JPH08229865A - 吸着ハンド - Google Patents
吸着ハンドInfo
- Publication number
- JPH08229865A JPH08229865A JP4159895A JP4159895A JPH08229865A JP H08229865 A JPH08229865 A JP H08229865A JP 4159895 A JP4159895 A JP 4159895A JP 4159895 A JP4159895 A JP 4159895A JP H08229865 A JPH08229865 A JP H08229865A
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- Japan
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- pad
- air vent
- work
- vent hole
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワーク吸着及びその解除を長期に亘って良好
に行える吸着ハンドを提供すること。 【構成】 パッド７における内側のワーク支持突起７ｂ
をエア通気孔７ａに近接して形成してあるので、エア通
気孔７ａとワーク支持突起７ｂとの間に従来のような環
状部分Ａが存在せず、これにより該環状部分Ａの垂れ下
がりを原因として生じていた吸着解除不良の問題を確実
に解消してワーク吸着及びその解除を長期に亘って良好
に行うことができる。
に行える吸着ハンドを提供すること。 【構成】 パッド７における内側のワーク支持突起７ｂ
をエア通気孔７ａに近接して形成してあるので、エア通
気孔７ａとワーク支持突起７ｂとの間に従来のような環
状部分Ａが存在せず、これにより該環状部分Ａの垂れ下
がりを原因として生じていた吸着解除不良の問題を確実
に解消してワーク吸着及びその解除を長期に亘って良好
に行うことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、搬送機やロボット等の
把持部として用いられる吸着ハンド、特に可撓性パッド
をワークに密着させて該ワークの吸着を行う吸着ハンド
に関するものである。
把持部として用いられる吸着ハンド、特に可撓性パッド
をワークに密着させて該ワークの吸着を行う吸着ハンド
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４にはこの種従来の吸着ハンドの縦断
面図を、図５には図４におけるパッドの下面図を夫々示
してある。同図において、１はエアパイプ、２はパッド
取付板、３はパッド保持板、４はパイプ連結板、５はＯ
リング、６はパッドである。
面図を、図５には図４におけるパッドの下面図を夫々示
してある。同図において、１はエアパイプ、２はパッド
取付板、３はパッド保持板、４はパイプ連結板、５はＯ
リング、６はパッドである。
【０００３】エアパイプ１は、下端に形成された球状部
１ａをパッド取付板２の中央に形成されたテーパー孔２
ａに嵌め込まれ、該テーパー孔２ａの上部に嵌挿された
Ｏリング５と、パッド取付板２の上面に固着されたパイ
プ連結板４とによって、その抜け出しを防止されつつパ
ッド取付板２に傾動可能に且つ気密に取り付けられてい
る。
１ａをパッド取付板２の中央に形成されたテーパー孔２
ａに嵌め込まれ、該テーパー孔２ａの上部に嵌挿された
Ｏリング５と、パッド取付板２の上面に固着されたパイ
プ連結板４とによって、その抜け出しを防止されつつパ
ッド取付板２に傾動可能に且つ気密に取り付けられてい
る。
【０００４】パッド６は、合成ゴム等の可撓性材料から
円盤状に一体成形されており、中央にエア通気孔６ａ
を、下面に複数のワーク支持突起６ｂを、外周部に弾性
変形可能な可撓鍔６ｃを、その上側に取付枠６ｄを夫々
有している。
円盤状に一体成形されており、中央にエア通気孔６ａ
を、下面に複数のワーク支持突起６ｂを、外周部に弾性
変形可能な可撓鍔６ｃを、その上側に取付枠６ｄを夫々
有している。
【０００５】ワーク支持突起６ｂは、エア通気孔６ａと
同心状で２列に且つ夫々周方向に分割して形成されてお
り、図示例では周方向に４つの突起が９０度間隔で並び
且つ隣接する突起間にエア通気用の隙間が形成されてい
る。このパッド６は上面をパッド取付板２の下面に当接
し、取付枠６ｄをパッド取付板２とパッド保持板３とで
挟め込まれてパッド取付板２に固着されている。
同心状で２列に且つ夫々周方向に分割して形成されてお
り、図示例では周方向に４つの突起が９０度間隔で並び
且つ隣接する突起間にエア通気用の隙間が形成されてい
る。このパッド６は上面をパッド取付板２の下面に当接
し、取付枠６ｄをパッド取付板２とパッド保持板３とで
挟め込まれてパッド取付板２に固着されている。
【０００６】上述の吸着ハンドでは、エアパイプ１内に
負圧を作用させながら吸着ハンドをワークＷに向かって
降下させ、パッド６の可撓鍔６ｃの外周縁をワークＷに
接触させることにより、該ワークＷを可撓鍔６ｃを撓ま
せながら上方に引き込み、ワーク支持突起６ｂに当接し
た位置で吸着することができる。また、ワーク吸着状態
でエアパイプ１内に正圧を作用させることにより、ワー
クＷをパッド６から離反させることができる。
負圧を作用させながら吸着ハンドをワークＷに向かって
降下させ、パッド６の可撓鍔６ｃの外周縁をワークＷに
接触させることにより、該ワークＷを可撓鍔６ｃを撓ま
せながら上方に引き込み、ワーク支持突起６ｂに当接し
た位置で吸着することができる。また、ワーク吸着状態
でエアパイプ１内に正圧を作用させることにより、ワー
クＷをパッド６から離反させることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の吸着ハンド
では、パッド６におけるエア通気孔６ａと内側のワーク
支持突起６ｂとが離れており、エア通気孔６ａとワーク
支持突起６ｂの内径差に相当する環状部分Ａが存在する
ため、ワーク吸着時に該環状部分ＡがワークＷ側に変形
し吸着解除時にこれが自らの弾性で復帰する動作が発生
する。使用初期の段階では上記の環状部分Ａに弾性復帰
を期待できるが、ワーク吸着及びその解除を繰り返して
行うと、該環状部分Ａが垂れ下がったまま戻らなくな
り、エアパイプ１に正圧を作用させてもパッド６とワー
クＷとの間に形成された真空状態を解くことができず、
ワークＷがパッド６から離れなくなる問題点がある。
では、パッド６におけるエア通気孔６ａと内側のワーク
支持突起６ｂとが離れており、エア通気孔６ａとワーク
支持突起６ｂの内径差に相当する環状部分Ａが存在する
ため、ワーク吸着時に該環状部分ＡがワークＷ側に変形
し吸着解除時にこれが自らの弾性で復帰する動作が発生
する。使用初期の段階では上記の環状部分Ａに弾性復帰
を期待できるが、ワーク吸着及びその解除を繰り返して
行うと、該環状部分Ａが垂れ下がったまま戻らなくな
り、エアパイプ１に正圧を作用させてもパッド６とワー
クＷとの間に形成された真空状態を解くことができず、
ワークＷがパッド６から離れなくなる問題点がある。
【０００８】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、ワーク吸着及びその解除
を長期に亘って良好に行える吸着ハンドを提供すること
にある。
で、その目的とするところは、ワーク吸着及びその解除
を長期に亘って良好に行える吸着ハンドを提供すること
にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明は、エア通気孔を中央に有し、該エ
ア通気孔と同心状に且つ周方向に分割された複数のワー
ク支持突起を下面に、弾性変形可能な可撓鍔を外周部に
有する円盤状のパッドを備えた吸着ハンドにおいて、上
記パッドにおけるワーク支持突起をエア通気孔に近接し
て形成した、ことを特徴としている。
め、請求項１の発明は、エア通気孔を中央に有し、該エ
ア通気孔と同心状に且つ周方向に分割された複数のワー
ク支持突起を下面に、弾性変形可能な可撓鍔を外周部に
有する円盤状のパッドを備えた吸着ハンドにおいて、上
記パッドにおけるワーク支持突起をエア通気孔に近接し
て形成した、ことを特徴としている。
【００１０】請求項２の発明は、エア通気孔を中央に有
し、該エア通気孔と同心状に且つ周方向に分割された複
数のワーク支持突起を下面に、弾性変形可能な可撓鍔を
外周部に有する円盤状のパッドを備えた吸着ハンドにお
いて、上記パッドにおけるワーク支持突起をエア通気孔
から離して形成すると共に、エア通気孔とワーク支持突
起との間に該エア通気孔の孔縁からワーク支持突起間の
隙間に延びるスリットを形成した、ことを特徴としてい
る。
し、該エア通気孔と同心状に且つ周方向に分割された複
数のワーク支持突起を下面に、弾性変形可能な可撓鍔を
外周部に有する円盤状のパッドを備えた吸着ハンドにお
いて、上記パッドにおけるワーク支持突起をエア通気孔
から離して形成すると共に、エア通気孔とワーク支持突
起との間に該エア通気孔の孔縁からワーク支持突起間の
隙間に延びるスリットを形成した、ことを特徴としてい
る。
【００１１】
【作用】請求項１の発明では、パッドにおけるワーク支
持突起をエア通気孔に近接して形成してあるので、エア
通気孔とワーク支持突起との間に従来のような環状部分
が存在せず、これにより該環状部分の垂れ下がりを原因
として生じていた吸着解除不良の問題を解消できる。
持突起をエア通気孔に近接して形成してあるので、エア
通気孔とワーク支持突起との間に従来のような環状部分
が存在せず、これにより該環状部分の垂れ下がりを原因
として生じていた吸着解除不良の問題を解消できる。
【００１２】請求項２の発明では、パッドにおけるエア
通気孔とワーク支持突起との間に該エア通気孔の孔縁か
らワーク支持突起間の隙間に延びるスリットを形成して
あるので、スリット両側部分が垂れ下がったまま戻らな
くなった場合でも、該スリットによりエア通気孔からワ
ーク支持突起間の隙間とを結ぶエア通路を確保して、吸
着解除不良の問題を確実に解消できる。
通気孔とワーク支持突起との間に該エア通気孔の孔縁か
らワーク支持突起間の隙間に延びるスリットを形成して
あるので、スリット両側部分が垂れ下がったまま戻らな
くなった場合でも、該スリットによりエア通気孔からワ
ーク支持突起間の隙間とを結ぶエア通路を確保して、吸
着解除不良の問題を確実に解消できる。
【００１３】
【実施例】図１及び図２は本発明の一実施例を示すもの
で、図１は吸着ハンドの縦断面図、図２は図１における
パッドの下面図である。
で、図１は吸着ハンドの縦断面図、図２は図１における
パッドの下面図である。
【００１４】同図において、１はエアパイプ、２はパッ
ド取付板、３はパッド保持板、４はパイプ連結板、５は
Ｏリングであり、これら構成は図４及び図５に示した従
来のものと変わりないためここでの説明を省略する。
ド取付板、３はパッド保持板、４はパイプ連結板、５は
Ｏリングであり、これら構成は図４及び図５に示した従
来のものと変わりないためここでの説明を省略する。
【００１５】７は合成ゴム等の可撓性材料から円盤状に
一体成形されたパッドであり、中央にエア通気孔７ａ
を、下面に複数のワーク支持突起７ｂを、外周部に弾性
変形可能な可撓鍔７ｃを、その上側に取付枠７ｄを夫々
有している。
一体成形されたパッドであり、中央にエア通気孔７ａ
を、下面に複数のワーク支持突起７ｂを、外周部に弾性
変形可能な可撓鍔７ｃを、その上側に取付枠７ｄを夫々
有している。
【００１６】ワーク支持突起７ｂは、エア通気孔７ａと
同心状で２列に且つ夫々周方向に分割して形成されてお
り、図示例では周方向に４つの突起が９０度間隔で並び
且つ隣接する突起間にエア通気用の隙間が形成されてい
る。
同心状で２列に且つ夫々周方向に分割して形成されてお
り、図示例では周方向に４つの突起が９０度間隔で並び
且つ隣接する突起間にエア通気用の隙間が形成されてい
る。
【００１７】本実施例のパッド７は、図４及び図５に示
した従来のパッド６から環状部分Ａを除去したものであ
り、これによりエア通気孔７ａが拡大され、内側のワー
ク支持突起７ｂが該エア通気孔７ａに近接している。
した従来のパッド６から環状部分Ａを除去したものであ
り、これによりエア通気孔７ａが拡大され、内側のワー
ク支持突起７ｂが該エア通気孔７ａに近接している。
【００１８】上述の吸着ハンドでは、従来と同様に、エ
アパイプ１内に負圧を作用させながら吸着ハンドをワー
クＷに向かって降下させ、パッド７の可撓鍔７ｃの外周
縁をワークＷに接触させることにより、該ワークＷを可
撓鍔７ｃを撓ませながら上方に引き込み、ワーク支持突
起７ｂに当接した位置で吸着することができる。また、
ワーク吸着状態でエアパイプ１内に正圧を作用させるこ
とにより、ワークＷをパッド７から離反させることがで
きる。
アパイプ１内に負圧を作用させながら吸着ハンドをワー
クＷに向かって降下させ、パッド７の可撓鍔７ｃの外周
縁をワークＷに接触させることにより、該ワークＷを可
撓鍔７ｃを撓ませながら上方に引き込み、ワーク支持突
起７ｂに当接した位置で吸着することができる。また、
ワーク吸着状態でエアパイプ１内に正圧を作用させるこ
とにより、ワークＷをパッド７から離反させることがで
きる。
【００１９】また、パッド７における内側のワーク支持
突起７ｂをエア通気孔７ａに近接して形成してあるの
で、エア通気孔７ａとワーク支持突起７ｂとの間に従来
のような環状部分Ａが存在せず、これにより該環状部分
Ａの垂れ下がりを原因として生じていた吸着解除不良の
問題を確実に解消してワーク吸着及びその解除を長期に
亘って良好に行うことができる。
突起７ｂをエア通気孔７ａに近接して形成してあるの
で、エア通気孔７ａとワーク支持突起７ｂとの間に従来
のような環状部分Ａが存在せず、これにより該環状部分
Ａの垂れ下がりを原因として生じていた吸着解除不良の
問題を確実に解消してワーク吸着及びその解除を長期に
亘って良好に行うことができる。
【００２０】尚、先に述べたエア通気孔の内径と内側の
ワーク支持突起の内径は一致させてもよく、またエア通
気孔の径を小さいままとし該エア通気孔に近接して別途
ワーク支持突起を形成するようにしてもよい。
ワーク支持突起の内径は一致させてもよく、またエア通
気孔の径を小さいままとし該エア通気孔に近接して別途
ワーク支持突起を形成するようにしてもよい。
【００２１】図３には本発明の他の実施例としてパッド
の下面図を示してある。
の下面図を示してある。
【００２２】このパッド８は合成ゴム等の可撓性材料か
ら円盤状に一体成形されており、中央にエア通気孔８ａ
を、下面に複数のワーク支持突起８ｂを、外周部に弾性
変形可能な可撓鍔８ｃを、その上側に取付枠８ｄを夫々
有し、エア通気孔８ａと内側のワーク支持突起８ｂとの
間に該エア通気孔８ａと連通した複数のスリット８ｅを
有している。
ら円盤状に一体成形されており、中央にエア通気孔８ａ
を、下面に複数のワーク支持突起８ｂを、外周部に弾性
変形可能な可撓鍔８ｃを、その上側に取付枠８ｄを夫々
有し、エア通気孔８ａと内側のワーク支持突起８ｂとの
間に該エア通気孔８ａと連通した複数のスリット８ｅを
有している。
【００２３】ワーク支持突起８ｂは、エア通気孔８ａと
同心状で２列に且つ夫々周方向に分割して形成されてお
り、図示例では周方向に４つの突起が９０度間隔で並び
且つ隣接する突起間にエア通気用の隙間が形成されてい
る。また、スリット８ｅとしてはエア通気孔８ａの孔縁
から内側のワーク支持突起８ｂの各突起間の隙間に向か
って延びるものを、周方向に９０度間隔で形成してあ
る。
同心状で２列に且つ夫々周方向に分割して形成されてお
り、図示例では周方向に４つの突起が９０度間隔で並び
且つ隣接する突起間にエア通気用の隙間が形成されてい
る。また、スリット８ｅとしてはエア通気孔８ａの孔縁
から内側のワーク支持突起８ｂの各突起間の隙間に向か
って延びるものを、周方向に９０度間隔で形成してあ
る。
【００２４】本実施例のパッド８は、図４及び図５に示
した従来のパッド６の環状部分Ａにスリット８ｅを形成
したものである。このパッド８によれば、エア通気孔８
ａと内側のワーク支持突起８ｂとの間に該エア通気孔８
ａの孔縁からワーク支持突起間の隙間に延びるスリット
８ｅを形成してあるので、スリット８ｅで挟まれる扇状
部分が垂れ下がったまま戻らなくなった場合でも、該ス
リット８ｅによりエア通気孔８ａから内側のワーク支持
突起間の隙間とを結ぶエア通路を確保して、吸着解除不
良の問題を確実に解消しワーク吸着及びその解除を長期
に亘って良好に行うことができる。
した従来のパッド６の環状部分Ａにスリット８ｅを形成
したものである。このパッド８によれば、エア通気孔８
ａと内側のワーク支持突起８ｂとの間に該エア通気孔８
ａの孔縁からワーク支持突起間の隙間に延びるスリット
８ｅを形成してあるので、スリット８ｅで挟まれる扇状
部分が垂れ下がったまま戻らなくなった場合でも、該ス
リット８ｅによりエア通気孔８ａから内側のワーク支持
突起間の隙間とを結ぶエア通路を確保して、吸着解除不
良の問題を確実に解消しワーク吸着及びその解除を長期
に亘って良好に行うことができる。
【００２５】尚、先に述べたスリットは少なくとも１個
あれば用をなすものであり、またスリット幅は図示例の
ものよりも小さくしてもよい。
あれば用をなすものであり、またスリット幅は図示例の
ものよりも小さくしてもよい。
【００２６】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項１の発明に
よれば、パッドにおけるエア通気孔とワーク支持突起と
の間に従来のような環状部分が存在しないので、該環状
部分の垂れ下がりを原因として生じていた吸着解除不良
の問題を確実に解消してワーク吸着及びその解除を長期
に亘って良好に行うことができる。
よれば、パッドにおけるエア通気孔とワーク支持突起と
の間に従来のような環状部分が存在しないので、該環状
部分の垂れ下がりを原因として生じていた吸着解除不良
の問題を確実に解消してワーク吸着及びその解除を長期
に亘って良好に行うことができる。
【００２７】請求項２の発明によれば、パッドにおける
スリット両側部分が垂れ下がったまま戻らなくなった場
合でも、該スリットによりエア通気孔からワーク支持突
起間の隙間とを結ぶエア通路を確保して、吸着解除不良
の問題を確実に解消しワーク吸着及びその解除を長期に
亘って良好に行うことができる。
スリット両側部分が垂れ下がったまま戻らなくなった場
合でも、該スリットによりエア通気孔からワーク支持突
起間の隙間とを結ぶエア通路を確保して、吸着解除不良
の問題を確実に解消しワーク吸着及びその解除を長期に
亘って良好に行うことができる。
【図１】本発明の一実施例を示す吸着ハンドの縦断面図
【図２】図１におけるパッドの下面図
【図３】本発明の他の実施例を示すパッドの下面図
【図４】従来例を示す吸着ハンドの縦断面図
【図５】図４におけるパッドの下面図
１…エアパイプ、２…パッド取付板、３…パッド保持
板、４…パイプ連結板、５…Ｏリング、７…パッド、７
ａ…エア通気孔、７ｂ…ワーク支持突起、７ｃ…可撓
鍔、８…パッド、８ａ…エア通気孔、８ｂ…ワーク支持
突起、８ｃ…可撓鍔、８ｅ…スリット。
板、４…パイプ連結板、５…Ｏリング、７…パッド、７
ａ…エア通気孔、７ｂ…ワーク支持突起、７ｃ…可撓
鍔、８…パッド、８ａ…エア通気孔、８ｂ…ワーク支持
突起、８ｃ…可撓鍔、８ｅ…スリット。
Claims (2)
- 【請求項１】 エア通気孔を中央に有し、該エア通気孔
と同心状に且つ周方向に分割された複数のワーク支持突
起を下面に、弾性変形可能な可撓鍔を外周部に有する円
盤状のパッドを備えた吸着ハンドにおいて、 上記パッドにおけるワーク支持突起をエア通気孔に近接
して形成した、 ことを特徴とする吸着ハンド。 - 【請求項２】 エア通気孔を中央に有し、該エア通気孔
と同心状に且つ周方向に分割された複数のワーク支持突
起を下面に、弾性変形可能な可撓鍔を外周部に有する円
盤状のパッドを備えた吸着ハンドにおいて、 上記パッドにおけるワーク支持突起をエア通気孔から離
して形成すると共に、エア通気孔とワーク支持突起との
間に該エア通気孔の孔縁からワーク支持突起間の隙間に
延びるスリットを形成した、 ことを特徴とする吸着ハンド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4159895A JPH08229865A (ja) | 1995-03-01 | 1995-03-01 | 吸着ハンド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4159895A JPH08229865A (ja) | 1995-03-01 | 1995-03-01 | 吸着ハンド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08229865A true JPH08229865A (ja) | 1996-09-10 |
Family
ID=12612840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4159895A Pending JPH08229865A (ja) | 1995-03-01 | 1995-03-01 | 吸着ハンド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08229865A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002046090A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-02-12 | Smc Corp | 吸着用パッド |
| EP3608720A1 (en) * | 2018-08-08 | 2020-02-12 | SMC Corporation | Suction pad |
| JP2022074028A (ja) * | 2020-10-30 | 2022-05-17 | セメス カンパニー，リミテッド | 搬送ハンド及び基板処理装置 |
-
1995
- 1995-03-01 JP JP4159895A patent/JPH08229865A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002046090A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-02-12 | Smc Corp | 吸着用パッド |
| JP4547649B2 (ja) * | 2000-07-31 | 2010-09-22 | Ｓｍｃ株式会社 | 吸着用パッド |
| EP3608720A1 (en) * | 2018-08-08 | 2020-02-12 | SMC Corporation | Suction pad |
| JP2020023022A (ja) * | 2018-08-08 | 2020-02-13 | Smc株式会社 | 吸着パッド |
| US10836048B2 (en) | 2018-08-08 | 2020-11-17 | Smc Corporation | Suction pad |
| JP2022074028A (ja) * | 2020-10-30 | 2022-05-17 | セメス カンパニー，リミテッド | 搬送ハンド及び基板処理装置 |
| US11935779B2 (en) | 2020-10-30 | 2024-03-19 | Semes Co., Ltd. | Transfer hand and substrate processing apparatus with conductive ring and tilting vacuum pad |
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