JP4537277B2 - 半導体検査装置 - Google Patents
半導体検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4537277B2 JP4537277B2 JP2005200668A JP2005200668A JP4537277B2 JP 4537277 B2 JP4537277 B2 JP 4537277B2 JP 2005200668 A JP2005200668 A JP 2005200668A JP 2005200668 A JP2005200668 A JP 2005200668A JP 4537277 B2 JP4537277 B2 JP 4537277B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- information
- image
- electron beam
- control console
- area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 26
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 22
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 42
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 42
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 35
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 31
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 description 28
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 24
- 230000008569 process Effects 0.000 description 22
- 241000699666 Mus <mouse, genus> Species 0.000 description 17
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 15
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 8
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 8
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 6
- 238000012905 input function Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 241000699670 Mus sp. Species 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000013144 data compression Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/14—Digital output to display device ; Cooperation and interconnection of the display device with other functional units
- G06F3/1454—Digital output to display device ; Cooperation and interconnection of the display device with other functional units involving copying of the display data of a local workstation or window to a remote workstation or window so that an actual copy of the data is displayed simultaneously on two or more displays, e.g. teledisplay
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G5/00—Control arrangements or circuits for visual indicators common to cathode-ray tube indicators and other visual indicators
- G09G5/001—Arbitration of resources in a display system, e.g. control of access to frame buffer by video controller and/or main processor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
- H01J2237/2813—Scanning microscopes characterised by the application
- H01J2237/2817—Pattern inspection
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S345/00—Computer graphics processing and selective visual display systems
- Y10S345/949—Animation processing method
- Y10S345/96—Iterative display of preconfigured images
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Controls And Circuits For Display Device (AREA)
Description
以上の説明では、注目領域は矩形としているが、矩形に限定されるものではない。
制御コンソール2のコンピュータもしくは遠隔コンソール3のコンピュータは、ウィンドウシステムのデスクトップで生じたグラフィカルユーザーインターフェースのイベントを取得する(S180)。イベント情報とは、例えば”Qt C++ GUI Application Development Toolkit”; http://doc.trolltech.comのQtや”GTK+ API Reference”; http://www.gtk.org/api/のGTK+などのウィジェットレベルのイベント情報であり、ウィンドウの生成及び消滅、ボタンのクリック、スライダの移動、マウスの移動、キー入力などの操作によって生じる情報である。該グラフィカルユーザーインターフェースのイベント情報をイーサネットなどの通信媒体を介して送信する(S182)。ログ用コンピュータは、送信されたイベント情報を受信し(S184)、受信したイベント情報をログに記録する(S186)。
Claims (4)
- 電子源、電子線偏向器、及び電子検出器を備え、試料に電子線を走査して試料信号を検出する電子線装置と、
前記電子線装置の操作画面及び検査対象の画像を表示するディスプレイ、操作パネル、及び遠隔コンソールと通信する通信インターフェースを備え、前記電子線装置から出力された試料信号から画像を形成して前記ディスプレイに表示すると共に前記操作パネルを用いた前記操作画面の操作を介して前記電子線装置を制御する制御コンソールとを含み、
前記制御コンソールは、前記遠隔コンソールとの間で、前記操作画面情報と画像情報を分離して通信すると共に、画像取得時の試料側の情報に応じて、伝送される動画像領域、遅延時間又は圧縮率を制御する
ことを特徴とする半導体検査装置。 - 電子源、電子線偏向器、及び電子検出器を備え、試料に電子線を走査して試料信号を検出する電子線装置と、
前記電子線装置の操作画面及び検査対象の画像を表示するディスプレイ、操作パネル、及び遠隔コンソールと通信する通信インターフェースを備え、前記電子線装置から出力された試料信号から画像を形成して前記ディスプレイに表示すると共に前記操作パネルを用いた前記操作画面の操作を介して前記電子線装置を制御する制御コンソールとを含み、
前記制御コンソールは、前記遠隔コンソールとの間で、前記操作画面情報と画像情報を分離して通信すると共に、画像取得時の装置側の情報又は試料側の情報に応じて、伝送される動画像領域、遅延時間又は圧縮率を制御すると共に、当該半導体検査装置の状態に応じて送信する画像の領域を変化させる
ことを特徴とする半導体検査装置。 - 電子源、電子線偏向器、及び電子検出器を備え、試料に電子線を走査して試料信号を検出する電子線装置と、
前記電子線装置の操作画面及び検査対象の画像を表示するディスプレイ、操作パネル、及び遠隔コンソールと通信する通信インターフェースを備え、前記電子線装置から出力された試料信号から画像を形成して前記ディスプレイに表示すると共に前記操作パネルを用いた前記操作画面の操作を介して前記電子線装置を制御する制御コンソールとを含み、
前記制御コンソールは、前記遠隔コンソールとの間で、前記操作画面情報と画像情報を分離して通信すると共に、画像取得時の装置側の情報又は試料側の情報に応じて、伝送される動画像領域、遅延時間又は圧縮率を制御すると共に、操作者の操作に応じて送信する画像の領域を変化させる
ことを特徴とする半導体検査装置。 - 電子源、電子線偏向器、及び電子検出器を備え、試料に電子線を走査して試料信号を検出する電子線装置と、
前記電子線装置の操作画面及び検査対象の画像を表示するディスプレイ、操作パネル、及び遠隔コンソールと通信する通信インターフェースを備え、前記電子線装置から出力された試料信号から画像を形成して前記ディスプレイに表示すると共に前記操作パネルを用いた前記操作画面の操作を介して前記電子線装置を制御する制御コンソールとを含み、
前記制御コンソールは、前記遠隔コンソールとの間で、前記操作画面情報と画像情報を分離して通信すると共に、画像取得時の装置側の情報又は試料側の情報に応じて、伝送される動画像領域、遅延時間又は圧縮率を制御すると共に、検査対象領域のパターン情報に応じて送信する画像の領域を変化させる
ことを特徴とする半導体検査装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005200668A JP4537277B2 (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | 半導体検査装置 |
US11/482,089 US7916926B2 (en) | 2005-07-08 | 2006-07-07 | Semiconductor inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005200668A JP4537277B2 (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | 半導体検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007018930A JP2007018930A (ja) | 2007-01-25 |
JP4537277B2 true JP4537277B2 (ja) | 2010-09-01 |
Family
ID=37693819
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005200668A Expired - Fee Related JP4537277B2 (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | 半導体検査装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7916926B2 (ja) |
JP (1) | JP4537277B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9071624B2 (en) * | 2009-05-13 | 2015-06-30 | Dell Products L.P. | System and method for providing accessibility for access controller storage media |
JP5683907B2 (ja) * | 2010-11-08 | 2015-03-11 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査型電子顕微鏡および該装置の制御方法 |
US20120185621A1 (en) * | 2011-01-18 | 2012-07-19 | Avocent Huntsville Corporation | Detection and Processing of Preselected Image Blocks in a KVM System |
JP5891524B2 (ja) * | 2011-11-11 | 2016-03-23 | 株式会社Ube科学分析センター | 電子顕微鏡遠隔表示装置 |
CN103353856A (zh) * | 2013-07-02 | 2013-10-16 | 华为技术有限公司 | 硬盘及硬盘的数据转发和获取方法 |
US10402294B1 (en) * | 2014-06-19 | 2019-09-03 | Google Llc | Methods and systems of differentiating between at least two peripheral electronic devices |
US9609069B2 (en) | 2014-12-15 | 2017-03-28 | Lenovo Enterprise Solutions (Singapore) Pte. Ltd. | Administering a remote session between a target computing device and a remote computing device |
JP2018018221A (ja) * | 2016-07-26 | 2018-02-01 | 富士通コンポーネント株式会社 | Kvmスイッチ |
US10481379B1 (en) | 2018-10-19 | 2019-11-19 | Nanotronics Imaging, Inc. | Method and system for automatically mapping fluid objects on a substrate |
TWI748675B (zh) * | 2020-10-06 | 2021-12-01 | 汎銓科技股份有限公司 | 一種遠端控制樣品處理及/或樣品分析的方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06124678A (ja) * | 1992-08-26 | 1994-05-06 | Nikon Corp | 荷電粒子顕微鏡 |
JPH08331551A (ja) * | 1995-06-05 | 1996-12-13 | Nec Corp | 遠隔制御システム |
JP2000123770A (ja) * | 1998-10-14 | 2000-04-28 | Jeol Ltd | 分析装置の遠隔観察システム |
JP2000164666A (ja) * | 1992-03-06 | 2000-06-16 | Hitachi Ltd | 検査システム、解析ユニット及び電子デバイスの製造方法 |
JP2004006219A (ja) * | 2002-04-11 | 2004-01-08 | Keyence Corp | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
JP2004072093A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-03-04 | Agilent Technologies Japan Ltd | 半導体試験データ解析システム |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3148353B2 (ja) * | 1991-05-30 | 2001-03-19 | ケーエルエー・インストルメンツ・コーポレーション | 電子ビーム検査方法とそのシステム |
JP3298029B2 (ja) | 1993-03-16 | 2002-07-02 | 株式会社日立製作所 | 映像表示制御方法、映像表示処理システム |
EP1296351A4 (en) * | 2000-06-27 | 2009-09-23 | Ebara Corp | INVESTIGATION DEVICE FOR LOADED PARTICLE RAYS AND METHOD FOR PRODUCING A COMPONENT ELEVATED WITH THIS INSPECTION DEVICE |
JP3993094B2 (ja) * | 2000-07-27 | 2007-10-17 | 株式会社荏原製作所 | シートビーム式検査装置 |
JP2003203594A (ja) | 2001-12-28 | 2003-07-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置及び試料像観察方法 |
JP3738843B2 (ja) * | 2002-06-11 | 2006-01-25 | ソニー株式会社 | 画像検出装置、画像検出方法および画像検出プログラム |
JP3997423B2 (ja) * | 2003-04-17 | 2007-10-24 | ソニー株式会社 | 情報処理装置、撮像装置および情報分類処理方法 |
JP5180428B2 (ja) * | 2005-06-21 | 2013-04-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査型電子顕微鏡用撮像レシピ作成装置及びその方法並びに半導体パターンの形状評価装置 |
-
2005
- 2005-07-08 JP JP2005200668A patent/JP4537277B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-07-07 US US11/482,089 patent/US7916926B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000164666A (ja) * | 1992-03-06 | 2000-06-16 | Hitachi Ltd | 検査システム、解析ユニット及び電子デバイスの製造方法 |
JPH06124678A (ja) * | 1992-08-26 | 1994-05-06 | Nikon Corp | 荷電粒子顕微鏡 |
JPH08331551A (ja) * | 1995-06-05 | 1996-12-13 | Nec Corp | 遠隔制御システム |
JP2000123770A (ja) * | 1998-10-14 | 2000-04-28 | Jeol Ltd | 分析装置の遠隔観察システム |
JP2004006219A (ja) * | 2002-04-11 | 2004-01-08 | Keyence Corp | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
JP2004072093A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-03-04 | Agilent Technologies Japan Ltd | 半導体試験データ解析システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007018930A (ja) | 2007-01-25 |
US7916926B2 (en) | 2011-03-29 |
US20070024643A1 (en) | 2007-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4537277B2 (ja) | 半導体検査装置 | |
JP5867198B2 (ja) | 領域指定方法及び領域指定装置 | |
JP4776995B2 (ja) | コンピュータ装置およびその制御方法およびプログラム | |
JP5713551B2 (ja) | 情報処理システム、情報処理装置、及びそれらの制御方法 | |
US8542199B2 (en) | Image processing apparatus, image processing method, and program | |
JP2004080401A (ja) | 画像処理方法、装置、記憶媒体及びプログラム | |
WO2011030488A1 (ja) | 欠陥レビュー支援装置,欠陥レビュー装置および検査支援装置 | |
KR101058612B1 (ko) | 멀티터치가 가능한 터치스크린을 이용한 화상의 색 보정 방법 | |
JP2009151638A (ja) | 情報処理装置及びその制御方法 | |
JPWO2019203351A1 (ja) | 画像表示装置及び画像表示方法 | |
JP5907196B2 (ja) | 画像処理装置、画像処理方法、画像処理システムおよびプログラム | |
JP6241320B2 (ja) | 画像処理装置、画像処理方法、画像処理システムおよびプログラム | |
JP3970052B2 (ja) | 画像処理装置 | |
JP2009075846A (ja) | 輪郭抽出装置及びプログラム | |
KR20110076849A (ko) | 멀티터치가 가능한 터치스크린을 이용한 화상의 색 보정 방법 | |
US20150170355A1 (en) | Wafer appearance inspection system and method of sensitivity threshold setting | |
US20130083050A1 (en) | Image display device for direct drawing apparatus, and recording medium | |
WO2016092614A1 (ja) | 欠陥検査装置、表示装置、及び欠陥分類装置 | |
WO2022264195A1 (ja) | コンピュータシステム、寸法計測方法、および記憶媒体 | |
US7446751B2 (en) | Data input device, data input method, and data input program | |
US20210072884A1 (en) | Information processing apparatus and non-transitory computer readable medium | |
WO2023233492A1 (ja) | レシピ作成システム、測長システム、及びレシピ作成方法 | |
US20220157037A1 (en) | Information processing apparatus, information processing method, and program | |
US20240126416A1 (en) | Operating system, processing system, computer, operating method, and storage medium | |
JP7290780B1 (ja) | 情報処理方法、コンピュータプログラム及び情報処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070509 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091208 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100316 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100517 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100615 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100617 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130625 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4537277 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |