JPH0872247A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
- Publication number
- JPH0872247A JPH0872247A JP21240994A JP21240994A JPH0872247A JP H0872247 A JPH0872247 A JP H0872247A JP 21240994 A JP21240994 A JP 21240994A JP 21240994 A JP21240994 A JP 21240994A JP H0872247 A JPH0872247 A JP H0872247A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- nozzle plate
- substrate
- nozzle
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 接着剤を用いずにノズル板と基板との接合を
行い接着不良による印字品質の劣化を改善することを目
的とする。 【構成】 凹部１６を形成したノズル板１４と流路部材
８が形成されている基板５を位置合わせ後、押圧用ロー
ラー１７で加圧することで凹部１６が変形し、その復元
力で凹部１６内が真空になり強い結合力を得ることがで
きる。
行い接着不良による印字品質の劣化を改善することを目
的とする。 【構成】 凹部１６を形成したノズル板１４と流路部材
８が形成されている基板５を位置合わせ後、押圧用ロー
ラー１７で加圧することで凹部１６が変形し、その復元
力で凹部１６内が真空になり強い結合力を得ることがで
きる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクを紙上へ吐出す
るインクジェット記録方式のインクジェットヘッドに関
するものである。
るインクジェット記録方式のインクジェットヘッドに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、インク吐出装置を用いたインクジ
ェットプリンタは、印字の際の静粛性などからオフィス
用コンピュータの出力用プリンタとして広く利用される
ようになってきた。以下に従来のインクジェットヘッド
について説明する。図４は従来のインクジェットヘッド
の部分断面図、図５は従来のインクジェットヘッドを示
す図４の線Ａ−Ａ断面図である。図４、図５において、
１はインク、２はインク１の液滴１２を生成するノズル
孔、３はノズル孔２を形成するノズル板、４はインク１
を熱するヒーター部で印字信号に応じて電圧を印加する
電圧印加装置９に接続されている。５はヒーター部４を
形成する基板、６はインクタンク（図示せず）よりイン
ク１を供給するインク供給孔、７はインク１をヒーター
部４上へ導く流路、８は流路を形成する流路部材で基板
５に一体に形成されている。１０は沸騰気泡、１１は記
録紙、１３はノズル板３と流路部材８とを接合する接着
剤である。
ェットプリンタは、印字の際の静粛性などからオフィス
用コンピュータの出力用プリンタとして広く利用される
ようになってきた。以下に従来のインクジェットヘッド
について説明する。図４は従来のインクジェットヘッド
の部分断面図、図５は従来のインクジェットヘッドを示
す図４の線Ａ−Ａ断面図である。図４、図５において、
１はインク、２はインク１の液滴１２を生成するノズル
孔、３はノズル孔２を形成するノズル板、４はインク１
を熱するヒーター部で印字信号に応じて電圧を印加する
電圧印加装置９に接続されている。５はヒーター部４を
形成する基板、６はインクタンク（図示せず）よりイン
ク１を供給するインク供給孔、７はインク１をヒーター
部４上へ導く流路、８は流路を形成する流路部材で基板
５に一体に形成されている。１０は沸騰気泡、１１は記
録紙、１３はノズル板３と流路部材８とを接合する接着
剤である。
【０００３】以上のように構成されたインクジェットヘ
ッドについて以下にその動作を説明する。電圧印加装置
９によりヒーター部４に通電されたことで発生する熱に
よりインク１が急激に熱せられ、沸騰気泡１０が発生す
ることで流路内のインク１は圧力を受け、ノズル孔２の
方に流入する。さらにインク１はノズル孔２から外気へ
流出し、インク１の表面張力により液滴１２を形成し、
記録紙１１へ付着する。一方、発泡した沸騰気泡１０は
インク１により冷却され急激に体積を減少する。その際
発生する負圧力によりインク１はインク供給孔６、流路
７を経てノズル孔２へ再充填される。
ッドについて以下にその動作を説明する。電圧印加装置
９によりヒーター部４に通電されたことで発生する熱に
よりインク１が急激に熱せられ、沸騰気泡１０が発生す
ることで流路内のインク１は圧力を受け、ノズル孔２の
方に流入する。さらにインク１はノズル孔２から外気へ
流出し、インク１の表面張力により液滴１２を形成し、
記録紙１１へ付着する。一方、発泡した沸騰気泡１０は
インク１により冷却され急激に体積を減少する。その際
発生する負圧力によりインク１はインク供給孔６、流路
７を経てノズル孔２へ再充填される。
【０００４】次に、従来のインクジェットヘッドの製造
方法について説明する。ノズル板３は電鋳や射出成形、
エキシマレーザ加工等により作成される。また、基板５
であるSi基板上には薄膜工程により配線（図示せず）
や、ヒーター部４が形成される。流路７はドライフィル
ムを基板５上にラミネートし、所望の流路パターンに露
光、現像を経て形成される。流路７やノズル孔２へは繰
り返し高い圧力を受けるため高い密閉性が必要である。
ノズル板３と基板５との接合はノズル孔２を塞がないよ
うにノズル板３に選択的に印刷等により接着剤１３を塗
布する。その後、ノズル孔２がヒーター部４上に位置す
るようノズル板３と基板５との位置合わせを行い、加
圧、加熱して接着剤１３を硬化させる。
方法について説明する。ノズル板３は電鋳や射出成形、
エキシマレーザ加工等により作成される。また、基板５
であるSi基板上には薄膜工程により配線（図示せず）
や、ヒーター部４が形成される。流路７はドライフィル
ムを基板５上にラミネートし、所望の流路パターンに露
光、現像を経て形成される。流路７やノズル孔２へは繰
り返し高い圧力を受けるため高い密閉性が必要である。
ノズル板３と基板５との接合はノズル孔２を塞がないよ
うにノズル板３に選択的に印刷等により接着剤１３を塗
布する。その後、ノズル孔２がヒーター部４上に位置す
るようノズル板３と基板５との位置合わせを行い、加
圧、加熱して接着剤１３を硬化させる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では図５のＣに示すように接着剤１３の厚みや加
圧条件のばらつきによる接着剤１３の流路７、ノズル孔
２へのしみだしや、接着剤１３の不足によるインク１の
漏れが原因となる吐出不良、接着剤１３の印刷時の位置
ずれによりノズル孔２を塞ぐことによる吐出不良、吐出
性能のばらつきの要因になるという問題点を有してい
た。
の構成では図５のＣに示すように接着剤１３の厚みや加
圧条件のばらつきによる接着剤１３の流路７、ノズル孔
２へのしみだしや、接着剤１３の不足によるインク１の
漏れが原因となる吐出不良、接着剤１３の印刷時の位置
ずれによりノズル孔２を塞ぐことによる吐出不良、吐出
性能のばらつきの要因になるという問題点を有してい
た。
【０００６】本発明はこのような問題点を解決するもの
で接着不良による吐出不良や吐出性能のばらつきを改善
するインクジェットヘッドを提供することを目的とす
る。
で接着不良による吐出不良や吐出性能のばらつきを改善
するインクジェットヘッドを提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、基板とノズル板とを接合する接合面の一方に
複数の凹部を形成したものである。
するため、基板とノズル板とを接合する接合面の一方に
複数の凹部を形成したものである。
【０００８】
【作用】本発明は上記構成により、凹部に真空を発生さ
せ強い接合力を得ることができ、接合面に接着剤を用い
ず基板とノズル板とを接合することができる。
せ強い接合力を得ることができ、接合面に接着剤を用い
ず基板とノズル板とを接合することができる。
【０００９】
【実施例】図１（ａ）〜図１（ｄ）は本発明の第１の実
施例におけるインクジェットヘッドの製造方法を示す図
である。図１（ａ）〜図１（ｄ）において１４はノズル
板、１５はノズル孔、１６は凹部、１７は押圧用ローラ
ー、１８は弾性変形した凹部、１９は復元した凹部、２
０は接着剤である。基板５ならびにヒーター部４、流路
７、流路部材８の製作方法は従来例と同じであるため省
略する。
施例におけるインクジェットヘッドの製造方法を示す図
である。図１（ａ）〜図１（ｄ）において１４はノズル
板、１５はノズル孔、１６は凹部、１７は押圧用ローラ
ー、１８は弾性変形した凹部、１９は復元した凹部、２
０は接着剤である。基板５ならびにヒーター部４、流路
７、流路部材８の製作方法は従来例と同じであるため省
略する。
【００１０】まず、図１（ａ）において、ノズル板１４
にはポリイミドなど耐インク性を有する樹脂性の弾性材
料を使用する。ノズル孔１５はエッチングやエキシマレ
ーザ等により加工する。次に、図１（ｂ）に示す流路部
材８との接合面にエッチングやエキシマレーザ等により
凹部１６を設ける。次に、図１（ｂ）に示すように、ノ
ズル板１４と基板５との接合方法は、ノズル孔１５がヒ
ーター部４上に位置するようノズル板１４と基板５との
位置合わせを行い、押圧用ローラー１７を用いて接合面
の端から荷重を加えていく。このとき、凹部１６は押圧
用ローラー１７により荷重が加えられることで凹部１８
のように弾性変形する。この後、図１（ｃ）に示す用
に、凹部１８はノズル板１４の復元力によりほぼ元の形
状に戻って凹部１９のようになり、凹部１９内は真空状
態となり、ノズル板１４は基板５に吸着する。実験では
半径１０〜１５μｍ、高さ５〜８μｍ、ピッチ２０μｍ
の半球状の凹部１６で１０kgf／cmと高い接合力が得ら
れた。最後に接合後、図１（ｄ）に示すようにノズル板
１４の周辺をシリコーン系の接着剤２０で封止するとさ
らに耐環境に優れた性能を示す。なお、本発明の第１の
実施例では凹部１６はノズル板１４側に設けたが、流路
部材８に設けてもよい。
にはポリイミドなど耐インク性を有する樹脂性の弾性材
料を使用する。ノズル孔１５はエッチングやエキシマレ
ーザ等により加工する。次に、図１（ｂ）に示す流路部
材８との接合面にエッチングやエキシマレーザ等により
凹部１６を設ける。次に、図１（ｂ）に示すように、ノ
ズル板１４と基板５との接合方法は、ノズル孔１５がヒ
ーター部４上に位置するようノズル板１４と基板５との
位置合わせを行い、押圧用ローラー１７を用いて接合面
の端から荷重を加えていく。このとき、凹部１６は押圧
用ローラー１７により荷重が加えられることで凹部１８
のように弾性変形する。この後、図１（ｃ）に示す用
に、凹部１８はノズル板１４の復元力によりほぼ元の形
状に戻って凹部１９のようになり、凹部１９内は真空状
態となり、ノズル板１４は基板５に吸着する。実験では
半径１０〜１５μｍ、高さ５〜８μｍ、ピッチ２０μｍ
の半球状の凹部１６で１０kgf／cmと高い接合力が得ら
れた。最後に接合後、図１（ｄ）に示すようにノズル板
１４の周辺をシリコーン系の接着剤２０で封止するとさ
らに耐環境に優れた性能を示す。なお、本発明の第１の
実施例では凹部１６はノズル板１４側に設けたが、流路
部材８に設けてもよい。
【００１１】次に、本発明の第２の実施例について図２
を参照しながら説明する。図２において、２１はノズル
孔、２２は流路、２３は凹部、２４はノズル孔２１、流
路２２および凹部２３が加工されたノズル板で、これ以
外の構成は本発明の第１の実施例と同様であるため説明
を省略する。また、接合法に関しても本発明の第１の実
施例と同様であるため説明を省略する。
を参照しながら説明する。図２において、２１はノズル
孔、２２は流路、２３は凹部、２４はノズル孔２１、流
路２２および凹部２３が加工されたノズル板で、これ以
外の構成は本発明の第１の実施例と同様であるため説明
を省略する。また、接合法に関しても本発明の第１の実
施例と同様であるため説明を省略する。
【００１２】次に、本発明の第３の実施例について図３
を参照しながら説明する。図３において、２５はノズル
孔、２６はノズル孔２５が加工されたノズル板、２７は
流路、２８は流路２７が加工された流路部材で、これ以
外の構成は本発明の第１の実施例と同様であるため説明
を省略する。なお、流路部材２８には両面に凹部２９が
加工されている。これらの基板５と流路部材２８、ノズ
ル板２６と流路部材２８それぞれの接合法に関しても本
発明の第１の実施例と同様であるため説明を省略する。
を参照しながら説明する。図３において、２５はノズル
孔、２６はノズル孔２５が加工されたノズル板、２７は
流路、２８は流路２７が加工された流路部材で、これ以
外の構成は本発明の第１の実施例と同様であるため説明
を省略する。なお、流路部材２８には両面に凹部２９が
加工されている。これらの基板５と流路部材２８、ノズ
ル板２６と流路部材２８それぞれの接合法に関しても本
発明の第１の実施例と同様であるため説明を省略する。
【００１３】
【発明の効果】以上のように本発明は、基板とノズル板
とを接合する接合面の一方に複数の凹部を形成し、凹部
に真空を発生させ強い接合力を得ることにより、接着剤
が不要になり、接着層の厚みや加圧条件のばらつきによ
る接着剤の流路、ノズル部へのしみだしや接着剤不足に
よるインクの漏れが原因となる吐出不良、吐出性能のば
らつきの発生をなくすことができる。
とを接合する接合面の一方に複数の凹部を形成し、凹部
に真空を発生させ強い接合力を得ることにより、接着剤
が不要になり、接着層の厚みや加圧条件のばらつきによ
る接着剤の流路、ノズル部へのしみだしや接着剤不足に
よるインクの漏れが原因となる吐出不良、吐出性能のば
らつきの発生をなくすことができる。
【図１】（ａ）は本発明の第１の実施例におけるインク
ジェットヘッドの製造方法を示す図 （ｂ）は本発明の第１の実施例におけるインクジェット
ヘッドの製造方法を示す図 （ｃ）は本発明の第１の実施例におけるインクジェット
ヘッドの製造方法を示す図 （ｄ）は本発明の第１の実施例におけるインクジェット
ヘッドの製造方法を示す図
ジェットヘッドの製造方法を示す図 （ｂ）は本発明の第１の実施例におけるインクジェット
ヘッドの製造方法を示す図 （ｃ）は本発明の第１の実施例におけるインクジェット
ヘッドの製造方法を示す図 （ｄ）は本発明の第１の実施例におけるインクジェット
ヘッドの製造方法を示す図
【図２】本発明の第２の実施例におけるインクジェット
ヘッドの断面図
ヘッドの断面図
【図３】本発明の第３の実施例におけるインクジェット
ヘッドの断面図
ヘッドの断面図
【図４】従来のインクジェットヘッドの部分断面図
【図５】従来のインクジェットヘッドを示す図４の線Ａ
−Ａ断面図
−Ａ断面図
４ ヒーター部 ５ 基板 １４ ノズル板 １５ ノズル孔 １６ 凹部 １７ 押圧用ローラー １８ 凹部 １９ 凹部 ２０ 接着剤 ２１ ノズル孔 ２２ 流路 ２３ 凹部 ２４ ノズル板 ２５ ノズル孔 ２６ ノズル板 ２７ 流路 ２８ 流路部材 ２９ 凹部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松崎 哲也 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】インクに圧力を与えるための圧力発生手段
と、前記圧力発生手段へインクを導く溝が形成された基
板と、前記圧力発生手段より圧力を与えられたインクを
インク滴に生成するノズル孔が形成されたノズル板とを
有し、前記基板と前記ノズル板とを接合する接合面の一
方に複数の凹部を形成したことを特徴とするインクジェ
ットヘッド。 - 【請求項２】インクに圧力を与えるための圧力発生手段
が設けられた基板と、前記圧力発生手段へインクを導く
溝と前記圧力発生手段より圧力を与えられたインクをイ
ンク滴に生成するノズル孔とが形成されたノズル板とを
有し、前記基板と前記ノズル板とを接合する接合面の一
方に複数の凹部を形成したことを特徴とするインクジェ
ットヘッド。 - 【請求項３】インクに圧力を与えるための圧力発生手段
が設けられた基板と、前記圧力発生手段へインクを導く
溝を有する流路部材と、前記圧力発生手段より圧力を与
えられたインクをインク滴に生成するノズル孔が形成さ
れたノズル板とを有し、前記基板と前記流路部材と前記
ノズル板を接合する各々の接合面の一方に複数の凹部を
形成したことを特徴とするインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21240994A JPH0872247A (ja) | 1994-09-06 | 1994-09-06 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21240994A JPH0872247A (ja) | 1994-09-06 | 1994-09-06 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0872247A true JPH0872247A (ja) | 1996-03-19 |
Family
ID=16622114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21240994A Pending JPH0872247A (ja) | 1994-09-06 | 1994-09-06 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0872247A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008530316A (ja) * | 2005-02-28 | 2008-08-07 | シルバーブルック リサーチ ピーティワイ リミテッド | 基板を接合する方法 |
-
1994
- 1994-09-06 JP JP21240994A patent/JPH0872247A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008530316A (ja) * | 2005-02-28 | 2008-08-07 | シルバーブルック リサーチ ピーティワイ リミテッド | 基板を接合する方法 |
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