JPH08337320A - 側面に未乾燥ペーストを有するワークの炉自動搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 少なくとも側面に未乾燥ペーストを有するワ
ークを搬送するに際し、該ワークの位置ずれの防止がで
き、かつ高能率で自動搬送が行えるワークの炉自動搬送
装置を提供する。 【構成】 ワークを載置した複数枚のワーク載置用治具
を収納したラックの供給と、ワーク載置用治具を一枚毎
に取り出し、所定位置に供給する治具取り出し・供給
と、該供給位置においてワーク載置用治具から複数枚の
ワークを、吸着パッドにより一括して、炉内に搬入する
搬送コンベアへの移載と、空になったラックの排出と、
空になった前記ワーク載置用治具の排出を自動化してい
る。前記吸着パッドとして、前記ワークを載置したワー
ク載置用治具のワーク間距離と、該ワーク内の吸着可能
間隔距離の何れよりも狭い吸着パッドを用い、またウォ
ーキングビームを用いてラック供給している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、側面に未乾燥ペースト
を有するワークの炉自動搬送装置に係り、より詳細に
は、該ワークを搬送する際、該ワークの位置ずれの防止
ができ、かつ自動搬送が行えるワークの炉自動搬送装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体用セラミックパッケージにおいて
は、パッケージ本体を封止するためにパッケージ封止用
リッドの側面、または表面、あるいは側面と表面に半田
ペーストを印刷・塗布したり、また該パッケージ本体の
露出導体を電解メッキ処理するために、側面、または表
面、あるいは側面と表面に金属導体ペーストがメタライ
ズされている。そして、これらのパッケージ封止用リッ
ドやパッケージ本体（以下、ワークという）は、その側
面、または表面、あるいは側面と表面に、前記ペースト
を印刷・塗布した後、ワーク載置用治具に載せ、次のリ
フロー工程に搬送される。

【０００３】このワークの搬送は、手作業で、該ワーク
を前記ワーク載置用治具に移載し、所定位置まで搬送し
た後、該ワーク載置用治具からワークを取り出し、該ワ
ークをリフロー炉に搬送・移載する。このようなワーク
を搬送・移載するには、通常、ワークを面接触吸着し
て搬送する方法、ペーストの塗布されていないワーク
中央部を吸着パッドで吸着して搬送する方法、画像処
理センサーを用いた自動ハンドリング装置で、ワークの
位置ずれやペースト付着部を確認しながら搬送・移載す
る方法を用いている。

【０００４】しかし、これらの搬送・移載方法におい
て、前記方法の場合、搬送・移載の際に未乾燥状態の
ペーストが付着するおそれがあり、また方法の場合、
ワーク載置用治具上で、ワークの位置ずれが生じ、更に
方法の場合、単ピース毎の搬送形態を採るため、その
搬送能率が悪く、かつ設備コストが高くなるという問題
がある。

【０００５】ところで、本発明者は、このような問題に
鑑み、先に、『側面、または表面、あるいは側面と表面
に、ペーストを塗布した複数個のワークを所定間隔で載
置できる大きさの表面平坦性を有する耐熱性板からなる
ワーク載置用治具において、該耐熱性板の表面の各ワー
ク載置対応位置に、該ワーク裏面の外周縁を除く一部と
当接して該ワークを浮き上がらせる凸部を設け、該凸部
が、少なくとも前記ペーストの乾燥温度に耐える耐熱性
を有し、かつＪＩＳＡ硬度が、３０度〜５０度の範囲の
熱硬化性樹脂で形成されたワーク載置用治具』（特願平
６−３３１０３２号明細書参照）を提案した。そして、
この治具を用いた場合、前記ペーストの未乾燥ワークの
搬送時、該ワークの位置ずれを最小限にすることができ
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述したよう
なワーク載置用治具を用いた場合であっても、ワーク
載置用治具からリフロー炉ラインにワークを移載すると
き、ワーク載置用治具の搬送ラインにおいて、該ワー
ク載置用治具を起動、停止するとき、等においてワーク
の位置ずれが発生する、という課題の残ることが分かっ
た。

【０００７】本発明は、以上のような課題に対処して創
作したものであって、その目的とする処は、少なくとも
側面に未乾燥ペーストを有するワークを搬送するに際
し、該ワークの位置ずれの防止ができ、かつ高能率で自
動搬送が行えるワークの炉自動搬送装置を提供すること
にある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】そして、上記課題を解決
するための手段としての側面に未乾燥ペーストを有する
ワークの炉自動搬送装置は、少なくとも側面に塗布され
たペーストが未乾燥状態のセラミック基板等のワークを
炉内に搬送するための側面に未乾燥ペーストを有するワ
ークの炉自動搬送装置であって、該ワークを載置した複
数枚のワーク載置用治具を収納したラックを供給するラ
ック供給手段と、該ラック供給手段で供給されたラック
から前記ワーク載置用治具を一枚毎に取り出し、所定位
置に供給する治具供給手段と、該治具供給手段で供給さ
れたワーク載置用治具から複数枚のワークを吸着パッド
により一括して、該ワークを炉内に搬入する搬送コンベ
アに移載するワーク移載手段と、前記治具供給手段で前
記ワーク載置用治具を取り出し空になったラックを排出
する空ラック排出手段、および該ワーク移載手段でワー
クを搬送コンベアに移載して空になった前記ワーク載置
用治具を排出する空ワーク載置用治具排出手段を有し、
前記ワーク移載手段における吸着パッドとして、前記ワ
ークを載置したワーク載置用治具のワーク間距離と、該
ワーク内の吸着可能間隔距離の何れよりも狭い吸着パッ
ドを用い、また前記ラック供給手段として、ウォーキン
グビームを用いてなる構成としている。

【０００９】請求項２の側面に未乾燥ペーストを有する
ワークの炉自動搬送装置は、前記請求項１の装置におい
て、前記治具供給手段が、ワーク載置用治具を載置する
治具搬送台と、該ワーク載置用治具を一枚毎押し出すプ
ッシャーと、該プッシャーを支持するガイド、および該
プッシャーを治具取り出し個所−ワーク移載個所間で往
復動させるタイミングベルト駆動機構からなる構成とし
ている。

【００１０】

【作用】本発明の側面に未乾燥ペーストを有するワーク
の炉自動搬送装置は、該ワークを複数枚載置・収納した
ワーク載置用治具を積載した治具収納ラックをラック供
給手段によって、治具取り出し個所に搬送すると共に、
該個所で治具を一枚毎に逐次取り出し、該ワークを炉内
に搬入する搬送コンベアに移載するワーク移載手段のワ
ーク受け渡し個所に搬送し、更に該ワーク受け渡し個所
から吸着パッドにより複数枚のワークを、一括して、前
記搬送コンベアに連続・自動的に移載・搬送できる。

【００１１】ここで、請求項１のワークの炉自動搬送装
置は、前記ラック供給手段として、ウォーキングビーム
を用いることで、前記治具収納ラックの起動・停止の際
のショックを最小限とすることができ、また前記ワーク
移載手段における吸着パッドとして、前記ワークを載置
したワーク載置用治具のワーク間距離と、該ワーク内の
吸着可能間隔距離の何れよりも狭幅の吸着パッドを用い
ることで、該ワーク載置用治具上のワークに位置ずれが
生じた場合であっても、該吸着パッドが前記未乾燥ペー
ストに付着することを防止できる。

【００１２】また、請求項２のワークの炉自動搬送装置
は、前記プッシャーをエアシリンダでなく、タイミング
ベルト駆動機構を用いて治具取り出し個所−ワーク受け
渡し個所間で往復動させているので、該往復動を微妙に
コントロールでき、該ワークを治具収納ラックからワー
ク載置用治具を一枚毎取り出し、搬送する際のショック
を軽減することができる。

【００１３】

【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明を具体化
した実施例について説明する。ここに、図１〜図８は、
本発明の実施例を示し、図１は全体外観を示す平面図、
図２は治具収納ラック供給・排出ラインの概略断面図、
図３は図２の平面図、図４は治具供給ラインの平面図、
図５は治具供給ラインの治具取り出し側の前面図、図６
は治具供給ラインの治具受け取り側の側面図、図７はワ
ーク移載機の概略正面図、図８は治具上のワークと吸着
パッドとの関係を示す平面図である。

【００１４】本実施例は、側面および表面に半田ペース
トを印刷・塗布し、未乾燥状態の半導体セラミックパッ
ケージのパッケージ封止用リッド（ワーク）をリフロー
炉に搬送して、該半田ペーストをリフローするための自
動化装置であって、図１に示すように、概略すると、治
具収納ラック供給部１と、治具取り出し・受け渡し部
３、ワーク移載部５、空ラック排出部７、および空治具
排出部９の５つの部分から構成されている。

【００１５】治具収納ラック供給部１は、複数個のワー
クｗを載置したワーク載置用治具２を積み重ね・収納し
たラック４を、治具取り出し・受け渡し部３の治具取り
出し個所Ａに供給するためのラインであって、図２、３
に示すように、ベルト搬送部１１とウォーキングビーム
搬送部１２とから構成されている。ベルト搬送部１１
は、ベルト駆動によるコンベアベルト１３とラック載置
・誘導レール１４とからなる搬送ライン１５の途中に、
適宜間隔で複数個（図面では２個）のストッパシリンダ
１６が設けられ、このストッパシリンダ１６によってラ
ック４をストックできる。コンベアベルト１３は、３個
のスプロケット１７間に張設され、スピードコントロー
ルモータ１８を駆動源として回転駆動し、逐次、ラック
４をウォーキングビーム搬送部１２に供給する。

【００１６】ベルト搬送部１１の搬送ライン先端部位に
は、ウォーキングビーム搬送部１２が配設され、ラック
４を治具取り出し・受け渡し部３の治具取り出し個所Ａ
に供給し、かつ空になったラック４を空ラック排出部７
に排出でき、ウォーキングビーム搬送部１２は、ラック
４を載置するビーム２３と、該ビーム２３を前後動させ
るラック・ピニオン２０と、ラック・ピニオン２０を駆
動させるタイミングベルトによるピニオン駆動機構２
１、およびビーム２３をガイドするリニアガイド２２と
からなり、ベルト搬送部１１から送り出されたラック４
は、ビーム２３上に載置されて、このビーム２３の移動
によって、ラック一時ストック部２４を介して治具取り
出し個所Ａに供給できる構成とされている。なお、２５
は、ビーム２３の移動位置を検出するセンサーであっ
て、該センサー２５で検出した信号によってピニオン駆
動機構２１を制御する。

【００１７】また、ラック一時ストック部２４は、ラッ
ク４を保持する４本のピローブロック２６を備え、この
ピローブロック２６が形成する内部空間にピニオン駆動
機構２１が設けられていて、ビーム２３とピニオン駆動
機構２１は、一体としてエアシリンダ２７で、ＬＭガイ
ド２８を介して昇降自在の構成とされている。そして、
ビーム２３は、ウォーキングビーム搬送部１２にベルト
搬送部１１からラック４が供給される際、前記ベルト搬
送部１１の搬送ラインと同一平面上に位置し、ビーム２
３の移動によって、このビーム２３上のラック４が、ラ
ック一時ストック部２４に移動した際、エアシリンダ２
７によって下降状態し、ピローブロック２６の上端に設
けられているラック受け２８に載置されて保持・ストッ
クされる。そして、このラック一時ストック部２４のラ
ック搬送方向前方には、治具取り出し・受け渡し部３の
治具取り出し個所Ａが設けられている。

【００１８】治具取り出し・受け渡し部３は、図４、図
５に示すように、治具収納ラック供給部１で治具取り出
し個所Ａに供給されたラック４からワーク載置用治具２
を一枚毎、押し出し、このワーク載置用治具２をワーク
移載部５のワーク受け渡し個所（治具位置決め部）Ｂに
搬送・供給するラインである。該ラインは、ラック４か
らワーク載置用治具２を押し出すプッシャー３１と、こ
のプッシャー３１をモーター３２によって駆動するタイ
ミングベルト駆動機構３３、ワーク載置用治具４を搬送
する搬送台３４、およびラック４を昇降させるリフト部
３５とから構成されている。プッシャー３１は、治具取
り出し個所Ａとワーク受け渡し個所Ｂとの間に配設さ
れ、供給ローダベース板３６上に配設されているレール
３７にＬＭガイド３８を介して摺動自在に取り付けら
れ、該ＬＭガイド３８は、レール３７に沿って配設さ
れ、タンミングベルト駆動機構（治具取り出し個所Ａと
ワーク受け渡し個所Ｂに設けられているプーリ３９間に
張設されたタイミングベルト４０をモーター３２を用い
て往復駆動させる駆動機構）３３に固定されている。リ
フト部３５は、四隅にラック受け４３を有し、このラッ
ク受け４３をエアシリンダ（図示せず）によって昇降さ
せる構成とされている。なお、４１は、ＬＭガイド３８
を介してプッシャー３１の位置を検出するセンサーであ
る。そして、ワーク受け渡し個所Ｂには、ワーク移載部
５が設けられている。

【００１９】ワーク移載部５は、治具取り出し・受け渡
し部３を介して搬送・供給されたワーク載置用治具２を
ワーク受け渡し個所Ｂで位置決めすると共に、このワー
ク載置用治具２からワークｗをリフロー炉搬送ライン５
１に搬入する部分であって、図６、７に示すように、ワ
ーク載置用治具２の位置決めをするリンク機構５２と、
このリンク機構５２で位置決めしたワーク載置用治具２
から複数個のワークｗを一括してリフロー炉搬送ライン
５１に移載するワーク移載機５３から構成されている。
リンク機構５２は、ワーク受け渡し個所Ｂの下面にＴ金
具５５を介して取り付けられているエアシリンダ５６
と、該下面に保持部材５７を介して軸支され、一端がエ
アシリンダ５６のロッド５８に軸支されているリンク６
０とからなり、リンク６０がシリンダ５６のロッド５８
の伸縮によって直立・傾動してワーク載置用治具２を移
動させ、その位置決めを行える構成とれている。リンク
６０の先端部には緩衝用の弾性体６１が取り付けられて
いる。ここで、リンク機構５２を用いたのは、エア圧に
よるシリンダを用いた場合と異なり、緩やかな動きを与
えることができ、ワーク載置用治具２にかかる起動・停
止時の瞬間のショックをショックを吸収することにあ
る。ワーク移載機５３は、図７に示すように、吸着ボッ
クス６５の下部に設けられた吸着パッド６６と、吸着ボ
ックス６５を昇降させるエアシリンダ６７と、吸着パッ
ド６６に吸引力を付与するエアポンプ６８と、ワーク受
け取り個所Ｂとリフロー炉搬送ライン５１間で吸着ボッ
クス６５を往復させるガイド（図示せず）から構成され
ている。吸着パッド６６は、図８に示すように、ワーク
ｗを載置したワーク載置用治具２のワーク間距離ｘと、
該ワークｗ内の吸着可能間隔距離ｙの何れよりも狭幅の
パッドを用いている。ここで、ａは、未乾燥状態の半田
ペースト部である。このようなパッドを用いることで、
ワークｗのずれによって、該ワークｗが隣接するワーク
ｗに付着するのを防止できる。

【００２０】前記空ラック排出部７は、図１に示すよう
に、治具取り出し・受け渡し部２でワーク載置用治具２
が空になったラック４を治具取り出し個所Ａから排出す
るためのラインで、ウォーキングビームによるウォーキ
ングビーム排出部８１と、ベルト排出部８２から構成さ
れている。ウォーキングビーム排出部８１とベルト排出
部８２は、前記ラック供給部１におけるウォーキングビ
ーム搬送部１２とベルト搬送部１１と同じ構成とされて
いる。また、空治具排出部９は、ワーク移載部５におい
て、ワーク移載機５３でワークｗが移載され、空になっ
たワーク載置用治具２を排出するためのラインであっ
て、治具吸着移載機９１と、治具排出用コンベア９２か
ら構成されている。治具吸着移載機９１は、ワーク移載
部５におけるワーク移載機５３と同じ構成からなる。こ
こで、ラック４は、収納したワーク載置用治具２を押し
出すプッシャー３１を通過させ得ることができる構成、
ここでは、プッシャー移動方向の前後壁下端から上端近
傍まで開口するのプッシャー挿通用切欠を備えた構成か
らなる。

【００２１】そして、本実施例の自動化装置は、複数個
のワークｗを載置したワーク載置用治具２を積み重ね・
収納した複数個のラック４を、治具収納供給部１に載置
すると、該ラック４が治具取り出し個所Ａに搬送される
と共に、該治具取り出し個所Ａでラック４からワーク載
置用治具２が一枚毎に取り出され、更に治具取り出し・
受け渡し部３を介してワーク受け渡し個所Ｂに搬送・位
置決めされた後、該ワーク受け取り個所Ｂで、ワーク移
載部５の所定の吸着パッド６６を備えたワーク移載機５
３によりワーク載置用治具２からワークｗが一括してリ
フロー炉搬送ライン５１に移載され、また前記治具取り
出し個所Ａでワーク載置用治具２が取り出されて空にな
ったラック４は、空ラック排出部７を通じて排出され、
また前記ワーク受け取り個所Ｂでワークｗが移載されて
空になったワーク載置用治具２は、空治具排出部９を通
じて排出され、これらの各搬送工程を連続し、かつ該搬
送時にワークｗ、ワーク載置用治具２にショックがかか
るのを最小限にできると共に、該搬送時におけるワーク
ｗ、ワーク載置用治具２の位置ずれを防止し、ワークｗ
の未乾燥状態のペーストによる隣接するワークｗの付着
等の発生を防止できる。

【００２２】具体的には、図１〜３において、まず治具
収納ラック供給部１のベルト搬送部１１のコンベアベル
ト１３とラック載置・誘導レール１４による搬送ライン
１５に、複数個のワークｗを載置したワーク載置用治具
２を積み重ね・収納した複数個のラック４を載せると、
該ラック４が途中でストッパシリンダ１６で、その搬送
を停止され、常時、一個のラック４が、搬送ライン１５
からウォーキングビーム搬送部１２のビーム２３上に送
り出されると共に、このビーム２３がラック・ピニオン
２０によって搬送方向前方に移動し、ラック一時ストッ
ク部２４において、センサー２５が、これを検出し、こ
の検出信号によって、ビーム２３の移動が停止し、この
ラック４がビーム２３に載っている状態で、エアシリン
ダ２７によってビーム２３が下動し、このラック４がラ
ック受け２８で保持・ストックされる。また、先に、こ
のラック一時ストック部２４に保持・ストックされてい
たラック４は、同時に治具取り出し個所Ａに供給され、
リフト部３５に保持される。そして、ウォーキングビー
ム搬送部１２のビーム２３は、前記下動した状態で、元
の位置に復帰し、再び、上動してラック４を、順次、治
具取り出し個所Ａに供給する。

【００２３】そして、治具取り出し・受け渡し部３の治
具取り出し個所Ａにおいて、ラック４はリフト部３５に
よって所定位置まで下動した後、タイミングベルト駆動
機構３３を駆動して、プッシャー３１を移動させると、
このプッシャー３１によって、ラック４からワーク載置
用治具２が一枚毎、送り出される。ここで、前記所定位
置とは、リフト部３５によって、ラック４の収納され、
残っている一番下側に位置するワーク載置用治具２が、
プッシャー３１によって押し出せる位置をいう。従っ
て、この位置にラック４を下降させておく。そして、こ
の送り出されたワーク載置用治具２は、プッシャー３１
に押されながら、タイミングベルト駆動機構３３の駆動
によって、搬送台３４上を移動してワーク受け取り個所
Ｂに供給される（図１、図４、図５参照）。従って、ワ
ーク載置用治具２をラック４から一枚毎取り出し・搬送
する際のショックを軽減することができる。また、ワー
ク載置用治具２が、ワーク受け取り個所Ｂに供給される
と、タイミングベルト駆動機構３３が停止した後、リン
ク機構５２が作動して、ワーク載置用治具２の位置決め
が行われる。すなわち、エアシリンダ５６が作動して、
保持部材５７に軸支されたリンク６０が傾動・起立し
て、その先端に設けられている弾性体６１がワーク載置
用治具２を所定位置に押すことで、その位置決めが行な
われる。これによって、ワーク載置用治具２の位置決め
が緩やかに行われるため、該位置決めの際のショックを
少なくできる。

【００２４】次に、ワーク移載部５のワーク移載機５３
が、位置決めされたワーク載置用治具２の上方に移動
し、更に、このワーク移載機５３の吸着パッド６６が下
動して、ワーク載置用治具２に載置・対応するワークｗ
を吸着し、このワークｗがリフロー炉搬送ライン５１に
移載される。なお、リフロー炉搬送ライン５１へのワー
クｗの供給は、図示しない外部設定器により設定された
供給タイミングで行われる。また、ワークｗが取り出さ
れて空になったワーク載置用治具２は、治具吸着移載機
９１によって排出され、治具取り出し個所Ａで、ワーク
載置用治具２が全て取り出されたラック４は、リフト部
３５によって上動状態とされ、空ラック排出部７のウォ
ーキングビームによるウォーキングビーム排出部８１
と、ベルト排出部８２を介して排出される。

【００２５】そして、以上の作業をワークｗの載置され
たワーク載置用治具２を収納したラック４が無くなるま
で、繰り返えされる。これにより、ワークｗの載置した
ワーク載置用治具２を搬送する際、このワーク載置用治
具２にかかるショックを軽減できので、ワーク載置用治
具２に載置されているワークｗの位置ずれを防止でき
る。従って、ワークｗの側面に印刷・塗布されている未
乾燥状態のペーストによって、隣接するワークｗが付着
するのを防止できる。

【００２６】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れるものでなく、本発明の要旨を変更しない範囲内で変
形実施できる構成を含む。

【００２７】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
の側面に未乾燥ペーストを有するワークの炉自動搬送装
置によれば、ラック供給手段として、ウォーキングビー
ムを用いることで、前記治具収納ラックの起動・停止の
際のショックを最小限とすることができ、また前記ワー
ク移載手段における吸着パッドとして、前記ワークを載
置したワーク載置用治具のワーク間距離と、該ワーク内
の吸着可能間隔距離の何れよりも狭幅の吸着パッドを用
いるので、該ワーク載置用治具上のワークに位置ずれが
生じた場合であっても、該吸着パッドが前記未乾燥ペー
ストに付着することを防止できるという効果を有する。

【００２８】また、請求項２のワークの炉自動搬送装置
によれば、前記プッシャーをタイミングベルト駆動機構
で治具取り出し個所−ワーク受け渡し個所間で往復動さ
せているので、該ワークを治具収納ラックからワーク載
置用治具を一枚毎取り出し、搬送する際のショックを軽
減することができるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例を示す全体外観を示す平面図
である。

【図２】 治具収納ラック供給・排出ラインの概略断面
図である。

【図３】 図２の平面図である。

【図４】 治具供給ラインの平面図である。

【図５】 治具供給ラインの治具取り出し側の前面図で
ある。

【図６】 治具供給ラインの治具受け取り側の側面図で
ある。

【図７】 ワーク移載機の概略正面図である。

【図８】 治具上のワークと吸着パッドとの関係を示す
平面図である。

【符号の説明】

１・・・治具収納ラック供給部、２・・・ワーク載置用
治具、３・・・治具取り出し・受け渡し部、４・・・ラ
ック５・・・ワーク移載部、７・・・空ラック排出部、
９・・・空治具排出部、１１・・・ベルト搬送部、１２
・・・ウォーキングビーム搬送部、１３・・・コンベア
ベルト、１４・・・ラック載置・誘導レール、１５・・
・搬送ライン、１６・・・ストッパシリンダ、１７・・
・スプロケット、１８・・・スピードコントロールモー
タ、２０・・・ラック・ピニオン、２１・・・ピニオン
駆動機構、２２・・・リニアガイド、２３・・・ビー
ム、２４・・・ラック一時ストック部、２５・・・セン
サー、２６・・・ピローブロック、２７・・・エアシリ
ンダ、２８・・・ラック受け部、３１・・・プッシャ
ー、３２・・・モーター、３３・・・タイミングベルト
駆動機構、３４・・・搬送台、３５・・・リフト部、３
６・・・供給ローダベース板、３７・・・レール、３８
・・・ＬＭガイド、３９・・・プーリ、４０・・・タイ
ミングベルト、４１・・・センサー、５１・・・リフロ
ー炉搬送ライン、５２・・・リンク機構、５３・・・ワ
ーク移載機、５５・・・Ｔ金具、５６・・・エアシリン
ダ、５７・・・保持部材、５８・・・ロッド、６０・・
・リンク、６１・・・弾性体、６５・・・吸着ボック
ス、６６・・・吸着パッド、６７・・・エアシリンダ、
６８・・・エアポンプ、８１・・・ウォーキングビーム
排出部、８２・・・ベルト排出部、９１・・・治具吸着
移載機、９２・・・治具排出用コンベア

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも側面に塗布されたペーストが
   未乾燥状態のセラミック基板等のワークを炉内に搬送す
   るための側面に未乾燥ペーストを有するワークの炉自動
   搬送装置であって、該ワークを載置した複数枚のワーク
   載置用治具を収納したラックを供給するラック供給手段
   と、該ラック供給手段で供給されたラックから前記ワー
   ク載置用治具を一枚毎に取り出し、所定位置に供給する
   治具供給手段と、該治具供給手段で供給されたワーク載
   置用治具から複数枚のワークを吸着パッドにより一括し
   て、該ワークを炉内に搬入する搬送コンベアに移載する
   ワーク移載手段と、前記治具供給手段で前記ワーク載置
   用治具を取り出し空になったラックを排出する空ラック
   排出手段、および該ワーク移載手段でワークを搬送コン
   ベアに移載して空になった前記ワーク載置用治具を排出
   する空ワーク載置用治具排出手段を有し、前記ワーク移
   載手段における吸着パッドとして、前記ワークを載置し
   たワーク載置用治具のワーク間距離と、該ワーク内の吸
   着可能間隔距離の何れよりも狭い吸着パッドを用い、ま
   た前記ラック供給手段として、ウォーキングビームを用
   いてなることを特徴とする側面に未乾燥ペーストを有す
   るワークの炉自動搬送装置。
2. 【請求項２】 前記治具供給手段が、ワーク載置用治具
   を載置する治具搬送台と、該ワーク載置用治具を一枚毎
   押し出すプッシャーと、該プッシャーを支持するガイ
   ド、および該プッシャーを治具取り出し個所−ワーク移
   載個所間で往復動させるタイミングベルト駆動機構から
   なる請求項１に記載の側面に未乾燥ペーストを有するワ
   ークの炉自動搬送装置。