JPH09119837A - 振動型ジャイロスコープ - Google Patents
振動型ジャイロスコープInfo
- Publication number
- JPH09119837A JPH09119837A JP8129741A JP12974196A JPH09119837A JP H09119837 A JPH09119837 A JP H09119837A JP 8129741 A JP8129741 A JP 8129741A JP 12974196 A JP12974196 A JP 12974196A JP H09119837 A JPH09119837 A JP H09119837A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bar
- coupled
- flat plate
- supporting
- vibrating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 5
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000002459 sustained effect Effects 0.000 abstract 1
- 210000001520 comb Anatomy 0.000 description 11
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 239000008358 core component Substances 0.000 description 1
- 235000014347 soups Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
- G01C19/574—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
になるという問題があった。 【解決手段】 ジャイロスコープは相互離隔されて設け
られた平板部材101a,101bと、前記平板部材を
振動させる振動手段102a〜102d,107a〜1
07d,109a〜109dと、前記平板部材を支持す
る懸垂手段と、前記平板部材の下部に所定の間隔に離隔
されて位置する電極部材108a,108bとを含むも
のであり、前記懸垂手段は、前記各平板部材と連結部材
103a,103bにより連結されたバー401a,4
01bと、前記バーを支持し前記バーの長手方向の引張
力を低減するため設けられる固定手段410と、前記バ
ーを支持するため前記バーの中間部に設けられた支持手
段420とを備えてなることにより、バーの長手方向へ
の引張力を緩和させ、バーに可撓性を提供する。
Description
係り、さらに詳細には振動型ジャイロスコープに関す
る。
ロスコープはミサイルや船舶、航空機などの航法装置用
の核心部品として用いられているが、現在は自動車の航
法装置や高倍率のカムコーダの手振れを検出してこれを
補正する装置に適用されるなど、その使用領域が拡大さ
れつつある。従来の角速度検出用のジャイロスコープは
精密加工された多数の部品を組み立てて製作されるので
コスト高を招き、装置も大型なので一般産業用や民生用
への適用は不向きである。
ortory, Inc)により開発されたチューニングフォークモ
ードを用いるコーム駆動型マイクロジャイロスコープが
米国特許第5,349,855号に開示されている。該
コーム駆動型マイクロジャイロスコープが図1に示され
ている。ここで、実線及び点線のハッチング部分は電極
(端子)及び固定構造物をそれぞれ示し、ハッチングが
引かれない部分は懸垂構造物を示す。
01bの両側にはコーム102a,102b,102
c,102dがそれぞれ形成されており、連結部材10
3a,103bにより前記平板部材101a,101b
と連結されたバー104a,104bは固定部105
a,105bにより支持される。固定構造体106a,
106b,106cには前記コーム102a,102
b,102c,102dの間に一定の間隔に隔てて結合
されるコーム107a,107b,107c,107d
が形成されている。
は電極108a,108bが設けられ、端子109a,
109b,109c,109d,109eは前記固定構
造体106a,106b,106cと電極108a,1
08bにそれぞれ電圧を印加する。
て、端子109a,109b,109c,109d,1
09eに交流電圧を印加すると、平板部材101,10
2の前記コーム102a,102b,102c,102
dと固定構造物106a,106b,106cのコーム
107a,107b,107c,107dの間に静電気
力が発生して平板部材101a,101bはX軸方向に
振動する。固定構造物106bのコーム107b,10
7cは平板部材101a,101bのX軸上の位置検出
に用いられる。この際、ジャイロスコープがY軸を中心
にして角速度(Ω)で回転すると、平板部材101a,
101bにはZ方向にコリオリ力が与えられる。これに
より、平板部材101a,101bはZ方向に変位さ
れ、平板部材101a,101bと電極108a,10
8bとの間隔の変化による蓄電量の差を測定することに
より角速度(Ω)を検出する。
いて、バー104a,104bの中央部のみ固定及び支
持されているので、コリオリ力による平板部材101
a,101bのZ方向の変位は不均一であり、これによ
り、平板部材101a,101bのZ方向に変位による
蓄電量の変化が非線形になる問題点がある。
したように、固定部202a,202b,202c,2
02dにその両端部が支持されて相互平行に設けられた
一対のバー201a,201bを含む。
動作時、平板部材203a,203bと電極204a,
204bとの間隔が不均一になる問題点を解決すること
ができない。
a,201bが振動するとき、バー201a,201b
の中心振幅が大きくて平板部材203a,203bと電
極204a,204bとの間隔はさらに不均一になり雑
音の原因となる。そして、前記バー201a,201b
は両端部が固定されているので、変形が大きくなる場
合、バー201a,201bの長手方向への引張力はコ
リオリ力に比べ大きくて望ましくない。かつ、平板部材
203a,203bが上下に振動するとき、バー201
a,201bがある程度歪むことは望ましいが、前記バ
ー201a,201bは固定部202a,202b,2
02c,202dに堅く結合されているので、可撓性を
提供することができない。
解決するために創出されたものであって、平板部材のZ
方向への変位が大きくなることによるバーの長手方向の
引張力を低減することができ、角速度の大きさによる蓄
電量変化の非線形性を取り除くことができる振動型ジャ
イロスコープを提供するにある。
に本発明は、互いに離隔されて設けられた平板部材と、
前記平板部材を振動させる振動手段と、前記平板部材を
支持する懸垂手段と、前記平板部材の下部に所定の間隔
に離隔されて位置する電極部材を含む振動型ジャイロス
コープにおいて、前記懸垂手段は、前記各平板部材と連
結部材により連結されたバーと、前記バーを支持し前記
バーの長手方向の引張力を低減するため前記バーの両端
部に結合される固定手段と、前記バーを支持するため前
記バーの中間部に設けられた支持手段とを備えてなるこ
とを特徴とする。
明の実施の形態を詳細に説明する。図4は本発明による
振動型ジャイロスコープを示す平面図である。図4にお
いて図1と同じ参照符号は同じ部材を示す。
振動手段は前記平板部材101a,101bの両側から
相互離隔されるように突出するコーム102a,102
b,102c,102dと、該コーム102a,102
b,102c,102dの間に所定の間隔に結合される
他のコーム107a,107b,107c,107d
と、前記コーム102a〜102d、107a〜107
dに電源を印加する端子109a〜109eとを含む。
前記平板部材101a,101bを電極108a,10
8bの上部を支持する懸垂手段は、前記平板部材101
a,101bと連結される連結部材103a,103b
が形成されたバー401a,401bと、該バー401
a,401bの両端に結合されてバー401a,401
bを支持し、バー401a,401bを長手方向に変形
され得るようにすることにより引張力を低減することが
できる固定手段410と、前記バー401a,401b
の中間部を支持する支持手段420とを含む。
1bの端部から直角方向に延びる緩衝部411及び該緩
衝部411と結合されて基板(図示せず)に固定される
固定部412を含む。
に示されている。図5を参照すると、バー501aは四
角の環状の緩衝部511により固定部512に結合され
る。緩衝部511は図6に示したように、バー501a
の長手方向への引張力を緩和させるため少なくとも一つ
のU字形の曲げ部511aを含むことができる。図7に
は蛇行またはジグザグ形態の緩衝部711が示されてい
る。
1a,401bの中間部、即ち、バー401a,401
bの振幅が最も大きい部分でバー401a,401bと
直角になるように両側に延びる歪みバー421a,42
1bと、該歪みバー421a,421bの端部に結合さ
れて基板に固定される固定部422a,422bとを含
む。
が図8に示されている。示したように、バー801aの
両側から延びた連結バー821aの端部には固定部82
2に結合される四角環状の歪み部821bが連結されて
いる。
901aの両側から延びる連結バー921aと、該連結
バー921aの端部から連結バーと直角になるように両
側に分岐され、その分岐された端部は内側に曲がる歪み
バー921bと、前記歪みバー921bが結合される固
定部922とを含む。
により限らず、平板部材が上下に振動するとき、バーの
引張力を低減し、バーの歪みを提供することができる構
造は本発明に含まれる。
部材101a,101bを支持する連結部材103a,
103bはバー401a,401bの最大変位点に設け
られることが望ましい。
による振動型ジャイロスコープの振動状態が示されてい
る。示したように、バー401a,401bが振動する
とき、平板部材101a,101bと電極108a,1
08bとの間隔は均一である。従って、角速度の変化に
よる蓄電量の変化は線形的になる。
ープの固定手段及び支持手段は平板部材の振動の際、バ
ーの長手方向の引張力を緩和させ、平板部材と電極との
間隔を均一に保たせてバーの歪みを可能にすることによ
り、雑音を防止し、さらに精密に角速度を検出すること
ができる。
図である。
面図である。
施例を示す平面図である。
施例を示す平面図である。
施例を示す平面図である。
施例を示す平面図である。
施例を示す平面図である。
状態を示す側面図である。
動手段) 103a,103b 連結部材(懸垂手段) 108a,108b 電極(電極部材) 109a〜109e 端子(振動手段) 401a,401b、501a,801a,901a
バー(懸垂手段) 410 固定手段(懸垂手段) 411,511,711 緩衝部 412,512 固定部 420 支持手段(懸垂手段) 421a,421b,921b 歪みバー 422a,422b,822,922 固定部 511a 曲げ部 821a,921a 連結バー 821b 歪み部
Claims (10)
- 【請求項1】 互いに離隔されて設けられた平板部材
と、前記平板部材を振動させる振動手段と、前記平板部
材を支持する懸垂手段と、前記平板部材の下部に所定の
間隔に離隔されて位置する電極部材を含む振動型ジャイ
ロスコープにおいて、 前記懸垂手段は、 前記各平板部材と連結部材により連結されたバーと、 前記バーを支持し前記バーの長手方向の引張力を低減す
るため前記バーの両端部に結合される固定手段と、 前記バーを支持するため前記バーの中間部に設けられた
支持手段とを備えてなることを特徴とする振動型ジャイ
ロスコープ。 - 【請求項2】 前記固定手段は前記バーの端部に結合さ
れる緩衝部と、前記緩衝部に結合されて前記バーを支持
する固定部とを含むことを特徴とする請求項1に記載の
振動型ジャイロスコープ。 - 【請求項3】 前記緩衝部は前記バーの端部から直角に
延びることを特徴とする請求項2に記載の振動型ジャイ
ロスコープ。 - 【請求項4】 前記緩衝部は四角の環状よりなることを
特徴とする請求項2に記載の振動型ジャイロスコープ。 - 【請求項5】 前記緩衝部に少なくとも一つのU字形の
曲げ部が形成されることを特徴とする請求項4に記載の
振動型ジャイロスコープ。 - 【請求項6】 前記緩衝部は蛇行またはジグザグ型であ
ることを特徴とする請求項2に記載の振動型ジャイロス
コープ。 - 【請求項7】 前記支持手段は、 前記バーの中間部から前記バーと直角になるように両側
に延びる歪みバーと、前記バーを支持するため前記歪み
バーの端部に結合される固定部とを含むことを特徴とす
る請求項1に記載の振動型ジャイロスコープ。 - 【請求項8】 前記支持手段は、 前記バーの中間部から前記バーと直角になるように両側
に延びる連結バーと、前記連結バーの各端部に結合され
る四角環状の歪み部と、前記バーを支持するため前記歪
み部に結合される固定部とを含むことを特徴とする請求
項1に記載の振動型ジャイロスコープ。 - 【請求項9】 前記支持手段は、 前記バーの中間部から前記バーと直角になるように両側
に延びる連結バーと、前記連結バーの端部から前記連結
バーと直角になるように両側に分岐され、前記分岐され
た端部は内側に曲がる歪みバーと、前記歪みバーの端部
が結合される固定部とを含むことを特徴とする請求項1
に記載の振動型ジャイロスコープ。 - 【請求項10】 前記連結部材は前記バーの振動変位が
最も大きい部位に結合されることを特徴とする請求項1
に記載の振動型ジャイロスコープ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR199513258 | 1995-05-25 | ||
KR1019950013258A KR100374804B1 (ko) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | 진동형자이로스코프 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09119837A true JPH09119837A (ja) | 1997-05-06 |
JP3814016B2 JP3814016B2 (ja) | 2006-08-23 |
Family
ID=19415391
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12974196A Expired - Fee Related JP3814016B2 (ja) | 1995-05-25 | 1996-05-24 | 振動型ジャイロスコープ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5780739A (ja) |
JP (1) | JP3814016B2 (ja) |
KR (1) | KR100374804B1 (ja) |
DE (1) | DE19620009B4 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000337884A (ja) * | 1999-03-25 | 2000-12-08 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JP2006138855A (ja) * | 2004-11-12 | 2006-06-01 | Ind Technol Res Inst | 回転量計測装置とその製作方法 |
JP5037690B2 (ja) * | 2008-08-18 | 2012-10-03 | 株式会社日立製作所 | 微小電気機械システム |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5911156A (en) | 1997-02-24 | 1999-06-08 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Split electrode to minimize charge transients, motor amplitude mismatch errors, and sensitivity to vertical translation in tuning fork gyros and other devices |
JP3555388B2 (ja) * | 1997-06-30 | 2004-08-18 | 株式会社デンソー | 半導体ヨーレートセンサ |
US6230563B1 (en) | 1998-06-09 | 2001-05-15 | Integrated Micro Instruments, Inc. | Dual-mass vibratory rate gyroscope with suppressed translational acceleration response and quadrature-error correction capability |
JP4075022B2 (ja) * | 1998-06-24 | 2008-04-16 | アイシン精機株式会社 | 角速度センサ |
FR2798993B1 (fr) * | 1999-09-28 | 2001-12-07 | Thomson Csf Sextant | Gyrometre de type diapason |
KR100374812B1 (ko) * | 1999-11-04 | 2003-03-03 | 삼성전자주식회사 | 두개의 공진판을 가진 마이크로 자이로스코프 |
US6426538B1 (en) * | 2001-01-16 | 2002-07-30 | Honeywell International Inc. | Suspended micromachined structure |
US6928872B2 (en) * | 2001-04-27 | 2005-08-16 | Stmicroelectronics S.R.L. | Integrated gyroscope of semiconductor material with at least one sensitive axis in the sensor plane |
US6785117B2 (en) * | 2002-03-15 | 2004-08-31 | Denso Corporation | Capacitive device |
US6792381B2 (en) * | 2002-05-06 | 2004-09-14 | Avaya Technology Corp. | Apparatus and method for locating devices using an acoustic gyroscope |
JP4166528B2 (ja) * | 2002-08-07 | 2008-10-15 | 株式会社デンソー | 容量式力学量センサ |
US6860151B2 (en) * | 2003-02-07 | 2005-03-01 | Honeywell International Inc. | Methods and systems for controlling movement within MEMS structures |
US6966224B2 (en) * | 2003-03-06 | 2005-11-22 | Bei Technologies, Inc. | Micromachined vibratory gyroscope with electrostatic coupling |
US7043985B2 (en) * | 2004-01-13 | 2006-05-16 | Georgia Tech Research Corporation | High-resolution in-plane tuning fork gyroscope and methods of fabrication |
US8061201B2 (en) | 2007-07-13 | 2011-11-22 | Georgia Tech Research Corporation | Readout method and electronic bandwidth control for a silicon in-plane tuning fork gyroscope |
WO2011026100A1 (en) | 2009-08-31 | 2011-03-03 | Georgia Tech Research Corporation | Bulk acoustic wave gyroscope with spoked structure |
DE102009048139A1 (de) * | 2009-10-02 | 2011-04-07 | Siemens Aktiengesellschaft | Mikromechanischer Sensor |
TWI453371B (zh) | 2011-12-30 | 2014-09-21 | Ind Tech Res Inst | 一種具振盪模組的微機電系統裝置 |
CA3030308C (en) | 2016-07-29 | 2022-04-05 | The Board Of Trustees Of Western Michigan University | Magnetic nanoparticle-based gyroscopic sensor |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4628734A (en) * | 1982-01-21 | 1986-12-16 | Watson Industries, Inc. | Angular rate sensor apparatus |
US4524619A (en) * | 1984-01-23 | 1985-06-25 | Piezoelectric Technology Investors, Limited | Vibratory angular rate sensor system |
US5359893A (en) * | 1991-12-19 | 1994-11-01 | Motorola, Inc. | Multi-axes gyroscope |
US5349855A (en) * | 1992-04-07 | 1994-09-27 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Comb drive micromechanical tuning fork gyro |
FR2700012B1 (fr) * | 1992-12-28 | 1995-03-03 | Commissariat Energie Atomique | Accéléromètre intégré à axe sensible parallèle au substrat. |
DE4400127C2 (de) * | 1994-01-05 | 2003-08-14 | Bosch Gmbh Robert | Kapazitiver Beschleunigungssensor und Verfahren zu seiner Herstellung |
US5447068A (en) * | 1994-03-31 | 1995-09-05 | Ford Motor Company | Digital capacitive accelerometer |
DE4414237A1 (de) * | 1994-04-23 | 1995-10-26 | Bosch Gmbh Robert | Mikromechanischer Schwinger eines Schwingungsgyrometers |
-
1995
- 1995-05-25 KR KR1019950013258A patent/KR100374804B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1996
- 1996-05-17 DE DE19620009A patent/DE19620009B4/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-05-24 US US08/653,235 patent/US5780739A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-05-24 JP JP12974196A patent/JP3814016B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000337884A (ja) * | 1999-03-25 | 2000-12-08 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JP2006138855A (ja) * | 2004-11-12 | 2006-06-01 | Ind Technol Res Inst | 回転量計測装置とその製作方法 |
JP5037690B2 (ja) * | 2008-08-18 | 2012-10-03 | 株式会社日立製作所 | 微小電気機械システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR960042014A (ko) | 1996-12-19 |
DE19620009A1 (de) | 1996-11-28 |
DE19620009B4 (de) | 2005-08-04 |
KR100374804B1 (ko) | 2003-05-09 |
JP3814016B2 (ja) | 2006-08-23 |
US5780739A (en) | 1998-07-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH09119837A (ja) | 振動型ジャイロスコープ | |
JP2005106550A (ja) | 角速度検出装置 | |
KR970048472A (ko) | 마이크로 자이로스코프 | |
JP2000337884A (ja) | 角速度センサ | |
JP3428458B2 (ja) | 角速度センサ | |
JPH0313006A (ja) | 振動子の支持構造 | |
JPH08159806A (ja) | 方位センサおよび方位距離センサ | |
JPS62217114A (ja) | ジヤイロ装置 | |
JP3166522B2 (ja) | 加速度センサ | |
EP0800058A2 (en) | Vibrating gyroscope | |
JP2001133476A (ja) | 加速度センサ | |
JP3608381B2 (ja) | 角速度センサ | |
EP0707212A2 (en) | Acceleration sensor | |
JP3355993B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2000292174A (ja) | ジャイロスコープ | |
US5751093A (en) | Vibrating gyroscope | |
JP3139205B2 (ja) | 加速度センサ | |
JPH07101176B2 (ja) | 振動型角速度検出装置 | |
JPH0257247B2 (ja) | ||
JP2540257B2 (ja) | 振動子の支持構造 | |
JP3139204B2 (ja) | 加速度センサ | |
JPH1151961A (ja) | 圧電振動子 | |
JPH1194872A (ja) | 加速度センサ | |
JPH1138037A (ja) | 圧電振動子 | |
JP2000292171A (ja) | 振動ジャイロ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060403 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060509 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060602 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100609 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110609 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110609 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120609 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120609 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130609 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |