JPH085556Y2 - ウエーハキャリヤにおける緩衝支持具 - Google Patents
ウエーハキャリヤにおける緩衝支持具Info
- Publication number
- JPH085556Y2 JPH085556Y2 JP5606092U JP5606092U JPH085556Y2 JP H085556 Y2 JPH085556 Y2 JP H085556Y2 JP 5606092 U JP5606092 U JP 5606092U JP 5606092 U JP5606092 U JP 5606092U JP H085556 Y2 JPH085556 Y2 JP H085556Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- comb
- elastic piece
- shaped
- width
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、半導体ウエーハを破損
及び汚染することなく安全に輸送するためのウエーハキ
ャリヤのウエーハ緩衝支持具に関する。
及び汚染することなく安全に輸送するためのウエーハキ
ャリヤのウエーハ緩衝支持具に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエーハを運搬輸送するための容
器は、ウエーハを収納するウエーハキャリヤ、これを収
納する容器（本体及び蓋）、さらにウエーハを輸送中の
振動による破損などから保護するための半導体ウエーハ
緩衝支持具の組み合わせで構成されている。
器は、ウエーハを収納するウエーハキャリヤ、これを収
納する容器（本体及び蓋）、さらにウエーハを輸送中の
振動による破損などから保護するための半導体ウエーハ
緩衝支持具の組み合わせで構成されている。
【０００３】ウエーハキャリヤは、半導体メーカの作業
上の便宜さから、ウエーハ処理用のふっ素樹脂製のキャ
リヤと寸法特にウエーハの整列ピッチを合致させること
が要求されるが、このピッチは国際的に４．７６ｍｍ
（３／１６インチ）に統一されている。ウエーハ緩衝支
持具は一般に容器の蓋に取り付けられ、輸送時にウエー
ハを振動による破損やキャリヤ材料が擦られて発生する
削りくずによる汚染から守る役割を果たすものである。
かかる目的から、個々のウエーハを確実に支持するため
に緩衝支持具は個々のウエーハに対応する櫛歯型の弾性
部材とその先端に設けられたウエーハ保持部材で構成
し、これをウエーハの整列ピッチに合わせて配置するの
が一般的である。
上の便宜さから、ウエーハ処理用のふっ素樹脂製のキャ
リヤと寸法特にウエーハの整列ピッチを合致させること
が要求されるが、このピッチは国際的に４．７６ｍｍ
（３／１６インチ）に統一されている。ウエーハ緩衝支
持具は一般に容器の蓋に取り付けられ、輸送時にウエー
ハを振動による破損やキャリヤ材料が擦られて発生する
削りくずによる汚染から守る役割を果たすものである。
かかる目的から、個々のウエーハを確実に支持するため
に緩衝支持具は個々のウエーハに対応する櫛歯型の弾性
部材とその先端に設けられたウエーハ保持部材で構成
し、これをウエーハの整列ピッチに合わせて配置するの
が一般的である。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】このように保持具をウ
エーハキャリヤに収納し得るウエーハのそれぞれを保持
するように分離することによって個々の保持具が単独に
弾力性を有し、従ってウエーハの直径に多少のバラツキ
があってもウエーハをほぼ同一の圧力で保持することが
できるが、整列されるウエーハ間のピッチが４．７６ｍ
ｍと小さく、従ってそれに対応する各の櫛歯型支持具の
幅は、前記のウエーハの整列ピッチ（４．７６）から各
櫛歯を分離形成するためのスリットの幅を減じた寸法と
なる。したがって細く弱いものになるのみならず、この
スリットがウエーハの汚染の原因となっている。
エーハキャリヤに収納し得るウエーハのそれぞれを保持
するように分離することによって個々の保持具が単独に
弾力性を有し、従ってウエーハの直径に多少のバラツキ
があってもウエーハをほぼ同一の圧力で保持することが
できるが、整列されるウエーハ間のピッチが４．７６ｍ
ｍと小さく、従ってそれに対応する各の櫛歯型支持具の
幅は、前記のウエーハの整列ピッチ（４．７６）から各
櫛歯を分離形成するためのスリットの幅を減じた寸法と
なる。したがって細く弱いものになるのみならず、この
スリットがウエーハの汚染の原因となっている。
【０００５】このような櫛歯状の指示具をプラスチック
で成形するための金型は、強度及び構造上の制約から櫛
歯間のスリットの幅を０．５ないし１ｍｍ以下に薄くす
ることは不可能である。例えばこのスリットを０．５ｍ
ｍ以下として製造するためには成形用金型において０．
５ｍｍ以下の剃刀状平板を金型内に組み込んでおき、各
櫛歯型支持具を形成するために金型内の流動プラスチッ
クの仕切板とする必要があるが、成形を行うためのプラ
スチック充填圧力によって該仕切板に歪みを生じ、成形
品寸法に誤差を生じ、或いは該仕切板の組み込み部へ溶
融樹脂が浸入しウエーハ汚染の原因となるバリを生じ、
更には金型の破損に至ることもある。
で成形するための金型は、強度及び構造上の制約から櫛
歯間のスリットの幅を０．５ないし１ｍｍ以下に薄くす
ることは不可能である。例えばこのスリットを０．５ｍ
ｍ以下として製造するためには成形用金型において０．
５ｍｍ以下の剃刀状平板を金型内に組み込んでおき、各
櫛歯型支持具を形成するために金型内の流動プラスチッ
クの仕切板とする必要があるが、成形を行うためのプラ
スチック充填圧力によって該仕切板に歪みを生じ、成形
品寸法に誤差を生じ、或いは該仕切板の組み込み部へ溶
融樹脂が浸入しウエーハ汚染の原因となるバリを生じ、
更には金型の破損に至ることもある。
【０００６】したがって櫛歯型保持具においてそのスリ
ットの幅は０．５〜１ｍｍ異常になるのが通例である。
ウエーハを装填した容器に蓋をする場合に、その蓋の内
面に取り付けたこの櫛歯型支持具が各のウエーハに当接
しウエーハを保持するのであるが、ウエーハの整列にお
いてしばしば位置ずれを生じ０．５〜１ｍｍ以上もある
このスリット内にウエーハが挟み込まれることがあり、
輸送時に振動でこのウエーハが支持具側面やウエーハキ
ャリヤとの間で摺動摩擦を生じる。その摩擦によりプラ
スチックの摩耗くずが発生し、その摩耗くずがウエーハ
を汚染する結果となりウエーハとしての使用ができない
ことになる。また、該スリットにウエーハを挟み込み、
ウエーハに歪み、変形を与えることにより破損事故に至
ることがしばしばであった。
ットの幅は０．５〜１ｍｍ異常になるのが通例である。
ウエーハを装填した容器に蓋をする場合に、その蓋の内
面に取り付けたこの櫛歯型支持具が各のウエーハに当接
しウエーハを保持するのであるが、ウエーハの整列にお
いてしばしば位置ずれを生じ０．５〜１ｍｍ以上もある
このスリット内にウエーハが挟み込まれることがあり、
輸送時に振動でこのウエーハが支持具側面やウエーハキ
ャリヤとの間で摺動摩擦を生じる。その摩擦によりプラ
スチックの摩耗くずが発生し、その摩耗くずがウエーハ
を汚染する結果となりウエーハとしての使用ができない
ことになる。また、該スリットにウエーハを挟み込み、
ウエーハに歪み、変形を与えることにより破損事故に至
ることがしばしばであった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】かかる従来技術の問題点
を解決するために、本考案者らはウエーハ緩衝支持具の
構造について鋭意研究の結果以下に詳記するように、各
の櫛歯型支持具をセパレートするためのスリット（間
隙）にウエーハが挟み込まれることがないようにするた
め該スリットを直線状にせずに折線状にしたもので、従
って多数の櫛歯状弾性片は交互に長短とし短型弾性片は
幅を大きく、長型弾性片はその基部の幅を狭く短型弾性
片より突出する部分の幅を大きくすることによりウエー
ハを確実に押圧保持する幅を備えた緩衝支持具を開発し
たものである。
を解決するために、本考案者らはウエーハ緩衝支持具の
構造について鋭意研究の結果以下に詳記するように、各
の櫛歯型支持具をセパレートするためのスリット（間
隙）にウエーハが挟み込まれることがないようにするた
め該スリットを直線状にせずに折線状にしたもので、従
って多数の櫛歯状弾性片は交互に長短とし短型弾性片は
幅を大きく、長型弾性片はその基部の幅を狭く短型弾性
片より突出する部分の幅を大きくすることによりウエー
ハを確実に押圧保持する幅を備えた緩衝支持具を開発し
たものである。
【０００８】
【実施例】本考案に係るウエーハ容器の緩衝支持具を図
面に従って説明する。第１図に示すようにウエーハを運
搬する容器において、ウエーハキャリヤに装填されたウ
エーハは容器本体に収納され、さらにウエーハが運搬中
の振動によってキャリヤ中を摺動し或いは破損しないよ
うに緩衝支持具で押圧しその上から蓋をすることは従来
のウエーハ容器と同様で、本考案の特徴とするところは
ウエーハを押圧する支持具にある。
面に従って説明する。第１図に示すようにウエーハを運
搬する容器において、ウエーハキャリヤに装填されたウ
エーハは容器本体に収納され、さらにウエーハが運搬中
の振動によってキャリヤ中を摺動し或いは破損しないよ
うに緩衝支持具で押圧しその上から蓋をすることは従来
のウエーハ容器と同様で、本考案の特徴とするところは
ウエーハを押圧する支持具にある。
【０００９】 このウエーハキャリヤの緩衝支持具２０
は、その外枠２１が容器の蓋体１０の内側に係合保持さ
れるものであって、その緩衝支持具２０の外枠２１に対
向する一対の垂下壁面２２、２２を形成し、その垂下壁
面２２、２２のそれぞれに櫛歯状の弾性体が互いに対向
するように設けられている。この櫛歯状の弾性体は、短
形櫛歯状弾性片２３ａと短形櫛歯状弾性片より１〜３ミ
リメートル長い長形櫛歯状弾性片２３ｂとが同一平面上
で交互に配置されることにより形成されたものであり、
短形櫛歯状弾性片２３ａは、各ウエーハＷの整列間隔Ｐ
とほぼ同じ寸法の幅をもつと共にその先端下面に逆Ｖ字
型のウエーハ保持部２４を備えたものであり、長形櫛歯
状弾性片２３ｂは、短形櫛歯状弾性片２３ａの幅よりも
狭い幅をもつと共に短形櫛歯状弾性片の上下方向の厚さ
よりも厚い厚さをもつ短形櫛歯状弾性片に隣接する部分
と、短形櫛歯状弾性片と同程度の幅と上下方向の厚さを
もつと共にその下面に逆Ｖ字型のウエーハ保持部２４を
備えた短形櫛歯状弾性片の先端より突出する頭部とから
なるものである。
は、その外枠２１が容器の蓋体１０の内側に係合保持さ
れるものであって、その緩衝支持具２０の外枠２１に対
向する一対の垂下壁面２２、２２を形成し、その垂下壁
面２２、２２のそれぞれに櫛歯状の弾性体が互いに対向
するように設けられている。この櫛歯状の弾性体は、短
形櫛歯状弾性片２３ａと短形櫛歯状弾性片より１〜３ミ
リメートル長い長形櫛歯状弾性片２３ｂとが同一平面上
で交互に配置されることにより形成されたものであり、
短形櫛歯状弾性片２３ａは、各ウエーハＷの整列間隔Ｐ
とほぼ同じ寸法の幅をもつと共にその先端下面に逆Ｖ字
型のウエーハ保持部２４を備えたものであり、長形櫛歯
状弾性片２３ｂは、短形櫛歯状弾性片２３ａの幅よりも
狭い幅をもつと共に短形櫛歯状弾性片の上下方向の厚さ
よりも厚い厚さをもつ短形櫛歯状弾性片に隣接する部分
と、短形櫛歯状弾性片と同程度の幅と上下方向の厚さを
もつと共にその下面に逆Ｖ字型のウエーハ保持部２４を
備えた短形櫛歯状弾性片の先端より突出する頭部とから
なるものである。
【００１０】以上の構成になる本考案のウエーハ緩衝支
持具２０をその内面に挟着保持した蓋１は、ウエーハＷ
を収納したウエーハキャリヤ３を収容した容器２の上部
に嵌合され、その蓋１及び容器２の開口周縁の帯状段部
４に連接して設けられた係合凸状部６と帯状段部５に設
けた係合凹状部７とを嵌合させることによって蓋１と容
器２の緊密な結合がなされる。このような状態において
本考案ウエーハ緩衝支持具２０の各の櫛歯状弾性片２３
ａ、２３ｂはそのＶ字型保持部２４で収納されたウエー
ハＷの上方外径部を押圧保持する。
持具２０をその内面に挟着保持した蓋１は、ウエーハＷ
を収納したウエーハキャリヤ３を収容した容器２の上部
に嵌合され、その蓋１及び容器２の開口周縁の帯状段部
４に連接して設けられた係合凸状部６と帯状段部５に設
けた係合凹状部７とを嵌合させることによって蓋１と容
器２の緊密な結合がなされる。このような状態において
本考案ウエーハ緩衝支持具２０の各の櫛歯状弾性片２３
ａ、２３ｂはそのＶ字型保持部２４で収納されたウエー
ハＷの上方外径部を押圧保持する。
【００１１】短型弾性片２３ａは幅が広く、一方の長型
弾性片２３ｂはその基部の幅が狭いためにそれぞれの先
端での押圧強度に差ができるが、これを是正するために
長型弾性片２３ｂの厚さ（高さ）を大きくしている。ま
た、弾性片２３に長短があるためにウエーハＷを押圧保
持する位置に２〜３ｍｍの差ができるが長型弾性片２３
ｂは短型弾性片２３ａより大きなたわみ量を有している
ので押圧保持は可能である。また、Ｖ字型刻設部２４の
刻設深さを変えることによってほぼ同時にウエーハに接
触し均等な押圧強度を得ることも可能である。さらに
は、垂下した壁面２２より段差を設けて短型弾性片２３
ａと長型弾性片２３ｂを突設してもよい。
弾性片２３ｂはその基部の幅が狭いためにそれぞれの先
端での押圧強度に差ができるが、これを是正するために
長型弾性片２３ｂの厚さ（高さ）を大きくしている。ま
た、弾性片２３に長短があるためにウエーハＷを押圧保
持する位置に２〜３ｍｍの差ができるが長型弾性片２３
ｂは短型弾性片２３ａより大きなたわみ量を有している
ので押圧保持は可能である。また、Ｖ字型刻設部２４の
刻設深さを変えることによってほぼ同時にウエーハに接
触し均等な押圧強度を得ることも可能である。さらに
は、垂下した壁面２２より段差を設けて短型弾性片２３
ａと長型弾性片２３ｂを突設してもよい。
【００１２】
【発明の効果】以上に説明したように本考案のウエーハ
緩衝支持具は交互に長さ及び形状の異なる櫛歯状弾性片
２３ａ、２３ｂを突出形成しているので、各の弾性片を
分離しているスリット２５は短型弾性片２３ａの先端で
折り曲がつた折線状であり、従ってウエーハカートリッ
ジに収納されたウエーハＷの上方から押圧する際にウエ
ーハＷがこのスリット２５に挟着される事は全くなく確
実にウエーハ保持部２４に押圧固定されるようになっ
た。その結果輸送中の振動によりウエーハが弾性片２３
の側面に接触し、擦り傷や摩耗くずを生じて汚損し、或
いは破損するようなことはなくなった。
緩衝支持具は交互に長さ及び形状の異なる櫛歯状弾性片
２３ａ、２３ｂを突出形成しているので、各の弾性片を
分離しているスリット２５は短型弾性片２３ａの先端で
折り曲がつた折線状であり、従ってウエーハカートリッ
ジに収納されたウエーハＷの上方から押圧する際にウエ
ーハＷがこのスリット２５に挟着される事は全くなく確
実にウエーハ保持部２４に押圧固定されるようになっ
た。その結果輸送中の振動によりウエーハが弾性片２３
の側面に接触し、擦り傷や摩耗くずを生じて汚損し、或
いは破損するようなことはなくなった。
【図１】 本考案のウエーハ緩衝支持具を備えたウエー
ハ容器の実施態様と構造を示した斜視図である。
ハ容器の実施態様と構造を示した斜視図である。
【図２】 本考案のウエーハ緩衝支持具の平面図であ
る。
る。
【図３】 図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４】 図２のＢ−Ｂ断面図である。
【図５】 図２のＣ−Ｃ断面図である。
【図６】 図２のＤ−Ｄ断面図である。
１ 蓋 ２ 容器 ３ ウエーハキャリヤ ４ 帯状段部 ５ 帯状段部 ６ 係合凸状部 ７ 係合凹状部 ２０ ウエーハ緩衝支持具 ２１ 外枠 ２２ 垂直壁面 ２３ａ 短櫛歯状弾性片 ２３ｂ 長櫛歯状弾性片 ２４ ウエーハ保持部 ２５ スリット
Claims (1)
- 【請求項１】 ウエーハキャリヤの上部緩衝支持具であ
って、その支持具の対向する一対の垂下壁面のそれぞれ
に櫛歯状の弾性体が互いに対向するように設けられてお
り、この櫛歯状の弾性体は、短形櫛歯状弾性片と短形櫛
歯状弾性片より１〜３ミリメートル長い長形櫛歯状弾性
片とが同一平面上で交互に配置されることにより形成さ
れたものであり、短形櫛歯状弾性片は、各ウエーハの整
列間隔Ｐとほぼ同じ寸法の幅をもつと共にその先端下面
に逆Ｖ字型のウエーハ保持部を備えたものであり、長形
櫛歯状弾性片は、短形櫛歯状弾性片の幅よりも狭い幅を
もつと共に短形櫛歯状弾性片の上下方向の厚さよりも厚
い厚さをもつ短形櫛歯状弾性片に隣接する部分と、短形
櫛歯状弾性片と同程度の幅と上下方向の厚さをもつと共
にその下面に逆Ｖ字型のウエーハ保持部を備えた短形櫛
歯状弾性片の先端より突出する頭部とからなるものであ
ることに特徴を有するウエーハキャリヤの上部緩衝支持
具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5606092U JPH085556Y2 (ja) | 1992-08-10 | 1992-08-10 | ウエーハキャリヤにおける緩衝支持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5606092U JPH085556Y2 (ja) | 1992-08-10 | 1992-08-10 | ウエーハキャリヤにおける緩衝支持具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0621247U JPH0621247U (ja) | 1994-03-18 |
| JPH085556Y2 true JPH085556Y2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=13016546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5606092U Expired - Lifetime JPH085556Y2 (ja) | 1992-08-10 | 1992-08-10 | ウエーハキャリヤにおける緩衝支持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085556Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100214463B1 (ko) * | 1995-12-06 | 1999-08-02 | 구본준 | 클립형 리드프레임과 이를 사용한 패키지의 제조방법 |
-
1992
- 1992-08-10 JP JP5606092U patent/JPH085556Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0621247U (ja) | 1994-03-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |