JPH09103643A - オゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合物を含むガスの清浄化装置および方法 - Google Patents
オゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合物を含むガスの清浄化装置および方法Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 32
- 150000002366 halogen compounds Chemical class 0.000 title claims 3
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 claims abstract description 145
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 64
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 38
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 83
- 239000002594 sorbent Substances 0.000 claims description 75
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 71
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 61
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 60
- 230000000779 depleting effect Effects 0.000 claims description 32
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims description 19
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 8
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 abstract description 10
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 abstract 4
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 abstract 1
- XPDWGBQVDMORPB-UHFFFAOYSA-N Fluoroform Chemical compound FC(F)F XPDWGBQVDMORPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- -1 perfluoro compounds Chemical class 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 8
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- CUPCBVUMRUSXIU-UHFFFAOYSA-N [Fe].OOO Chemical compound [Fe].OOO CUPCBVUMRUSXIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 4
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 4
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012855 volatile organic compound Substances 0.000 description 4
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910018503 SF6 Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000008280 chlorinated hydrocarbons Chemical class 0.000 description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- WMIYKQLTONQJES-UHFFFAOYSA-N hexafluoroethane Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)F WMIYKQLTONQJES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 229910021519 iron(III) oxide-hydroxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 3
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 3
- QKCGXXHCELUCKW-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(dinaphthalen-2-ylamino)phenyl]phenyl]-n-naphthalen-2-ylnaphthalen-2-amine Chemical compound C1=CC=CC2=CC(N(C=3C=CC(=CC=3)C=3C=CC(=CC=3)N(C=3C=C4C=CC=CC4=CC=3)C=3C=C4C=CC=CC4=CC=3)C3=CC4=CC=CC=C4C=C3)=CC=C21 QKCGXXHCELUCKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052615 phyllosilicate Inorganic materials 0.000 description 3
- SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N sulfur hexafluoride Chemical compound FS(F)(F)(F)(F)F SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229960000909 sulfur hexafluoride Drugs 0.000 description 3
- BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 1,1-Difluoroethene Chemical group FC(F)=C BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920004449 Halon® Polymers 0.000 description 2
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000278 bentonite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000440 bentonite Substances 0.000 description 2
- SVPXDRXYRYOSEX-UHFFFAOYSA-N bentoquatam Chemical compound O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O SVPXDRXYRYOSEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- PXBRQCKWGAHEHS-UHFFFAOYSA-N dichlorodifluoromethane Chemical compound FC(F)(Cl)Cl PXBRQCKWGAHEHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RWRIWBAIICGTTQ-UHFFFAOYSA-N difluoromethane Chemical compound FCF RWRIWBAIICGTTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YGANSGVIUGARFR-UHFFFAOYSA-N dipotassium dioxosilane oxo(oxoalumanyloxy)alumane oxygen(2-) Chemical class [O--].[K+].[K+].O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O YGANSGVIUGARFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 2
- 150000008282 halocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- NCNCGGDMXMBVIA-UHFFFAOYSA-L iron(ii) hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Fe+2] NCNCGGDMXMBVIA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 2
- 229910052628 phlogopite Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N tetrachloromethane Chemical compound ClC(Cl)(Cl)Cl VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 2
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trichloroethane Chemical compound CC(Cl)(Cl)Cl UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UJPMYEOUBPIPHQ-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trifluoroethane Chemical compound CC(F)(F)F UJPMYEOUBPIPHQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UGCSPKPEHQEOSR-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2-tetrachloro-1,2-difluoroethane Chemical compound FC(Cl)(Cl)C(F)(Cl)Cl UGCSPKPEHQEOSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AJDIZQLSFPQPEY-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-Trichlorotrifluoroethane Chemical compound FC(F)(Cl)C(F)(Cl)Cl AJDIZQLSFPQPEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NPNPZTNLOVBDOC-UHFFFAOYSA-N 1,1-difluoroethane Chemical compound CC(F)F NPNPZTNLOVBDOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DPOZWTRVXPUOQW-UHFFFAOYSA-N 1,2-dibromo-1,1-difluoroethane Chemical compound FC(F)(Br)CBr DPOZWTRVXPUOQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DDMOUSALMHHKOS-UHFFFAOYSA-N 1,2-dichloro-1,1,2,2-tetrafluoroethane Chemical compound FC(F)(Cl)C(F)(F)Cl DDMOUSALMHHKOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RFCAUADVODFSLZ-UHFFFAOYSA-N 1-Chloro-1,1,2,2,2-pentafluoroethane Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)Cl RFCAUADVODFSLZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BHNZEZWIUMJCGF-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-1,1-difluoroethane Chemical compound CC(F)(F)Cl BHNZEZWIUMJCGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CYXIKYKBLDZZNW-UHFFFAOYSA-N 2-Chloro-1,1,1-trifluoroethane Chemical compound FC(F)(F)CCl CYXIKYKBLDZZNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005995 Aluminium silicate Substances 0.000 description 1
- VOPWNXZWBYDODV-UHFFFAOYSA-N Chlorodifluoromethane Chemical compound FC(F)Cl VOPWNXZWBYDODV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004340 Chloropentafluoroethane Substances 0.000 description 1
- 241001507939 Cormus domestica Species 0.000 description 1
- 239000004338 Dichlorodifluoromethane Substances 0.000 description 1
- 239000004341 Octafluorocyclobutane Substances 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- WYTGDNHDOZPMIW-RCBQFDQVSA-N alstonine Natural products C1=CC2=C3C=CC=CC3=NC2=C2N1C[C@H]1[C@H](C)OC=C(C(=O)OC)[C@H]1C2 WYTGDNHDOZPMIW-RCBQFDQVSA-N 0.000 description 1
- 235000012211 aluminium silicate Nutrition 0.000 description 1
- 229910052626 biotite Inorganic materials 0.000 description 1
- MEXUFEQDCXZEON-UHFFFAOYSA-N bromochlorodifluoromethane Chemical compound FC(F)(Cl)Br MEXUFEQDCXZEON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RJCQBQGAPKAMLL-UHFFFAOYSA-N bromotrifluoromethane Chemical compound FC(F)(F)Br RJCQBQGAPKAMLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- IYRWEQXVUNLMAY-UHFFFAOYSA-N carbonyl fluoride Chemical compound FC(F)=O IYRWEQXVUNLMAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052862 chloritoid Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019406 chloropentafluoroethane Nutrition 0.000 description 1
- UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N chlorotrifluoroethylene Chemical compound FC(F)=C(F)Cl UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFYPFACVUDMOHA-UHFFFAOYSA-N chlorotrifluoromethane Chemical compound FC(F)(F)Cl AFYPFACVUDMOHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 1
- GUJOJGAPFQRJSV-UHFFFAOYSA-N dialuminum;dioxosilane;oxygen(2-);hydrate Chemical compound O.[O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3].O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Si]=O GUJOJGAPFQRJSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AZSZCFSOHXEJQE-UHFFFAOYSA-N dibromodifluoromethane Chemical compound FC(F)(Br)Br AZSZCFSOHXEJQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KVBKAPANDHPRDG-UHFFFAOYSA-N dibromotetrafluoroethane Chemical compound FC(F)(Br)C(F)(F)Br KVBKAPANDHPRDG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019404 dichlorodifluoromethane Nutrition 0.000 description 1
- UMNKXPULIDJLSU-UHFFFAOYSA-N dichlorofluoromethane Chemical compound FC(Cl)Cl UMNKXPULIDJLSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940099364 dichlorofluoromethane Drugs 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 229910052598 goethite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 125000001475 halogen functional group Chemical group 0.000 description 1
- 230000002140 halogenating effect Effects 0.000 description 1
- 230000026030 halogenation Effects 0.000 description 1
- 238000005658 halogenation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005338 heat storage Methods 0.000 description 1
- 229910052595 hematite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011019 hematite Substances 0.000 description 1
- AEIXRCIKZIZYPM-UHFFFAOYSA-M hydroxy(oxo)iron Chemical compound [O][Fe]O AEIXRCIKZIZYPM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052900 illite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 235000014413 iron hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- LIKBJVNGSGBSGK-UHFFFAOYSA-N iron(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Fe+3].[Fe+3] LIKBJVNGSGBSGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SZVJSHCCFOBDDC-UHFFFAOYSA-N iron(II,III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]O[Fe]=O SZVJSHCCFOBDDC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N kaolin Chemical compound O.O.O=[Al]O[Si](=O)O[Si](=O)O[Al]=O NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052901 montmorillonite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052627 muscovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGIBGUSAECPPNB-UHFFFAOYSA-L nonaaluminum;magnesium;tripotassium;1,3-dioxido-2,4,5-trioxa-1,3-disilabicyclo[1.1.1]pentane;iron(2+);oxygen(2-);fluoride;hydroxide Chemical compound [OH-].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[F-].[Mg+2].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[Al+3].[K+].[K+].[K+].[Fe+2].O1[Si]2([O-])O[Si]1([O-])O2.O1[Si]2([O-])O[Si]1([O-])O2.O1[Si]2([O-])O[Si]1([O-])O2.O1[Si]2([O-])O[Si]1([O-])O2.O1[Si]2([O-])O[Si]1([O-])O2.O1[Si]2([O-])O[Si]1([O-])O2.O1[Si]2([O-])O[Si]1([O-])O2 VGIBGUSAECPPNB-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000273 nontronite Inorganic materials 0.000 description 1
- BCCOBQSFUDVTJQ-UHFFFAOYSA-N octafluorocyclobutane Chemical compound FC1(F)C(F)(F)C(F)(F)C1(F)F BCCOBQSFUDVTJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019407 octafluorocyclobutane Nutrition 0.000 description 1
- QYSGYZVSCZSLHT-UHFFFAOYSA-N octafluoropropane Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F QYSGYZVSCZSLHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KAVGMUDTWQVPDF-UHFFFAOYSA-N perflubutane Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F KAVGMUDTWQVPDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229950003332 perflubutane Drugs 0.000 description 1
- 229960004065 perflutren Drugs 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 229910000275 saponite Inorganic materials 0.000 description 1
- ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N silicon tetrafluoride Chemical compound F[Si](F)(F)F ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000011232 storage material Substances 0.000 description 1
- 239000005437 stratosphere Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- CYRMSUTZVYGINF-UHFFFAOYSA-N trichlorofluoromethane Chemical compound FC(Cl)(Cl)Cl CYRMSUTZVYGINF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940029284 trichlorofluoromethane Drugs 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
- 229910052902 vermiculite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010455 vermiculite Substances 0.000 description 1
- 235000019354 vermiculite Nutrition 0.000 description 1
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/46—Removing components of defined structure
- B01D53/68—Halogens or halogen compounds
- B01D53/70—Organic halogen compounds
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- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
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- B01D53/0462—Temperature swing adsorption
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B01D2251/00—Reactants
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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- B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
- B01D2253/10—Inorganic adsorbents
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- B01D2253/1124—Metal oxides
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 オゾン破壊性および／または気候作用性ハロ
ゲン化化合物を含有する廃ガスから前記ハロゲン化化合
物を、工業的規模で効率よく除去する装置および方法を
提供する。 【解決手段】 オゾン破壊性および／または気候作用性
ハロゲン化化合物用の固定式固体収着剤を含む少なくと
も１基の収着装置と、清浄化対象の前記廃ガスを前記収
着装置に供給するためのガス供給手段と、加熱装置と、
を有するオゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲ
ン化化合物含有廃ガスの清浄化装置を、前記収着装置が
前記オゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲン化
化合物用の固定式固体収着剤を各々収容する２個のチャ
ンバーを有し、前記２個のチャンバーは前記収着装置内
に設置される前記加熱装置を介して連結している構成と
し、かつ、清浄化対象の前記廃ガスの流れの方向を逆転
させるために、前記２個のチャンバーが前記ガス供給手
段に交互に接続できる構成とした。
ゲン化化合物を含有する廃ガスから前記ハロゲン化化合
物を、工業的規模で効率よく除去する装置および方法を
提供する。 【解決手段】 オゾン破壊性および／または気候作用性
ハロゲン化化合物用の固定式固体収着剤を含む少なくと
も１基の収着装置と、清浄化対象の前記廃ガスを前記収
着装置に供給するためのガス供給手段と、加熱装置と、
を有するオゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲ
ン化化合物含有廃ガスの清浄化装置を、前記収着装置が
前記オゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲン化
化合物用の固定式固体収着剤を各々収容する２個のチャ
ンバーを有し、前記２個のチャンバーは前記収着装置内
に設置される前記加熱装置を介して連結している構成と
し、かつ、清浄化対象の前記廃ガスの流れの方向を逆転
させるために、前記２個のチャンバーが前記ガス供給手
段に交互に接続できる構成とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、オゾン破壊性およ
び／または気候作用性ハロゲン化化合物を含む廃ガスを
効率的に清浄化する装置および方法に関する。
び／または気候作用性ハロゲン化化合物を含む廃ガスを
効率的に清浄化する装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体業界では、ＰＦＣと呼ばれる多量
のパーフルオロ化合物がドライエッチング用に使用され
ている。これら化合物には、例えば、四フッ化炭素（Ｃ
Ｆ4）、トリフルオロメタン（ＣＨＦ3）、ヘキサフルオ
ロエタン（Ｃ2Ｆ6）、六フッ化硫黄（ＳＦ6）および三
フッ化窒素（ＮＦ3）等が含まれる。また、フッ素は、
放電等によってこれらの化合物から生成されて、半導体
基板、例えばシリコンウェハーをエッチングするのに使
用されている。
のパーフルオロ化合物がドライエッチング用に使用され
ている。これら化合物には、例えば、四フッ化炭素（Ｃ
Ｆ4）、トリフルオロメタン（ＣＨＦ3）、ヘキサフルオ
ロエタン（Ｃ2Ｆ6）、六フッ化硫黄（ＳＦ6）および三
フッ化窒素（ＮＦ3）等が含まれる。また、フッ素は、
放電等によってこれらの化合物から生成されて、半導体
基板、例えばシリコンウェハーをエッチングするのに使
用されている。
【０００３】パーフルオロ化合物は極めて不活性であ
り、従って、これらの化合物は半導体産業で使用される
廃ガス清浄化装置では捕捉できないまま大気中に放散さ
れる。パーフルオロ化合物は気候作用性を有し、いわゆ
るＧＷＰ（温室温暖化係数、Greenhouse Warming Poten
tial）が大きいことが特徴とされる。これは、ＧＷＰが
極めて大きい六フッ化硫黄について特にいえることであ
る。さらに、これらの化合物の幾つか、例えば三フッ化
窒素などは極めて毒性が高い。
り、従って、これらの化合物は半導体産業で使用される
廃ガス清浄化装置では捕捉できないまま大気中に放散さ
れる。パーフルオロ化合物は気候作用性を有し、いわゆ
るＧＷＰ（温室温暖化係数、Greenhouse Warming Poten
tial）が大きいことが特徴とされる。これは、ＧＷＰが
極めて大きい六フッ化硫黄について特にいえることであ
る。さらに、これらの化合物の幾つか、例えば三フッ化
窒素などは極めて毒性が高い。
【０００４】不活性という問題は、パーフルオロ化合物
の廃ガス清浄化においてばかりでなく、他のハロゲン化
化合物、例えば、塩素化炭化水素、クロロフルオロカー
ボン、ブロモフルオロカーボン等のようなハロゲン化炭
化水素についても起こる。そこで、これらの化合物もま
た大気中に大量に放散されることになる。これらの化合
物は、成層圏中のオゾン層の破壊の重要な要因となる。
つまり、これらの化合物については、いわゆるＯＤＰ
（オゾン破壊係数、Ozone Depletion Potential）が大
きいといえる。
の廃ガス清浄化においてばかりでなく、他のハロゲン化
化合物、例えば、塩素化炭化水素、クロロフルオロカー
ボン、ブロモフルオロカーボン等のようなハロゲン化炭
化水素についても起こる。そこで、これらの化合物もま
た大気中に大量に放散されることになる。これらの化合
物は、成層圏中のオゾン層の破壊の重要な要因となる。
つまり、これらの化合物については、いわゆるＯＤＰ
（オゾン破壊係数、Ozone Depletion Potential）が大
きいといえる。
【０００５】ドイツ連邦共和国特許出願公開第４４ ０
４ ３２９号は、水酸化鉄またはオキシ水酸化鉄を含む
加熱したフィロ珪酸塩収着剤にキャリヤーガス流を用い
てハロゲン化化合物を通すことを特徴とする、オゾン破
壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合物を除去
する装置および方法を開示している。これによれば、例
えば、約３００℃に加熱したベントナイト固定床反応器
と、キャリヤーガスとして窒素を用いることで、四フッ
化炭素を定量的に吸収することができる。しかし、上記
収着剤は熱伝導性が小さいので、工業的に利用して多量
のガス処理を行う場合には、固定床を加熱するために極
めて大量のエネルギーが必要とされることが問題であっ
た。そこで、固定床の前に熱交換器を追加することを検
討すれば、多量のガスを処理する場合でも収着剤の中を
約３００℃の必要温度に維持することが考えられるが、
半導体技術の乾式エッチング工程では、廃ガスはフッ素
含量が高く腐食性が極めて大きいために、金属製熱交換
器の使用は不可能である。
４ ３２９号は、水酸化鉄またはオキシ水酸化鉄を含む
加熱したフィロ珪酸塩収着剤にキャリヤーガス流を用い
てハロゲン化化合物を通すことを特徴とする、オゾン破
壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合物を除去
する装置および方法を開示している。これによれば、例
えば、約３００℃に加熱したベントナイト固定床反応器
と、キャリヤーガスとして窒素を用いることで、四フッ
化炭素を定量的に吸収することができる。しかし、上記
収着剤は熱伝導性が小さいので、工業的に利用して多量
のガス処理を行う場合には、固定床を加熱するために極
めて大量のエネルギーが必要とされることが問題であっ
た。そこで、固定床の前に熱交換器を追加することを検
討すれば、多量のガスを処理する場合でも収着剤の中を
約３００℃の必要温度に維持することが考えられるが、
半導体技術の乾式エッチング工程では、廃ガスはフッ素
含量が高く腐食性が極めて大きいために、金属製熱交換
器の使用は不可能である。
【０００６】ところで、ホウロウ引き配管を通る廃空気
から、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を除去するために、
例えば、熱再生型廃空気清浄化法が利用されている。こ
の方法では、蓄熱物質が入れられた少なくとも２本の塔
が燃焼室を介して接続されている。ひとつの塔は廃空気
の流れ方向で燃焼室の前に配置されており、予め高温状
態になっていて、ここを通過する廃空気を加熱するの
で、燃焼室においてバーナーからのエネルギーの供給は
極く少量で済む。時間が経過すると、燃焼室の前に塔の
温度は下がるが、一方、燃焼室をはさんだ後の塔はバー
ナーで燃焼されたＶＯＣから成る燃焼ガスによって温度
が上がる。燃焼室の後の塔から排出される清浄化された
廃空気がある温度に達すると、すなわちこの燃焼室の後
の塔が燃焼ガスによって充分に加熱されると、廃空気の
流れ方向は逆転する。従って、この方式は「温度スイン
グ」法とも呼ばれている。
から、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を除去するために、
例えば、熱再生型廃空気清浄化法が利用されている。こ
の方法では、蓄熱物質が入れられた少なくとも２本の塔
が燃焼室を介して接続されている。ひとつの塔は廃空気
の流れ方向で燃焼室の前に配置されており、予め高温状
態になっていて、ここを通過する廃空気を加熱するの
で、燃焼室においてバーナーからのエネルギーの供給は
極く少量で済む。時間が経過すると、燃焼室の前に塔の
温度は下がるが、一方、燃焼室をはさんだ後の塔はバー
ナーで燃焼されたＶＯＣから成る燃焼ガスによって温度
が上がる。燃焼室の後の塔から排出される清浄化された
廃空気がある温度に達すると、すなわちこの燃焼室の後
の塔が燃焼ガスによって充分に加熱されると、廃空気の
流れ方向は逆転する。従って、この方式は「温度スイン
グ」法とも呼ばれている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記観点か
らなされたものであり、オゾン破壊性および／または気
候作用性ハロゲン化化合物を含有する廃ガスから前記ハ
ロゲン化化合物を、工業的規模で効率よく除去する装置
および方法を提供することを課題とする。
らなされたものであり、オゾン破壊性および／または気
候作用性ハロゲン化化合物を含有する廃ガスから前記ハ
ロゲン化化合物を、工業的規模で効率よく除去する装置
および方法を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記課題を
解決するために鋭意研究を重ねた結果、上記廃空気から
ＶＯＣを除去するための「温度スイング法」を、加熱し
た収着剤とキャリアーガスを用いる廃ガスからのオゾン
破壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合物除去
装置に取り入れることで、工業規模の廃ガスからエネル
ギー効率よく前記ハロゲン化化合物を除去できることを
見出し、本発明に至った。
解決するために鋭意研究を重ねた結果、上記廃空気から
ＶＯＣを除去するための「温度スイング法」を、加熱し
た収着剤とキャリアーガスを用いる廃ガスからのオゾン
破壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合物除去
装置に取り入れることで、工業規模の廃ガスからエネル
ギー効率よく前記ハロゲン化化合物を除去できることを
見出し、本発明に至った。
【０００９】すなわち本発明は、オゾン破壊性および／
または気候作用性ハロゲン化化合物用の固定式固体収着
剤を含む少なくとも１基の収着装置と、清浄化対象の前
記廃ガスを前記収着装置に供給するためのガス供給手段
と、加熱装置と、を有するオゾン破壊性および／または
気候作用性ハロゲン化化合物含有廃ガスの清浄化装置に
おいて、前記収着装置が前記オゾン破壊性および／また
は気候作用性ハロゲン化化合物用の固定式固体収着剤を
各々収容する２個のチャンバーを有し、前記２個のチャ
ンバーは前記収着装置内に設置される前記加熱装置を介
して連結され、かつ、清浄化対象の前記廃ガスの流れの
方向を逆転させるために、前記２個のチャンバーが前記
ガス供給手段に交互に接続可能であることを特徴とする
オゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合
物含有廃ガス清浄化装置である。
または気候作用性ハロゲン化化合物用の固定式固体収着
剤を含む少なくとも１基の収着装置と、清浄化対象の前
記廃ガスを前記収着装置に供給するためのガス供給手段
と、加熱装置と、を有するオゾン破壊性および／または
気候作用性ハロゲン化化合物含有廃ガスの清浄化装置に
おいて、前記収着装置が前記オゾン破壊性および／また
は気候作用性ハロゲン化化合物用の固定式固体収着剤を
各々収容する２個のチャンバーを有し、前記２個のチャ
ンバーは前記収着装置内に設置される前記加熱装置を介
して連結され、かつ、清浄化対象の前記廃ガスの流れの
方向を逆転させるために、前記２個のチャンバーが前記
ガス供給手段に交互に接続可能であることを特徴とする
オゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合
物含有廃ガス清浄化装置である。
【００１０】本発明の廃ガス清浄化装置が、例えば、２
基の収着装置を有する場合の具体的な構造として、２基
の収着装置を直列に接続する構造、より具体的には、前
記２個のチャンバーを各々有する２基の収着装置を互い
に接続可能に備え、かつ、前記２基の収着装置が前記ガ
ス供給手段に交互に接続が可能である構造を挙げること
ができる。この様な構造を取ることにより、一方の収着
装置において収容された前記固定式固体収着剤が廃ガス
処理能力を失いこれを取り替える際に、他方の収着装置
のみを稼働させることで廃ガス清浄化装置の廃ガス清浄
化処理操作を中断することなく前記取り替えを行うこと
が可能となる。
基の収着装置を有する場合の具体的な構造として、２基
の収着装置を直列に接続する構造、より具体的には、前
記２個のチャンバーを各々有する２基の収着装置を互い
に接続可能に備え、かつ、前記２基の収着装置が前記ガ
ス供給手段に交互に接続が可能である構造を挙げること
ができる。この様な構造を取ることにより、一方の収着
装置において収容された前記固定式固体収着剤が廃ガス
処理能力を失いこれを取り替える際に、他方の収着装置
のみを稼働させることで廃ガス清浄化装置の廃ガス清浄
化処理操作を中断することなく前記取り替えを行うこと
が可能となる。
【００１１】本発明の廃ガス清浄化装置が有する収着装
置として、ドイツ連邦共和国特許出願公開第４１ ０２
９６９号に記載の収着カラムを応用した収着装置を好ま
しく挙げることができ、この様な収着装置として具体的
には、収着装置が有する２個のチャンバーが、底部およ
び上部にバルブを各々有する積み重ね可能な下段用およ
び上段用の２個の容器によって構成され、かつ、前記収
着装置は、連結器具を各々有する、前記下段容器に接続
可能な下部ガス接続部材と、加熱装置を含む中間部材
と、前記上段容器に接続可能な上部ガス接続部材とを備
え、前記中間部材が有する連結器具は、前記下段容器上
部のバルブおよび前記上段容器底部のバルブと組み立て
可能に、また、前記下部ガス接続部材が有する連結器具
は、前記下段容器底部のバルブと組み立て可能に、さら
に、前記上部ガス接続部材が有する連結器具は、前記上
段容器上部のバルブと組み立て可能に、それぞれ設けら
れ、前記連結器具を用いて前記下部ガス接続部材、下段
容器、中間部材、上段容器および上部ガス接続部材の順
で組み立てられ、前記下段容器および上段容器がそれぞ
れ底部および上部に有するバルブの４個全てを開くこと
で、前記下部ガス接続部材から前記上部ガス接続部材へ
と貫通するガス空間が形成されるようにした収着装置を
挙げることができる。なお、上記下段用容器、上段容
器、中間部材には断熱体を設けることが好ましい。
置として、ドイツ連邦共和国特許出願公開第４１ ０２
９６９号に記載の収着カラムを応用した収着装置を好ま
しく挙げることができ、この様な収着装置として具体的
には、収着装置が有する２個のチャンバーが、底部およ
び上部にバルブを各々有する積み重ね可能な下段用およ
び上段用の２個の容器によって構成され、かつ、前記収
着装置は、連結器具を各々有する、前記下段容器に接続
可能な下部ガス接続部材と、加熱装置を含む中間部材
と、前記上段容器に接続可能な上部ガス接続部材とを備
え、前記中間部材が有する連結器具は、前記下段容器上
部のバルブおよび前記上段容器底部のバルブと組み立て
可能に、また、前記下部ガス接続部材が有する連結器具
は、前記下段容器底部のバルブと組み立て可能に、さら
に、前記上部ガス接続部材が有する連結器具は、前記上
段容器上部のバルブと組み立て可能に、それぞれ設けら
れ、前記連結器具を用いて前記下部ガス接続部材、下段
容器、中間部材、上段容器および上部ガス接続部材の順
で組み立てられ、前記下段容器および上段容器がそれぞ
れ底部および上部に有するバルブの４個全てを開くこと
で、前記下部ガス接続部材から前記上部ガス接続部材へ
と貫通するガス空間が形成されるようにした収着装置を
挙げることができる。なお、上記下段用容器、上段容
器、中間部材には断熱体を設けることが好ましい。
【００１２】また、この様な収着装置においては、さら
に、前記中間部材中の少なくとも前記連結器具が前記下
段容器上部のバルブおよび前記上段容器底部のバルブと
組み立てられている領域に、不活性ガスが供給されるチ
ャンバーを備えることが好ましい。
に、前記中間部材中の少なくとも前記連結器具が前記下
段容器上部のバルブおよび前記上段容器底部のバルブと
組み立てられている領域に、不活性ガスが供給されるチ
ャンバーを備えることが好ましい。
【００１３】本発明はさらに、オゾン破壊性および／ま
たは気候作用性ハロゲン化化合物用の少なくとも１個の
固定式固定床を有する収着装置および加熱装置を含む廃
ガス清浄化装置を用いて、前記オゾン破壊性および／ま
たは気候作用性ハロゲン化化合物を含む廃ガスを清浄化
する方法において、前記廃ガス清浄化装置として、前記
収着装置が前記オゾン破壊性および／または気候作用性
ハロゲン化化合物用の固定式固体収着剤を各々収容する
第１および第２の２個のチャンバーを有し、前記２個の
チャンバーは前記収着装置内に設置される前記加熱装置
を介して連結された構造を含む廃ガス清浄化装置を用
い、下記工程： （ａ） 前記第１のチャンバー内の収着剤を、少なくと
も部分的に前記オゾン破壊性および／または気候作用性
ハロゲン化化合物が分解するのに必要な温度まで加熱す
る工程、（ｂ） 前記収着剤が部分的に前記温度まで加
熱された前記第１のチャンバー内へ清浄化対象の前記廃
ガスを供給し、前記第１のチャンバー内で前記廃ガスを
清浄化する工程、（ｃ） 前記第１のチャンバーにおい
て清浄化された廃ガスを前記加熱装置に排出して、前記
加熱装置中で前記廃ガスを加熱した後、この加熱された
廃ガスを前記第２のチャンバー内の収着剤が前記オゾン
破壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合物を分
解するのに必要な温度に少なくとも部分的に達するま
で、前記第２のチャンバー内へ流入させるとともに前記
第２のチャンバーから前記清浄化された廃ガスを排出す
る工程、（ｄ） 前記第１のチャンバー内への清浄化対
象の前記廃ガスの供給を前記第２チャンバー内への供給
に切り換え、前記収着剤が部分的に前記温度まで加熱さ
れた前記第２のチャンバー内で前記廃ガスを清浄化する
工程、（ｅ） 前記第２のチャンバーにおいて清浄化さ
れた廃ガスを前記加熱装置に排出して、前記加熱装置中
で前記廃ガスを加熱した後、この加熱された廃ガスを前
記第１のチャンバー内の収着剤が前記オゾン破壊性およ
び／または気候作用性ハロゲン化化合物を分解するのに
必要な温度に少なくとも部分的に達するまで、前記第１
のチャンバー内へ流入させるとともに前記第１のチャン
バーから前記清浄化された廃ガスを排出する工程、
（ｆ） 前記第２のチャンバー内への清浄化対象の前記
廃ガスの供給を前記第１チャンバー内への供給に切り換
え、前記収着剤が部分的に前記温度まで加熱された前記
第１のチャンバー内で前記廃ガスを清浄化する工程、
（ｇ） 工程（ｃ）〜工程（ｆ）を繰り返えす工程、
（但し、少なくとも前記工程（ｂ）〜工程（ｆ）は、前
記加熱装置に電源を入れた状態で行われる。）を含むこ
とを特徴とするオゾン破壊性および／または気候作用性
ハロゲン化化合物を含む廃ガスを清浄化する方法を提供
する。
たは気候作用性ハロゲン化化合物用の少なくとも１個の
固定式固定床を有する収着装置および加熱装置を含む廃
ガス清浄化装置を用いて、前記オゾン破壊性および／ま
たは気候作用性ハロゲン化化合物を含む廃ガスを清浄化
する方法において、前記廃ガス清浄化装置として、前記
収着装置が前記オゾン破壊性および／または気候作用性
ハロゲン化化合物用の固定式固体収着剤を各々収容する
第１および第２の２個のチャンバーを有し、前記２個の
チャンバーは前記収着装置内に設置される前記加熱装置
を介して連結された構造を含む廃ガス清浄化装置を用
い、下記工程： （ａ） 前記第１のチャンバー内の収着剤を、少なくと
も部分的に前記オゾン破壊性および／または気候作用性
ハロゲン化化合物が分解するのに必要な温度まで加熱す
る工程、（ｂ） 前記収着剤が部分的に前記温度まで加
熱された前記第１のチャンバー内へ清浄化対象の前記廃
ガスを供給し、前記第１のチャンバー内で前記廃ガスを
清浄化する工程、（ｃ） 前記第１のチャンバーにおい
て清浄化された廃ガスを前記加熱装置に排出して、前記
加熱装置中で前記廃ガスを加熱した後、この加熱された
廃ガスを前記第２のチャンバー内の収着剤が前記オゾン
破壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合物を分
解するのに必要な温度に少なくとも部分的に達するま
で、前記第２のチャンバー内へ流入させるとともに前記
第２のチャンバーから前記清浄化された廃ガスを排出す
る工程、（ｄ） 前記第１のチャンバー内への清浄化対
象の前記廃ガスの供給を前記第２チャンバー内への供給
に切り換え、前記収着剤が部分的に前記温度まで加熱さ
れた前記第２のチャンバー内で前記廃ガスを清浄化する
工程、（ｅ） 前記第２のチャンバーにおいて清浄化さ
れた廃ガスを前記加熱装置に排出して、前記加熱装置中
で前記廃ガスを加熱した後、この加熱された廃ガスを前
記第１のチャンバー内の収着剤が前記オゾン破壊性およ
び／または気候作用性ハロゲン化化合物を分解するのに
必要な温度に少なくとも部分的に達するまで、前記第１
のチャンバー内へ流入させるとともに前記第１のチャン
バーから前記清浄化された廃ガスを排出する工程、
（ｆ） 前記第２のチャンバー内への清浄化対象の前記
廃ガスの供給を前記第１チャンバー内への供給に切り換
え、前記収着剤が部分的に前記温度まで加熱された前記
第１のチャンバー内で前記廃ガスを清浄化する工程、
（ｇ） 工程（ｃ）〜工程（ｆ）を繰り返えす工程、
（但し、少なくとも前記工程（ｂ）〜工程（ｆ）は、前
記加熱装置に電源を入れた状態で行われる。）を含むこ
とを特徴とするオゾン破壊性および／または気候作用性
ハロゲン化化合物を含む廃ガスを清浄化する方法を提供
する。
【００１４】本発明の廃ガスの清浄化方法において、前
記工程（ａ）は、例えば、前記加熱装置に電源を入れた
状態で、不活性キャリヤーガスを前記第２のチャンバー
内へ供給し、次いで第２のチャンバーから前記加熱装置
に排出して、前記加熱装置中で前記キャリヤーガスを加
熱した後、この加熱されたキャリヤーガスを前記第１の
チャンバー内へ流入させることによって実施することが
可能である。
記工程（ａ）は、例えば、前記加熱装置に電源を入れた
状態で、不活性キャリヤーガスを前記第２のチャンバー
内へ供給し、次いで第２のチャンバーから前記加熱装置
に排出して、前記加熱装置中で前記キャリヤーガスを加
熱した後、この加熱されたキャリヤーガスを前記第１の
チャンバー内へ流入させることによって実施することが
可能である。
【００１５】上記本発明の廃ガス清浄化装置は、上記本
発明の廃ガスの清浄化方法に従って作動することが好ま
しい。本発明の廃ガス清浄化装置においては、収着装置
が有する２つのチャンバーにオゾン破壊性および／また
は気候作用性ハロゲン化化合物用の固定式固体収着剤が
充填されており、前記収着剤によってオゾン破壊性およ
び／または気候作用性ハロゲン化化合物の分解が起こる
と同時に、前記収着剤は生成した分解生成物と結合す
る。結果として、オゾン破壊性および／または気候作用
性ハロゲン化化合物は前記収着剤に化学吸着される。
発明の廃ガスの清浄化方法に従って作動することが好ま
しい。本発明の廃ガス清浄化装置においては、収着装置
が有する２つのチャンバーにオゾン破壊性および／また
は気候作用性ハロゲン化化合物用の固定式固体収着剤が
充填されており、前記収着剤によってオゾン破壊性およ
び／または気候作用性ハロゲン化化合物の分解が起こる
と同時に、前記収着剤は生成した分解生成物と結合す
る。結果として、オゾン破壊性および／または気候作用
性ハロゲン化化合物は前記収着剤に化学吸着される。
【００１６】ここで、オゾン破壊性および／または気候
作用性ハロゲン化化合物は極めて不活性であることか
ら、本発明の廃ガス清浄化装置においては、前記収着剤
を予め高温にまで加熱しておく必要がある。そのため
に、例えば、本発明の廃ガス清浄化装置を稼働させると
き、まず最初に加熱装置に電源を入れた状態で、廃ガス
を含まない無負荷のキャリヤーガス、すなわち窒素のよ
うな不活性ガス流を収着装置に通す操作を行えばよい。
こうすることによって、ガスの流れ方向の順で加熱装置
の後続のチャンバー（このチャンバーを「第１のチャン
バー」とする）に含まれている収着剤を加熱することが
可能となる。なお、この操作では、もう一方のチャンバ
ー、すなわちガスの流れ方向の順で加熱装置の前にある
チャンバー（このチャンバーを「第２のチャンバー」と
する）が収容する収着剤は加熱されない。
作用性ハロゲン化化合物は極めて不活性であることか
ら、本発明の廃ガス清浄化装置においては、前記収着剤
を予め高温にまで加熱しておく必要がある。そのため
に、例えば、本発明の廃ガス清浄化装置を稼働させると
き、まず最初に加熱装置に電源を入れた状態で、廃ガス
を含まない無負荷のキャリヤーガス、すなわち窒素のよ
うな不活性ガス流を収着装置に通す操作を行えばよい。
こうすることによって、ガスの流れ方向の順で加熱装置
の後続のチャンバー（このチャンバーを「第１のチャン
バー」とする）に含まれている収着剤を加熱することが
可能となる。なお、この操作では、もう一方のチャンバ
ー、すなわちガスの流れ方向の順で加熱装置の前にある
チャンバー（このチャンバーを「第２のチャンバー」と
する）が収容する収着剤は加熱されない。
【００１７】次いで、前記第１のチャンバーから排出さ
れるキャリヤーガスがある温度を超えたとき、すなわち
収着剤がオゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲ
ン化化合物を分解するのに必要な温度に達したときに、
収着装置内のガス流方向が前記キャリヤーガス流の方向
と反対方向になるようにして、清浄化対象の廃ガスを前
記第１のチャンバー内に流入させる。廃ガスが含有する
前記ハロゲン化化合物は、この第１のチャンバー内で全
て除去されるので、第１のチャンバーから送られるガス
により次の加熱装置が腐食化合物に曝されることはな
い。清浄化済みの廃ガスは、加熱装置から第２のチャン
バーを通過して大気へと排出される。
れるキャリヤーガスがある温度を超えたとき、すなわち
収着剤がオゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲ
ン化化合物を分解するのに必要な温度に達したときに、
収着装置内のガス流方向が前記キャリヤーガス流の方向
と反対方向になるようにして、清浄化対象の廃ガスを前
記第１のチャンバー内に流入させる。廃ガスが含有する
前記ハロゲン化化合物は、この第１のチャンバー内で全
て除去されるので、第１のチャンバーから送られるガス
により次の加熱装置が腐食化合物に曝されることはな
い。清浄化済みの廃ガスは、加熱装置から第２のチャン
バーを通過して大気へと排出される。
【００１８】時間が経過すると、加熱装置の前にある第
１のチャンバー内の収着剤は温度が下がり、一方、加熱
装置によって加熱された清浄化済みの廃ガスは、加熱装
置の後続の第２のチャンバー内に絶え間なく供給される
ので、このチャンバー内の収着剤は温度が上がる。この
様にして第２のチャンバー内の収着剤がオゾン破壊性お
よび／または気候作用性ハロゲン化化合物の分解に必要
な温度に達したことろで、直ちに廃ガスの流れ方向を逆
転させると、今度は第２のチャンバー内で前記ハロゲン
化化合物含有の廃ガスが清浄化され、清浄化済みの廃ガ
スは、加熱装置から第１のチャンバーを通過して大気へ
と排出される。
１のチャンバー内の収着剤は温度が下がり、一方、加熱
装置によって加熱された清浄化済みの廃ガスは、加熱装
置の後続の第２のチャンバー内に絶え間なく供給される
ので、このチャンバー内の収着剤は温度が上がる。この
様にして第２のチャンバー内の収着剤がオゾン破壊性お
よび／または気候作用性ハロゲン化化合物の分解に必要
な温度に達したことろで、直ちに廃ガスの流れ方向を逆
転させると、今度は第２のチャンバー内で前記ハロゲン
化化合物含有の廃ガスが清浄化され、清浄化済みの廃ガ
スは、加熱装置から第１のチャンバーを通過して大気へ
と排出される。
【００１９】本発明の廃ガス清浄化装置においては、こ
の操作が繰り返し行われる。つまり、オゾン破壊性およ
び／または気候作用性ハロゲン化化合物含有の廃ガス
は、本発明の廃ガス清浄化装置の収着装置が有する２つ
のチャンバーのどちらか一方に交代で供給され、もう一
方のチャンバーは清浄化された前記廃ガスの大気への出
口となる。
の操作が繰り返し行われる。つまり、オゾン破壊性およ
び／または気候作用性ハロゲン化化合物含有の廃ガス
は、本発明の廃ガス清浄化装置の収着装置が有する２つ
のチャンバーのどちらか一方に交代で供給され、もう一
方のチャンバーは清浄化された前記廃ガスの大気への出
口となる。
【００２０】本発明の廃ガス清浄化装置を、上記のよう
に稼働させることにより、操業準備を極めて速く行うこ
と、例えば、わずか１時間で操業準備を完了させること
が可能となる。また、引き続き行われる清浄化対象の前
記廃ガスの交互供給は、例えば、５〜３０分の間隔で実
施することが可能である。そして、前記廃ガスの供給開
始から数時間後には、両チャンバーとも最適の目的とす
る状態に到達して、この状態において最小限のエネルギ
ー供給で、かつ例えば１０００h-1以上の大きな空間速
度で、前記廃ガスからのオゾン破壊性および／または気
候作用性ハロゲン化化合物の定量的な除去を達成するこ
とが可能となる。
に稼働させることにより、操業準備を極めて速く行うこ
と、例えば、わずか１時間で操業準備を完了させること
が可能となる。また、引き続き行われる清浄化対象の前
記廃ガスの交互供給は、例えば、５〜３０分の間隔で実
施することが可能である。そして、前記廃ガスの供給開
始から数時間後には、両チャンバーとも最適の目的とす
る状態に到達して、この状態において最小限のエネルギ
ー供給で、かつ例えば１０００h-1以上の大きな空間速
度で、前記廃ガスからのオゾン破壊性および／または気
候作用性ハロゲン化化合物の定量的な除去を達成するこ
とが可能となる。
【００２１】本発明の廃ガス清浄化装置が、一旦目的と
する最適の状態に達すれば、加熱装置は廃ガス清浄化装
置が放散する熱量分だけを供給すればよいことになる。
例えば、オゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲ
ン化化合物の分解に必要な収着剤の温度を約３００℃と
して、清浄化対象の廃ガスを、具体的には、オゾン破壊
性および／または気候作用性ハロゲン化化合物含有の窒
素を、流量１００リッター／分で処理する場合には、上
記最適状態での加熱装置の加熱用電力を、わずか約１５
０ワット程度とすることも可能である。
する最適の状態に達すれば、加熱装置は廃ガス清浄化装
置が放散する熱量分だけを供給すればよいことになる。
例えば、オゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲ
ン化化合物の分解に必要な収着剤の温度を約３００℃と
して、清浄化対象の廃ガスを、具体的には、オゾン破壊
性および／または気候作用性ハロゲン化化合物含有の窒
素を、流量１００リッター／分で処理する場合には、上
記最適状態での加熱装置の加熱用電力を、わずか約１５
０ワット程度とすることも可能である。
【００２２】本発明の方法において、清浄化対象となる
廃ガスは、好ましくは、オゾン破壊性および／または気
候作用性ハロゲン化化合物含有の不活性キャリヤーガス
を含む状態で前記収着装置に供給される。この様な不活
性キャリヤーガスとして、例えば、窒素や稀ガス等が挙
げられるが、本発明においては窒素が好ましく用いられ
る。本発明において、前記清浄化対象となる廃ガスまた
は窒素キャリヤーガスにおける前記ハロゲン化化合物の
含有量は、概ね１容量％以上とすることが可能である
が、好適な含有量の範囲として１〜２０容量％程度を挙
げることができる。
廃ガスは、好ましくは、オゾン破壊性および／または気
候作用性ハロゲン化化合物含有の不活性キャリヤーガス
を含む状態で前記収着装置に供給される。この様な不活
性キャリヤーガスとして、例えば、窒素や稀ガス等が挙
げられるが、本発明においては窒素が好ましく用いられ
る。本発明において、前記清浄化対象となる廃ガスまた
は窒素キャリヤーガスにおける前記ハロゲン化化合物の
含有量は、概ね１容量％以上とすることが可能である
が、好適な含有量の範囲として１〜２０容量％程度を挙
げることができる。
【００２３】また、本発明の廃ガス清浄化方法におい
て、流れ方向で加熱装置の前にあるチャンバーに充填さ
れた収着剤は、清浄化対象の廃ガスが供給される際に、
オゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合
物を分解するのに必要な温度にまで加熱されていること
になるが、前記温度については少なくとも１５０℃程度
に設定することが好ましい。さらに、本発明の方法にお
いて前記ハロゲン化化合物を分解するのに好適な温度範
囲として１５０〜５００℃程度を、より好適には１５０
〜４５０℃程度を挙げることができる。
て、流れ方向で加熱装置の前にあるチャンバーに充填さ
れた収着剤は、清浄化対象の廃ガスが供給される際に、
オゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合
物を分解するのに必要な温度にまで加熱されていること
になるが、前記温度については少なくとも１５０℃程度
に設定することが好ましい。さらに、本発明の方法にお
いて前記ハロゲン化化合物を分解するのに好適な温度範
囲として１５０〜５００℃程度を、より好適には１５０
〜４５０℃程度を挙げることができる。
【００２４】なお、加熱装置の前にあるチャンバー内の
全収着剤がこれ程の高い分解温度になる必要はなく、加
熱装置の極く近くの収着剤ゾーンだけがオゾン破壊性お
よび／または気候作用性ハロゲン化化合物の分解温度に
まで加熱されており収着剤の残りの部分がそれよりも低
い温度ゾーンを形成している温度状態でも十分である。
収着剤がこの様な温度構成を示す場合、前記低温ゾーン
の収着剤には、特定の工業プロセスで発生する廃ガス中
の比較的反応性のある化合物が収着される。この様な廃
ガス中の比較的反応性のある化合物としては、例えば、
半導体業界においてＰＦＣを用いるドライエッチングで
発生する廃ガス中に含まれる、フッ素ガス（Ｆ2）、四
フッ化珪素、フルオロホスゲン（ＣＯＦ2）や室温でよ
く吸収されるような反応性ガス等が挙げられる。また、
低温ゾーン用に使用される収着剤は、オゾン破壊性およ
び／または気候作用性ハロゲン化化合物用の高温ゾーン
での化学吸着用に使用される収着剤と同じであってもよ
いし異っていてもよい。
全収着剤がこれ程の高い分解温度になる必要はなく、加
熱装置の極く近くの収着剤ゾーンだけがオゾン破壊性お
よび／または気候作用性ハロゲン化化合物の分解温度に
まで加熱されており収着剤の残りの部分がそれよりも低
い温度ゾーンを形成している温度状態でも十分である。
収着剤がこの様な温度構成を示す場合、前記低温ゾーン
の収着剤には、特定の工業プロセスで発生する廃ガス中
の比較的反応性のある化合物が収着される。この様な廃
ガス中の比較的反応性のある化合物としては、例えば、
半導体業界においてＰＦＣを用いるドライエッチングで
発生する廃ガス中に含まれる、フッ素ガス（Ｆ2）、四
フッ化珪素、フルオロホスゲン（ＣＯＦ2）や室温でよ
く吸収されるような反応性ガス等が挙げられる。また、
低温ゾーン用に使用される収着剤は、オゾン破壊性およ
び／または気候作用性ハロゲン化化合物用の高温ゾーン
での化学吸着用に使用される収着剤と同じであってもよ
いし異っていてもよい。
【００２５】本発明に用いられる上記固定式固体収着剤
は、オゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲン化
化合物を収着することが可能な収着剤であれば特に制限
されないが、酸化鉄、オキシ水酸化鉄、水酸化鉄塩およ
び／またはオキシ水酸化鉄塩を含むことが好ましい。こ
のような収着剤は、ドイツ連邦共和国特許出願公開第４
４ ０４ ３２９号に詳細に記載されているのでこれを参
考とすることが可能である。オキシ水酸化鉄としては針
鉄鉱等を、また、酸化鉄としてはマグヘマイト、磁鉄
鉱、フェリハイドライト、赤鉄鉱等を使用することが可
能である。
は、オゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲン化
化合物を収着することが可能な収着剤であれば特に制限
されないが、酸化鉄、オキシ水酸化鉄、水酸化鉄塩およ
び／またはオキシ水酸化鉄塩を含むことが好ましい。こ
のような収着剤は、ドイツ連邦共和国特許出願公開第４
４ ０４ ３２９号に詳細に記載されているのでこれを参
考とすることが可能である。オキシ水酸化鉄としては針
鉄鉱等を、また、酸化鉄としてはマグヘマイト、磁鉄
鉱、フェリハイドライト、赤鉄鉱等を使用することが可
能である。
【００２６】本発明において上記収着剤は、さらに、少
なくとも１０重量％、好ましくは少なくとも５０重量％
の含有量でフィロ珪酸塩を含むことが好ましい。フィロ
珪酸塩として、具体的には、モンモリングループの鉱
物、タルク、雲母グループの鉱物等から選ばれる物質を
用いることが可能である。より具体的には、モンモリン
グループの鉱物として、モンモリロナイト、ノントロナ
イト、サポナイト、バーミキュライトのような、ベント
ナイトやこれとほぼ同類の粘土物質を挙げることができ
る。雲母グループとしては、例えば、白雲母、黒雲母、
イライト、金雲母、紅雲母、真珠雲母、ソーダ雲母、ク
ロリトイド等を挙げることができる。また、カオリン、
シャモサイト、蛇紋岩も同様に使用可能である。
なくとも１０重量％、好ましくは少なくとも５０重量％
の含有量でフィロ珪酸塩を含むことが好ましい。フィロ
珪酸塩として、具体的には、モンモリングループの鉱
物、タルク、雲母グループの鉱物等から選ばれる物質を
用いることが可能である。より具体的には、モンモリン
グループの鉱物として、モンモリロナイト、ノントロナ
イト、サポナイト、バーミキュライトのような、ベント
ナイトやこれとほぼ同類の粘土物質を挙げることができ
る。雲母グループとしては、例えば、白雲母、黒雲母、
イライト、金雲母、紅雲母、真珠雲母、ソーダ雲母、ク
ロリトイド等を挙げることができる。また、カオリン、
シャモサイト、蛇紋岩も同様に使用可能である。
【００２７】本発明の廃ガス清浄化装置および方法によ
り、これを含有するガス流、特に窒素気流のような不活
性ガス流から除去できるオゾン破壊性および／または気
候作用性ハロゲン化化合物として、具体的には、１〜４
個の炭素原子を有する、フルオロカーボン、塩素化炭化
水素、クロロフルオロカーボン、ブロモフルオロカーボ
ン、ブロモクロロフルオロカーボン、部分的にハロゲン
化されたフルオロカーボンやクロロフルオロカーボン等
を挙げることができる。
り、これを含有するガス流、特に窒素気流のような不活
性ガス流から除去できるオゾン破壊性および／または気
候作用性ハロゲン化化合物として、具体的には、１〜４
個の炭素原子を有する、フルオロカーボン、塩素化炭化
水素、クロロフルオロカーボン、ブロモフルオロカーボ
ン、ブロモクロロフルオロカーボン、部分的にハロゲン
化されたフルオロカーボンやクロロフルオロカーボン等
を挙げることができる。
【００２８】より具体的には、トリクロロフルオロメタ
ン、ジクロロジフルオロメタン、ブロモクロロジフルオ
ロメタン、ジブロモジフルオロメタン、クロロトリフル
オロメタン、ブロモトリフルオロメタン、テトラフルオ
ロメタン、ジクロロフルオロメタン、クロロジフルオロ
メタン、トリフルオロメタン（フルオロホルム）、ジフ
ルオロメタン、１，１，２，２−テトラクロロジフルオ
ロエタン、１，１，２−トリクロロトリフルオロエタ
ン、１，２−ジクロロテトラフルオロエタン、１，２−
ジブロモテトラフルオロエタン、クロロペンタフルオロ
エタン、ヘキサフルオロエタン、１，２−ジブロモ−
１，１−ジフルオロエタン、２−クロロ−１，１，１−
トリフルオロエタン、１−クロロ−１，１−ジフルオロ
エタン、１，１，１−トリフルオロエタン、１，１−ジ
フルオロエタン、オクタフルオロプロパン、オクタフル
オロシクロブタン、デカフルオロブタン、１，１−ジク
ロロジフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン
（トリフルオロビニルクロライド）、１−クロロ−２，
２−ジフルオロエチレン、１，１−ジフルオロエチレン
（フッ化ビニリデン）等を挙げることができる。
ン、ジクロロジフルオロメタン、ブロモクロロジフルオ
ロメタン、ジブロモジフルオロメタン、クロロトリフル
オロメタン、ブロモトリフルオロメタン、テトラフルオ
ロメタン、ジクロロフルオロメタン、クロロジフルオロ
メタン、トリフルオロメタン（フルオロホルム）、ジフ
ルオロメタン、１，１，２，２−テトラクロロジフルオ
ロエタン、１，１，２−トリクロロトリフルオロエタ
ン、１，２−ジクロロテトラフルオロエタン、１，２−
ジブロモテトラフルオロエタン、クロロペンタフルオロ
エタン、ヘキサフルオロエタン、１，２−ジブロモ−
１，１−ジフルオロエタン、２−クロロ−１，１，１−
トリフルオロエタン、１−クロロ−１，１−ジフルオロ
エタン、１，１，１−トリフルオロエタン、１，１−ジ
フルオロエタン、オクタフルオロプロパン、オクタフル
オロシクロブタン、デカフルオロブタン、１，１−ジク
ロロジフルオロエチレン、クロロトリフルオロエチレン
（トリフルオロビニルクロライド）、１−クロロ−２，
２−ジフルオロエチレン、１，１−ジフルオロエチレン
（フッ化ビニリデン）等を挙げることができる。
【００２９】本発明の廃ガス清浄化装置および方法は、
また、クロロフロオロカーボン、フルオロカーボンおよ
び塩素化炭化水素ばかりでなく、広くハロゲン化炭化水
素、例えばハロン、四塩化炭素、メチルクロロホルムま
たは部分的にハロゲン化されたハロンにも適用すること
ができる。
また、クロロフロオロカーボン、フルオロカーボンおよ
び塩素化炭化水素ばかりでなく、広くハロゲン化炭化水
素、例えばハロン、四塩化炭素、メチルクロロホルムま
たは部分的にハロゲン化されたハロンにも適用すること
ができる。
【００３０】本発明の廃ガス清浄化装置および方法が適
用可能な重要な分野として、半導体業界においてパーフ
ルオロ化合物（ＰＦＣ類）を用いたドライエッチングか
ら発生する廃ガスを清浄化する工程を挙げることができ
る。ＰＦＣ類は、半導体部品、例えば、シリコンウェハ
ーをエッチングする際に使用されるばかりでなく、半導
体素子を製造するためのチャンバー用の清浄用ガスとし
ても同時に使用される。使用されるＰＦＣ類には、テト
ラフルオロメタン、トリフルオロメタン、およびヘキサ
フルオロエタンばかりでなく、中でも極めて毒性がある
三フッ化窒素および特に大きなＧＷＰを持つ六フッ化硫
黄も含まれる。
用可能な重要な分野として、半導体業界においてパーフ
ルオロ化合物（ＰＦＣ類）を用いたドライエッチングか
ら発生する廃ガスを清浄化する工程を挙げることができ
る。ＰＦＣ類は、半導体部品、例えば、シリコンウェハ
ーをエッチングする際に使用されるばかりでなく、半導
体素子を製造するためのチャンバー用の清浄用ガスとし
ても同時に使用される。使用されるＰＦＣ類には、テト
ラフルオロメタン、トリフルオロメタン、およびヘキサ
フルオロエタンばかりでなく、中でも極めて毒性がある
三フッ化窒素および特に大きなＧＷＰを持つ六フッ化硫
黄も含まれる。
【００３１】本発明の廃ガス清浄化装置および方法は、
さらに、オゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲ
ン化化合物を処分する目的において用いられることも可
能である。この場合には、前記ハロゲン化化合物をキャ
リヤーガス、特に窒素を用いて気相の状態で本発明の装
置に供給することが好ましい。処分されるべきこれらの
化合物の量は膨大なものとなることが考えられる。本発
明の廃ガス清浄化装置および方法において、オゾン破壊
性および／または気候作用性ハロゲン化化合物を限界量
まで収着した使用済みの収着剤は、通常の方法に従って
安全にかつ容易に処分することができる。
さらに、オゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲ
ン化化合物を処分する目的において用いられることも可
能である。この場合には、前記ハロゲン化化合物をキャ
リヤーガス、特に窒素を用いて気相の状態で本発明の装
置に供給することが好ましい。処分されるべきこれらの
化合物の量は膨大なものとなることが考えられる。本発
明の廃ガス清浄化装置および方法において、オゾン破壊
性および／または気候作用性ハロゲン化化合物を限界量
まで収着した使用済みの収着剤は、通常の方法に従って
安全にかつ容易に処分することができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
１〜図４の図面に基づいて説明する。図１は、本発明に
係る２個のチャンバーを含む収着装置を有する廃ガス清
浄化装置を概略的に示すものであり、右側のグラフは前
記廃ガス清浄化装置操業時における収着装置内の温度プ
ロフィルを示している。
１〜図４の図面に基づいて説明する。図１は、本発明に
係る２個のチャンバーを含む収着装置を有する廃ガス清
浄化装置を概略的に示すものであり、右側のグラフは前
記廃ガス清浄化装置操業時における収着装置内の温度プ
ロフィルを示している。
【００３３】図１によると、この廃ガス清浄化装置は、
パイプ状に形成され、かつ電気加熱装置４を有する中間
部材３によって結合された２個のチャンバーすなわち第
１のチャンバー１、第２のチャンバー２を含む収着装置
Ｓを有する。チャンバー１、２、および中間部材３は、
断熱体５により囲まれている。第１のチャンバー１およ
び第２のチャンバー２には、それぞれ固定式固体収着剤
６、７が充填されており、この収着剤は顆粒状でも他の
塊状でもよく、または、ある成形体、例えば、ハニカム
体を形成していることも可能である。
パイプ状に形成され、かつ電気加熱装置４を有する中間
部材３によって結合された２個のチャンバーすなわち第
１のチャンバー１、第２のチャンバー２を含む収着装置
Ｓを有する。チャンバー１、２、および中間部材３は、
断熱体５により囲まれている。第１のチャンバー１およ
び第２のチャンバー２には、それぞれ固定式固体収着剤
６、７が充填されており、この収着剤は顆粒状でも他の
塊状でもよく、または、ある成形体、例えば、ハニカム
体を形成していることも可能である。
【００３４】オゾン破壊性および／または気候作用性ハ
ロゲン化化合物を含む清浄化対象の廃ガスは、例えば、
窒素気流を用いて廃ガス供給パイプ８を介して収着装置
Ｓに供給され、一方、清浄化された廃ガスは収着装置Ｓ
から出口パイプ９を介して大気中に排出される。廃ガス
供給パイプ８と出口パイプ９は、バルブ装置、例えば、
４／２ポート型切換バルブ１０に接続されていて、この
４／２ポート型切換バルブ１０の有する他の２箇所の接
続部のひとつは、パイプ１１の開口部に接続され、これ
を介して収着剤６の入った第１のチャンバー１へ連絡し
ており、もうひとつはパイプ１２の開口部に接続され、
これを介して収着剤７の入った第２のチャンバー２へ連
絡している。
ロゲン化化合物を含む清浄化対象の廃ガスは、例えば、
窒素気流を用いて廃ガス供給パイプ８を介して収着装置
Ｓに供給され、一方、清浄化された廃ガスは収着装置Ｓ
から出口パイプ９を介して大気中に排出される。廃ガス
供給パイプ８と出口パイプ９は、バルブ装置、例えば、
４／２ポート型切換バルブ１０に接続されていて、この
４／２ポート型切換バルブ１０の有する他の２箇所の接
続部のひとつは、パイプ１１の開口部に接続され、これ
を介して収着剤６の入った第１のチャンバー１へ連絡し
ており、もうひとつはパイプ１２の開口部に接続され、
これを介して収着剤７の入った第２のチャンバー２へ連
絡している。
【００３５】チャンバー１、２、および中間部材３はガ
ス空間を形成しており、操業中（目的とする最適状態
で）のこの空間の温度の勾配は、例えば、図１の右側の
曲線Ａで示されている。すなわち、チャンバー１、２に
おいて、温度はパイプ１１、１２に接続されている箇所
の、例えば、室温から、加熱装置４によって中間部材３
に接続されている箇所の、例えば、３００℃の温度にま
で上昇する。
ス空間を形成しており、操業中（目的とする最適状態
で）のこの空間の温度の勾配は、例えば、図１の右側の
曲線Ａで示されている。すなわち、チャンバー１、２に
おいて、温度はパイプ１１、１２に接続されている箇所
の、例えば、室温から、加熱装置４によって中間部材３
に接続されている箇所の、例えば、３００℃の温度にま
で上昇する。
【００３６】図１に示されるＴｍｉｎは、除去対象のオ
ゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲン化ガスが
分解して化学吸着されるために必要な最低の温度を表
す。Ｔｍｉｎは、例えば、約１５０℃等である。図１に
おいて、温度が＞Ｔｍｉｎであるゾーンは破線によって
温度が＜Ｔｍｉｎであるゾーンと区別されている。
ゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲン化ガスが
分解して化学吸着されるために必要な最低の温度を表
す。Ｔｍｉｎは、例えば、約１５０℃等である。図１に
おいて、温度が＞Ｔｍｉｎであるゾーンは破線によって
温度が＜Ｔｍｉｎであるゾーンと区別されている。
【００３７】加熱の際には、加熱装置４に電源を入れ
る。それから、オゾン破壊性および／または気候作用性
ハロゲン化ガスを含有しない無負荷のＮ2をパイプ８を
介して収着装置Ｓに供給する。４／２ポート型バルブ１
０が図１に示す位置にある状態で、第２のチャンバー２
が加熱装置４によって加熱されるＮ2によって曲線Ｂに
ほぼ対応した温度勾配になるまで、無負荷のＮ2を第１
のチャンバー１に供給する。第２のチャンバー２内の収
着剤７において、加熱装置４に隣接している部分の温度
は、この時、＞Ｔｍｉｎである。第２のチャンバー２か
ら排出されパイプ１２に入るＮ2ガスが、例えば、３０
〜４０℃の温度となったとき、４／２ポート型バルブ１
０を逆回転すると、パイプ８中のオゾン破壊性および／
または気候作用性ハロゲン化化合物を含む廃ガスは、パ
イプ１２を介して、曲線Ｂに従って加熱されている収着
剤７の入ったチャンバー２に供給される。こうして、上
記ハロゲン化化合物は収着剤７に化学吸着される。
る。それから、オゾン破壊性および／または気候作用性
ハロゲン化ガスを含有しない無負荷のＮ2をパイプ８を
介して収着装置Ｓに供給する。４／２ポート型バルブ１
０が図１に示す位置にある状態で、第２のチャンバー２
が加熱装置４によって加熱されるＮ2によって曲線Ｂに
ほぼ対応した温度勾配になるまで、無負荷のＮ2を第１
のチャンバー１に供給する。第２のチャンバー２内の収
着剤７において、加熱装置４に隣接している部分の温度
は、この時、＞Ｔｍｉｎである。第２のチャンバー２か
ら排出されパイプ１２に入るＮ2ガスが、例えば、３０
〜４０℃の温度となったとき、４／２ポート型バルブ１
０を逆回転すると、パイプ８中のオゾン破壊性および／
または気候作用性ハロゲン化化合物を含む廃ガスは、パ
イプ１２を介して、曲線Ｂに従って加熱されている収着
剤７の入ったチャンバー２に供給される。こうして、上
記ハロゲン化化合物は収着剤７に化学吸着される。
【００３８】清浄化された廃ガスは収着剤７によって加
熱され、加熱装置を有する中間部材中でさらに加熱され
た後、第１のチャンバー１内が図１の曲線Ｃに従う温度
勾配となるまで、収着剤６が充填された第１のチャンバ
ー１に送り込まれる。
熱され、加熱装置を有する中間部材中でさらに加熱され
た後、第１のチャンバー１内が図１の曲線Ｃに従う温度
勾配となるまで、収着剤６が充填された第１のチャンバ
ー１に送り込まれる。
【００３９】第１のチャンバー１内が図１の曲線Ｃに従
う温度勾配となったところで、４／２ポート型バルブ１
０を図１に示す位置に戻すと、今度は第２のチャンバー
２内の収着剤７の温度が図１の曲線Ｄに従う温度勾配に
なるまで、廃ガス流はパイプ１１を介して第１のチャン
バー１へと供給され、中間部材３、第２のチャンバー
２、そしてパイプ１２を通過して、最後にパイプ９を介
して大気へ排出される。バルブ１０でこのような逆回転
操作を数回繰り返すと、ついには目的とする最適の状態
として曲線Ａに従う温度勾配が得られる。チャンバー
１、２内の収着剤６、７を交換しなければならない程、
これらの収着剤が前記ハロゲン化化合物の分解生成物に
よって負荷されるまで、この目的とする最適状態で４／
２ポート型バルブ１０の逆回転運転を実施する。
う温度勾配となったところで、４／２ポート型バルブ１
０を図１に示す位置に戻すと、今度は第２のチャンバー
２内の収着剤７の温度が図１の曲線Ｄに従う温度勾配に
なるまで、廃ガス流はパイプ１１を介して第１のチャン
バー１へと供給され、中間部材３、第２のチャンバー
２、そしてパイプ１２を通過して、最後にパイプ９を介
して大気へ排出される。バルブ１０でこのような逆回転
操作を数回繰り返すと、ついには目的とする最適の状態
として曲線Ａに従う温度勾配が得られる。チャンバー
１、２内の収着剤６、７を交換しなければならない程、
これらの収着剤が前記ハロゲン化化合物の分解生成物に
よって負荷されるまで、この目的とする最適状態で４／
２ポート型バルブ１０の逆回転運転を実施する。
【００４０】収着剤６、７を取り替える際に、廃ガス清
浄化作業の中断を避けるためには、図２に概略が示され
るような、それぞれが２個のチャンバーを有する２基の
収着装置を直列に接続した構成の廃ガス清浄化装置を使
用すると便利である。
浄化作業の中断を避けるためには、図２に概略が示され
るような、それぞれが２個のチャンバーを有する２基の
収着装置を直列に接続した構成の廃ガス清浄化装置を使
用すると便利である。
【００４１】図２に示す廃ガス清浄化装置においては、
第１の収着装置Ｓ１および第２の収着装置Ｓ２は、それ
ぞれ図１に示す収着装置Ｓと同様に、加熱装置を有する
中間部材を介して接続された２個のチャンバーを含むよ
うに構成されている。
第１の収着装置Ｓ１および第２の収着装置Ｓ２は、それ
ぞれ図１に示す収着装置Ｓと同様に、加熱装置を有する
中間部材を介して接続された２個のチャンバーを含むよ
うに構成されている。
【００４２】図２の廃ガス清浄化装置には、４個の４／
２ポート型切換バルブ１３、１４、１５、１６が取り付
けられている。廃ガス供給パイプ８は、第１の４／２ポ
ート型バルブ１３に接続されている。第１の４／２ポー
ト型バルブの他の３箇所の接続部は、パイプ１７を介し
て第２の４／２ポート型バルブ１４に、パイプ１８を介
して第３の４／２ポート型バルブ１５に、およびパイプ
１９を介して第４の４／２ポート型バルブ１６にそれぞ
れ接続されている。
２ポート型切換バルブ１３、１４、１５、１６が取り付
けられている。廃ガス供給パイプ８は、第１の４／２ポ
ート型バルブ１３に接続されている。第１の４／２ポー
ト型バルブの他の３箇所の接続部は、パイプ１７を介し
て第２の４／２ポート型バルブ１４に、パイプ１８を介
して第３の４／２ポート型バルブ１５に、およびパイプ
１９を介して第４の４／２ポート型バルブ１６にそれぞ
れ接続されている。
【００４３】第２の４／２ポート型バルブ１４は、一方
ではパイプ１１を介して第１の収着装置Ｓ１の第１のチ
ャンバー１に接続され、他方ではパイプ１２を介して第
１の収着装置Ｓ１の第２のチャンバー２（図１参照のこ
と）に接続され、さらに出口パイプ９が接続されている
第３の４／２ポート型バルブ１５にパイプ２０を介して
接続されている。第４の４／２ポート型バルブ１６は、
一方ではパイプ２１を介して第２の収着装置Ｓ２の第１
のチャンバー１'に接続され、他方、パイプ２２を介し
て第２の収着装置Ｓ２の第２のチャンバー２'（図１参
照）に接続され、さらに出口パイプ９が接続されている
第３の４／２ポート型バルブ１５にパイプを介して接続
されている。
ではパイプ１１を介して第１の収着装置Ｓ１の第１のチ
ャンバー１に接続され、他方ではパイプ１２を介して第
１の収着装置Ｓ１の第２のチャンバー２（図１参照のこ
と）に接続され、さらに出口パイプ９が接続されている
第３の４／２ポート型バルブ１５にパイプ２０を介して
接続されている。第４の４／２ポート型バルブ１６は、
一方ではパイプ２１を介して第２の収着装置Ｓ２の第１
のチャンバー１'に接続され、他方、パイプ２２を介し
て第２の収着装置Ｓ２の第２のチャンバー２'（図１参
照）に接続され、さらに出口パイプ９が接続されている
第３の４／２ポート型バルブ１５にパイプを介して接続
されている。
【００４４】図２に示す廃ガス清浄化装置では、前記４
個の４／２ポート型切換バルブ１３、１４、１５、１６
の切換位置をそれぞれ適当な位置に操作することによ
り、廃ガスの流れを、廃ガス供給パイプ８→第１の収着
装置Ｓ１→第２の収着装置Ｓ２→出口パイプ９の順の流
れ、廃ガス供給パイプ８→第２の収着装置Ｓ２→第１の
収着装置Ｓ１→出口パイプ９の順の流れ、廃ガス供給パ
イプ８→第１の収着装置Ｓ１→出口パイプ９の順の流
れ、廃ガス供給パイプ８→第２の収着装置Ｓ２→出口パ
イプ９の順の流れ、等に調整することが可能である。
個の４／２ポート型切換バルブ１３、１４、１５、１６
の切換位置をそれぞれ適当な位置に操作することによ
り、廃ガスの流れを、廃ガス供給パイプ８→第１の収着
装置Ｓ１→第２の収着装置Ｓ２→出口パイプ９の順の流
れ、廃ガス供給パイプ８→第２の収着装置Ｓ２→第１の
収着装置Ｓ１→出口パイプ９の順の流れ、廃ガス供給パ
イプ８→第１の収着装置Ｓ１→出口パイプ９の順の流
れ、廃ガス供給パイプ８→第２の収着装置Ｓ２→出口パ
イプ９の順の流れ、等に調整することが可能である。
【００４５】各バルブの操作位置が図２に示されるよう
な位置にある場合について、この廃ガス清浄化装置の動
作を説明すると、まず第１の収着装置Ｓ１および第２の
収着装置Ｓ２の加熱装置（図１参照）に電源が入れられ
る。清浄化対象の廃ガスは、パイプ８を介して最初に、
予め加熱処理された第１の収着装置Ｓ１の第２のチャン
バー２（図１参照）へ供給され、第１の収着装置Ｓ１の
第１のチャンバー１が加熱されている間、前記ハロゲン
化化合物は第２のチャンバー２内で化学吸着される。第
１の収着装置Ｓ１から排出される清浄化済みのガスが、
ある温度、例えば、３０℃を超した時に第２の４／２ポ
ート型バルブ１４を逆回転すると、第１の収着装置Ｓ１
内のガスの流れ方向は逆転する。
な位置にある場合について、この廃ガス清浄化装置の動
作を説明すると、まず第１の収着装置Ｓ１および第２の
収着装置Ｓ２の加熱装置（図１参照）に電源が入れられ
る。清浄化対象の廃ガスは、パイプ８を介して最初に、
予め加熱処理された第１の収着装置Ｓ１の第２のチャン
バー２（図１参照）へ供給され、第１の収着装置Ｓ１の
第１のチャンバー１が加熱されている間、前記ハロゲン
化化合物は第２のチャンバー２内で化学吸着される。第
１の収着装置Ｓ１から排出される清浄化済みのガスが、
ある温度、例えば、３０℃を超した時に第２の４／２ポ
ート型バルブ１４を逆回転すると、第１の収着装置Ｓ１
内のガスの流れ方向は逆転する。
【００４６】第１の収着装置Ｓ１から排出される清浄化
された廃ガスは、図２によれば、第３の４／２ポート型
バルブ１５を介して第２の収着装置Ｓ２の第１のチャン
バー１'へ供給される。第２の収着装置Ｓ２の第２のチ
ャンバー２'から排出される廃ガスは、パイプ２２から
第４の４／２ポート型バルブ１６を経由して最終的には
第３の４／２ポート型バルブ１５と出口パイプ９を通過
し、大気中に放出される。また、第２の収着装置Ｓ２内
では第４の４／２ポート型バルブ１６を逆回転させるこ
とによって、ガス流の方向を逆転することができる。
された廃ガスは、図２によれば、第３の４／２ポート型
バルブ１５を介して第２の収着装置Ｓ２の第１のチャン
バー１'へ供給される。第２の収着装置Ｓ２の第２のチ
ャンバー２'から排出される廃ガスは、パイプ２２から
第４の４／２ポート型バルブ１６を経由して最終的には
第３の４／２ポート型バルブ１５と出口パイプ９を通過
し、大気中に放出される。また、第２の収着装置Ｓ２内
では第４の４／２ポート型バルブ１６を逆回転させるこ
とによって、ガス流の方向を逆転することができる。
【００４７】このようにして第２の収着装置Ｓ２では、
無負荷の収着剤が常に操作できるようになっている。同
時に、第２の４／２ポート型バルブ１４が逆回転され
て、第１の収着装置Ｓ１内のガス流の方向が変わると、
第１の収着装置Ｓ１内の収着剤の比較的低温ゾーン、す
なわち＜Ｔｍｉｎゾーンにある多量の廃ガスが、第２の
収着装置Ｓ２に供給されて清浄化される。
無負荷の収着剤が常に操作できるようになっている。同
時に、第２の４／２ポート型バルブ１４が逆回転され
て、第１の収着装置Ｓ１内のガス流の方向が変わると、
第１の収着装置Ｓ１内の収着剤の比較的低温ゾーン、す
なわち＜Ｔｍｉｎゾーンにある多量の廃ガスが、第２の
収着装置Ｓ２に供給されて清浄化される。
【００４８】第１、第２のどちらかの収着装置（Ｓ１ま
たはＳ２）が含有する収着剤に負荷がかかると、この収
着剤は新しい収着剤と交換される。その時の廃ガスの清
浄化は、わずか一時的ではあるが、無負荷の方の収着装
置（Ｓ２またはＳ１）で実施することができる。また、
さらに図２に示すような方式で３基の収着装置を直列に
並べることも可能である。
たはＳ２）が含有する収着剤に負荷がかかると、この収
着剤は新しい収着剤と交換される。その時の廃ガスの清
浄化は、わずか一時的ではあるが、無負荷の方の収着装
置（Ｓ２またはＳ１）で実施することができる。また、
さらに図２に示すような方式で３基の収着装置を直列に
並べることも可能である。
【００４９】負荷された収着剤は廃棄しなければならな
い。収着剤の廃棄を安全かつ容易に行うために、例え
ば、図３に縦断面図を示す様な収着装置を使用すること
が可能である。
い。収着剤の廃棄を安全かつ容易に行うために、例え
ば、図３に縦断面図を示す様な収着装置を使用すること
が可能である。
【００５０】図３に示す収着装置には、基礎部または下
部ガス接続部材２３の上に配置され下段円筒形容器２４
と、上部ガス接続部材２６が接続される上段円筒形容器
２５とが設けられている。下段容器２４と上段容器２５
との間には中間部材２７が設けられる。また、下部ガス
接続部材２３と中間部材２７は、直径が下段容器２４お
よび上段容器２５の直径と一致する外周壁２８、３７を
有する。
部ガス接続部材２３の上に配置され下段円筒形容器２４
と、上部ガス接続部材２６が接続される上段円筒形容器
２５とが設けられている。下段容器２４と上段容器２５
との間には中間部材２７が設けられる。また、下部ガス
接続部材２３と中間部材２７は、直径が下段容器２４お
よび上段容器２５の直径と一致する外周壁２８、３７を
有する。
【００５１】下部ガス接続部材２３の外周壁２８の上部
端部と、下段容器２４、上段容器２５と中間部材２７の
外周壁３７の上部および下部縁部には、互いに重なり合
うフランジ３８が取り付けられ、これにより、下段容器
２４を下部ガス接続部材２３の上に、中間部材２７を下
段容器２４の上に、そして上段容器２５を中間部材２７
の上に設置することを可能としている。フランジ３８
は、図には示されていない締め付けリングで各々固定さ
れる。下部ガス接続部材２３は、図３に示されていない
パイプ１１またはパイプ１２（図１参照）が連結部材４
０を介して挿入可能なバルブ３９を、外周壁２８内に有
する。
端部と、下段容器２４、上段容器２５と中間部材２７の
外周壁３７の上部および下部縁部には、互いに重なり合
うフランジ３８が取り付けられ、これにより、下段容器
２４を下部ガス接続部材２３の上に、中間部材２７を下
段容器２４の上に、そして上段容器２５を中間部材２７
の上に設置することを可能としている。フランジ３８
は、図には示されていない締め付けリングで各々固定さ
れる。下部ガス接続部材２３は、図３に示されていない
パイプ１１またはパイプ１２（図１参照）が連結部材４
０を介して挿入可能なバルブ３９を、外周壁２８内に有
する。
【００５２】ガス接続部材２３は蓋４１を有し、蓋４１
の中央部にはバルブ４２が配置されている。蓋４１は締
め付けリングを用いてフランジ３８により外周壁２８に
固定されるが、他のフランジ３８に関してもこれとほぼ
同様にして固定される。
の中央部にはバルブ４２が配置されている。蓋４１は締
め付けリングを用いてフランジ３８により外周壁２８に
固定されるが、他のフランジ３８に関してもこれとほぼ
同様にして固定される。
【００５３】下段容器２４の周囲には断熱素材からなる
ジャケット４３が設けられている。また下段容器２４の
底部４４の中央部にはバルブ４５が、さらにもう１つの
バルブ４６が下段容器２４の取り外し可能な蓋４７に設
けられている。下段容器底部４４が有するバルブ４５の
上部と下段容器蓋４７が有するバルブ４６の下部には多
孔板あるいはこれと同様な通気壁４８、４９が設置され
ている。固体収着剤６は、これら多孔板４８、４９の間
に充填されている。
ジャケット４３が設けられている。また下段容器２４の
底部４４の中央部にはバルブ４５が、さらにもう１つの
バルブ４６が下段容器２４の取り外し可能な蓋４７に設
けられている。下段容器底部４４が有するバルブ４５の
上部と下段容器蓋４７が有するバルブ４６の下部には多
孔板あるいはこれと同様な通気壁４８、４９が設置され
ている。固体収着剤６は、これら多孔板４８、４９の間
に充填されている。
【００５４】上段容器２５は下段容器２４と同じ形式で
設計されている。すなわち、上段容器２５は、その周囲
に断熱素材からなるジャケット５０を有する。上段容器
２５の底部５１にはバルブ５２が、また、フランジ３８
を有する取り外し可能な蓋５４にはバルブ５３がそれぞ
れ設けられている。多孔板５５、５６も、下段容器と同
様に取り付けられ、その両者の間に収着剤７が充填され
ている。
設計されている。すなわち、上段容器２５は、その周囲
に断熱素材からなるジャケット５０を有する。上段容器
２５の底部５１にはバルブ５２が、また、フランジ３８
を有する取り外し可能な蓋５４にはバルブ５３がそれぞ
れ設けられている。多孔板５５、５６も、下段容器と同
様に取り付けられ、その両者の間に収着剤７が充填され
ている。
【００５５】上部ガス接続部材２６は、上段容器２５の
蓋５４が有するバルブ５３の中に挿入され、かつ、パイ
プ１１またはパイプ１２（図１参照）に接続されている
連結部材によって形成されている。
蓋５４が有するバルブ５３の中に挿入され、かつ、パイ
プ１１またはパイプ１２（図１参照）に接続されている
連結部材によって形成されている。
【００５６】中間部材２７は、下段容器蓋４７が有する
バルブ４６に一方の端部が挿入され、かつ、上段容器底
部５１が有するバルブ５２にもう一方の端部が挿入され
るように配置されたチューブ形連結器具５７を有する。
バルブ４６に一方の端部が挿入され、かつ、上段容器底
部５１が有するバルブ５２にもう一方の端部が挿入され
るように配置されたチューブ形連結器具５７を有する。
【００５７】チューブ形連結器具５７は、内側に断熱素
材からなるジャケット３０を有する外周壁３７を貫通し
ている電線５９を通して電気が供給される電熱装置５８
を含む。また、中間部材２７は、作用については図４を
加えて以下に詳細に説明する窒素パイプ６１も含む。
材からなるジャケット３０を有する外周壁３７を貫通し
ている電線５９を通して電気が供給される電熱装置５８
を含む。また、中間部材２７は、作用については図４を
加えて以下に詳細に説明する窒素パイプ６１も含む。
【００５８】図３に示される全てのバルブ（バルブ３
９、４２、４５、４６、５２および５３）は、例えば、
図４に示すような、下段容器蓋４７が有するバルブ４
６、または上段容器底部５１が有するバルブ５２の構造
に基づいて設計することができる。図４は、図３に全体
の縦断面図が示される収着装置の、中間部材の部分拡大
図を示す図である。
９、４２、４５、４６、５２および５３）は、例えば、
図４に示すような、下段容器蓋４７が有するバルブ４
６、または上段容器底部５１が有するバルブ５２の構造
に基づいて設計することができる。図４は、図３に全体
の縦断面図が示される収着装置の、中間部材の部分拡大
図を示す図である。
【００５９】下段容器蓋４７が有するバルブ４６および
上段容器底部５１が有するバルブ５２は、それぞれ下段
容器蓋４７または上段容器底部５１に接合した円筒形バ
ルブハウジング６２、６３を有する。バルブハウジング
６２、６３は、内側リング６４、６５により、その端部
が対応する下段容器２４、上段容器２５の内側に面する
ように設けられ、そのリングに接してシース型バルブゲ
ート６６、６７が気密性をもって摺動する様に取り付け
られている。この目的のために、リング６４、６５には
その内側に溝６８、６９が切ってあり、溝６８、６９の
中には密閉用リング７０、７１が入っている。シース型
バルブゲート６６、６７は、対応する下段容器２４、上
段容器２５の内側に面した端部が底部７２、７３によっ
て閉止されており、これにより底部７２、７３にはその
手前、外周壁上にガス通過孔７４、７５が設けられてい
る。
上段容器底部５１が有するバルブ５２は、それぞれ下段
容器蓋４７または上段容器底部５１に接合した円筒形バ
ルブハウジング６２、６３を有する。バルブハウジング
６２、６３は、内側リング６４、６５により、その端部
が対応する下段容器２４、上段容器２５の内側に面する
ように設けられ、そのリングに接してシース型バルブゲ
ート６６、６７が気密性をもって摺動する様に取り付け
られている。この目的のために、リング６４、６５には
その内側に溝６８、６９が切ってあり、溝６８、６９の
中には密閉用リング７０、７１が入っている。シース型
バルブゲート６６、６７は、対応する下段容器２４、上
段容器２５の内側に面した端部が底部７２、７３によっ
て閉止されており、これにより底部７２、７３にはその
手前、外周壁上にガス通過孔７４、７５が設けられてい
る。
【００６０】シース型バルブゲート６６、６７の開口端
部に挿入される連結器具５７は、バルブゲート６６、６
７と相互連結し、バルブゲート６６、６７上の内側リン
グ７６、７７で支持される。この内側リング７６、７７
は、底部７２、７３から離れてガス通過孔７４、７５の
側に設置されている。
部に挿入される連結器具５７は、バルブゲート６６、６
７と相互連結し、バルブゲート６６、６７上の内側リン
グ７６、７７で支持される。この内側リング７６、７７
は、底部７２、７３から離れてガス通過孔７４、７５の
側に設置されている。
【００６１】図４において、開放位置で示されているバ
ルブ４６、５２はバネを利用して閉止の位置とすること
ができる。この目的のために、圧力式スプリング７９、
８０が設計されバルブスプリングとして設けられてお
り、この圧力式スプリング７９、８０においては、一方
がバルブハウジング６２、６３中の内側リング６４、６
５で、もう一方がバルブゲート６６、６７で支持されて
いる。バルブゲート６６、６７が閉止の位置になると、
底部７２、７３はリング６４、６５のレベルまで動き、
これによってガス通過孔７４、７５を閉止する。バルブ
ゲート６６、６７をバルブ４６、５２の閉止位置で固定
するには、バルブハウジング６２、６３の内側にリング
型栓８３、８４を取り付けて、この栓上で外側リングフ
ランジ８１、８２を閉止位置のままで留めればよい。ま
た、円筒形中間部材２７をバルブゲート６６、６７から
遮断するためには、連結器具５７の両端部に溝８５〜８
８を切り、この溝の中に密閉用リング８９〜９２を取り
付ければよい。
ルブ４６、５２はバネを利用して閉止の位置とすること
ができる。この目的のために、圧力式スプリング７９、
８０が設計されバルブスプリングとして設けられてお
り、この圧力式スプリング７９、８０においては、一方
がバルブハウジング６２、６３中の内側リング６４、６
５で、もう一方がバルブゲート６６、６７で支持されて
いる。バルブゲート６６、６７が閉止の位置になると、
底部７２、７３はリング６４、６５のレベルまで動き、
これによってガス通過孔７４、７５を閉止する。バルブ
ゲート６６、６７をバルブ４６、５２の閉止位置で固定
するには、バルブハウジング６２、６３の内側にリング
型栓８３、８４を取り付けて、この栓上で外側リングフ
ランジ８１、８２を閉止位置のままで留めればよい。ま
た、円筒形中間部材２７をバルブゲート６６、６７から
遮断するためには、連結器具５７の両端部に溝８５〜８
８を切り、この溝の中に密閉用リング８９〜９２を取り
付ければよい。
【００６２】密閉用リング７０、７１、８９〜９２は、
加熱装置５８によって加熱される廃ガスの高温に曝され
ている。このため、それらの密閉機能が損なわれること
があり得る。中間部材２７から廃ガスが逃げ出さないよ
うに、連結器具５７内の廃ガスの圧力よりも高い圧力で
連結器具５７と、外周壁３７あるいはジャケット３０と
の間のチャンバー９３にパイプ６１（図３参照）を介し
て窒素を供給することができる。こうすることで、密閉
用リング７０、７１、８９〜９２を不用とすることも可
能である。つまり、チャンバー９３内を窒素で陽圧にす
ることで、密閉用リングを用いずに、廃ガスを連結器具
５７およびバルブ４６、５２から逃がさないように密閉
することが可能となる。
加熱装置５８によって加熱される廃ガスの高温に曝され
ている。このため、それらの密閉機能が損なわれること
があり得る。中間部材２７から廃ガスが逃げ出さないよ
うに、連結器具５７内の廃ガスの圧力よりも高い圧力で
連結器具５７と、外周壁３７あるいはジャケット３０と
の間のチャンバー９３にパイプ６１（図３参照）を介し
て窒素を供給することができる。こうすることで、密閉
用リング７０、７１、８９〜９２を不用とすることも可
能である。つまり、チャンバー９３内を窒素で陽圧にす
ることで、密閉用リングを用いずに、廃ガスを連結器具
５７およびバルブ４６、５２から逃がさないように密閉
することが可能となる。
【００６３】図３に示す収着装置では、下部ガス接続部
材２３が有するバルブ４２と、下段容器底部４４が有す
るバルブ４５の間にチューブ形連結器具９４が同様に設
けられている。また、連結部材２６（上部ガス接続部
材）、連結部材４０においても同様に、バルブ５３およ
びバルブ３９のシース型バルブゲート（図には示されて
いない）の開放端部に挿入された円筒形部材を有するこ
とが可能である。
材２３が有するバルブ４２と、下段容器底部４４が有す
るバルブ４５の間にチューブ形連結器具９４が同様に設
けられている。また、連結部材２６（上部ガス接続部
材）、連結部材４０においても同様に、バルブ５３およ
びバルブ３９のシース型バルブゲート（図には示されて
いない）の開放端部に挿入された円筒形部材を有するこ
とが可能である。
【００６４】熱電対または同様な温度測定用装置９５、
９６を中間部材２７の近くの収着剤６、７の中に各々取
り付け、さらに、熱電対または同様な温度測定装置９
７、９８を下部および上部ガス接続部材２３、２６の中
に各々取り付ける（図３参照）ことで、収着剤の温度管
理が可能となる。
９６を中間部材２７の近くの収着剤６、７の中に各々取
り付け、さらに、熱電対または同様な温度測定装置９
７、９８を下部および上部ガス接続部材２３、２６の中
に各々取り付ける（図３参照）ことで、収着剤の温度管
理が可能となる。
【００６５】
【発明の効果】本発明の廃ガス清浄化装置によれば、オ
ゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合物
を含有する廃ガスから前記ハロゲン化化合物を、工業的
規模で効率よく除去することが可能である。また、本発
明の方法によれば、前記本発明の廃ガス清浄化装置をよ
り効率的に稼働させることが可能となる。
ゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合物
を含有する廃ガスから前記ハロゲン化化合物を、工業的
規模で効率よく除去することが可能である。また、本発
明の方法によれば、前記本発明の廃ガス清浄化装置をよ
り効率的に稼働させることが可能となる。
【図１】 本発明に係る２個のチャンバーを含む収着装
置を有する廃ガス清浄化装置の実施の形態の一例を概略
的に示す図である。右側のグラフは前記廃ガス清浄化装
置操業時における収着装置内の温度プロフィルを示す図
である。
置を有する廃ガス清浄化装置の実施の形態の一例を概略
的に示す図である。右側のグラフは前記廃ガス清浄化装
置操業時における収着装置内の温度プロフィルを示す図
である。
【図２】 各々が２個のチャンバーを有する２基の収着
装置を直列に接続した構成の本発明に係る廃ガス清浄化
装置の実施の形態の一例を概略的に示す図である。
装置を直列に接続した構成の本発明に係る廃ガス清浄化
装置の実施の形態の一例を概略的に示す図である。
【図３】 本発明に係わる廃ガス清浄化装置が有する収
着装置の実施の形態の一例の縦断面図を示す図である。
着装置の実施の形態の一例の縦断面図を示す図である。
【図４】 図３に全体の縦断面図を示す本発明に係わる
廃ガス清浄化装置の収着装置の中間部材の部分拡大図を
示す図である。
廃ガス清浄化装置の収着装置の中間部材の部分拡大図を
示す図である。
Ｓ・・収着装置 １・・第１のチャンバー ２・・第２のチャンバー ４・・加熱装置 ６、７・・固定式固体収着剤 ８・・廃ガス供給手段（パイプ） ２３・・下部ガス接続部材 ２４・・下段容器 ２５・・上段容器 ２６・・上部ガス接続部材（連結部材） ２７・・中間部材 ４５・・下段容器底部のバルブ ４６・・下段容器蓋のバルブ ５２・・上段容器底部のバルブ ５３・・上段容器蓋のバルブ ５７・・中間部材が有する連結器具 ９３・・中間部材が有するチャンバー ９４・・下部ガス接続部材が有する連結器具
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 トマス ヴェーバー ドイツ連邦共和国 80686 ミュンヘン ヴェステントシュトラッセ 237ａ番地
Claims (10)
- 【請求項１】 オゾン破壊性および／または気候作用性
ハロゲン化化合物用の固定式固体収着剤を含む少なくと
も１基の収着装置と、清浄化対象の前記廃ガスを前記収
着装置に供給するためのガス供給手段と、加熱装置と、
を有するオゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲ
ン化化合物含有廃ガスの清浄化装置において、 前記収着装置が前記オゾン破壊性および／または気候作
用性ハロゲン化化合物用の固定式固体収着剤を各々収容
する２個のチャンバーを有し、前記２個のチャンバーは
前記収着装置内に設置される前記加熱装置を介して連結
され、かつ、清浄化対象の前記廃ガスの流れの方向を逆
転させるために、前記２個のチャンバーが前記ガス供給
手段に交互に接続可能であることを特徴とするオゾン破
壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合物含有廃
ガス清浄化装置。 - 【請求項２】 前記２個のチャンバーを各々有する２基
の収着装置を互いに接続可能に備え、前記２基の収着装
置が前記ガス供給手段に交互に接続可能であることを特
徴とする請求項１記載の廃ガス清浄化装置。 - 【請求項３】 前記収着装置が有する２個のチャンバー
が、底部および上部にバルブを各々有する積み重ね可能
な下段用および上段用の２個の容器によって構成され、
かつ、前記収着装置は、連結器具を各々有する、前記下
段容器に接続可能な下部ガス接続部材と、加熱装置を含
む中間部材と、前記上段容器に接続可能な上部ガス接続
部材とを備え、 前記中間部材が有する連結器具は、前記下段容器上部の
バルブおよび前記上段容器底部のバルブと組み立て可能
に、また、前記下部ガス接続部材が有する連結器具は、
前記下段容器底部のバルブと組み立て可能に、さらに、
前記上部ガス接続部材が有する連結器具は、前記上段容
器上部のバルブと組み立て可能に、それぞれ設けられ、 前記連結器具を用いて前記下部ガス接続部材、下段容
器、中間部材、上段容器および上部ガス接続部材の順で
組み立てられ、前記下段容器および上段容器がそれぞれ
底部および上部に有するバルブの４個全てを開くこと
で、前記下部ガス接続部材から前記上部ガス接続部材へ
と貫通するガス空間が形成されるようにしたことを特徴
とする請求項１または２記載の廃ガス清浄化装置。 - 【請求項４】 前記中間部材中の、少なくとも前記連結
器具が前記下段容器上部のバルブおよび前記上段容器底
部のバルブと組み立てられている領域に、不活性ガスが
供給されるチャンバーを備えることを特徴とする請求項
３記載の廃ガス清浄化装置。 - 【請求項５】 オゾン破壊性および／または気候作用性
ハロゲン化化合物用の少なくとも１個の固定式固定床を
有する収着装置および加熱装置を含む廃ガス清浄化装置
を用いて、前記オゾン破壊性および／または気候作用性
ハロゲン化化合物を含む廃ガスを清浄化する方法におい
て、 前記廃ガス清浄化装置として、前記収着装置が前記オゾ
ン破壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合物用
の固定式固体収着剤を各々収容する第１および第２の２
個のチャンバーを有し、前記２個のチャンバーは前記収
着装置内に設置される前記加熱装置を介して連結された
構造を含む廃ガス清浄化装置を用い、下記工程： （ａ） 前記第１のチャンバー内の収着剤を、少なくと
も部分的に前記オゾン破壊性および／または気候作用性
ハロゲン化化合物が分解するのに必要な温度まで加熱す
る工程、（ｂ） 前記収着剤が部分的に前記温度まで加
熱された前記第１のチャンバー内へ清浄化対象の前記廃
ガスを供給し、前記第１のチャンバー内で前記廃ガスを
清浄化する工程、（ｃ） 前記第１のチャンバーにおい
て清浄化された廃ガスを前記加熱装置に排出して、前記
加熱装置中で前記廃ガスを加熱した後、この加熱された
廃ガスを前記第２のチャンバー内の収着剤が前記オゾン
破壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合物を分
解するのに必要な温度に少なくとも部分的に達するま
で、前記第２のチャンバー内へ流入させるとともに前記
第２のチャンバーから前記清浄化された廃ガスを排出す
る工程、（ｄ） 前記第１のチャンバー内への清浄化対
象の前記廃ガスの供給を前記第２チャンバー内への供給
に切り換え、前記収着剤が部分的に前記温度まで加熱さ
れた前記第２のチャンバー内で前記廃ガスを清浄化する
工程、（ｅ） 前記第２のチャンバーにおいて清浄化さ
れた廃ガスを前記加熱装置に排出して、前記加熱装置中
で前記廃ガスを加熱した後、この加熱された廃ガスを前
記第１のチャンバー内の収着剤が前記オゾン破壊性およ
び／または気候作用性ハロゲン化化合物を分解するのに
必要な温度に少なくとも部分的に達するまで、前記第１
のチャンバー内へ流入させるとともに前記第１のチャン
バーから前記清浄化された廃ガスを排出する工程、
（ｆ） 前記第２のチャンバー内への清浄化対象の前記
廃ガスの供給を前記第１チャンバー内への供給に切り換
え、前記収着剤が部分的に前記温度まで加熱された前記
第１のチャンバー内で前記廃ガスを清浄化する工程、
（ｇ） 工程（ｃ）〜工程（ｆ）を繰り返えす工程、
（但し、少なくとも前記工程（ｂ）〜工程（ｆ）は、前
記加熱装置に電源を入れた状態で行われる。）を含むこ
とを特徴とするオゾン破壊性および／または気候作用性
ハロゲン化化合物を含む廃ガスを清浄化する方法。 - 【請求項６】 前記工程（ａ）が、前記加熱装置に電源
を入れた状態で、不活性キャリヤーガスを前記第２のチ
ャンバー内へ供給し、次いで第２のチャンバーから前記
加熱装置に排出して、前記加熱装置中で前記キャリヤー
ガスを加熱した後、この加熱されたキャリヤーガスを前
記第１のチャンバー内へ流入させることによって実施さ
れることを特徴とする請求項５記載の廃ガスの清浄化方
法。 - 【請求項７】 清浄化対象の前記廃ガスが、オゾン破壊
性および／または気候作用性ハロゲン化化合物含有の不
活性キャリヤーガスを含むことを特徴とする請求項５記
載の廃ガスの清浄化方法。 - 【請求項８】 前記不活性キャリヤーガスが窒素である
ことを特徴とする請求項６または７記載の廃ガスの清浄
化方法。 - 【請求項９】 前記オゾン破壊性および／または気候作
用性ハロゲン化化合物を分解するのに必要な温度が少な
くとも１５０℃であることを特徴とする請求項５記載の
廃ガスの清浄化方法。 - 【請求項１０】 前記オゾン破壊性および／または気候
作用性ハロゲン化化合物を分解するのに必要な温度が１
５０〜５００℃であることを特徴とする請求項５記載の
廃ガスの清浄化方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19532279A DE19532279C2 (de) | 1995-09-01 | 1995-09-01 | Vorrichtung zur Reinigung von Gasen, die ozonabbauende und/oder klimawirksame halogenierte Verbindungen enthalten |
| DE195322797 | 1995-09-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09103643A true JPH09103643A (ja) | 1997-04-22 |
Family
ID=7771003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8224103A Pending JPH09103643A (ja) | 1995-09-01 | 1996-08-26 | オゾン破壊性および／または気候作用性ハロゲン化化合物を含むガスの清浄化装置および方法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5762893A (ja) |
| EP (1) | EP0761288B1 (ja) |
| JP (1) | JPH09103643A (ja) |
| KR (1) | KR100417759B1 (ja) |
| AT (1) | ATE195264T1 (ja) |
| DE (2) | DE19532279C2 (ja) |
| TW (1) | TW316238B (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE59703604D1 (de) * | 1996-06-26 | 2001-06-28 | Cs Clean Systems Ag | Verfahren zur entfernung ozonabbauender und/oder klimawirksamer fluorierter verbindungen aus einem gasstrom sowie anwendung des verfahrens |
| TW550112B (en) * | 1997-11-14 | 2003-09-01 | Hitachi Ltd | Method for processing perfluorocarbon, and apparatus therefor |
| US8231851B2 (en) | 1997-11-14 | 2012-07-31 | Hitachi, Ltd. | Method for processing perfluorocarbon, and apparatus therefor |
| US6468490B1 (en) | 2000-06-29 | 2002-10-22 | Applied Materials, Inc. | Abatement of fluorine gas from effluent |
| US6689252B1 (en) | 1999-07-28 | 2004-02-10 | Applied Materials, Inc. | Abatement of hazardous gases in effluent |
| US6673323B1 (en) | 2000-03-24 | 2004-01-06 | Applied Materials, Inc. | Treatment of hazardous gases in effluent |
| US6391146B1 (en) | 2000-04-11 | 2002-05-21 | Applied Materials, Inc. | Erosion resistant gas energizer |
| US6824748B2 (en) * | 2001-06-01 | 2004-11-30 | Applied Materials, Inc. | Heated catalytic treatment of an effluent gas from a substrate fabrication process |
| US7060236B2 (en) * | 2002-10-21 | 2006-06-13 | Yan Tsoung Y | Process for removing volatile organic compounds |
| US7736599B2 (en) | 2004-11-12 | 2010-06-15 | Applied Materials, Inc. | Reactor design to reduce particle deposition during process abatement |
| JP5102217B2 (ja) * | 2005-10-31 | 2012-12-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | プロセス削減反応器 |
| DE102006018252B4 (de) * | 2006-04-20 | 2009-02-05 | Cs Clean Systems Ag | Sorptionskolonne |
| DE102007049613B4 (de) | 2007-10-17 | 2010-08-12 | Cs Clean Systems Ag | Fahrwerk für Fässer, insbesondere zu Sorptionskolonnen |
| CN108977671A (zh) * | 2018-08-31 | 2018-12-11 | 江西海汇龙洲锂业有限公司 | 一种便于收集滤渣的锂云母生产用除杂装置 |
| CN113332851B (zh) * | 2021-02-24 | 2023-08-29 | 薛援 | 一种移动床干法烟气脱硫方法 |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE549531C (de) * | 1928-02-14 | 1932-04-28 | Metallgesellschaft Ag | Verfahren zur Ausfuehrung von Adsorptions- und Regenerationsvorgaengen |
| US2083732A (en) * | 1932-11-22 | 1937-06-15 | Pittsburgh Res Corp | Adsorbent apparatus |
| US2121733A (en) * | 1935-08-14 | 1938-06-21 | Research Corp | Purifying gases and apparatus therefor |
| BE759295A (fr) * | 1969-12-09 | 1971-04-30 | Allied Chem | Procede de traitement d'anhydride sulfureux avec un gaz reducteur et nouveaux produits ainsi obtenus |
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-
1995
- 1995-09-01 DE DE19532279A patent/DE19532279C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-05-31 AT AT96108745T patent/ATE195264T1/de not_active IP Right Cessation
- 1996-05-31 EP EP96108745A patent/EP0761288B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-05-31 DE DE59605706T patent/DE59605706D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-08-08 TW TW085109633A patent/TW316238B/zh active
- 1996-08-13 US US08/698,004 patent/US5762893A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-08-26 JP JP8224103A patent/JPH09103643A/ja active Pending
- 1996-08-29 KR KR1019960036232A patent/KR100417759B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19532279C2 (de) | 1998-07-23 |
| DE59605706D1 (de) | 2000-09-14 |
| DE19532279A1 (de) | 1997-03-06 |
| EP0761288A1 (de) | 1997-03-12 |
| KR970014792A (ko) | 1997-04-28 |
| KR100417759B1 (ko) | 2004-04-21 |
| TW316238B (ja) | 1997-09-21 |
| US5762893A (en) | 1998-06-09 |
| EP0761288B1 (de) | 2000-08-09 |
| ATE195264T1 (de) | 2000-08-15 |
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