JP2510903Y2 - スクリュ式真空ポンプ用消音器 - Google Patents
スクリュ式真空ポンプ用消音器Info
- Publication number
- JP2510903Y2 JP2510903Y2 JP1989033327U JP3332789U JP2510903Y2 JP 2510903 Y2 JP2510903 Y2 JP 2510903Y2 JP 1989033327 U JP1989033327 U JP 1989033327U JP 3332789 U JP3332789 U JP 3332789U JP 2510903 Y2 JP2510903 Y2 JP 2510903Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- vacuum pump
- screw type
- type vacuum
- flow path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Exhaust Silencers (AREA)
- Soundproofing, Sound Blocking, And Sound Damping (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、スクリュロータを用いたスクリュ式真空ポ
ンプ、特に吐出側にアフタークーラを有するものに適用
するスクリュ式真空ポンプ用消音器に関するものであ
る。
ンプ、特に吐出側にアフタークーラを有するものに適用
するスクリュ式真空ポンプ用消音器に関するものであ
る。
（従来の技術） 従来、スクリュロータを用いたものとしてスクリュ式
圧縮機が周知である。
圧縮機が周知である。
第４図は、このスクリュ式圧縮機の使用例を示し、ス
クリュ式圧縮機21により圧力1kg/cm2（760Torr）の大気
中のガスを吸込んで、圧縮後、吐出して、高圧ガス（例
えば、8kg/cm2）をレシーバータンク22に一旦溜めて、
ここから高圧ガスを利用するようにしたものである。
クリュ式圧縮機21により圧力1kg/cm2（760Torr）の大気
中のガスを吸込んで、圧縮後、吐出して、高圧ガス（例
えば、8kg/cm2）をレシーバータンク22に一旦溜めて、
ここから高圧ガスを利用するようにしたものである。
これに対して、基本的にはスクリュ式圧縮機の構造を
利用したものとして、スクリュ式真空ポンプがある。
利用したものとして、スクリュ式真空ポンプがある。
第５図は、このスクリュ式真空ポンプの使用例を示
し、スクリュ式真空ポンプ23により真空タンク24内のガ
スを吸引して、これを圧力1kg/cm2の大気中に放出し、
真空タンク24内の真空状態を利用するようにしたもので
ある。
し、スクリュ式真空ポンプ23により真空タンク24内のガ
スを吸引して、これを圧力1kg/cm2の大気中に放出し、
真空タンク24内の真空状態を利用するようにしたもので
ある。
（考案が解決しようとする課題） 上記スクリュ式圧縮機21の場合、スクリュ式圧縮機21
の出口よりレシーバータンク22までは配管され、接続さ
れているため、配管外へガス吐出による音の発生は問題
とはならない。
の出口よりレシーバータンク22までは配管され、接続さ
れているため、配管外へガス吐出による音の発生は問題
とはならない。
これに対して、スクリュ式真空ポンプ23の場合には、
考案者が種々調査、研究した結果、以下に説明する特有
の状況になることが判明した。
考案者が種々調査、研究した結果、以下に説明する特有
の状況になることが判明した。
即ち、この場合には、真空タンク24内の圧力は一定で
はなく、当初大気圧で、真空ポンプ23により内部のガス
を吸引するにつれて真空域にまで低下してゆく。したが
って、真空ポンプ23の吸込圧も同様に大気圧から真空域
にまで低下してゆく一方、スクリュ式真空ポンプ23につ
いては形状により決まる一定の内部圧縮比（πi）が存
在し、吸込圧をPS、真空ポンプ23内のガス吐出直前出力
（スクリュロータの歯溝部に閉じ込めたガスを圧縮した
後、吐出口に吐出する直前のガス圧をいう。）をPBとす
るとPB＝PS・πiとなる。上述のように、吸込圧PSは変
化し、例えば50Torrになると内部圧縮比πi＝３の場合
には、ガス吐出直前圧力PBは150Torrとなる。
はなく、当初大気圧で、真空ポンプ23により内部のガス
を吸引するにつれて真空域にまで低下してゆく。したが
って、真空ポンプ23の吸込圧も同様に大気圧から真空域
にまで低下してゆく一方、スクリュ式真空ポンプ23につ
いては形状により決まる一定の内部圧縮比（πi）が存
在し、吸込圧をPS、真空ポンプ23内のガス吐出直前出力
（スクリュロータの歯溝部に閉じ込めたガスを圧縮した
後、吐出口に吐出する直前のガス圧をいう。）をPBとす
るとPB＝PS・πiとなる。上述のように、吸込圧PSは変
化し、例えば50Torrになると内部圧縮比πi＝３の場合
には、ガス吐出直前圧力PBは150Torrとなる。
そして、このガス吐出直前の歯溝部が、この状態に続
いて、吐出口に続く吐出ポートに開口して、ガスを大気
中に吐出しようとすると同時に、760Torrの大気が150To
rrの歯溝部に一挙に逆流して、この歯溝部は760Torrに
なる。この急激な圧力変動時、このガス吐出部分で大き
な高周波の騒音が発生する。即ち、スクリュ式真空ポン
プ23のガス放出音は非常に大きなものとなっている。
いて、吐出口に続く吐出ポートに開口して、ガスを大気
中に吐出しようとすると同時に、760Torrの大気が150To
rrの歯溝部に一挙に逆流して、この歯溝部は760Torrに
なる。この急激な圧力変動時、このガス吐出部分で大き
な高周波の騒音が発生する。即ち、スクリュ式真空ポン
プ23のガス放出音は非常に大きなものとなっている。
このような現象は、スクリュ式真空ポンプ特有のもの
である。
である。
このため、これまで、この騒音を低減させるのに効果
的な消音器がないという問題があった。
的な消音器がないという問題があった。
本考案は、上記従来の問題点を課題としてなされたも
ので、騒音を低減させることを可能としたスクリュ式真
空ポンプ用消音器を提供しようとするものである。
ので、騒音を低減させることを可能としたスクリュ式真
空ポンプ用消音器を提供しようとするものである。
（課題を解決するための手段） 上記課題を解決するために、本考案は、ガス入口とガ
ス出口とを有し、内部に上記ガス入口および出口に通じ
るう余曲折したガス流路を有するケーシングと、上記ガ
ス流路の内壁面に貼り付けた吸音材と、上記ガス流路が
下向きから上向きに変わるＵターン部の底部、およびこ
のＵターン同志の間の仕切り壁の下部に設けた貫通孔
と、流路開閉手段である開閉弁を介在させるとともに、
上記ガス流路が下向きから上向きに変わるＵターン部の
底部に設けた上記貫通孔に接続した凝縮水排出管とから
形成した。
ス出口とを有し、内部に上記ガス入口および出口に通じ
るう余曲折したガス流路を有するケーシングと、上記ガ
ス流路の内壁面に貼り付けた吸音材と、上記ガス流路が
下向きから上向きに変わるＵターン部の底部、およびこ
のＵターン同志の間の仕切り壁の下部に設けた貫通孔
と、流路開閉手段である開閉弁を介在させるとともに、
上記ガス流路が下向きから上向きに変わるＵターン部の
底部に設けた上記貫通孔に接続した凝縮水排出管とから
形成した。
（作用） 上記のように形成することにより、高周波騒音を効率
良く吸収するとともに、ガス放出時、ガス圧力上昇に際
して発生するドレン水も排出されるようになる。
良く吸収するとともに、ガス放出時、ガス圧力上昇に際
して発生するドレン水も排出されるようになる。
（実施例） 次に、本考案の一実施例を図面にしたがって説明す
る。
る。
第１図，第２図は、本考案に係る消音器１を示し、ガ
ス入口２とガス出口３とを備えたケーシング４内には、
上端部または下端部に開口部５を形成する仕切り壁６を
設けてこのガス入口２およびガス出口３に通じるう余曲
折したガス流路７が形成してある。
ス入口２とガス出口３とを備えたケーシング４内には、
上端部または下端部に開口部５を形成する仕切り壁６を
設けてこのガス入口２およびガス出口３に通じるう余曲
折したガス流路７が形成してある。
また、ガス流路７の内壁面には例えばウレタン，グラ
スウール等からなる吸音材８が貼り付けてある。
スウール等からなる吸音材８が貼り付けてある。
さらに、ガス流路７が下向きから上向きに変わるＵタ
ーン部の底部、およびこのＵターン部同志の間の仕切り
壁６の下部に貫通孔9a,9bを設けるとともに貫通孔9bの
方には開閉弁10を設けて、真空ポンプから吐出されて、
圧力上昇とともに温度低下したガスから生じる凝縮水を
排出できるように形成してある。
ーン部の底部、およびこのＵターン部同志の間の仕切り
壁６の下部に貫通孔9a,9bを設けるとともに貫通孔9bの
方には開閉弁10を設けて、真空ポンプから吐出されて、
圧力上昇とともに温度低下したガスから生じる凝縮水を
排出できるように形成してある。
第３図は上記消音器１を適用した真空装置の一例を示
し、増速機11を介してモータ12により回転駆動されるス
クリュ式真空ポンプ13の吸込側に中間部に吸込フィルタ
14を介在させた吸込管15を吐出側にアフタークーラ16お
よびこの先に消音器１を介在させた吐出管17が接続して
ある。
し、増速機11を介してモータ12により回転駆動されるス
クリュ式真空ポンプ13の吸込側に中間部に吸込フィルタ
14を介在させた吸込管15を吐出側にアフタークーラ16お
よびこの先に消音器１を介在させた吐出管17が接続して
ある。
そして、例えば図示しない真空タンクに吸込管15を接
続して、ここから真空ポンプ13によりガスを吸込んで、
吐出管17に吐出し、加熱、昇圧されたこのガスをアフタ
ークーラ16で冷却後、消音器１で吸音して、大気中に放
出するようになっている。
続して、ここから真空ポンプ13によりガスを吸込んで、
吐出管17に吐出し、加熱、昇圧されたこのガスをアフタ
ークーラ16で冷却後、消音器１で吸音して、大気中に放
出するようになっている。
スクリュ式真空ポンプの雄ロータの回転速度ｎは15,0
00〜25,000rpmと非常に高速であり、雄ロータ１回転当
たり、雄ロータの歯数分だけ吐出口側で圧力変動があり
非常に高い周波数の音（例えば、ｎ＝25,000rpm,雄ロー
タ歯５枚の場合2083HZ）が発生するが、消音器１により
少なくとも約20dBの減音が達成できることが実験で確認
されている。
00〜25,000rpmと非常に高速であり、雄ロータ１回転当
たり、雄ロータの歯数分だけ吐出口側で圧力変動があり
非常に高い周波数の音（例えば、ｎ＝25,000rpm,雄ロー
タ歯５枚の場合2083HZ）が発生するが、消音器１により
少なくとも約20dBの減音が達成できることが実験で確認
されている。
（考案の効果） 以上の説明より明らかなように、本考案によれば、ガ
ス入口とガス出口とを有し、内部に上記ガス入口および
出口に通じるう余曲折したガス流路を有するケーシング
と、上記ガス流路の内壁面に貼り付けた吸音材と、上記
ガス流路が下向きから上向きに変わるＵターン部の底
部、およびこのＵターン同志の間の仕切り壁の下部に設
けた貫通孔と、流路開閉手段である開閉弁を介在させる
とともに、上記ガス流路が下向きから上向きに変わるＵ
ターン部の底部に設けた上記貫通孔に接続した凝縮水排
出管とから形成してある。
ス入口とガス出口とを有し、内部に上記ガス入口および
出口に通じるう余曲折したガス流路を有するケーシング
と、上記ガス流路の内壁面に貼り付けた吸音材と、上記
ガス流路が下向きから上向きに変わるＵターン部の底
部、およびこのＵターン同志の間の仕切り壁の下部に設
けた貫通孔と、流路開閉手段である開閉弁を介在させる
とともに、上記ガス流路が下向きから上向きに変わるＵ
ターン部の底部に設けた上記貫通孔に接続した凝縮水排
出管とから形成してある。
このため、スクリュ式真空ポンプ特有の高周波騒音を
大幅に弱めるとともに、吐出ガスから出るドレン水も排
出できるとう効果を奏する。
大幅に弱めるとともに、吐出ガスから出るドレン水も排
出できるとう効果を奏する。
【図面の簡単な説明】 第１図は本考案に係る消音器の断面図、第２図は第１図
のII−II線断面図、第３図は第１図に示す消音器を適用
した真空装置の全体構成図、第４図はスクリュ式圧縮機
の使用例を示す全体構成図、第５図はスクリュ式真空ポ
ンプの使用例を示す全体構成図である。 １……消音器、２……ガス入口、３……ガス出口、４…
…ケーシング、７……ガス流路、８……吸音材、9a,9b
……貫通孔。
のII−II線断面図、第３図は第１図に示す消音器を適用
した真空装置の全体構成図、第４図はスクリュ式圧縮機
の使用例を示す全体構成図、第５図はスクリュ式真空ポ
ンプの使用例を示す全体構成図である。 １……消音器、２……ガス入口、３……ガス出口、４…
…ケーシング、７……ガス流路、８……吸音材、9a,9b
……貫通孔。
Claims (1)
- 【請求項１】ガス入口とガス出口とを有し、内部に上記
ガス入口およびガス出口に通じるう余曲折したガス流路
を有するケーシングと、上記ガス流路の内壁面に貼り付
けた吸音材と、上記ガス流路が下向きから上向きに変わ
るＵターン部の底部、およびこのＵターン同志の間の仕
切り壁の下部に設けた貫通孔と、流路開閉手段である開
閉弁を介在させるとともに、上記ガス流路が下向きから
上向きに変わるＵターン部の底部に設けた上記貫通孔に
接続した凝縮水排出管とから形成したことを特徴とする
スクリュ式真空ポンプ用消音器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989033327U JP2510903Y2 (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 | スクリュ式真空ポンプ用消音器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989033327U JP2510903Y2 (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 | スクリュ式真空ポンプ用消音器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02124295U JPH02124295U (ja) | 1990-10-12 |
| JP2510903Y2 true JP2510903Y2 (ja) | 1996-09-18 |
Family
ID=31536911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989033327U Expired - Lifetime JP2510903Y2 (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 | スクリュ式真空ポンプ用消音器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2510903Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101945542B1 (ko) * | 2011-07-21 | 2019-02-07 | 파이퍼 배큠 | 다단식 건조 진공 펌프 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2704039B2 (ja) * | 1990-11-08 | 1998-01-26 | 株式会社神戸製鋼所 | スクリュ圧縮機 |
| JPH11270326A (ja) * | 1998-03-25 | 1999-10-05 | Taiko Kikai Industries Co Ltd | ドレン回収機能付き吐出サイレンサ |
| JP6725324B2 (ja) * | 2016-05-31 | 2020-07-15 | 株式会社荏原製作所 | 消音器 |
| JP7350398B2 (ja) * | 2020-05-25 | 2023-09-26 | 樫山工業株式会社 | サイレンサ付き真空排気装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61157183U (ja) * | 1985-03-23 | 1986-09-29 |
-
1989
- 1989-03-24 JP JP1989033327U patent/JP2510903Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101945542B1 (ko) * | 2011-07-21 | 2019-02-07 | 파이퍼 배큠 | 다단식 건조 진공 펌프 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02124295U (ja) | 1990-10-12 |
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