また、本実施例の金属製フィル
ターは記録液のごみを除去するという役割をも兼ねるこ
とができる。
列に並んでいる場合の例であるが、3列以上の電気熱変
換素子が設けられた場合でも本発明は適用可能である。
そのような実施例として、図7(a)及び(b)に、Y
(イエロー)、M(マゼンタ)、C(シアン)、K(ブ
ラック)のカラーインクジェットヘッドに用いられ、電
気熱変換素子が同一基板上に設けられ、供給口がそれぞ
れの色のインクタンクに連通している基板を示す。図7
(a)は、図中の各色に対応したインク供給口に連結部
分6が設けられた例(実施例3)であり、図7(b)
は、金属製フィルター8が設けられた例(実施例4)で
ある。
供給口5の間の基板部分をも介して熱の分散・均一化が
なされる。
よれば、少ない温度センサーでも、全ての電気熱変換素
子上へのインクの供給特性が良好であり、局所的な熱ム
ラの少ない温度特性に優れたインクジェットヘッド、該
ヘッド用基板、インクジェットカートリッジ及びインク
ジェット装置を提供することができ、印字濃度ムラの少
ない出力を得ることができる。
により、別にフィルターを設ける必要もなく、記録液の
ごみを除去する効果も付与することができる。
基板中央付近の要部断面図である。
図である。
列のみ吐出させたときの温度変化を吐出側と非吐出側で
比較したグラフである。
基板中央付近の要部断面図である。
図である。
のみ吐出させたときの温度変化を吐出側と非吐出側で比
較したグラフである。
トヘッドの基板全体の平面図である。
要部断面図である。
の基板全体の平面図である。
ド)で、片側のノズル列のみ吐出させたときの温度変化
を吐出側と非吐出側で比較したグラフである。
クとが一体化されたインクジェットカートリッジを示す
斜視図である。
ンクジェット装置の主要部を示す斜視図である。
斜視図である。
Claims (14)
- 【請求項1】 インクを吐出する吐出口が設けられ、該
吐出口からインクを吐出するために利用される熱エネル
ギーを発生する複数の電気熱変換体からなる列が複数並
んで設けられた基板であって該複数の列の間に該列の長
さに対応してインクの供給口が設けられた基板を有する
インクジェットヘッドであって、前記複数の列が設けら
れた前記基板の部分同士が、前記基板とほぼ同じか、或
いはそれ以上の熱伝導率を有する部材によって連結され
ていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項2】 前記部材がSi、Au、又はIr−W合
金からなる請求項1記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項3】 前記基板がSiからなる請求項1又は2
記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項4】 インクの供給口が前記複数の列の間に複
数個配列して設けられ、前記部材が前記基板材料からな
る請求項1記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項5】 前記部材が、前記供給口全体を覆うよう
に前記基板に直付けされたフィルターである請求項1記
載のインクジェットヘッド。 - 【請求項6】 共通の前記基板に、それぞれ異なるイン
クが供給される複数の前記供給口が設けられた請求項1
〜5のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項7】 インクを吐出するために利用される熱エ
ネルギーを発生する複数の電気熱変換体からなる列が複
数並んで設けられ、該複数の列の間に該列の長さに対応
してインクの供給口が設けられたインクジェットヘッド
用基板であって、前記複数の列が設けられた前記基板の
部分同士が、前記基板とほぼ同じか、或いはそれ以上の
熱伝導率を有する部材によって連結されていることを特
徴とするインクジェットヘッド用基板。 - 【請求項8】 前記部材がSi、Au、又はIr−W合
金からなる請求項7記載のインクジェットヘッド用基
板。 - 【請求項9】 前記基板がSiからなる請求項7又は8
記載のインクジェットヘッド用基板。 - 【請求項10】 インクの供給口が前記複数の列の間に
複数個配列して設けられ、前記部材が前記基板材料から
なる請求項7記載のインクジェットヘッド用基板。 - 【請求項11】 前記部材が、前記供給口全体を覆うよ
うに前記基板に直付けされたフィルターである請求項7
記載のインクジェットヘッド用基板。 - 【請求項12】 共通の前記基板に、それぞれ異なるイ
ンクが供給される複数の前記供給口が設けられた請求項
7〜11のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド
用基板。 - 【請求項13】 請求項1〜6のいずれか1項に記載の
インクジェットヘッドと、該インクジェットヘッドに前
記供給口を介して供給されるインクを貯溜するためのイ
ンクタンクとを有することを特徴とするインクジェット
カートリッジ。 - 【請求項14】 請求項1〜6のいずれか1項に記載の
インクジェットヘッドと該インクジェットヘッドを搭載
するための搭載部を有することを特徴とするインクジェ
ット装置。
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---|---|---|---|
JP22122396A JP3563883B2 (ja) | 1995-08-30 | 1996-08-22 | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッド用基板 |
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JP7-221813 | 1995-08-30 | ||
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Publication Number | Publication Date |
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JPH09123456A true JPH09123456A (ja) | 1997-05-13 |
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JP22122396A Expired - Fee Related JP3563883B2 (ja) | 1995-08-30 | 1996-08-22 | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッド用基板 |
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