JPH0832420B2 - 注型成形用型およびそれを使用した情報記録媒体用基板の製造方法 - Google Patents
注型成形用型およびそれを使用した情報記録媒体用基板の製造方法Info
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- JPH0832420B2 JPH0832420B2 JP62329680A JP32968087A JPH0832420B2 JP H0832420 B2 JPH0832420 B2 JP H0832420B2 JP 62329680 A JP62329680 A JP 62329680A JP 32968087 A JP32968087 A JP 32968087A JP H0832420 B2 JPH0832420 B2 JP H0832420B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、情報記録媒体の注型成形用型およびそれを
使用した情報記録媒体用基板の製造方法に関するもので
ある。
使用した情報記録媒体用基板の製造方法に関するもので
ある。
［従来の技術］ 従来、情報記録媒体用基板には、その情報記録面にト
ラッキング用溝、情報用ピットなどの凹凸が形成されて
いる。このように基板に凹凸を形成する方法としては、
基板が熱可塑性樹脂からなる場合には、インジェクシ
ョン法や熱プレス法によりスタンパー型のトラック溝を
転写する方法、又は熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂から
成る透明樹脂板上に光硬化性樹脂組成物を塗布した後、
スタンパー型を密着させて、透明樹脂側から紫外線の如
きエネルギーを付与し、前記光硬化性樹脂組成物を硬化
させて、スタンパー型のレプリカを透明樹脂板に転写す
る、いわゆる2P法による方法、あるいは樹脂のモノマ
ー又は溶剤を含んだプレポリマーを注型成形する際に、
片側あるいは両側にトラック用溝や情報用ピットがあら
かじめ形成されている注型成形用型を用いて注型成形す
る方法等が知られている。
ラッキング用溝、情報用ピットなどの凹凸が形成されて
いる。このように基板に凹凸を形成する方法としては、
基板が熱可塑性樹脂からなる場合には、インジェクシ
ョン法や熱プレス法によりスタンパー型のトラック溝を
転写する方法、又は熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂から
成る透明樹脂板上に光硬化性樹脂組成物を塗布した後、
スタンパー型を密着させて、透明樹脂側から紫外線の如
きエネルギーを付与し、前記光硬化性樹脂組成物を硬化
させて、スタンパー型のレプリカを透明樹脂板に転写す
る、いわゆる2P法による方法、あるいは樹脂のモノマ
ー又は溶剤を含んだプレポリマーを注型成形する際に、
片側あるいは両側にトラック用溝や情報用ピットがあら
かじめ形成されている注型成形用型を用いて注型成形す
る方法等が知られている。
［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、前記のインジェクション法や熱プレ
ス法によって得られる熱可塑性樹脂基板は、成形の際の
熱履歴による残留応力や分子の配向により、成形後の基
板のそりや、光学的異方性が生じたりするため、情報記
録媒体用基板として問題が残されている。
ス法によって得られる熱可塑性樹脂基板は、成形の際の
熱履歴による残留応力や分子の配向により、成形後の基
板のそりや、光学的異方性が生じたりするため、情報記
録媒体用基板として問題が残されている。
また、前記の2P法により得られる基板は、光硬化後
の樹脂内に光硬化の際に使用される重合開始剤やモノマ
ーが残留しやすく、それらが記録媒体の光記録層に影響
を及ぼし、記録特性の劣化が生じるという問題がよく発
生する。
の樹脂内に光硬化の際に使用される重合開始剤やモノマ
ーが残留しやすく、それらが記録媒体の光記録層に影響
を及ぼし、記録特性の劣化が生じるという問題がよく発
生する。
これらの問題の生じない情報記録媒体用基板の製造方
法として、前記の注型成形法が用いられることがあ
る。この方法により得られる基板は、上記の，の方
法に比較して成形時に圧力がほとんど加わらず、また注
型用樹脂として、熱可塑性樹脂，熱硬化性樹脂，光硬化
性樹脂のいずれの樹脂も利用することが可能なため、記
録層に悪影響を及ぼさない樹脂の選択が可能である。
法として、前記の注型成形法が用いられることがあ
る。この方法により得られる基板は、上記の，の方
法に比較して成形時に圧力がほとんど加わらず、また注
型用樹脂として、熱可塑性樹脂，熱硬化性樹脂，光硬化
性樹脂のいずれの樹脂も利用することが可能なため、記
録層に悪影響を及ぼさない樹脂の選択が可能である。
前記の注型成形法において、注型成形する際のトラ
ックキング用溝、情報用ピットなどの凹凸を有する型と
しては、ガラス板上にフォトリソ工程により形成したフ
ォトレジストをマスクとしてエッチングを行ない、それ
らの凹凸をパターニングしたもの、レーザーカットによ
りパターニングしたもの、又はガラス板，金属板上に尖
端を有するダイヤモンド針によるダイレクトカットによ
り凹凸を形成したもの等が知られている。
ックキング用溝、情報用ピットなどの凹凸を有する型と
しては、ガラス板上にフォトリソ工程により形成したフ
ォトレジストをマスクとしてエッチングを行ない、それ
らの凹凸をパターニングしたもの、レーザーカットによ
りパターニングしたもの、又はガラス板，金属板上に尖
端を有するダイヤモンド針によるダイレクトカットによ
り凹凸を形成したもの等が知られている。
しかしながら、注型成形における問題点として、基板
を製造する際の１回の処理時間が非常に長いため大量の
基板を製造するためには大量の注型成形用型が必要とな
る。そのためには、フォトリソ工程による方法が最も好
ましい。
を製造する際の１回の処理時間が非常に長いため大量の
基板を製造するためには大量の注型成形用型が必要とな
る。そのためには、フォトリソ工程による方法が最も好
ましい。
しかし、この様な注型成形用型を用いて情報記録媒体
用基板を製造する工程において、成形後に基板を注型成
形用型から離型する際に、離型が円滑に行なわれず、基
板のトラックキング用溝部、情報用ピット部の一部が型
に残り、特に情報用ピット部の一部が欠けてしまうとい
う問題があった。
用基板を製造する工程において、成形後に基板を注型成
形用型から離型する際に、離型が円滑に行なわれず、基
板のトラックキング用溝部、情報用ピット部の一部が型
に残り、特に情報用ピット部の一部が欠けてしまうとい
う問題があった。
本発明は、このような従来技術の欠点を改善するため
になされたものであり、注型成形法により情報記録媒体
用基板を作製する方法において、注型成形用型の表面に
形成された、基板にトラッキング用溝や情報用ピットを
転写する凹凸プリフォーマットパターンの凸部の側面の
形状を傾斜してなだらかに形成することにより、基板の
トラックキング用溝部、情報用ピット部の欠けを防止
し、トラッキング用溝や情報ピットを正確に転写するこ
とができる注型成形用型およびその注型成形用型を使用
して情報記録媒体用基板を歩留り及び生産性よく製造す
る方法を提供することを目的とする。
になされたものであり、注型成形法により情報記録媒体
用基板を作製する方法において、注型成形用型の表面に
形成された、基板にトラッキング用溝や情報用ピットを
転写する凹凸プリフォーマットパターンの凸部の側面の
形状を傾斜してなだらかに形成することにより、基板の
トラックキング用溝部、情報用ピット部の欠けを防止
し、トラッキング用溝や情報ピットを正確に転写するこ
とができる注型成形用型およびその注型成形用型を使用
して情報記録媒体用基板を歩留り及び生産性よく製造す
る方法を提供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段］ 即ち、本発明の第一の発明は、凹凸プリフォーマット
を有する情報記録媒体用基板を注型成形法により製造す
る際に使用する注型成形用型であって、表面に形成され
た凹凸プリフォーマットパターンの凸部の側面の形状が
深さ方向に対して外側に傾斜し、且つ、この側面が前記
表面に対して60゜以下の角度をなすように形成されてい
ることを特徴とする注型成形用型に係わるものである。
を有する情報記録媒体用基板を注型成形法により製造す
る際に使用する注型成形用型であって、表面に形成され
た凹凸プリフォーマットパターンの凸部の側面の形状が
深さ方向に対して外側に傾斜し、且つ、この側面が前記
表面に対して60゜以下の角度をなすように形成されてい
ることを特徴とする注型成形用型に係わるものである。
また、第二の発明は、凹凸プリフォーマットを有する
情報記録媒体用基板を注型成形法により製造する方法に
おいて、表面に形成された凹凸プリフォーマットパター
ンの凸部の側面の形状が深さ方向に対して外側に傾斜
し、且つ、この側面が前記表面に対して60゜以下の角度
をなすように形成されている注型成形用型を使用するこ
とを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法に係わる
ものである。
情報記録媒体用基板を注型成形法により製造する方法に
おいて、表面に形成された凹凸プリフォーマットパター
ンの凸部の側面の形状が深さ方向に対して外側に傾斜
し、且つ、この側面が前記表面に対して60゜以下の角度
をなすように形成されている注型成形用型を使用するこ
とを特徴とする情報記録媒体用基板の製造方法に係わる
ものである。
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明は、注型成形法により情報記録媒体用基板にト
ラッキング用溝，情報用ピットを転写するために使用す
る注型成形用型を、該注型成形用型の表面に形成された
凹凸プリフォーマットパターンの凸部の側面の形状が深
さ方向に対して外側に傾斜し、且つ、この側面が前記表
面に対して60゜以下の角度をなすように形成することに
より、基板に転写されるトラッキング溝部，情報ピット
部の欠けた低減を可能にしたものである。
ラッキング用溝，情報用ピットを転写するために使用す
る注型成形用型を、該注型成形用型の表面に形成された
凹凸プリフォーマットパターンの凸部の側面の形状が深
さ方向に対して外側に傾斜し、且つ、この側面が前記表
面に対して60゜以下の角度をなすように形成することに
より、基板に転写されるトラッキング溝部，情報ピット
部の欠けた低減を可能にしたものである。
本発明の注型成形用型は、例えば光記録媒体のトラッ
キング用溝、情報用ピットなどの凹凸の形状と逆の断面
形状を有する注型成形用型が用いられ、該注型成形用型
としては、ガラス板上にクロム等の金属を蒸着等により
付着させ、この金属の上にフォトレジストを形成し、ト
ラッキング用溝，情報用ピットに対応するパターンにフ
ォトレジストを露光し、ガラス板上に凹凸プリフォーマ
ットパターンの金属パターンからなる凸部のパターンを
設ける。
キング用溝、情報用ピットなどの凹凸の形状と逆の断面
形状を有する注型成形用型が用いられ、該注型成形用型
としては、ガラス板上にクロム等の金属を蒸着等により
付着させ、この金属の上にフォトレジストを形成し、ト
ラッキング用溝，情報用ピットに対応するパターンにフ
ォトレジストを露光し、ガラス板上に凹凸プリフォーマ
ットパターンの金属パターンからなる凸部のパターンを
設ける。
このパターンの断面形状は第１図に示すように形成さ
れている。同第１図において、ガラス板１の上に凸部の
パターン２が形成され、該凸部のパターン２の側面３と
ガラス板１の平面４とは角度θの傾きを有する。
れている。同第１図において、ガラス板１の上に凸部の
パターン２が形成され、該凸部のパターン２の側面３と
ガラス板１の平面４とは角度θの傾きを有する。
このような注型成形用型５を用いて、液状樹脂を注型
成形したところ、ガラス板１の平面４と凸部のパターン
２の側面３のなす角度θが大きいと、得られた情報記録
媒体用基板のトラッキング溝部，情報ピット部の欠けが
大量に発生することが判明した。この原因としては、注
型成形の際の硬化収縮によるストレスが基板中に存在
し、これが離型の際、微細なパットのところに集中して
欠けが生じると考えられる。
成形したところ、ガラス板１の平面４と凸部のパターン
２の側面３のなす角度θが大きいと、得られた情報記録
媒体用基板のトラッキング溝部，情報ピット部の欠けが
大量に発生することが判明した。この原因としては、注
型成形の際の硬化収縮によるストレスが基板中に存在
し、これが離型の際、微細なパットのところに集中して
欠けが生じると考えられる。
本発明においては、凸部のパターンの側面とガラス板
の平面とがなす角度θを60゜以下、通常20゜〜60゜、好
ましくは30゜〜50゜にすることにより基板のトラッキン
グ溝部，情報ピット部の欠けの発生を押えることができ
る。角度θが60゜をこえると欠けが多く発生する。
の平面とがなす角度θを60゜以下、通常20゜〜60゜、好
ましくは30゜〜50゜にすることにより基板のトラッキン
グ溝部，情報ピット部の欠けの発生を押えることができ
る。角度θが60゜をこえると欠けが多く発生する。
上記の注型成形用型を作製するには、通常のガラス板
上にフォトリソ工程により凹凸をパターニングする方
法、レーザーカットによりパターニングする方法、又は
ガラス板，金属板上に尖端を有するダイヤモンド針によ
るダイレクトカットにより凹凸を形成する方法等により
行なうことができる。
上にフォトリソ工程により凹凸をパターニングする方
法、レーザーカットによりパターニングする方法、又は
ガラス板，金属板上に尖端を有するダイヤモンド針によ
るダイレクトカットにより凹凸を形成する方法等により
行なうことができる。
また、本発明において、凹凸プリフォーマットパター
ンを形成する物質としては、凹凸プリフォーマットを形
成しうるものなら何でもよく、SiO,SiO2,TiNなどの無機
酸化物，無機窒化物も用いることができる。
ンを形成する物質としては、凹凸プリフォーマットを形
成しうるものなら何でもよく、SiO,SiO2,TiNなどの無機
酸化物，無機窒化物も用いることができる。
以上の様にして作製された注型用型を用いて、該注型
用型に液状透明樹脂を通常の注型成形法により、注入し
固化せしめた後脱型することにより情報記録媒体用基板
を得ることができる。
用型に液状透明樹脂を通常の注型成形法により、注入し
固化せしめた後脱型することにより情報記録媒体用基板
を得ることができる。
本発明における注型成形用型に注入される液状樹脂
は、透明な未硬化の熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂もしく
は未重合の熱可塑性樹脂が用いられ、例えば、熱硬化性
樹脂ではフェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル
系樹脂等、熱可塑性樹脂では、ビニル樹脂、スチレン樹
脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、酢酸樹脂、
ポリエステル系樹脂等が挙げられる。
は、透明な未硬化の熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂もしく
は未重合の熱可塑性樹脂が用いられ、例えば、熱硬化性
樹脂ではフェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル
系樹脂等、熱可塑性樹脂では、ビニル樹脂、スチレン樹
脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、酢酸樹脂、
ポリエステル系樹脂等が挙げられる。
この様にして、本発明の製造方法によれば、光学的に
等方でそりのない、表面が平坦で平滑な、トラッキング
用溝、情報用ピットの形状が良好な記録再生型の情報記
録媒体用基板を得ることができる。
等方でそりのない、表面が平坦で平滑な、トラッキング
用溝、情報用ピットの形状が良好な記録再生型の情報記
録媒体用基板を得ることができる。
［作用］ 本発明の注型成形用型は、表面に形成された凹凸プリ
フォーマットパターンの凸部の側面の形状が深さ方向に
対して外側に傾斜し、且つ、この側面が前記表面に対し
て60゜以下の角度をなすように形成されているので、注
型成形において注型成形用型から基板が円滑に離型し、
情報記録媒体用基板のトラッキング用溝、情報用ピット
の欠けを防止することができる。
フォーマットパターンの凸部の側面の形状が深さ方向に
対して外側に傾斜し、且つ、この側面が前記表面に対し
て60゜以下の角度をなすように形成されているので、注
型成形において注型成形用型から基板が円滑に離型し、
情報記録媒体用基板のトラッキング用溝、情報用ピット
の欠けを防止することができる。
［実施例］ 以下実施例を示し、本発明をさらに具体的に説明す
る。
る。
実施例１ ガラス板上に3000Åのクロムを蒸着し、このクロムを
フォトリソ工程によりパターニングを行なった。この
時、エッチングレートを調整することにより、ガラス板
の平面とクロムパターンの凸部の側面の斜面部の角度θ
を10゜〜50゜になるように形成した。また、トラッキン
グ用溝は巾３μm,ピッチ12μｍで、情報用ピットは巾３
μm,長さ６μm,ピッチ６μｍのパターンに形成した。
フォトリソ工程によりパターニングを行なった。この
時、エッチングレートを調整することにより、ガラス板
の平面とクロムパターンの凸部の側面の斜面部の角度θ
を10゜〜50゜になるように形成した。また、トラッキン
グ用溝は巾３μm,ピッチ12μｍで、情報用ピットは巾３
μm,長さ６μm,ピッチ６μｍのパターンに形成した。
次に、上記の様にして得られた注型成形用型と、鏡面
型として表面を光学研磨した3mm厚のガラス板を対向す
るように設置し、周辺にスペーサーを設けてセルを組み
立てた。該セルに液状樹脂として、以下の配合組成の樹
脂を注入し、120℃,10時間重合を行なった。
型として表面を光学研磨した3mm厚のガラス板を対向す
るように設置し、周辺にスペーサーを設けてセルを組み
立てた。該セルに液状樹脂として、以下の配合組成の樹
脂を注入し、120℃,10時間重合を行なった。
（配合組成） メタクリル酸メチル 70重量部 メタクリル酸ターシャリブチル 25重量部 ポリエチレングリコールジメタクリレート（分子量62
0） 5重量部 次に、型から脱型して厚さ0.4mmの情報記録媒体用基
板を得た。
0） 5重量部 次に、型から脱型して厚さ0.4mmの情報記録媒体用基
板を得た。
得られた各基板の角度θに対する欠けの発生を検査し
た。また、比較例として、角度θが70゜のパターンによ
り成形した基板の欠けも検査した。その結果を第１表に
示す。
た。また、比較例として、角度θが70゜のパターンによ
り成形した基板の欠けも検査した。その結果を第１表に
示す。
以上の第１表の結果から、金属パターンの側面とガラ
ス板の平面のなす角度θを60゜以下にすることにより、
欠けの発生率は大巾に減少させることができた。
ス板の平面のなす角度θを60゜以下にすることにより、
欠けの発生率は大巾に減少させることができた。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、注型成形によ
ってトラッキング用溝，情報用ピットを成形する際に、
注型成形用型の表面に形成された凹凸プリフォーマット
パターンの凸部の側面の形状を深さ方向に対して外側に
傾斜して形成することにより、 基板のトラッキング用溝、情報用ピットの欠けを低減
し、 再生時のデータ読み取りエラーをなくし、 情報記録媒体の信頼性を高める 効果がある。
ってトラッキング用溝，情報用ピットを成形する際に、
注型成形用型の表面に形成された凹凸プリフォーマット
パターンの凸部の側面の形状を深さ方向に対して外側に
傾斜して形成することにより、 基板のトラッキング用溝、情報用ピットの欠けを低減
し、 再生時のデータ読み取りエラーをなくし、 情報記録媒体の信頼性を高める 効果がある。
第１図は注型成形用型の部分断面図である。 １……ガラス板、２……凸部のパターン ３……側面、４……平面 ５……注型成形用型
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ２９Ｌ 17:00 (72)発明者 田村 知之 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−131652（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】凹凸プリフォーマットを有する情報記録媒
体用基板を注型成形法により製造する際に使用する注型
成形用型であって、表面に形成された凹凸プリフォーマ
ットパターンの凸部の側面の形状が深さ方向に対して外
側に傾斜し、且つ、この側面が前記表面に対して60゜以
下の角度をなすように形成されていることを特徴とする
注型成形用型。 - 【請求項２】凹凸プリフォーマットを有する情報記録媒
体用基板を注型成形法により製造する方法において、表
面に形成された凹凸プリフォーマットパターンの凸部の
側面の形状が深さ方向に対して外側に傾斜し、且つ、こ
の側面が前記表面に対して60゜以下の角度をなすように
形成されている注型成形用型を使用することを特徴とす
る情報記録媒体用基板の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62329680A JPH0832420B2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 注型成形用型およびそれを使用した情報記録媒体用基板の製造方法 |
| EP88312360A EP0323225A3 (en) | 1987-12-28 | 1988-12-28 | Cast molding die and process for producing information recording medium using the same |
| US07/811,900 US5234633A (en) | 1987-12-28 | 1991-12-20 | Cast molding die and process for producing information recording medium using the same |
| US07/994,358 US5389313A (en) | 1987-12-28 | 1992-12-21 | Method of producing a molding die for an information recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62329680A JPH0832420B2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 注型成形用型およびそれを使用した情報記録媒体用基板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01171819A JPH01171819A (ja) | 1989-07-06 |
| JPH0832420B2 true JPH0832420B2 (ja) | 1996-03-29 |
Family
ID=18224065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62329680A Expired - Fee Related JPH0832420B2 (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 | 注型成形用型およびそれを使用した情報記録媒体用基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0832420B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05198016A (ja) * | 1992-01-21 | 1993-08-06 | Sharp Corp | 光メモリ素子用原盤及びその製造方法 |
| JP5978552B2 (ja) * | 2010-06-24 | 2016-08-24 | 大日本印刷株式会社 | ナノインプリント用モールドおよびパターン形成方法 |
-
1987
- 1987-12-28 JP JP62329680A patent/JPH0832420B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01171819A (ja) | 1989-07-06 |
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