CN101982658B - 小型/微型超高真空装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种小型/微型超高真空装置。该装置的机械干泵与三通管的一个端口相连，该三通管的另外两端口分别与第一分子泵和第二分子泵相连，第一分子泵经气阀A与第一四通管的第一端口相连，外接管经手动阀F与第一四通管的第二端口相连，第三端口经气阀B与离子泵相连，第四端口经气阀C与第二四通管的第二端口相连，第二四通管的第一端口经气阀D与第二分子气泵相连，第三端口经气阀E与杂质吸收器相连，第四端口经手动阀G与外接管相连，在构件与构件间的连接管道外表面有电加热带，上述构件与构件，构件与连接管道之间均采用金属接口相连。本装置能获得极高真空，且结构简单，成本低，对于向民用工业实现小型超高真空系统具有重要意义。

Description

小型/微型超高真空装置
技术领域：
本发明属于仪器与仪表技术领域中的分析与测量控制技术，具体涉及一种小体积(＜1000CC)无焊连接装置的超高真空实现装置。
背景技术：
大型、超大型真空系统的极限真空可以通过大抽速的真空机组加以实现，比如，兰州重离子冷却储存环主环实现了周长161米、内表面积160平方米、容积7200升的大型超高真空系统中获得了10E-10帕的极高真空。而目前现有技术中很少出现小型/微型超高真空系统(容积＜1000CC)，这主要由于小型/微型超高真空系统(容积＜1000CC)的实现需要考虑系统漏率与分子流导的影响，并且性能价格比也是考虑的重要因素。
发明内容：
本发明的目的是提供一种极限真空达到10E-10Torr的小型/微型超高真空装置。
本发明是通过以下技术方案予以实施的：
本发明的小型/微型超高真空装置，其特征在于，包括构件：机械干泵、第一分子泵、第二分子泵、离子泵、杂质吸收器，第一四通管、第二四通管和三通管，通过连接管道：所述的机械干泵与三通管的一个端口相连，该三通管的另外两个端口分别与第一分子泵和第二分子泵相连，第一分子泵经气阀A与第一四通管的第一端口相连，第一外接管经手动阀F与第一四通管的第二端口相连，第三端口经气阀B与离子泵相连，第四端口经气阀C与第二四通管的第二端口相连，第二四通管的第一端口经气阀D与第二分子泵相连，第三端口经气阀E与杂质吸收器相连，第四端口经手动阀G与第二外接管相连，上述构件与构件之间的连接管道外表面均装有电加热带，上述构件与连接管道之间的连接方式均采用金属接口相连。
所述的构件与构件之间的连接管道优选为VCR管道。
所述的杂质吸收器优选为锆铝吸气泵，进一步优选为在一“T”管内装有NP10作为吸收剂的锆铝吸气泵。
本发明的装置是这样运行的，启动真空机组，对管路进行抽真空，按照机械干泵-分子泵-离子泵-吸气泵顺序开启；抽取设定时间段真空之后，启动烘烤装置-电加热带，进行管路200℃左右烘烤，烘烤设定时间段后，继续抽取真空；重复上述步骤，直至达到指定真空度检测点的电离真空规读数达到指定极限真空水平；维持真空一段时间，保持吸气泵工作状态所需要的去气。
本发明的小型/微型超高真空装置，真空系统体积小，全部采用无焊连接，构件与构件，构件与连接管道之间的连接方式均采用金属接口相连，可降低整个系统的漏率，有利于超高真空的产生和恢复；真空机组采取机械干泵+涡轮分子泵+溅射离子泵，辅助以锆铝吸气泵组成，再通过电加热带加热烘烤管道系统，可获得10E-10Torr的极高真空。该套装置结构简单，成本低，对于向民用工业企业实现小型超高真空系统具有重要意义。
附图说明：
图1是本发明的结构示意图；
具体实施方式：
以下是对本发明的进一步说明，而不是对本发明的限制。
实施例1：
如图1所示，本实施例的小型/微型超高真空装置，包括构件：机械干泵1、第一分子泵2、第二分子泵3、离子泵4、杂质吸收器5，第一VCR四通管11、第二VCR四通管12和VCR三通管21，所述的机械干泵1通过连接管道与三通管21的一个端口相连，该三通管21的另外两个端口通过连接管道分别与第一分子泵2和第二分子泵3相连，第一分子泵2通过连接管道经气阀A与第一四通管11的第一端口111相连，第一外接管6通过连接管道经手动阀F与第一四通管11的第二端口112相连，第三端口113通过连接管道经气阀B与离子泵4相连，第四端口114通过连接管道经气阀C与第二四通管12的第二端口122相连，第二四通管12的第一端口121通过连接管道经气阀D与第二分子泵3相连，第三端口123通过连接管道经气阀E与杂质吸收器5相连，第四端口124通过连接管道经手动阀G与第二外接管7相连，上述构件与构件之间的连接管道外表面均装有电加热带，上述构件与连接管道之间的连接方式均采用金属接口相连，上述连接管道均为VCR管，所述的机械干泵、第一分子泵、第二分子泵和离子泵均为美国Varian公司生产的，所述的杂质吸收器为意大利SAES公司的NEG锆铝吸气泵。
本实施例的第一外接管6和第二外接管7都可以作为进气口或者排气口。
本实施例是这样运行的，启动真空机组，对管路进行抽真空，按照机械干泵-分子泵-离子泵-吸气泵顺序开启；抽取设定时间段真空之后，启动烘烤装置-电加热带，进行管路200℃左右烘烤，烘烤设定时间段后，继续抽取真空；上述步骤，直至达到指定真空度检测点的电离真空规读数达到指定极限真空水平；维持真空一段时间，保持吸气泵工作状态所需要的去气。
本实施例的小型/微型超高真空装置可获得10E-10Torr的极高真空。

Claims (4)

1.一种小型/微型超高真空装置，其特征在于，包括构件：机械干泵(1)、第一分子泵(2)、第二分子泵(3)、离子泵(4)、杂质吸收器(5)，第一四通管(11)、第二四通管(12)和三通管(21)，通过连接管道：所述的机械干泵(1)与三通管(21)的一个端口相连，该三通管(21)的另外两个端口分别与第一分子泵(2)和第二分子泵(3)相连，第一分子泵(2)经气阀A与第一四通管(11)的第一端口相连，第一外接管(6)经手动阀F与第一四通管(11)的第二端口相连，第三端口经气阀B与离子泵(4)相连，第四端口经气阀C与第二四通管(12)的第二端口相连，第二四通管的第一端口经气阀D与第二分子泵(3)相连，第三端口经气阀E与杂质吸收器(5)相连，第四端口经手动阀G与第二外接管(7)相连，上述构件与构件之间的连接管道外表面均装有电加热带，上述构件与连接管道之间的连接方式均采用金属接口相连。
2.根据权利要求1所述的小型/微型超高真空装置，其特征在于，所述的构件与构件之间的连接管道为VCR管道。
3.根据权利要求1或2所述的小型/微型超高真空装置，其特征在于，所述的杂质吸收器为锆铝吸气泵。
4.根据权利要求3所述的小型/微型超高真空装置，其特征在于，所述的锆铝吸气泵为在一“T”管内装有NP10作为吸收剂的锆铝吸气泵。
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