JPH08232870A - 真空ポンプスタンド - Google Patents
真空ポンプスタンドInfo
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- JPH08232870A JPH08232870A JP7338624A JP33862495A JPH08232870A JP H08232870 A JPH08232870 A JP H08232870A JP 7338624 A JP7338624 A JP 7338624A JP 33862495 A JP33862495 A JP 33862495A JP H08232870 A JPH08232870 A JP H08232870A
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims 2
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 abstract description 2
- 238000005086 pumping Methods 0.000 abstract 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 5
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000004146 energy storage Methods 0.000 description 1
- 210000004907 gland Anatomy 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 1
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B41/00—Pumping installations or systems specially adapted for elastic fluids
- F04B41/06—Combinations of two or more pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/005—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of dissimilar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D25/00—Pumping installations or systems
- F04D25/16—Combinations of two or more pumps ; Producing two or more separate gas flows
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 タンク内ガスを排気できるようにする。
【解決手段】 タンク１を周期的に排気し、タンク１の
中を運転真空に保持するためのポンプスタンドは、前後
に配置され、第一及び第二段ポンプを構成するタンク排
気用の第一及び第二真空ポンプ４，１３を有している。
第一真空ポンプ４は、その吸引開始配管２に調整可能な
絞り弁５が接続されたラジアルバラストポンプであり、
第二真空ポンプ１３はロータリーポンプまたは水リング
ポンプである。第二真空ポンプは真空配管１２に、第一
真空ポンプの出口配管７と平行に接続されており、分岐
点１１の入口で出口配管と連結している。分岐点１１の
下流の真空配管及び出口配管には、それぞれ直接第一真
空ポンプからの高い圧力により、また、第一真空ポンプ
から第二真空ポンプを経由して真空ポンプスタンドの出
口１０へ行く低圧により、搬送体積を制御する制御部分
１４，１５がそれぞれ設けられている。
中を運転真空に保持するためのポンプスタンドは、前後
に配置され、第一及び第二段ポンプを構成するタンク排
気用の第一及び第二真空ポンプ４，１３を有している。
第一真空ポンプ４は、その吸引開始配管２に調整可能な
絞り弁５が接続されたラジアルバラストポンプであり、
第二真空ポンプ１３はロータリーポンプまたは水リング
ポンプである。第二真空ポンプは真空配管１２に、第一
真空ポンプの出口配管７と平行に接続されており、分岐
点１１の入口で出口配管と連結している。分岐点１１の
下流の真空配管及び出口配管には、それぞれ直接第一真
空ポンプからの高い圧力により、また、第一真空ポンプ
から第二真空ポンプを経由して真空ポンプスタンドの出
口１０へ行く低圧により、搬送体積を制御する制御部分
１４，１５がそれぞれ設けられている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、タンクを周期的に
排気して、タンク内を運転真空に保持するための真空ポ
ンプスタンドに関し、タンクは、前後に配置された、タ
ンク排気用の第一段及び第二段ポンプを形成する第一及
び第二真空ポンプを備えている。
排気して、タンク内を運転真空に保持するための真空ポ
ンプスタンドに関し、タンクは、前後に配置された、タ
ンク排気用の第一段及び第二段ポンプを形成する第一及
び第二真空ポンプを備えている。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決使用とする課題】従来技術
のポンプスタンドは、例えば、酸素及び窒素リッチ化を
目的とした真空スイング装置、または加圧−真空スイン
グ装置による低圧におけるゼオライトまたは平常の吸着
媒質の再生を行うため、吸着に関する周期的な排気を行
う装置の中に設置されている。このような装置において
は、吸着槽から大きいガス量を比較的迅速に排気するこ
と、そのため吸着槽の中を運転低圧に保持することが肝
腎である。それは目下のところ多段で作動するロータリ
ーポンプによって構成されるポンプスタンドで行われて
いる。このようなポンプスタンドは、その機能からは実
際満足しているけれども、周期的プロセスにおいて大き
な役割を演じているそのエネルギ必要量をさらに減らす
ための専門家達の努力は空しく消え去っている。ロータ
リーポンプにより構成されるポンプスタンドにおいて
は、しかしながら最近なおエネルギ必要量の減少に関し
て若干の改良の努力がなされている。本発明は、エネル
ギ必要量ができるだけ小さいように、できるだけ簡単に
組み立てられ、そしてコスト的に有利に製作可能な、上
述の技術の真空ポンプスタンドを構築することに基礎を
置いている。
のポンプスタンドは、例えば、酸素及び窒素リッチ化を
目的とした真空スイング装置、または加圧−真空スイン
グ装置による低圧におけるゼオライトまたは平常の吸着
媒質の再生を行うため、吸着に関する周期的な排気を行
う装置の中に設置されている。このような装置において
は、吸着槽から大きいガス量を比較的迅速に排気するこ
と、そのため吸着槽の中を運転低圧に保持することが肝
腎である。それは目下のところ多段で作動するロータリ
ーポンプによって構成されるポンプスタンドで行われて
いる。このようなポンプスタンドは、その機能からは実
際満足しているけれども、周期的プロセスにおいて大き
な役割を演じているそのエネルギ必要量をさらに減らす
ための専門家達の努力は空しく消え去っている。ロータ
リーポンプにより構成されるポンプスタンドにおいて
は、しかしながら最近なおエネルギ必要量の減少に関し
て若干の改良の努力がなされている。本発明は、エネル
ギ必要量ができるだけ小さいように、できるだけ簡単に
組み立てられ、そしてコスト的に有利に製作可能な、上
述の技術の真空ポンプスタンドを構築することに基礎を
置いている。
【０００３】
【課題を解決するための手段】この問題は、本発明によ
れば、第一真空ポンプがその吸引開始管に調整可能な絞
り弁が接続されたラジアルバラストポンプから成り、第
二真空ポンプがロータリーポンプまたは水リング式ポン
プなら成ること、第二真空ポンプを、真空配管に、第一
真空ポンプの出口配管と平行に接続し、分岐点の入口で
出口配管に連結すること、そして分岐点の下流の真空配
管及び出口配管に、それぞれ直接第一ポンプからの低真
空により、また第一真空ポンプから第二真空ポンプを経
由して真空ポンプスタンドの出口へ行く高真空により、
搬送体積を制御するための制御部分を配置したことによ
り解決される。ラジアルバラストポンプの吸引開始状態
が激しく動揺する時は第一真空ポンプとしてのラジアル
バラストポンプの挿入はこれまで常に専門家達から拒ま
れた。例えば、真空スイング装置により、吸着槽は絶対
圧力でそれぞれ約１０００ミリバールから約３００ミリ
バールまでサイクル的に脱気されなければならない。ラ
ジアルバラストポンプによるエネルギ消費量は、１００
０ミリバールの吸引開始状態においては、例えば６００
ミリバールの吸引開始状態におけるよりもファクター
３．９だけ高い。６００ミリバールから約１００ミリバ
ールまでは、最大の圧力比を利用し尽くすためのラジア
ルバラストポンプの吸引能力はほとんど一定であるけれ
ども、エネルギ消費量は差圧依存の容積損失の分野につ
いて比較し得るロータリーポンプの方がより小さい。ラ
ジアルバラストポンプはその約１１，０００ｒｐｍ以上
の高回転数に基づいてほとんどガス逆流を起こさず、そ
のため容積効率はほとんど１である。それ故、ラジアル
バラストポンプとロータリーポンプとの間で吸引能力を
同じにすれば、入口と出口の間の比較し得る差圧につい
てのエネルギ消費量は遠心送風機の方が明らかにより小
さい。このことは、６００ミリバールの吸引開始側圧力
で１８％、そして３００ミリバールの吸引開始側圧力で
２３％小さいエネルギ消費量がこの運転状態における最
大圧縮比を使用し尽くして達成されることを意味する。
本発明によれば、調節可能な絞り弁によって、ラジアル
バラストポンプの吸引能力を、最大圧力比において、あ
らゆる吸引開始状態について一定に保持することでエネ
ルギ節約が得られる。この絞りは、１０００ミリバール
の大気圧から吸引し尽くすことにより６００ミリバール
の絶対圧力を吸引側にて達成させるまでの間で、必然的
にロータリーポンプに比べて高いエネルギ損失を生ぜし
め、その際このような絞りは不要となる。しかしながら
驚くべきことに、常圧から運転時の低圧まで比較的迅速
に次々と吸引し尽くさなければならないという周期的運
転のために、とりわけ、より小さい６００ミリバールの
吸引圧力でラジアルバラストポンプとロータリーポンプ
とを組み合わせることにより生じる経済的運転により、
この元来より高いエネルギ必要量がより以上に補償さ
れ、そのため、特許請求の範囲第１項に記載されたよう
に、配管が行われる時に、エネルギ貯蔵につながること
が確立されるのである。このことはすなわち、ロータリ
ーポンプを有するポンプスタンドの始動に際してラジア
ルバラストポンプと連合して真空化することを可能にす
る。 そこで第二段目のポンプ、または第三段目以降の
ポンプは、本発明によれば、ロータリーポンプとして実
施される。何故なら、比較のため第二段として実施され
るラジアルバラストポンプであれば１０００ミリバール
から６００ミリバールの間の吸引開始圧力で作動しなけ
ればならず、そのため、常にラジアルバラストポンプに
とってエネルギ的に不利な作動領域にあるからである。
本発明によるポンプスタンドにおいて有利なことはま
た、目下商取引において求め得る真空ポンプで９０，０
００ｍ3／ｈ 以上の最大吸引能率に到達すること、及び
製造コストは比較し得るポンプスタンドよりも小さいこ
とである。第一及び第二真空ポンプが並列でなく専ら直
列に作動するように接続された時は、体積流の制御は強
制的に行うことができるが、その上制御部分がモータで
運転されなければならないことはなく、そのため、本発
明の有利な改良によって出口配管における制御部分は真
空ポンプの出口の方へ開く逆止弁として、そして真空配
管における制御部分は第二段ポンプの入口の方へ開く逆
止弁として形成されれば、制御配管の連結は不要であ
る。第一真空ポンプに接続される調整可能な絞りにおい
ては通例の回転式調整器で行うのが肝要である。しかし
ながら、絞り弁は、閉じるためにそれが配置される配管
と同時に取り付けられる。そのため、本発明の今一つの
改良により第一真空ポンプに接続される調整可能な絞り
弁がモータで駆動され、そして閉鎖状態で運転可能な弁
である時、搬送に際してラジアルバラストポンプを有す
るポンプ列の真空化が付加的遮断手段の配置なしに可能
である。そのような弁は慣性に乏しい調整が可能なよう
に大きな横断面を迅速に変化させることを可能にする。
搬送に際して、そして空転の間、第二真空ポンプがその
出口側と入口側を互いに結びつけ、モータで駆動可能な
遮断弁を備えたバイパスを有する時、第二段ポンプを構
成するロータリーポンプが特に損失少なく継続作動す
る。排気すべきタンクにおける完全吸引の開始に際して
常圧が支配している時は、ポンプの排気開始に必要なガ
ス体積をできるだけ迅速に排気することができるため、
両真空ポンプが並列に向かい合って作動することが有利
である。それは、第一真空ポンプの出口を第二真空ポン
プの入口とつなぐ真空配管により、第一真空ポンプの吸
引開始配管のための１個の吸引管が流れに従って絞り弁
の前まで導かれ、そして制御部分がモータで制御される
ことによって、単純な方法で達成される。
れば、第一真空ポンプがその吸引開始管に調整可能な絞
り弁が接続されたラジアルバラストポンプから成り、第
二真空ポンプがロータリーポンプまたは水リング式ポン
プなら成ること、第二真空ポンプを、真空配管に、第一
真空ポンプの出口配管と平行に接続し、分岐点の入口で
出口配管に連結すること、そして分岐点の下流の真空配
管及び出口配管に、それぞれ直接第一ポンプからの低真
空により、また第一真空ポンプから第二真空ポンプを経
由して真空ポンプスタンドの出口へ行く高真空により、
搬送体積を制御するための制御部分を配置したことによ
り解決される。ラジアルバラストポンプの吸引開始状態
が激しく動揺する時は第一真空ポンプとしてのラジアル
バラストポンプの挿入はこれまで常に専門家達から拒ま
れた。例えば、真空スイング装置により、吸着槽は絶対
圧力でそれぞれ約１０００ミリバールから約３００ミリ
バールまでサイクル的に脱気されなければならない。ラ
ジアルバラストポンプによるエネルギ消費量は、１００
０ミリバールの吸引開始状態においては、例えば６００
ミリバールの吸引開始状態におけるよりもファクター
３．９だけ高い。６００ミリバールから約１００ミリバ
ールまでは、最大の圧力比を利用し尽くすためのラジア
ルバラストポンプの吸引能力はほとんど一定であるけれ
ども、エネルギ消費量は差圧依存の容積損失の分野につ
いて比較し得るロータリーポンプの方がより小さい。ラ
ジアルバラストポンプはその約１１，０００ｒｐｍ以上
の高回転数に基づいてほとんどガス逆流を起こさず、そ
のため容積効率はほとんど１である。それ故、ラジアル
バラストポンプとロータリーポンプとの間で吸引能力を
同じにすれば、入口と出口の間の比較し得る差圧につい
てのエネルギ消費量は遠心送風機の方が明らかにより小
さい。このことは、６００ミリバールの吸引開始側圧力
で１８％、そして３００ミリバールの吸引開始側圧力で
２３％小さいエネルギ消費量がこの運転状態における最
大圧縮比を使用し尽くして達成されることを意味する。
本発明によれば、調節可能な絞り弁によって、ラジアル
バラストポンプの吸引能力を、最大圧力比において、あ
らゆる吸引開始状態について一定に保持することでエネ
ルギ節約が得られる。この絞りは、１０００ミリバール
の大気圧から吸引し尽くすことにより６００ミリバール
の絶対圧力を吸引側にて達成させるまでの間で、必然的
にロータリーポンプに比べて高いエネルギ損失を生ぜし
め、その際このような絞りは不要となる。しかしながら
驚くべきことに、常圧から運転時の低圧まで比較的迅速
に次々と吸引し尽くさなければならないという周期的運
転のために、とりわけ、より小さい６００ミリバールの
吸引圧力でラジアルバラストポンプとロータリーポンプ
とを組み合わせることにより生じる経済的運転により、
この元来より高いエネルギ必要量がより以上に補償さ
れ、そのため、特許請求の範囲第１項に記載されたよう
に、配管が行われる時に、エネルギ貯蔵につながること
が確立されるのである。このことはすなわち、ロータリ
ーポンプを有するポンプスタンドの始動に際してラジア
ルバラストポンプと連合して真空化することを可能にす
る。 そこで第二段目のポンプ、または第三段目以降の
ポンプは、本発明によれば、ロータリーポンプとして実
施される。何故なら、比較のため第二段として実施され
るラジアルバラストポンプであれば１０００ミリバール
から６００ミリバールの間の吸引開始圧力で作動しなけ
ればならず、そのため、常にラジアルバラストポンプに
とってエネルギ的に不利な作動領域にあるからである。
本発明によるポンプスタンドにおいて有利なことはま
た、目下商取引において求め得る真空ポンプで９０，０
００ｍ3／ｈ 以上の最大吸引能率に到達すること、及び
製造コストは比較し得るポンプスタンドよりも小さいこ
とである。第一及び第二真空ポンプが並列でなく専ら直
列に作動するように接続された時は、体積流の制御は強
制的に行うことができるが、その上制御部分がモータで
運転されなければならないことはなく、そのため、本発
明の有利な改良によって出口配管における制御部分は真
空ポンプの出口の方へ開く逆止弁として、そして真空配
管における制御部分は第二段ポンプの入口の方へ開く逆
止弁として形成されれば、制御配管の連結は不要であ
る。第一真空ポンプに接続される調整可能な絞りにおい
ては通例の回転式調整器で行うのが肝要である。しかし
ながら、絞り弁は、閉じるためにそれが配置される配管
と同時に取り付けられる。そのため、本発明の今一つの
改良により第一真空ポンプに接続される調整可能な絞り
弁がモータで駆動され、そして閉鎖状態で運転可能な弁
である時、搬送に際してラジアルバラストポンプを有す
るポンプ列の真空化が付加的遮断手段の配置なしに可能
である。そのような弁は慣性に乏しい調整が可能なよう
に大きな横断面を迅速に変化させることを可能にする。
搬送に際して、そして空転の間、第二真空ポンプがその
出口側と入口側を互いに結びつけ、モータで駆動可能な
遮断弁を備えたバイパスを有する時、第二段ポンプを構
成するロータリーポンプが特に損失少なく継続作動す
る。排気すべきタンクにおける完全吸引の開始に際して
常圧が支配している時は、ポンプの排気開始に必要なガ
ス体積をできるだけ迅速に排気することができるため、
両真空ポンプが並列に向かい合って作動することが有利
である。それは、第一真空ポンプの出口を第二真空ポン
プの入口とつなぐ真空配管により、第一真空ポンプの吸
引開始配管のための１個の吸引管が流れに従って絞り弁
の前まで導かれ、そして制御部分がモータで制御される
ことによって、単純な方法で達成される。
【０００４】
【発明の実施の形態】本発明は多くの実施形態を許容す
る。その原理をさらに明らかにするために、それに関す
る一つの実施例を概念的に図面で示し、以下に説明す
る。これは本発明によるポンプスタンドの一接続図を示
す。図はポンプで空にすべきタンク１を概念的に示して
おり、そこから吸入開始配管２が第一真空ポンプ４の入
口３に導かれている。この第一真空ポンプ４は本発明に
よればラジアルバラストポンプ（ターボ圧縮機）として
構成されている。これに、タンク１内において６００ミ
リバールから１０００ミリバールまでの間の吸引開始圧
力により経済的に作動するのを可能にするために、吸引
開始配管２において１個の調整可能な絞り弁５を接続し
ている。これは、示されてはいないが専門家にとっては
通例の方法で、２個の圧力センサ２０，２１の助けによ
り、第一真空ポンプ４の入口３において、タンク１にお
ける圧力がより高い間は、常に６００ミリバールを超え
ない吸引開始圧力が支配するように調整される。第一真
空ポンプ４は１個の出口６を有しており、そこから１個
の出口配管７が脈動緩衝器８へ、そしてそれと同時に音
響緩衝器９を経由して真空ポンプスタンドの出口１０へ
導かれる。出口配管７はそれと平行に配置される真空配
管１２と分岐点１１において接続しており、真空配管１
２は同様に脈動緩衝器８に導かれ、また真空配管１２に
おいて第二真空ポンプが接続されている。第二段ポンプ
を形成するこの第二真空ポンプ１３に対しては、本発明
においてはロータリーポンプ（ルーツポンプ）または水
リングポンプであることが肝要である。図から分かるよ
うに第一真空ポンプ４の出口６から出た後、分岐点１１
の後方で出口配管７及び真空配管１２においてそれぞれ
制御部分１４及び１５が配置され、そこにおいて両方と
も逆止弁が設けられることが肝要である。その際、制御
部分１４の逆止弁は第二真空ポンプ１３の方へ開き、ま
た、制御部分１５の逆止弁は脈動緩衝器８の方に開く。
第二真空ポンプ１３は遮断弁１７を備えたバイパス１６
を付属している。このバイパス１６はその出口を真空配
管１２と接続するように配置され、それ故、真空ポンプ
１３が短絡され、そのため大気圧下での空転時に小さい
エネルギ必要量で作動することができるようになる。真
空配管は、第二真空ポンプ１３での搬送に際して、閉じ
た絞り弁５によって第一真空ポンプ４とこれに接続する
配管を真空にすることを許容する。これにより、ラジア
ルバラストポンプとして構成される真空ポンプ４は空転
時に吸引能力及び差圧なく低圧において最小のエネルギ
消費量で運転されることができる。真空配管１２からは
一点鎖線で図示された吸引配管１８が絞り弁５の前方の
吸引開始配管２に導かれている。この吸引配管１８にお
いては第二真空ポンプ１３の方へ開く逆止弁１９が接続
されている。このような吸引配管１８は、第一及び第二
真空ポンプの並列運転を可能にし、そのことは、完全吸
引フェーズの始めにタンク１から大体積が吸引し尽くさ
れなければならない時、特にタンク内に常圧が支配して
いる時に、有利である。このような並列運転の前提は、
制御部分１４がモータで運転可能であること、したがっ
てそれがその結果として第二真空ポンプ１３により生み
出される低圧により自分で開くこと、つまりその時第二
真空ポンプ１３は第一真空ポンプ４の両側において吸引
開始されることである。ここにおいてタンク１の完全吸
引の開始のためにすでに比較的小さい圧力例えば７００
ミリバールの圧力が支配している時は、ポンプスタンド
の単純化のためにこの吸引配管１８について放棄するこ
とができる。タンク１の完全吸引の開始のために第一真
空ポンプ４と第二真空ポンプ１３が互いに並列に作動す
る。そのため、吸引開始配管２と吸引配管１８を経由し
たガスは脈動緩衝器８を経由して出口１０に搬送され
る。第一真空ポンプ４から搬送されたガス量が第二真空
ポンプ１３により可能な搬送量よりも小さい時は、第二
真空ポンプ１３は真空配管１２を経由して第一真空ポン
プ１３の出口側６に合流する体積流を吸引し尽くす。
る。その原理をさらに明らかにするために、それに関す
る一つの実施例を概念的に図面で示し、以下に説明す
る。これは本発明によるポンプスタンドの一接続図を示
す。図はポンプで空にすべきタンク１を概念的に示して
おり、そこから吸入開始配管２が第一真空ポンプ４の入
口３に導かれている。この第一真空ポンプ４は本発明に
よればラジアルバラストポンプ（ターボ圧縮機）として
構成されている。これに、タンク１内において６００ミ
リバールから１０００ミリバールまでの間の吸引開始圧
力により経済的に作動するのを可能にするために、吸引
開始配管２において１個の調整可能な絞り弁５を接続し
ている。これは、示されてはいないが専門家にとっては
通例の方法で、２個の圧力センサ２０，２１の助けによ
り、第一真空ポンプ４の入口３において、タンク１にお
ける圧力がより高い間は、常に６００ミリバールを超え
ない吸引開始圧力が支配するように調整される。第一真
空ポンプ４は１個の出口６を有しており、そこから１個
の出口配管７が脈動緩衝器８へ、そしてそれと同時に音
響緩衝器９を経由して真空ポンプスタンドの出口１０へ
導かれる。出口配管７はそれと平行に配置される真空配
管１２と分岐点１１において接続しており、真空配管１
２は同様に脈動緩衝器８に導かれ、また真空配管１２に
おいて第二真空ポンプが接続されている。第二段ポンプ
を形成するこの第二真空ポンプ１３に対しては、本発明
においてはロータリーポンプ（ルーツポンプ）または水
リングポンプであることが肝要である。図から分かるよ
うに第一真空ポンプ４の出口６から出た後、分岐点１１
の後方で出口配管７及び真空配管１２においてそれぞれ
制御部分１４及び１５が配置され、そこにおいて両方と
も逆止弁が設けられることが肝要である。その際、制御
部分１４の逆止弁は第二真空ポンプ１３の方へ開き、ま
た、制御部分１５の逆止弁は脈動緩衝器８の方に開く。
第二真空ポンプ１３は遮断弁１７を備えたバイパス１６
を付属している。このバイパス１６はその出口を真空配
管１２と接続するように配置され、それ故、真空ポンプ
１３が短絡され、そのため大気圧下での空転時に小さい
エネルギ必要量で作動することができるようになる。真
空配管は、第二真空ポンプ１３での搬送に際して、閉じ
た絞り弁５によって第一真空ポンプ４とこれに接続する
配管を真空にすることを許容する。これにより、ラジア
ルバラストポンプとして構成される真空ポンプ４は空転
時に吸引能力及び差圧なく低圧において最小のエネルギ
消費量で運転されることができる。真空配管１２からは
一点鎖線で図示された吸引配管１８が絞り弁５の前方の
吸引開始配管２に導かれている。この吸引配管１８にお
いては第二真空ポンプ１３の方へ開く逆止弁１９が接続
されている。このような吸引配管１８は、第一及び第二
真空ポンプの並列運転を可能にし、そのことは、完全吸
引フェーズの始めにタンク１から大体積が吸引し尽くさ
れなければならない時、特にタンク内に常圧が支配して
いる時に、有利である。このような並列運転の前提は、
制御部分１４がモータで運転可能であること、したがっ
てそれがその結果として第二真空ポンプ１３により生み
出される低圧により自分で開くこと、つまりその時第二
真空ポンプ１３は第一真空ポンプ４の両側において吸引
開始されることである。ここにおいてタンク１の完全吸
引の開始のためにすでに比較的小さい圧力例えば７００
ミリバールの圧力が支配している時は、ポンプスタンド
の単純化のためにこの吸引配管１８について放棄するこ
とができる。タンク１の完全吸引の開始のために第一真
空ポンプ４と第二真空ポンプ１３が互いに並列に作動す
る。そのため、吸引開始配管２と吸引配管１８を経由し
たガスは脈動緩衝器８を経由して出口１０に搬送され
る。第一真空ポンプ４から搬送されたガス量が第二真空
ポンプ１３により可能な搬送量よりも小さい時は、第二
真空ポンプ１３は真空配管１２を経由して第一真空ポン
プ１３の出口側６に合流する体積流を吸引し尽くす。
【図１】本発明によるポンプスタンドの回路図である。
１ タンク ２ 吸引開始配管 ３ 入口 ４ 第一真空ポンプ ５ 調整可能な絞り弁 ６ 出口 ７ 出口配管 ８ 脈動緩衝器 ９ 音響緩衝器 １０ 出口 １１ 分岐点 １２ 真空配管 １３ 第二真空ポンプ １４ 制御部分 １５ 制御部分 １６ バイパス １７ 遮断弁 １８ 吸引配管 １９ 逆止弁 ２０ 圧力センサ ２１ 圧力センサ
Claims (5)
- 【請求項１】 前後に配置され、第一段及び第二段ポン
プを構成するタンクの排気用の第一及び第二真空ポンプ
を有し、 タンクを周期的に排気して、タンクの中を運転真空に保
持する真空ポンプスタンドにおいて、 第一真空ポンプ（４）が、その吸引開始配管（２）に調
整可能な絞り弁（５）が接続されたラジアルバラストポ
ンプから成り、また、第二真空ポンプ（１３）が、ロー
タリーポンプまたは水リングポンプから成ること、 第二真空ポンプ（１３）を、真空配管（１２）に、第一
真空ポンプ（４）の出口配管（７）と平行に接続し、か
つ、分岐点（１１）の入口で出口配管（７）に連結する
こと、 そして分岐点（１１）の下流の真空配管（１２）及び出
口配管（７）に、それぞれ、直接第一真空ポンプ（４）
からの低真空により、また、第一真空ポンプ（４）から
第二真空ポンプ（１３）を経由して真空ポンプスタンド
の出口（１０）へ行く高真空により、搬送体積を制御す
るための制御部分（１４，１５）を配置したことを特徴
とする真空ポンプスタンド。 - 【請求項２】 制御部分（１５）を出口配管（７）にお
いて真空ポンプスタンドの出口（１０）の方に開く逆止
弁として、かつ制御部分（１４）を真空配管（１２）に
おいて第二段ポンプ（１３）の入口の方へ開く逆止弁と
して形成したことを特徴とする請求項１に記載の真空ポ
ンプスタンド。 - 【請求項３】 第一真空ポンプ（４）の上流に接続され
た調整可能な絞り弁（５）が閉鎖状態にまでモータで駆
動可能な弁であることを特徴とする請求項１または２に
記載されている真空ポンプスタンド。 - 【請求項４】 第二真空ポンプ（１３）の出口側と入口
側を互いに連結するバイパス（１６）を備え、前記バイ
パス（１６）がモータ駆動可能な遮断弁（１７）を有す
ることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の
真空ポンプスタンド。 - 【請求項５】 第一真空ポンプ（４）の出口と第二真空
ポンプ（１３）の入口とを連結した真空配管（１２）か
ら、第一真空ポンプ（４）の吸引開始配管（２）への吸
引配管（１８）を導き、絞り弁（５）の上流の流れを調
整し、 かつ、制御部分（１４）をモータで制御することを特徴
とする請求項１〜４の何れか一項に記載の真空ポンプス
タンド。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19500823:5 | 1995-01-13 | ||
| DE19500823A DE19500823A1 (de) | 1995-01-13 | 1995-01-13 | Vakuum-Pumpstand |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08232870A true JPH08232870A (ja) | 1996-09-10 |
Family
ID=7751409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7338624A Pending JPH08232870A (ja) | 1995-01-13 | 1995-12-26 | 真空ポンプスタンド |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5595477A (ja) |
| EP (1) | EP0723080B1 (ja) |
| JP (1) | JPH08232870A (ja) |
| AT (1) | ATE184963T1 (ja) |
| DE (2) | DE19500823A1 (ja) |
| ES (1) | ES2136232T3 (ja) |
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- 1995-10-18 ES ES95116395T patent/ES2136232T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1995-10-18 EP EP95116395A patent/EP0723080B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-10-18 AT AT95116395T patent/ATE184963T1/de not_active IP Right Cessation
- 1995-10-18 DE DE59506893T patent/DE59506893D1/de not_active Expired - Fee Related
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| DE19500823A1 (de) | 1996-07-18 |
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