JPH08331551A - 遠隔制御システム - Google Patents
遠隔制御システムInfo
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- JPH08331551A JPH08331551A JP7137625A JP13762595A JPH08331551A JP H08331551 A JPH08331551 A JP H08331551A JP 7137625 A JP7137625 A JP 7137625A JP 13762595 A JP13762595 A JP 13762595A JP H08331551 A JPH08331551 A JP H08331551A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 遠隔から解析装置を制御するシステムにおい
て、操作目的と画像内容に合う適切なモードで画像を圧
縮・転送することを目的とする。 【構成】 操作入力手段１で入力された操作命令は、制
御系転送手段２を介して解析装置３に送られ、解析装置
３が動作する。圧縮／転送モード判定手段６は、操作入
力手段１で選択された操作命令及び解析装置３から制御
系転送手段２を介して送られてきた操作応答情報を基に
解析装置３の出力画像を転送・表示する上で適切な圧縮
／転送モードを判定し、画像転送手段４に与える。画像
転送手段４は、指定された圧縮／転送モードで解析装置
３の画像を圧縮・転送・復元し、これが画像表示手段５
に表示される。
て、操作目的と画像内容に合う適切なモードで画像を圧
縮・転送することを目的とする。 【構成】 操作入力手段１で入力された操作命令は、制
御系転送手段２を介して解析装置３に送られ、解析装置
３が動作する。圧縮／転送モード判定手段６は、操作入
力手段１で選択された操作命令及び解析装置３から制御
系転送手段２を介して送られてきた操作応答情報を基に
解析装置３の出力画像を転送・表示する上で適切な圧縮
／転送モードを判定し、画像転送手段４に与える。画像
転送手段４は、指定された圧縮／転送モードで解析装置
３の画像を圧縮・転送・復元し、これが画像表示手段５
に表示される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、画像情報を出力する解
析装置に対し、遠隔からその画像情報を観察しながら、
制御する遠隔制御システムに関する。
析装置に対し、遠隔からその画像情報を観察しながら、
制御する遠隔制御システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】特開平３−２９５３７１号公報には、映
像情報と制御情報を双方向に通信可能に構成することに
より、応用範囲が広く、操作性に優れたビデオムービ−
システムが得られるようにする遠隔操作ビデオカメラシ
ステムが開示されている。特開昭６４−２０４４９号公
報には、試料検査用顕微鏡を、双方向通信手段を用いて
遠隔操作可能に構成することにより、遠隔地にある試料
を診断センターにおいて遠隔診断する遠隔病理診断回路
網が開示されている。更に特開昭６１−１２６８７３号
公報には、符号化した電気信号の解読可能な監視テレビ
カメラ群を一本の同軸ケーブルと制御機に接続すること
により、任意の監視テレビカメラの遠隔操作による、ズ
ーム、絞り、焦点合わせ、方向等の制御を可能にする監
視テレビカメラの遠隔制御方式が開示されている。
像情報と制御情報を双方向に通信可能に構成することに
より、応用範囲が広く、操作性に優れたビデオムービ−
システムが得られるようにする遠隔操作ビデオカメラシ
ステムが開示されている。特開昭６４−２０４４９号公
報には、試料検査用顕微鏡を、双方向通信手段を用いて
遠隔操作可能に構成することにより、遠隔地にある試料
を診断センターにおいて遠隔診断する遠隔病理診断回路
網が開示されている。更に特開昭６１−１２６８７３号
公報には、符号化した電気信号の解読可能な監視テレビ
カメラ群を一本の同軸ケーブルと制御機に接続すること
により、任意の監視テレビカメラの遠隔操作による、ズ
ーム、絞り、焦点合わせ、方向等の制御を可能にする監
視テレビカメラの遠隔制御方式が開示されている。
【０００３】本発明が適用され得る解析装置は、典型的
には、半導体集積回路等に電子ビームを照射して半導体
集積回路等の電位コントラスト分布を観測する電子ビー
ムテスタであり、この電子ビームテスタを遠隔制御する
には、観測位置の遠隔調整や焦点の遠隔調整が必要であ
る。
には、半導体集積回路等に電子ビームを照射して半導体
集積回路等の電位コントラスト分布を観測する電子ビー
ムテスタであり、この電子ビームテスタを遠隔制御する
には、観測位置の遠隔調整や焦点の遠隔調整が必要であ
る。
【０００４】この際、通信回線等を利用して、遠隔の解
析装置に操作命令を送ることが可能であり、これにより
遠隔の解析装置を制御することができる。さらに、画像
コーデック装置と通信回線を利用することにより、解析
装置で観測される画像をリアルタイムで圧縮、転送、復
元することが可能である。これを組合わせることにより
遠隔地で観測画像を見ながら解析装置を操作することが
できる。
析装置に操作命令を送ることが可能であり、これにより
遠隔の解析装置を制御することができる。さらに、画像
コーデック装置と通信回線を利用することにより、解析
装置で観測される画像をリアルタイムで圧縮、転送、復
元することが可能である。これを組合わせることにより
遠隔地で観測画像を見ながら解析装置を操作することが
できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前述のような遠隔制御
システムにおいては、一般に通信回線の通信容量に限界
があるため、観測画像を、画質・フレームレートのいず
れも損うことなく圧縮・転送することはできない。とこ
ろで、画像を圧縮・転送する際には、動画転送／静止画
転送の切替えや画質優先／フレームレート優先の切替え
などの圧縮／転送モードがある。例えば動画でなく、静
止画を転送することにより、よりよい画質でデータ転送
を行うことができる。また、動画転送においても、同じ
通信容量の中で画質よりもフレームレートを優先した圧
縮・転送を行うのか、フレームレートより画質を優先し
た圧縮・転送を行うのか切替えられる。これらについて
操作の目的や画像内容に適したものに切替えて圧縮・転
送すれば、転送された画像に基づいて円滑に解析を進め
ることができる。このため、操作目的や画像内容に適し
た圧縮／転送モードに切替えた上で、圧縮・転送するこ
とが望ましいが、そのような切替えを利用者が操作する
のでは解析の効率が悪くなってしまう。
システムにおいては、一般に通信回線の通信容量に限界
があるため、観測画像を、画質・フレームレートのいず
れも損うことなく圧縮・転送することはできない。とこ
ろで、画像を圧縮・転送する際には、動画転送／静止画
転送の切替えや画質優先／フレームレート優先の切替え
などの圧縮／転送モードがある。例えば動画でなく、静
止画を転送することにより、よりよい画質でデータ転送
を行うことができる。また、動画転送においても、同じ
通信容量の中で画質よりもフレームレートを優先した圧
縮・転送を行うのか、フレームレートより画質を優先し
た圧縮・転送を行うのか切替えられる。これらについて
操作の目的や画像内容に適したものに切替えて圧縮・転
送すれば、転送された画像に基づいて円滑に解析を進め
ることができる。このため、操作目的や画像内容に適し
た圧縮／転送モードに切替えた上で、圧縮・転送するこ
とが望ましいが、そのような切替えを利用者が操作する
のでは解析の効率が悪くなってしまう。
【０００６】本発明は、このような問題点を鑑みてなさ
れたもので、利用者が複雑な操作をすることなく、適切
な圧縮／転送モードで送られた最適な画像を観察できる
遠隔制御システムを提供することを目的とする。
れたもので、利用者が複雑な操作をすることなく、適切
な圧縮／転送モードで送られた最適な画像を観察できる
遠隔制御システムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、操作命
令に従って動作して操作応答情報を出力すると共に解析
画像情報を出力する解析装置と；この解析装置から離れ
た遠隔地に配置され、前記解析装置に対する操作命令を
入力する操作入力手段と；制御系転送手段と；圧縮／転
送モード判定手段と；前記遠隔地に配置された画像表示
手段と；画像転送手段と；を備え、前記制御系転送手段
は、前記解析装置及び前記操作入力手段に接続され、前
記操作入力手段からの前記操作命令を前記解析装置に転
送すると共に該解析装置からの前記操作応答情報を前記
圧縮／転送モード判定手段に転送するものであり、前記
圧縮／転送モード判定手段は、前記操作入力手段、前記
制御系転送手段、及び前記画像転送手段に接続され、前
記操作入力手段よりの操作命令及び前記制御系転送手段
よりの操作応答情報を基に、前記画像転送手段が前記解
析画像情報を前記画像表示手段に転送する際に適切な圧
縮／転送モードを判定モードとして判定し、この判定モ
ードを前記画像転送手段に指定するものであり、前記画
像転送手段は、前記解析装置及び前記圧縮／転送モード
判定手段に接続され、前記圧縮／転送モード判定手段か
ら指定された前記判定モードで前記解析装置からの前記
解析画像情報を前記画像表示手段に転送し、この解析画
像情報を前記画像表示手段に表示させるものであること
を特徴とする遠隔制御システムが得られる。
令に従って動作して操作応答情報を出力すると共に解析
画像情報を出力する解析装置と；この解析装置から離れ
た遠隔地に配置され、前記解析装置に対する操作命令を
入力する操作入力手段と；制御系転送手段と；圧縮／転
送モード判定手段と；前記遠隔地に配置された画像表示
手段と；画像転送手段と；を備え、前記制御系転送手段
は、前記解析装置及び前記操作入力手段に接続され、前
記操作入力手段からの前記操作命令を前記解析装置に転
送すると共に該解析装置からの前記操作応答情報を前記
圧縮／転送モード判定手段に転送するものであり、前記
圧縮／転送モード判定手段は、前記操作入力手段、前記
制御系転送手段、及び前記画像転送手段に接続され、前
記操作入力手段よりの操作命令及び前記制御系転送手段
よりの操作応答情報を基に、前記画像転送手段が前記解
析画像情報を前記画像表示手段に転送する際に適切な圧
縮／転送モードを判定モードとして判定し、この判定モ
ードを前記画像転送手段に指定するものであり、前記画
像転送手段は、前記解析装置及び前記圧縮／転送モード
判定手段に接続され、前記圧縮／転送モード判定手段か
ら指定された前記判定モードで前記解析装置からの前記
解析画像情報を前記画像表示手段に転送し、この解析画
像情報を前記画像表示手段に表示させるものであること
を特徴とする遠隔制御システムが得られる。
【０００８】このように本発明の遠隔制御システムは、
圧縮／転送モード判定手段により、操作入力手段で入力
された操作命令及び解析装置から送られ操作応答情報を
基に適切な画像の圧縮／転送モードを判定し、これを画
像転送手段に与えて画像の圧縮／転送のモードを切替え
させる方法をとる。
圧縮／転送モード判定手段により、操作入力手段で入力
された操作命令及び解析装置から送られ操作応答情報を
基に適切な画像の圧縮／転送モードを判定し、これを画
像転送手段に与えて画像の圧縮／転送のモードを切替え
させる方法をとる。
【０００９】
【作用】以上の構成により、操作入力手段で選択された
操作命令及び解析装置からの操作応答情報が圧縮／転送
モード判定手段に送られる。圧縮／転送モード判定手段
では、これらの情報に応じて操作の目的や装置の画像内
容の変化に合う適切な圧縮／転送モードが選ばれ、画像
転送手段に送られ、画像転送手段では、その圧縮／転送
モードで画像の圧縮・転送・復元が行われる。従って、
利用者が複雑な操作をすることなく、適切なモードで画
像を観察することができる。
操作命令及び解析装置からの操作応答情報が圧縮／転送
モード判定手段に送られる。圧縮／転送モード判定手段
では、これらの情報に応じて操作の目的や装置の画像内
容の変化に合う適切な圧縮／転送モードが選ばれ、画像
転送手段に送られ、画像転送手段では、その圧縮／転送
モードで画像の圧縮・転送・復元が行われる。従って、
利用者が複雑な操作をすることなく、適切なモードで画
像を観察することができる。
【００１０】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
説明する。
【００１１】図１を参照すると、本発明の一実施例によ
る遠隔制御システムは、操作命令に従って動作して操作
応答情報を出力すると共に解析画像情報を出力する解析
装置３と、この解析装置３から離れた遠隔地に配置さ
れ、解析装置１に対する操作命令を入力する操作入力手
段１と、制御系転送手段２と、圧縮／転送モード判定手
段６と、前記遠隔地に配置された画像表示手段５と、画
像転送手段４とを備えている。制御系転送手段２は、操
作入力手段１からの操作命令を解析装置３に転送すると
共に解析装置３からの操作応答情報を圧縮／転送モード
判定手段６に転送するものである。圧縮／転送モード判
定手段６は、操作入力手段１よりの操作命令及び制御系
転送手段２よりの操作応答情報を基に、画像転送手段４
が解析画像情報を画像表示手段５に転送する際に適切な
圧縮／転送モードを判定モードとして判定し、この判定
モードを画像転送手段４に指定するものである。画像転
送手段４は、圧縮／転送モード判定手段６から指定され
た判定モードで解析装置３からの解析画像情報を画像表
示手段５に転送し、この解析画像情報を画像表示手段５
に表示させるものである。
る遠隔制御システムは、操作命令に従って動作して操作
応答情報を出力すると共に解析画像情報を出力する解析
装置３と、この解析装置３から離れた遠隔地に配置さ
れ、解析装置１に対する操作命令を入力する操作入力手
段１と、制御系転送手段２と、圧縮／転送モード判定手
段６と、前記遠隔地に配置された画像表示手段５と、画
像転送手段４とを備えている。制御系転送手段２は、操
作入力手段１からの操作命令を解析装置３に転送すると
共に解析装置３からの操作応答情報を圧縮／転送モード
判定手段６に転送するものである。圧縮／転送モード判
定手段６は、操作入力手段１よりの操作命令及び制御系
転送手段２よりの操作応答情報を基に、画像転送手段４
が解析画像情報を画像表示手段５に転送する際に適切な
圧縮／転送モードを判定モードとして判定し、この判定
モードを画像転送手段４に指定するものである。画像転
送手段４は、圧縮／転送モード判定手段６から指定され
た判定モードで解析装置３からの解析画像情報を画像表
示手段５に転送し、この解析画像情報を画像表示手段５
に表示させるものである。
【００１２】次に図１の遠隔制御システムの動作を説明
する。
する。
【００１３】図１において、操作入力手段１は解析装置
３の操作命令を入力する手段であり、入力された操作命
令を制御系転送手段２及び圧縮／転送モード判定手段６
に与える。
３の操作命令を入力する手段であり、入力された操作命
令を制御系転送手段２及び圧縮／転送モード判定手段６
に与える。
【００１４】図２は制御系転送手段２の構成図で、制御
側送受信部２１、ネットワーク２２、装置側受信部２３
からなる。制御側送受信部２１は、操作入力手段１より
与えられる操作命令を装置側送受信部２３宛てにネット
ワーク２２内に送出すると共に、ネットワーク２２内で
制御側送受信部２１宛てに送出された情報を受信し、圧
縮／転送モード判定手段６に与える。装置側送受信部２
３は、解析装置３より与えられる操作応答情報を制御側
送受信部２１宛てにネットワーク２２内に送出すると共
に、ネットワーク２２内で装置側送受信部２３宛てに送
出された情報を解析装置３に与える。この構成により、
操作入力手段１より与えられる操作命令は解析装置３に
与えられ、解析装置３より与えられる操作応答情報は操
作入力手段１及び圧縮／転送モード判定手段６に与えら
れる。
側送受信部２１、ネットワーク２２、装置側受信部２３
からなる。制御側送受信部２１は、操作入力手段１より
与えられる操作命令を装置側送受信部２３宛てにネット
ワーク２２内に送出すると共に、ネットワーク２２内で
制御側送受信部２１宛てに送出された情報を受信し、圧
縮／転送モード判定手段６に与える。装置側送受信部２
３は、解析装置３より与えられる操作応答情報を制御側
送受信部２１宛てにネットワーク２２内に送出すると共
に、ネットワーク２２内で装置側送受信部２３宛てに送
出された情報を解析装置３に与える。この構成により、
操作入力手段１より与えられる操作命令は解析装置３に
与えられ、解析装置３より与えられる操作応答情報は操
作入力手段１及び圧縮／転送モード判定手段６に与えら
れる。
【００１５】図１において、解析装置３は、画像出力を
伴う解析処理を行う装置であり、制御系転送手段２より
与えられる操作命令に従って動作し、その操作応答情報
として動作の完了／途中状況についての情報を制御系転
送手段２に与える。また、画像出力を画像転送手段４に
送る。
伴う解析処理を行う装置であり、制御系転送手段２より
与えられる操作命令に従って動作し、その操作応答情報
として動作の完了／途中状況についての情報を制御系転
送手段２に与える。また、画像出力を画像転送手段４に
送る。
【００１６】図３は、電子ビームテスタからなる解析装
置３の構成を示している。電子ビームテスタは、制御コ
ンピュータ３１の制御に従って測定系３２が動作するよ
う構成されている。制御コンピュータ３１側のソフトウ
ェアの設定によって、外部の制御系転送手段から与えら
れる操作命令に従って測定系３２を動作させ、その動作
の完了／途中状況についての情報を制御系転送手段に返
すようにすることが可能である。測定系３２では試料の
電位を表わすビデオ信号が合成され、出力される。
置３の構成を示している。電子ビームテスタは、制御コ
ンピュータ３１の制御に従って測定系３２が動作するよ
う構成されている。制御コンピュータ３１側のソフトウ
ェアの設定によって、外部の制御系転送手段から与えら
れる操作命令に従って測定系３２を動作させ、その動作
の完了／途中状況についての情報を制御系転送手段に返
すようにすることが可能である。測定系３２では試料の
電位を表わすビデオ信号が合成され、出力される。
【００１７】図４は画像転送手段４の構成図で、画像圧
縮部４１と、ネットワーク４２と、画像復元部４３から
なる。画像圧縮部４１は解析装置３から出力された画像
をＪＰＥＧ(Joint Photographic Experts Group)、ＭＰ
ＥＧ(Moving Pictures Exparts Group) 等の圧縮方法で
圧縮するものであり、圧縮／転送モード判定手段６より
与えられる圧縮／転送モードの指定に従って静止画転送
／動画転送、画質優先／フレームレート優先等を切替え
ながら画像を圧縮し、ネットワークに送出する。画像復
元部４３は画像圧縮部４１がネットワークに送出した画
像圧縮情報を受信して、その圧縮／転送モードに応じて
画像を復元し、画像表示手段５に与える。
縮部４１と、ネットワーク４２と、画像復元部４３から
なる。画像圧縮部４１は解析装置３から出力された画像
をＪＰＥＧ(Joint Photographic Experts Group)、ＭＰ
ＥＧ(Moving Pictures Exparts Group) 等の圧縮方法で
圧縮するものであり、圧縮／転送モード判定手段６より
与えられる圧縮／転送モードの指定に従って静止画転送
／動画転送、画質優先／フレームレート優先等を切替え
ながら画像を圧縮し、ネットワークに送出する。画像復
元部４３は画像圧縮部４１がネットワークに送出した画
像圧縮情報を受信して、その圧縮／転送モードに応じて
画像を復元し、画像表示手段５に与える。
【００１８】図１において、画像表示手段５は、画像を
画面表示する。圧縮／転送モード判定手段６は、操作入
力手段１から与えられる操作命令及び制御系転送手段２
から与えられる解析装置３の操作応答情報を基に、操作
の目的や解析装置３の画像内容に適した圧縮／転送モー
ドを判定し、画像転送手段４に与える。圧縮／転送モー
ド判定手段６においては、判定テーブルを用いることに
より圧縮／転送モードを判定する。
画面表示する。圧縮／転送モード判定手段６は、操作入
力手段１から与えられる操作命令及び制御系転送手段２
から与えられる解析装置３の操作応答情報を基に、操作
の目的や解析装置３の画像内容に適した圧縮／転送モー
ドを判定し、画像転送手段４に与える。圧縮／転送モー
ド判定手段６においては、判定テーブルを用いることに
より圧縮／転送モードを判定する。
【００１９】図５はその判定テーブルの例を表わす。判
定テーブルは操作命令及び操作応答情報の組合わせに対
して、各場合毎に適切な圧縮／転送モードを記したもの
である。例えば、「拡大」の操作命令の実行中には、画
面の詳細よりも、画面に映る大体の範囲を時間的遅れな
しに表示することが必要となるため、静止画転送でな
く、動画転送で、フレームレート優先が適切であるとし
ている。また、「拡大」の操作命令が完了した際には、
像に変化が生じないため静止画転送が適切であるとして
いる。像が映し出す範囲を変化させる他の命令「縮
小」、「移動」、「回転」に対しても適切な圧縮／転送
モードは同様に定められる。また、「フォーカス」や
「コントラスト」の実行中には、画像変化をリアルタイ
ムに映し出すよりも詳細を表示する必要があるため、動
画転送で、画像優先が適切であるとしている。すなわ
ち、通信容量が限られた中で、静止画転送を含め、３種
類の異なる圧縮／転送モードを用意し、それを適切に組
み合せて、解析の効率化を図っている。
定テーブルは操作命令及び操作応答情報の組合わせに対
して、各場合毎に適切な圧縮／転送モードを記したもの
である。例えば、「拡大」の操作命令の実行中には、画
面の詳細よりも、画面に映る大体の範囲を時間的遅れな
しに表示することが必要となるため、静止画転送でな
く、動画転送で、フレームレート優先が適切であるとし
ている。また、「拡大」の操作命令が完了した際には、
像に変化が生じないため静止画転送が適切であるとして
いる。像が映し出す範囲を変化させる他の命令「縮
小」、「移動」、「回転」に対しても適切な圧縮／転送
モードは同様に定められる。また、「フォーカス」や
「コントラスト」の実行中には、画像変化をリアルタイ
ムに映し出すよりも詳細を表示する必要があるため、動
画転送で、画像優先が適切であるとしている。すなわ
ち、通信容量が限られた中で、静止画転送を含め、３種
類の異なる圧縮／転送モードを用意し、それを適切に組
み合せて、解析の効率化を図っている。
【００２０】圧縮／転送モード判定手段６の動作として
は、判定テーブルの各行について検索し、与えられた操
作命令及び操作応答情報と内容の一致する行を捜し、そ
の行の圧縮／転送モードを適切なものとして出力すれば
よい。例えば、操作命令が「移動」で、それに対する操
作応答情報が「実行中」の場合には、判定テーブルの３
行目が検索され、適切な圧縮／転送モードとしては、
「動画転送」、かつ、「フレームレート優先」であるこ
とが導き出され、これを出力する。
は、判定テーブルの各行について検索し、与えられた操
作命令及び操作応答情報と内容の一致する行を捜し、そ
の行の圧縮／転送モードを適切なものとして出力すれば
よい。例えば、操作命令が「移動」で、それに対する操
作応答情報が「実行中」の場合には、判定テーブルの３
行目が検索され、適切な圧縮／転送モードとしては、
「動画転送」、かつ、「フレームレート優先」であるこ
とが導き出され、これを出力する。
【００２１】図１において、以上のような構成により、
操作入力手段１で入力された操作命令は解析装置３へ送
られ、実行される。また、その際の操作命令と解析装置
３からの操作応答情報に従って、適切な圧縮／転送モー
ドが圧縮／転送モード判定手段６により判定され、それ
が画像転送手段４に与えられる。これに従って画像転送
手段４において、解析装置３の画像出力が圧縮・転送・
復元され、遠隔の画像表示手段５に表示される。
操作入力手段１で入力された操作命令は解析装置３へ送
られ、実行される。また、その際の操作命令と解析装置
３からの操作応答情報に従って、適切な圧縮／転送モー
ドが圧縮／転送モード判定手段６により判定され、それ
が画像転送手段４に与えられる。これに従って画像転送
手段４において、解析装置３の画像出力が圧縮・転送・
復元され、遠隔の画像表示手段５に表示される。
【００２２】
【発明の効果】以上に説明した通り、本発明の遠隔制御
システムでは、自動的に操作内容と操作応答情報に基づ
いて適切な圧縮／転送モードで画像が転送され、適切な
フレームレート・画質での画像が遠隔の利用者の側で表
示される。利用者が圧縮／転送モードをいちいち切り換
えなくても、解析を進めるために適したモードで画像が
圧縮・転送されるという意味で効率的に解析を行えると
いう効果がある。
システムでは、自動的に操作内容と操作応答情報に基づ
いて適切な圧縮／転送モードで画像が転送され、適切な
フレームレート・画質での画像が遠隔の利用者の側で表
示される。利用者が圧縮／転送モードをいちいち切り換
えなくても、解析を進めるために適したモードで画像が
圧縮・転送されるという意味で効率的に解析を行えると
いう効果がある。
【図１】本発明の一実施例による遠隔制御システムのブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】図１における制御系転送手段２の構成を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図３】図１における解析装置３の構成を示すブロック
図である。
図である。
【図４】図１における画像転送手段４の構成を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【図５】図１における圧縮／転送モード判定手段６のた
めの１つの方法として用いる判定テーブルの例を表わす
図である。
めの１つの方法として用いる判定テーブルの例を表わす
図である。
１ 操作入力手段 ２ 制御系転送手段 ３ 解析装置 ４ 画像転送手段 ５ 画像表示手段 ６ 圧縮／転送モード判定手段 ２１ 制御側送受信部 ２２ ネットワーク ２３ 装置側送受信部 ３１ 制御コンピュータ ３２ 測定系 ４１ 画像圧縮部 ４２ ネットワーク ４３ 画像復元部
Claims (3)
- 【請求項１】 操作命令に従って動作して操作応答情報
を出力すると共に解析画像情報を出力する解析装置と；
この解析装置から離れた遠隔地に配置され、前記解析装
置に対する操作命令を入力する操作入力手段と；制御系
転送手段と；圧縮／転送モード判定手段と；前記遠隔地
に配置された画像表示手段と；画像転送手段と；を備
え、 前記制御系転送手段は、前記解析装置及び前記操作入力
手段に接続され、前記操作入力手段からの前記操作命令
を前記解析装置に転送すると共に該解析装置からの前記
操作応答情報を前記圧縮／転送モード判定手段に転送す
るものであり、 前記圧縮／転送モード判定手段は、前記操作入力手段、
前記制御系転送手段、及び前記画像転送手段に接続さ
れ、前記操作入力手段よりの操作命令及び前記制御系転
送手段よりの操作応答情報を基に、前記画像転送手段が
前記解析画像情報を前記画像表示手段に転送する際に適
切な圧縮／転送モードを判定モードとして判定し、この
判定モードを前記画像転送手段に指定するものであり、 前記画像転送手段は、前記解析装置及び前記圧縮／転送
モード判定手段に接続され、前記圧縮／転送モード判定
手段から指定された前記判定モードで前記解析装置から
の前記解析画像情報を前記画像表示手段に転送し、この
解析画像情報を前記画像表示手段に表示させるものであ
ることを特徴とする遠隔制御システム。 - 【請求項２】 前記圧縮／転送モード判定手段は、前記
操作命令と前記操作応答情報との可能な組合せに対し、
各組合せ毎に適切な圧縮／転送モードを対応させた判定
テーブルを有し、この判定テーブルを参照することによ
り、前記適切な圧縮／転送モードを判定することを特徴
とする請求項１記載の遠隔制御システム。 - 【請求項３】 前記解析装置が電子ビームテスタである
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の遠隔制御シス
テム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7137625A JP3050278B2 (ja) | 1995-06-05 | 1995-06-05 | 遠隔制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7137625A JP3050278B2 (ja) | 1995-06-05 | 1995-06-05 | 遠隔制御システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08331551A true JPH08331551A (ja) | 1996-12-13 |
| JP3050278B2 JP3050278B2 (ja) | 2000-06-12 |
Family
ID=15203040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7137625A Expired - Lifetime JP3050278B2 (ja) | 1995-06-05 | 1995-06-05 | 遠隔制御システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3050278B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003069883A (ja) * | 2001-06-15 | 2003-03-07 | Yokogawa Electric Corp | カメラシステム |
| JP2007018930A (ja) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 半導体検査装置 |
| JP2009260465A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Intec Systems Institute Inc | 遠隔診断装置 |
| JP2012230719A (ja) * | 2012-08-03 | 2012-11-22 | Toshiba Corp | 印刷システム |
-
1995
- 1995-06-05 JP JP7137625A patent/JP3050278B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003069883A (ja) * | 2001-06-15 | 2003-03-07 | Yokogawa Electric Corp | カメラシステム |
| JP2007018930A (ja) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 半導体検査装置 |
| JP4537277B2 (ja) * | 2005-07-08 | 2010-09-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 半導体検査装置 |
| US7916926B2 (en) | 2005-07-08 | 2011-03-29 | Hitachi High-Technologies Corporation | Semiconductor inspection apparatus |
| JP2009260465A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Intec Systems Institute Inc | 遠隔診断装置 |
| JP2012230719A (ja) * | 2012-08-03 | 2012-11-22 | Toshiba Corp | 印刷システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3050278B2 (ja) | 2000-06-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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