JPH03242158A - フルオロカーボンの分解処理方法 - Google Patents
フルオロカーボンの分解処理方法Info
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- JPH03242158A JPH03242158A JP3725890A JP3725890A JPH03242158A JP H03242158 A JPH03242158 A JP H03242158A JP 3725890 A JP3725890 A JP 3725890A JP 3725890 A JP3725890 A JP 3725890A JP H03242158 A JPH03242158 A JP H03242158A
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- fluorocarbon
- gas
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- oxidizing agent
- discharge plasma
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- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 12
- 238000005336 cracking Methods 0.000 title abstract 2
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 21
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 abstract description 3
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 abstract description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 2
- -1 such as HF Substances 0.000 abstract 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- AJDIZQLSFPQPEY-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-Trichlorotrifluoroethane Chemical compound FC(F)(Cl)C(F)(Cl)Cl AJDIZQLSFPQPEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 238000009841 combustion method Methods 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 239000004604 Blowing Agent Substances 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000009533 lab test Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- CYRMSUTZVYGINF-UHFFFAOYSA-N trichlorofluoromethane Chemical compound FC(Cl)(Cl)Cl CYRMSUTZVYGINF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Fire-Extinguishing Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はフルオロカーボン（以下、フロンと略称する）
の分解処理方法に関する。
の分解処理方法に関する。
フロンは成層圏オゾンの破壊物質として近年特に問題視
され、代替製品の開発、あるいは処理方法の開発が急が
れている。従来、フロンの回収、処理方法としては■吸
着法、■吸収法、■加圧、冷却による凝縮回収法、■燃
焼法等があるが、いずれの方法にも問題があり、実用に
達していない。例えば、燃焼法については６００〜１０
００℃の高温度を要するのでランニングコストが大きく
、又、触媒の寿命に満足できないなどの問題がある。
され、代替製品の開発、あるいは処理方法の開発が急が
れている。従来、フロンの回収、処理方法としては■吸
着法、■吸収法、■加圧、冷却による凝縮回収法、■燃
焼法等があるが、いずれの方法にも問題があり、実用に
達していない。例えば、燃焼法については６００〜１０
００℃の高温度を要するのでランニングコストが大きく
、又、触媒の寿命に満足できないなどの問題がある。
又、近時熱プラズマにより１万度にも達する高温状態で
フロンを破壊する方法も提案Ｃ「公害と対策ＪＶＯ１，
２５，Ｎｏ、１５．１４９１ （１９８９））されて
いるが、これにも処理のための消費電力が多大で装置が
大がかりとなる等の問題がある。
フロンを破壊する方法も提案Ｃ「公害と対策ＪＶＯ１，
２５，Ｎｏ、１５．１４９１ （１９８９））されて
いるが、これにも処理のための消費電力が多大で装置が
大がかりとなる等の問題がある。
本発明は上記技術水準に鑑み、現在冷媒、発泡剤、洗浄
剤として産業界で多量に使用されているフロンを、室温
ないし数十度の低温度で廉価なランニングコスト （消
費電力）で効率的に分解処理する方法を提供しようとす
るものである。
剤として産業界で多量に使用されているフロンを、室温
ないし数十度の低温度で廉価なランニングコスト （消
費電力）で効率的に分解処理する方法を提供しようとす
るものである。
本発明はフルオロカーボンに酸化剤を添加し、加熱して
ガス状にしてグロー放電プラズマ雰囲気下を流過させる
ことを特徴とするフル才ロカ−ボンの分解処理方法であ
る。
ガス状にしてグロー放電プラズマ雰囲気下を流過させる
ことを特徴とするフル才ロカ−ボンの分解処理方法であ
る。
すなわち、本発明はフロン含有のガスをグロー放電プラ
ズマ場にさらすことにより効率的に処理が容易なガスに
転換する方法である。
ズマ場にさらすことにより効率的に処理が容易なガスに
転換する方法である。
グロー放電プラズマは電源と昇圧トランス及び電極／誘
電体より構成される発生装置により生成することができ
る。
電体より構成される発生装置により生成することができ
る。
グロー放電プラズマはゆるやかな放電によって生成し、
ガス温度はほとんど変化しない。前述の熱プラズマはガ
ス温度が１万度にも達し、フロンを熱的に処理するもの
であるが、本発明はプラズマ場でのイオン、電子の働き
によってフロンを分解するものである。
ガス温度はほとんど変化しない。前述の熱プラズマはガ
ス温度が１万度にも達し、フロンを熱的に処理するもの
であるが、本発明はプラズマ場でのイオン、電子の働き
によってフロンを分解するものである。
このプラズマ場に１１□０又は空気等の酸化剤を混入し
たフロンガスをガス状で流過させることにより後述実施
例のように効率的にフロンを分解することができる。反
応式で示せば、例えばフロン１１３の場合、 ＣａＣｌ５Ｆ３（フロン１１３） 十Ｈ，［］ →
ＣＯ，、ＨＣＩ、ＩＩＦＨＣｌ、 ＨＦは通常の処理法
、即ち水溶液に吸収後中和して放流するなどの方法で処
理される。
たフロンガスをガス状で流過させることにより後述実施
例のように効率的にフロンを分解することができる。反
応式で示せば、例えばフロン１１３の場合、 ＣａＣｌ５Ｆ３（フロン１１３） 十Ｈ，［］ →
ＣＯ，、ＨＣＩ、ＩＩＦＨＣｌ、 ＨＦは通常の処理法
、即ち水溶液に吸収後中和して放流するなどの方法で処
理される。
勿論、被処理ガス中にフロンのみならず１１２０又は空
気などの酸化性ガスが含まれている場合には、酸化剤と
しての８２０又は空気添加は不要である。
気などの酸化性ガスが含まれている場合には、酸化剤と
しての８２０又は空気添加は不要である。
前記のような方式により、通常は安定な物質であるフロ
ンの分解が、簡易・低廉な装置で、かつ、少量の電力で
実現される。
ンの分解が、簡易・低廉な装置で、かつ、少量の電力で
実現される。
第１図に本発明の一実施例を示す。第１図で１はフロン
、２は酸化剤である８、０の流路であり、両者は加熱器
３でガス化されたのち、プラズマ反応部４に入る。この
グロー放電プラズマ場でのイオン、電子の作用により処
理が容易なガス（Ｃｏ２． ＨＦ、 ＨＣＩ）へ分解転
換されたのち、被処理ガスはガス吸収器５でＨＦ、 Ｈ
ＣＩ等の酸性ガスが除去される。少量のＣＤ□などを含
む残留ガスは流路６より糸外へ排出されることになる。
、２は酸化剤である８、０の流路であり、両者は加熱器
３でガス化されたのち、プラズマ反応部４に入る。この
グロー放電プラズマ場でのイオン、電子の作用により処
理が容易なガス（Ｃｏ２． ＨＦ、 ＨＣＩ）へ分解転
換されたのち、被処理ガスはガス吸収器５でＨＦ、 Ｈ
ＣＩ等の酸性ガスが除去される。少量のＣＤ□などを含
む残留ガスは流路６より糸外へ排出されることになる。
第１図と同様のフローシートで２０ｇ／ｈのフロン１１
３供給量の実験室試験を実施した。
３供給量の実験室試験を実施した。
プラズマは周波数５００ヘルツの電源、印加電圧的１５
ＫＶ、電極間隔５ ｍｍの条件で生成させた。また、Ｈ
Ｆ、 ＨＣＩの吸収液としては１規定のＮａＯＨ水溶液
を用い、フロン濃度の分析は熱伝導度方式のガスクロマ
トグラフによった。Ｈ２Ｏの供給量は３８ ｇ ／ ｈ
とし、プラズマによる処理を行ったところ、表１に示す
ように６３０Ｗの電力量でほぼ１００％のフロンが分解
された。
ＫＶ、電極間隔５ ｍｍの条件で生成させた。また、Ｈ
Ｆ、 ＨＣＩの吸収液としては１規定のＮａＯＨ水溶液
を用い、フロン濃度の分析は熱伝導度方式のガスクロマ
トグラフによった。Ｈ２Ｏの供給量は３８ ｇ ／ ｈ
とし、プラズマによる処理を行ったところ、表１に示す
ように６３０Ｗの電力量でほぼ１００％のフロンが分解
された。
またこの条件で生成物の化学分析を行ったところ、Ｃ［
］、、 ＨＣＩ、 ＨＦ以外には検出されなかった。
］、、 ＨＣＩ、 ＨＦ以外には検出されなかった。
表 １
〔発明の効果〕
以上のように本発明は現在地球環境上大きな問題となっ
ているフロンの処理方法として、工業的に極めて有用で
ある。
ているフロンの処理方法として、工業的に極めて有用で
ある。
第１図は本発明の一実施例を説明するフローシート図で
ある。 明
ある。 明
Claims (1)
- フルオロカーボンに酸化剤を添加し、加熱してガス状に
してグロー放電プラズマ雰囲気下を流過させることを特
徴とするフルオロカーボンの分解処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3725890A JPH03242158A (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | フルオロカーボンの分解処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3725890A JPH03242158A (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | フルオロカーボンの分解処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03242158A true JPH03242158A (ja) | 1991-10-29 |
Family
ID=12492629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3725890A Pending JPH03242158A (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | フルオロカーボンの分解処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03242158A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04279178A (ja) * | 1991-02-22 | 1992-10-05 | Towa Kagaku Kk | 有機ハロゲン化合物の分解方法 |
| US5498826A (en) * | 1990-02-26 | 1996-03-12 | Maschinen- Und Anlagenbau Grimma Gmbh (Mag) | Plasmatron with steam as the plasma gas and process for stable operation of the plasmatron |
| CN116920319A (zh) * | 2022-04-11 | 2023-10-24 | 中昊晨光化工研究院有限公司 | 一种F142b生产过程中副产物的处理方法 |
-
1990
- 1990-02-20 JP JP3725890A patent/JPH03242158A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5498826A (en) * | 1990-02-26 | 1996-03-12 | Maschinen- Und Anlagenbau Grimma Gmbh (Mag) | Plasmatron with steam as the plasma gas and process for stable operation of the plasmatron |
| JPH04279178A (ja) * | 1991-02-22 | 1992-10-05 | Towa Kagaku Kk | 有機ハロゲン化合物の分解方法 |
| CN116920319A (zh) * | 2022-04-11 | 2023-10-24 | 中昊晨光化工研究院有限公司 | 一种F142b生产过程中副产物的处理方法 |
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