JPH0890403A - 光学素子の研削方法とその装置 - Google Patents
光学素子の研削方法とその装置Info
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- JPH0890403A JPH0890403A JP25877394A JP25877394A JPH0890403A JP H0890403 A JPH0890403 A JP H0890403A JP 25877394 A JP25877394 A JP 25877394A JP 25877394 A JP25877394 A JP 25877394A JP H0890403 A JPH0890403 A JP H0890403A
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Abstract
で、高精度に安定して加工ができる光学素子の研削方法
を提供する。 【構成】工具軸1の回転中心に対して同心に配設された
複数の研削工具によって球面形状にワーク3を研削する
光学素子の研削方法において、前記複数の研削工具は、
カップ型研削工具23と総型研削工具11とからなり、
ワーク3を強制回転させながらカップ型研削工具23を
光学素子の曲率半径の球心O0 を中心として旋回運動さ
せつつ、ワーク3の外周から接近させて粗研削した後、
カップ型研削工具23の加工面23aより総型研削工具
11を突出させ、該総型研削工具11の上にワーク3を
押圧して従属回転させながら仕上げ研削する。
Description
などの高脆材料を球面形状に加工する手段に係わり、詳
しくは光学素子の研削方法とその装置に関する。
プ型ホイールを用いて、粗研削から仕上げ研削までを一
貫して単一加工機上で行う手段としては、特開平4−2
23859号公報所載の技術が開示されている。
主要部を示す。101は第1環状砥石、102は第2環
状研削砥石を示し、図示を省略した回転駆動軸に同心に
取り付けられている。第2環状砥石102は、加工初期
状態において第1環状砥石101の砥石先端部101a
よりもスペーサ104により前方へ突出した状態で取り
付けられている。また、第2環状研削砥石102はネジ
103を介して回転駆動軸の軸方向に移動可能な構造と
なっている。また、第2環状研削砥石102は粗研削用
砥石、第1環状研削砥石101は仕上げ研削用砥石とし
て構成されている。
を回転させながら、第1環状研削砥石101または第2
環状研削砥石102を被加工物に当接しながら行う。第
2環状研削砥石102による粗研削加工が完了したの
ち、図示を省略した工具をカニメ穴105に挿入して第
2環状研削砥石を取り外し、第1環状研削砥石101に
より、仕上げ研削加工が行われる。なお、この従来技術
には、第2環状研削砥石をシリンダー機構により軸方向
に出没させて、粗研削加工と仕上げ研削加工との切り換
えを行う技術も開示されている。
は、粗研削加工が完了した後、加工を一時中断して、環
状研削砥石を取り外す操作を行う必要があること、ま
た、環状研削砥石を軸方向に出没させるシリンダー機構
が複雑で、所定の球面形状を得るために微調整が必要で
あることなどにより、その操作に時間が掛かり、加工能
率が低下するという問題点がある。
ュの砥粒工具を用いたほうが高精度な仕上げ面を得るこ
とができるが、工具の目つぶれが発生し易く、加工面精
度が悪化する。この影響を少なくするために、高メッシ
ュ砥粒工具に対しては、バネ圧やエア圧によるラッピン
グ加工を適用する。従って、従来技術のように、粗研削
工程も仕上げ加工工程も同様な加工手段を用いて、精度
の高い加工を高能率に安定して行うことは困難であると
いう問題点があった。
れたもので、請求項1、2、3または4に係る発明の目
的は、粗研削から仕上げ研削までを一貫して高能率で、
高精度に安定して加工ができる光学素子の研削方法を提
供することである。請求項5、6、7、または8に係る
発明の目的は、粗研削から仕上げ研削までを一貫して高
能率で、高精度に安定して加工ができる光学素子の研削
装置を提供することである。
に、請求項1または2に係る発明は、工具軸の回転中心
に対して同心に配設された複数の研削工具によって球面
形状にワークを研削する光学素子の研削方法において、
前記複数の研削工具は、カップ型研削工具と総型研削工
具とからなり、ワークを強制回転させながらカップ型研
削工具を光学素子の曲率半径の球心を中心として旋回運
動させつつ、ワークの外周から接近させて粗研削した
後、カップ型研削工具の加工面より総型研削工具を突出
させ、該総型研削工具の上にワークを押圧して従属回転
させながら仕上げ研削することを特徴とする。請求項3
または4に係る発明は、工具軸の回転中心に対して同心
に配設された複数の研削工具によって球面形状にワーク
を研削する光学素子の研削方法において、前記複数の研
削工具は、円盤型研削工具と総型研削工具とからなり、
円盤型研削工具は工具軸の外周に、総型研削工具は工具
軸の端面に配設し、ワークを強制回転させながら円盤型
研削工具をワークの端面から接近させて粗研削した後、
工具軸を回動した後、総型研削工具上にワークを押圧し
て従属回転させながら仕上げ研削することを特徴とす
る。
回転中心に対して同心に配設された複数の研削工具によ
って球面形状にワークを研削する光学素子の研削装置に
おいて、前記複数の研削工具は、カップ型研削工具と総
型研削工具とからなり、総型研削工具はカップ型研削工
具の内側に配され、互いに相対的に出没できるように工
具軸に沿って進退自在に嵌装され、ワーク軸は、その軸
方向に進退自在であり、ワークを着脱自在にしかつ強制
回転させるチャック機構とワークを開放してワーク軸方
向に押圧する押圧機構とを備え、前記工具軸はその軸心
と前記ワーク軸の軸心とにその交点にて直交する軸を中
心として回動する回動機構を備えて構成したことを特徴
とする。請求項7または8に係る発明は、工具軸の回転
中心に対して同心に配設された複数の研削工具によって
球面形状にワークを研削する光学素子の研削装置におい
て、前記複数の研削工具は、円盤型研削工具と総型研削
工具とからなり、円盤型研削工具は工具軸の外周に、総
型研削工具は工具軸の端面に配設し、ワーク軸は、その
軸方向に進退自在であり、ワークを着脱自在にしかつ強
制回転させるチャック機構とワークを開放してワーク軸
方向に押圧する押圧機構とを備え、前記工具軸はその軸
心と前記ワーク軸の軸心とにその交点にて直交する軸を
中心として回動する回動機構を備えて構成したことを特
徴とする。
プ型研削工具による粗研削が終了すると、その内側から
総型研削工具が突出して仕上げ研削を直ちに行うので、
一貫した作業が連続して行える。また、総型研削工具の
上に、ワークを押圧して従属回転させながら仕上げ研削
を行うので、面精度のよい仕上げ面となる。請求項2に
係る発明の作用では、上記作用に加え、総型研削工具を
球心揺動させながら仕上げ研削を行うので、より高精度
の仕上面となる。請求項3または4に係る発明の作用で
は、円盤型研削工具による粗研削が終了すると、工具軸
を回動させ、総型研削工具により仕上げ研削を直ちに行
うので、一貫した作業が連続して行える。また、総型研
削工具の上に、ワークを押圧して従属回転させながら仕
上げ研削を行うので、面精度のよい仕上げ面となる。請
求項4に係る発明の作用では、上記作用に加え、総型研
削工具を球心揺動させながら仕上げ研削を行うので、よ
り高精度の仕上面となる。
総型研削工具はカップ型研削工具の内側に配され、互い
に相対的に出没できるように工具軸に沿って進退自在に
嵌装され、かつ、工具軸はその軸心と前記ワーク軸の軸
心とにその交点にて直交する軸を中心として回動する回
動機構を備えて構成しているので、粗研削時には、カッ
プ型研削工具と回動機構とによる相対運動によりワーク
に球面を創成し、仕上げ研削時には、総型研削工具をカ
ップ型研削工具から突出させてカップ型研削工具への干
渉を回避し、回動機構により総型研削工具に揺動運動を
与える。また、ワーク軸はその軸方向に進退自在であ
り、ワークを着脱自在にしかつ強制回転させるチャック
機構とワークを開放してワーク軸方向に押圧する押圧機
構とを備えているので、粗研削時には、チャック機構に
よりワークを把持して強制回転させ、かつ軸方向に送り
を与え、仕上げ研削時には、チャックを開放してワーク
を総型研削工具の上に押圧する。請求項6に係る発明で
は、上記作用に加え、総型研削工具の曲率半径がワーク
の仕上げ曲率半径と一致しているので、高精度に球面を
仕上げる。
円板型研削工具は工具軸の外周に、総型研削工具は工具
軸の端面に配設し、かつ、工具軸はその軸心と前記ワー
ク軸の軸心とその交点にて直交する軸を中心として回動
する回動機構を備えているので、粗研削時には、円板型
研削工具の外周面によりワークに球面を整形し、仕上げ
研削時には、回動機構により工具軸を回動させてから、
総型研削工具に揺動運動を与える。またワーク軸はその
軸方向に進退自在であり、ワークを着脱自在にしかつ強
制回転させるチャック機構とワークを開放してワーク軸
方向に押圧する押圧機構とを備えているので、粗研削時
には、チャック機構によりワークを把持して強制回転さ
せ、かつ軸方向に送りを与え、仕上げ研削時には、チャ
ックを開放してワークを総型研削工具の上に押圧する。
請求項8に係る発明の作用では、上記作用に加え、円板
型研削工具の縦断面曲率半径は、ワークの仕上げ曲率半
径より仕上げ代分加減してなり、前記総型研削工具の曲
率半径は、ワ−クの仕上げ曲率半径と一致しているの
で、粗研削時には正確な仕上げ代が残り、仕上げ研削時
には高精度に球面を仕上げる。
研削時の研削装置の正面断面図、図2は仕上げ研削時の
研削装置の正面断面図、図3は研削装置の工具軸の横断
面図、図4は総型研削工具を進退させる出没機構の配管
系統図、図5は変形例の総型研削工具を進退させる出没
機構の配管系統図である。
る。図1において、研削装置は大別してワーク軸1と工
具軸7とからなる。工具軸7は、円筒形の工具軸本体8
の一端にカップ型研削工具23をネジ部8cにて工具軸
7の軸心Bと同心に螺着し、そのゆるみ防止のためにナ
ット21がカップ型研削工具23に嵌着されている。ま
た、カップ型研削工具23の内周にはフランジ2に貼付
された総型研削工具11が嵌装されている。フランジ2
の外周には、ストッパー9が配設され、フランジ2を進
退自在に保持する。ストッパー9は中継ぎ20の一端に
固着されている。中継ぎ20は工具軸本体8の中心部に
嵌装され、そのもう一方の端部はネジ部8dにて工具軸
本体8に螺着され、ゆるみ防止のためにナット22が中
継ぎ20に嵌着されている。
トッパー9をガイドとして軸心B方向に対して進退自在
に構成されている。その範囲は、フランジ2の底面2b
と中継ぎ20とが接触し、カップ型研削工具23が突出
して総型研削工具11が埋没する位置(図1)から、フ
ランジ2の突起部2aとストッパー9の突起部9aとが
接触し、総型研削工具11が突出してカップ型研削工具
23が埋没する位置(図2)までである。工具軸7に
は、エアー(圧縮空気)を流体とする総型研削工具11
の進退移動のための出没機構(図4)が図示を省略した
ロータリージョイントを介して連結されている。図4に
示すように、この出没機構はコンプレッサー51と、真
空ポンプ52と、それぞれの電磁弁53、54とから構
成されている。フランジ2とストッパー9は互いに気密
的に嵌合しているので、エアーは電磁弁53が開かれた
とき、コンプレッサー51から工具軸7の中継ぎ20の
孔20aに送られ、フランジ2の底面2bを押圧して総
型研削工具11を突出させる。また電磁弁53が閉じら
れ、電磁弁54が開かれたとき、エアーは真空ポンプに
より吸引され、総型研削工具11は埋没する。
と連結され、軸心Bを中心に回転駆動自在な構成となっ
ている。また、工具軸本体8が回転すると、カップ型研
削工具23が回転する。さらに、図3に示すように、ス
トッパー9のキー部9bとフランジ2の溝部2cとが嵌
め合うことにより、工具軸本体8の回転方向に対して相
対移動がないようになっている。そのため、工具軸本体
8の回転は、ストッパー9、フランジ2を介して総型研
削工具11に伝達されるように構成されている。さら
に、工具軸本体8は、ワーク軸1の軸心Aと工具軸7の
軸心Bとにその交点にて直交する軸を支点O0 として回
動する図示を省略した回動機構により、旋回運動および
球心揺動(α方向)ができるようになっている。
11は、ダイヤモンド粉末、CBN、アルミナ、炭化珪
素、酸化セリウム、ジルコニアなどの砥粒をメタルボン
ド、レジンボンド、メタルレジンボンドまたはビトリフ
ァイドボンドなどで結合したものである。カップ型研削
工具23の加工面23aは凸面で、曲率半径R1 はワー
ク3の仕上げ曲率半径R0 より仕上げ代分小さく形成さ
れ、曲率中心O1 が工具軸7の回動機構の支点O0 と合
致するように工具軸本体8のネジ部8cにより設定され
ている。さらに、総型研削工具11の加工面11aは凸
面で、仕上げ曲率半径R0 に等しいR2 に設定されてい
る。
体5と、その端部に設けられたコレットチャック4と、
ワーク軸本体5の中心部に設けられたカンザシ6とによ
り構成される。ワーク軸本体5は軸心Aを中心として回
転自在に、かつ、矢印C方向に移動自在に構成されてい
る。ワーク3は円板状のガラス素材であり、最終的には
図3の破線で示す凹球面3bに仕上げられる。ワーク3
の上面は皿12に貼付されており、皿12の上面中央部
には凹部が形成され、凹部には棒状でその先端が球形の
カンザシ6が嵌合し得るようになっている。カンザシ6
の上端は、ワーク軸本体に取り付けられた加圧装置(図
示省略)に接続されている。さらに、ワーク3および皿
12の外周面には、ワーク軸本体5に取り付けられたコ
レットチャック4の先端部があり、ワーク3の外周面の
把持および開放を行うようになっている。
型研削工具11との加工時の接触部には、図示を省略し
たクーラント供給装置に連結されたノズル10よりクー
ラントが供給されるように構成されている。
いて説明する。図1は粗研削加工の状況を示している。
ワーク軸1では、皿12に貼付されたワーク3をコレッ
トチャック4により把持する。工具軸7では、総型研削
工具11を埋没させ、カップ型研削工具23を突出させ
ておく。工具軸7およびワーク軸1を回転させる。ノズ
ル10よりクーラントを供給し、工具軸7をα方向に旋
回(少なくともカップ型研削工具23の加工面23aが
ワーク3の中心3aに達するまで)させることにより、
ワ−ク3の外周から球面を創成する粗研削加工を行う。
aにおける曲率半径R1 の中心O1が、工具軸7の回動
機構の支点O0 と一致するように、カップ型研削工具2
3の高さ調整を行う。その調整はナット21をゆるめ、
カップ型研削工具23を回して、工具軸本体8のネジ部
8cでの軸心B方向への移動により行う。それ故、ワー
ク3はカップ型研削工具23の加工面23aの曲率半径
R1 に合致した凹球面3b(図1の破線で示す面)を得
る。
(図4)により、フランジ2および総型研削工具11を
吸引し、フランジ2の底面2bが中継ぎ20に接触する
位置まで後退させてある。それ故、カップ型研削工具2
3が突出しているので、総型研削工具11とワーク3と
が接触することはない。
1を上方(C方向)に移動させた後、工具軸7をθ
1 (ワーク軸の軸心Aから総型研削工具11による球心
揺動の中央までの角度)に傾斜させる。総型研削工具1
1の出没機構(図4)により、フランジ2および総型研
削工具11を前進させ、ストッパー9の突起部9aにフ
ランジ2の突起部2aが接触する位置で空気圧により保
持する。この状態で、総型研削工具11はカップ型研削
工具23より突出している。
ンザシ6を加圧装置(図示省略)により押し出し、ワー
ク3を総型研削工具11の加工面11aに押圧する。ノ
ズル10よりクーラントを供給させ、工具軸7を回動機
構の支点O0 を中心として球心揺動させることによりワ
ーク3の仕上げ研削を行う。このとき、粗研削後のワー
ク3の凹球面3bの曲率半径R1 は総型研削工具11の
加工面11aの曲率半径R2 (=R0 )より仕上げ代分
だけ小さいので、仕上げ研削の初期にはワーク3と総型
研削工具11との接触は外当り(ワーク3の外周部分か
ら当たる)になる。それ故、ワーク3は総型研削工具1
1の回転により連れ回り(従属回転)が良好となる。
aにおける曲率半径R2 の中心O2が工具軸7の球心揺
動(α)の支点O0 と一致するように、総型研削工具1
1の高さ調整を行う。その調整はナット22をゆるめ、
ストッパー9を回して、工具軸本体8のネジ部8dでの
軸心B方向への移動により行う。
から仕上げ研削までの加工を一貫して行うことができ、
かつ総型研削工具の上にワークを押圧して従属回転させ
ながら仕上げ研削を行うので、安定した仕上げ研削加工
により高精度の光学素子を得ることができる。
ず、図5に総型研削工具の出没装置の変形例を示す。コ
ンプレッサー55はコンバム56のイン側56aに接続
し、コンバム56のアウト側56c、吸引側56bが電
磁弁57、58を介して中継ぎ20の孔20aと接続し
ている。電磁弁57、58の開閉によりフランジ2の底
面2bを押し出しまたは吸引し、総型研削工具の出没を
行う。この利点は装置が簡略になることである。
工具軸を球心揺動させてワークのラジアル方向に総型研
削工具の加工面を摺動させているが、若干球面精度の点
に差はあるものの、球心揺動は必ずしも必要ではなく、
球心揺動をせずとも、ワークが従属回転するので、仕上
げ研削を行うことができる。さらに、本実施例では、カ
ップ型研削工具を工具軸本体に固定し、総型研削工具を
軸心方向に出没させる構成としたが、これに替えて、総
型研削工具を工具軸本体に固定し、カップ型研削工具を
出没させることもできる。その場合の研削装置は、カッ
プ型研削工具を出没機構と連結する構造とする。
研削時の研削装置の正面断面図、図7は仕上げ研削時の
正面断面図である。本実施例はワークを凹形状から凸形
状に変更した点と総型研削工具の出没機構の構造とが第
1実施例と異なる。その他は第1実施例と同様であり、
同一の部材には同一の符号を付して説明を省略する。
4のピストン部24aとベアリング25を介して回転自
在かつ進退自在に連結されている。また、カップ型研削
工具23の加工面23aは凹面で、曲率半径R1 はワー
ク3の仕上げ曲率半径R0 より仕上げ代分大きく形成さ
れ、総型研削工具11の加工面11aは凹面で、曲率半
径R2 は仕上げ曲率半径R0 と同一に形成されている。
その他の研削装置の構造は第1実施例と同様である。
いて説明する。図6は粗研削加工の状況を示している。
ワーク軸1では、皿12に貼付されたワーク3をコレッ
トチャック4により把持する。工具軸7では、総型研削
工具11を埋没させ、カップ型研削工具23を突出させ
ておく。工具軸7およびワーク軸1を回転させる。ノズ
ル10よりクーラントを供給し、工具軸7をα方向に旋
回(少なくともカップ型研削工具23の加工面23aが
ワーク3の中心3aに達するまで)させることにより、
ワ−ク3の外周から球面を創成する粗研削加工を行う。
aにおける曲率半径R1 の中心O1が、工具軸7の回動
機構の支点O0 と一致するように、カップ型研削工具2
3の高さ調整を行う。その調整はナット21をゆるめ、
カップ型研削工具23を回して、工具軸本体8のネジ部
8cでの軸心B方向への移動により行う。それ故、ワー
ク3はカップ型研削工具23の加工面23aの曲率半径
R1 に合致した凸球面3b(図6の破線で示す面)を得
る。
4により、フランジ2および総型研削工具11を引き戻
し、フランジ2の底面2bが中継ぎ20に接触する位置
まで後退させてある。それ故、カップ型研削工具23が
突出しているので、総型研削工具11とワーク3とが接
触することはない。
1を上方(C方向)に移動させた後、工具軸7をθ
1 (ワーク軸の軸心Aから総型研削工具11による球心
揺動の中央までの角度)に傾斜させる。総型研削工具1
1に連結したシリンダー24により、フランジ2および
総型研削工具11を前進させ、ストッパー9の突起部9
aにフランジ2の突起部2aが接触する位置で空気圧に
より保持する。この状態で、総型研削工具11はカップ
型研削工具23より突出している。
ンザシ6を加圧装置(図示省略)により押し出し、ワー
ク3を総型研削工具11の加工面11aに押圧する。ノ
ズル10よりクーラントを供給させ、工具軸7を回動機
構の支点O0 を中心として球心揺動させることによりワ
ーク3の仕上げ研削を行う。このとき、粗研削後のワー
ク3の凸球面3bの曲率半径R1 は総型研削工具11の
加工面11aの曲率半径R2 (=R0 )より仕上げ代分
だけ大きいので、仕上げ研削の初期にはワーク3と総型
研削工具11との接触は外当り(ワーク3の外周部分か
ら当たる)になる。それ故、ワーク3は総型研削工具1
1の回転により連れ回り(従属回転)が良好となる。
aにおける曲率半径R2 の中心O2が工具軸7の球心揺
動(α)の支点O0 と一致するように、総型研削工具1
1の高さ調整を行う。その調整はナット22をゆるめ、
ストッパー9を回して、工具軸本体8のネジ部8dでの
軸心B方向への移動により行う。
においても、高能率に粗研削から仕上げ研削までの加工
を一貫して行うことができ、かつ総型研削工具の上にワ
ークを押圧して従属回転させながら仕上げ研削を行うの
で、安定した仕上げ研削加工により高精度の光学素子を
得ることができる。
を工具軸本体に固定し、総型研削工具を軸心方向に出没
させる構成としたが、これに替えて、総型研削工具を工
具軸本体に固定し、カップ型研削工具を出没させること
もできる。その場合の研削装置は、カップ型研削工具を
シリンダーと連結する構造とする。また本実施例ではシ
リンダーはエアー(圧縮空気)を用いているが、油圧シ
リンダーやエアーハイドロシリンダーを用いることもで
きる。
粗研削時の研削装置の正面断面図、図9は仕上げ研削時
の正面断面図、図10は工具軸の変形例を示す半断面図
である。本実施例は工具軸の構成のみに特徴があるの
で、ワーク軸の構成などは第1および第2実施例と同一
であり、同一の部材には同一の符号を付し、説明を省略
する。
円盤型研削工具たるダイヤモンド砥粒の電着工具31
が、加工面31aの縦断面曲率半径R1 の中心O1 と工
具軸7の回動機構の支点O0 とが一致するように装着さ
れている。また、総型研削工具11を貼付したフランジ
2は、そのネジ部2cにて、工具軸本体8のネジ部8c
に同軸に螺着され、ゆるみ止めにネジ部2cにナット3
0が嵌着されている。総型研削工具11の加工面11a
の曲率半径R2 はワークの仕上げ曲率半径R0 と一致し
ており、ワーク3が凹形状なので、電着工具31の縦断
面曲率半径R1 はワークの仕上げ曲率半径R0 より仕上
げ代の分だけ小さく形成されている。また電着工具31
の外径Dk は、図8のように幅Wがワーク3の外径より
小さい場合には縦断面曲率半径R1 の丁度2倍に形成す
る。しかし、幅Wがワーク3の外径より大きい場合に
は、2倍未満にして電着工具31の縦断面曲率半径R1
による球面整形を干渉しないようにしてもよい。
と連結され、軸心Bを中心に回転駆動自在な構成となっ
ている。工具軸本体8の回転は、電着工具31および総
型研削工具11伝達されるように構成されている。さら
に、工具軸本体8は、ワーク軸1の軸心Aと工具軸7の
軸心Bとにその交点にて直交する軸を支点O0 として回
動する図示を省略した回動機構により、回動および球心
揺動(α方向)ができるようになっている。
いて説明する。図8は粗研削加工の状況を示している。
ワーク軸1では、皿12に貼付されたワーク3をコレッ
トチャック4により把持する。工具軸7では、回動機構
により工具軸7の軸心Bがワーク軸1の軸心Aに対して
垂直になるまで傾斜させておく。工具軸7およびワーク
軸1を回転させる。ノズル10よりクーラントを供給
し、ワーク軸を下方(C方向)に送ることにより電着工
具31ワーク3を粗研削加工する。ワーク3の下面に
は、電着工具31の回転とワーク軸1の強制回転とC方
向への送りとにより、凹球面3bが形成される。
1を上方(C方向)に移動させた後、工具軸7をθ
0 (ワーク軸の軸心Aから総型研削工具11による球心
揺動の中央までの角度)まで戻す。つぎに、コレットチ
ャック4を開放し、カンザシ6を加圧装置(図示省略)
により押し出し、ワーク3を総型研削工具11の加工面
11aに押圧する。ノズル10よりクーラントを供給さ
せ、工具軸7を回動機構の支点O0 を中心として球心揺
動させることによりワーク3の仕上げ研削を行う。この
とき、粗研削後のワーク3の凹球面3bの曲率半径R1
は仕上げ曲率半径R2 (=R0 )より小さいので、仕上
げ研削の初期にはワーク3と総型研削工具11との接触
は外当り(ワーク3の外周部分から当たる)になる。そ
れ故、ワーク3は総型研削工具11の回転により連れ回
り(従属回転)が良好となる。
1aにおける曲率半径R2 の中心O2 が回動機構の支点
O0 と合致するように、総型研削工具11の高さ調整を
おこなう。その調整はナット30をゆるめ、フランジ2
を回して、工具軸本体8のネジ部8eでの軸心B方向へ
の移動により行う。
て、前記第1実施例と同様な効果を得るとともに、総型
研削工具の出没機構が必要ないので、研削装置の構造を
簡略にすることができる。
ず、図10は工具軸の変形例を示し、電着工具41が工
具軸7の軸心Bに対して、γの傾斜角で装着されている
点に特徴がある。粗研削加工するときは、電着工具41
の傾斜角γまで工具軸7を傾けて回転させ、ワーク軸1
を下方(C方向)に送ることにより行う。この場合、電
着工具41の加工面41aがワーク3に対して下方の端
面より斜めに接触を始めるので、切込みが円滑に行われ
る。
ダイヤモンド砥粒の電着工具を用いたが、総型研削工具
と同様に、第1実施例で記述したCBNなどの砥粒を結
合した円盤型研削工具を用いてもよい。また、本実施例
では、凹形状のワ−クを研削する場合について説明した
が、加工面の縦断面形状が凹面で幅がワークの外径より
大きな円盤型研削工具と、凹面の加工面を有する総型研
削工具とを用いれば、凸形状のワークを研削することが
できる。この場合、円盤型研削工具の加工面の縦断面曲
率半径は、ワークの仕上げ曲率半径より仕上げ代の分だ
け大きな曲率半径となる。さらに、本実施例では、工具
軸に球心揺動を与えて、総型研削工具により仕上げ研削
をしているが、第1実施例と同様に、仕上がり面精度に
若干の差はあるものの、球心揺動を必ずしも必要とせ
ず、総型研削工具の上にワークを押圧して工具軸を回転
させるのみでも、ワ−クが従属回転するので、仕上げ研
削を行うことができる。
率に粗研削から仕上げ研削までの加工を一貫して行うこ
とができ、かつ総型研削工具の上にワークを押圧して従
属回転させながら仕上げ研削を行うので、安定した仕上
げ研削加工により高精度の光学素子を得ることができ
る。請求項2に係る発明によれば、上記効果に加え、総
型研削工具を球心揺動させながら仕上げ研削を行うの
で、より高精度の仕上面となる。請求項3〜4に係る発
明によれば、高能率に粗研削から仕上げ研削までの加工
を一貫して行うことができ、かつ総型研削工具の上にワ
ークを押圧して従属回転させながら仕上げ研削を行うの
で、安定した仕上げ研削加工により高精度の光学素子を
得ることができるとともに、総型研削工具の出没機構の
必要がないので、研削装置の構造を簡略にすることがで
きる。請求項4に係る発明によれば、上記効果に加え、
総型研削工具を球心揺動させながら仕上げ研削を行うの
で、より高精度の仕上面となる。請求項5〜6に係る発
明によれば、高能率に粗研削から仕上げ研削までの加工
を一貫して行うことができ、かつ総型研削工具の上にワ
ークを押圧して従属回転させながら仕上げ研削を行う、
安定した高精度の光学素子の研削装置を提供することが
できる。請求項7〜8に係る発明によれば、高能率に粗
研削から仕上げ研削までの加工を一貫して行うことがで
き、かつ総型研削工具の上にワークを押圧して従属回転
させながら仕上げ研削を行う、安定した高精度の光学素
子の研削装置を提供することができるとともに、総型研
削工具の出没機構の必要がないので、研削装置の構造を
簡略にすることができる。
面図である。
面断面図である。
である。
構を示す配管系統図である。
る出没機構を示す配管系統図である。
面図である。
面断面図である。
面図である。
面断面図である。
である。
である。
Claims (8)
- 【請求項1】工具軸の回転中心に対して同心に配設され
た複数の研削工具によって球面形状にワークを研削する
光学素子の研削方法において、 前記複数の研削工具は、カップ型研削工具と総型研削工
具とからなり、ワークを強制回転させながらカップ型研
削工具を光学素子の曲率半径の球心を中心として旋回運
動させつつ、ワークの外周から接近させて粗研削した
後、カップ型研削工具の加工面より総型研削工具を突出
させ、該総型研削工具の上にワークを押圧して従属回転
させながら仕上げ研削することを特徴とする光学素子の
研削方法。 - 【請求項2】前記仕上げ研削は、前記総型研削工具を、
光学素子の曲率半径の球心を中心として球心揺動させて
行うことを特徴とする請求項1記載の光学素子の研削方
法。 - 【請求項3】工具軸の回転中心に対して同心に配設され
た複数の研削工具によって球面形状にワークを研削する
光学素子の研削方法において、 前記複数の研削工具は、円盤型研削工具と総型研削工具
とからなり、円盤型研削工具は工具軸の外周に、総型研
削工具は工具軸の端面に配設し、ワークを強制回転させ
ながら円盤型研削工具をワークの端面から接近させて粗
研削した後、工具軸を回動した後、総型研削工具上にワ
ークを押圧して従属回転させながら仕上げ研削すること
を特徴とする光学素子の研削方法。 - 【請求項4】前記仕上げ研削は、前記総型研削工具を、
光学素子の曲率半径の球心を中心として球心揺動させて
行うことを特徴とする請求項3記載の光学素子の研削方
法。 - 【請求項5】工具軸の回転中心に対して同心に配設され
た複数の研削工具によって球面形状にワークを研削する
光学素子の研削装置において、 前記複数の研削工具は、カップ型研削工具と総型研削工
具とからなり、総型研削工具はカップ型研削工具の内側
に配され、互いに相対的に出没できるように工具軸に沿
って進退自在に嵌装され、ワーク軸は、その軸方向に進
退自在であり、ワークを着脱自在にしかつ強制回転させ
るチャック機構とワークを開放してワーク軸方向に押圧
する押圧機構とを備え、前記工具軸はその軸心と前記ワ
ーク軸の軸心とにその交点にて直交する軸を中心として
回動する回動機構を備えて構成したことを特徴とする光
学素子の研削装置。 - 【請求項6】前記総型研削工具の曲率半径は、ワ−クの
仕上げ曲率半径と一致してなることを特徴とする請求項
5記載の光学素子の研削装置。 - 【請求項7】工具軸の回転中心に対して同心に配設され
た複数の研削工具によって球面形状にワークを研削する
光学素子の研削装置において、 前記複数の研削工具は、円盤型研削工具と総型研削工具
とからなり、円盤型研削工具は工具軸の外周に、総型研
削工具は工具軸の端面に配設し、ワーク軸は、その軸方
向に進退自在であり、ワークを着脱自在にしかつ強制回
転させるチャック機構とワークを開放してワーク軸方向
に押圧する押圧機構とを備え、前記工具軸はその軸心と
前記ワーク軸の軸心とにその交点にて直交する軸を中心
として回動する回動機構を備えて構成したことを特徴と
する光学素子の研削装置。 - 【請求項8】前記円盤型研削工具の縦断面曲率半径は、
ワークの仕上げ曲率半径より仕上げ代分加減してなり、
前記総型研削工具の曲率半径は、ワ−クの仕上げ曲率半
径と一致してなることを特徴とする請求項7記載の光学
素子の研削装置。
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---|---|---|---|
JP25877394A JP3635501B2 (ja) | 1994-09-27 | 1994-09-27 | 光学素子の研削方法とその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25877394A JP3635501B2 (ja) | 1994-09-27 | 1994-09-27 | 光学素子の研削方法とその装置 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0890403A true JPH0890403A (ja) | 1996-04-09 |
JP3635501B2 JP3635501B2 (ja) | 2005-04-06 |
Family
ID=17324887
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JP25877394A Expired - Fee Related JP3635501B2 (ja) | 1994-09-27 | 1994-09-27 | 光学素子の研削方法とその装置 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3635501B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0807491A1 (de) * | 1996-05-17 | 1997-11-19 | Opto Tech GmbH | Halterung für optische Linsen und Verfahren zum Polieren von Linsen |
JP2007185755A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Olympus Corp | 研磨方法と研磨装置 |
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CN103506937A (zh) * | 2013-10-23 | 2014-01-15 | 江苏双仪光学器材有限公司 | 一种车载镜片双面研磨旋转机 |
CN115781424A (zh) * | 2022-11-17 | 2023-03-14 | 苏州三环科技有限公司 | 一种陶瓷劈刀外半径研磨方法、系统、设备及介质 |
-
1994
- 1994-09-27 JP JP25877394A patent/JP3635501B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP3635501B2 (ja) | 2005-04-06 |
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