JP2950722B2 - 吸着パッド - Google Patents
吸着パッドInfo
- Publication number
- JP2950722B2 JP2950722B2 JP5600594A JP5600594A JP2950722B2 JP 2950722 B2 JP2950722 B2 JP 2950722B2 JP 5600594 A JP5600594 A JP 5600594A JP 5600594 A JP5600594 A JP 5600594A JP 2950722 B2 JP2950722 B2 JP 2950722B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- cup
- lip
- suction pad
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワークを吸着し、例え
ばロボット等の移動手段によって他の場所に移動後、こ
のワークを離すことにより移載する吸着パッドに関し、
詳細には薄いシート状のフイルムを吸着するのに適した
吸着パッドに係るものである。
ばロボット等の移動手段によって他の場所に移動後、こ
のワークを離すことにより移載する吸着パッドに関し、
詳細には薄いシート状のフイルムを吸着するのに適した
吸着パッドに係るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、積載された板状体は種々の手
段からなる移載装置を介して移動され、その移載するワ
ークの例えば板状体を支持する手段として吸着パッドを
使用することは知られている。
段からなる移載装置を介して移動され、その移載するワ
ークの例えば板状体を支持する手段として吸着パッドを
使用することは知られている。
【０００３】例えば特開平３−２９３２３７号の公報に
は、中心部に吸引孔を有しゴムからなる吸盤本体の外側
に中間薄膜を配設し、この中間薄膜の外周縁を吸盤本体
の外周縁より外方に突出して設け、前記中間薄膜を外側
から押さえる補強盤を配設し、この補強盤の中心部を前
記吸盤本体の中心部に固着し、且つ補強盤の外周縁を中
間薄膜の外周縁よりも外方に突出して設けた吸着パッド
が開示され、また先に本出願人が提案した実公平５−４
４３７５号の公報には、外周部分に形成するリブ部を有
する縦断面皿状のゴムまたは柔軟な樹脂製カップ体と、
該カップ体に一体成形した補強部材と、該補強部材に対
応するカップ体内面に通気する部分を有するように形成
した同心円状の凸状部とからなる吸着具において、前記
リブ部と前記同心円状の凸状部にかけてのカップ体内面
で、かつ前記補強部材の外周部から前記リブ部の付根部
分の領域に同心円状の補助リブ部を設け、しかも該補助
リブ部の高さが前記同心円状の凸状部の高さより０．２
〜３ｍｍ高く、かつ前記リブ部の高さよりも低い吸着部
が開示され、また実公昭５５−１１８７８号の公報に
は、積層フイルムをその側端部付近において吸着するよ
うに取付枠に枢着したチャックと、該チャックを積層フ
イルムに吸着した状態において前記枢軸を中心に回動せ
しめ該フイルムの端部を他の積層フイルムから離隔する
ための駆動手段とからなり、前記チャック部はその下方
開口部に柔軟なシートが配され、その周辺部がシール部
材により囲繞された吸着部を具備しており、この吸着部
には複数個の真空孔がシートを貫いて設けられており、
更に真空孔にはシートの裏側に位置するように金網ある
いは織布が張設され、前記積層フイルムの端部を離隔し
た状態で取出すように構成したフイルムの自動取出し装
置が開示されている。
は、中心部に吸引孔を有しゴムからなる吸盤本体の外側
に中間薄膜を配設し、この中間薄膜の外周縁を吸盤本体
の外周縁より外方に突出して設け、前記中間薄膜を外側
から押さえる補強盤を配設し、この補強盤の中心部を前
記吸盤本体の中心部に固着し、且つ補強盤の外周縁を中
間薄膜の外周縁よりも外方に突出して設けた吸着パッド
が開示され、また先に本出願人が提案した実公平５−４
４３７５号の公報には、外周部分に形成するリブ部を有
する縦断面皿状のゴムまたは柔軟な樹脂製カップ体と、
該カップ体に一体成形した補強部材と、該補強部材に対
応するカップ体内面に通気する部分を有するように形成
した同心円状の凸状部とからなる吸着具において、前記
リブ部と前記同心円状の凸状部にかけてのカップ体内面
で、かつ前記補強部材の外周部から前記リブ部の付根部
分の領域に同心円状の補助リブ部を設け、しかも該補助
リブ部の高さが前記同心円状の凸状部の高さより０．２
〜３ｍｍ高く、かつ前記リブ部の高さよりも低い吸着部
が開示され、また実公昭５５−１１８７８号の公報に
は、積層フイルムをその側端部付近において吸着するよ
うに取付枠に枢着したチャックと、該チャックを積層フ
イルムに吸着した状態において前記枢軸を中心に回動せ
しめ該フイルムの端部を他の積層フイルムから離隔する
ための駆動手段とからなり、前記チャック部はその下方
開口部に柔軟なシートが配され、その周辺部がシール部
材により囲繞された吸着部を具備しており、この吸着部
には複数個の真空孔がシートを貫いて設けられており、
更に真空孔にはシートの裏側に位置するように金網ある
いは織布が張設され、前記積層フイルムの端部を離隔し
た状態で取出すように構成したフイルムの自動取出し装
置が開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする問題点】吸着部を吸着用の薄
膜を含む多層構造にして表面に凹凸のある製品、部品等
を吸着する特開平３−２９３２３７号の公報の吸着パッ
ドや、特定な高さの補助リブ部を特異な場所に配設し、
しなり、たわみあるいは傾き等が生じ易い板状体を安全
確実に吸着する実公平５−４４３７５号の公報の吸着パ
ッドのいずれも、吸着時に被吸着体と圧接する部分はゴ
ムあるいは樹脂から作られており、多層に積み上げられ
ているフイルム、例えば合わせガラスに使用されるポリ
ビニルブチラール膜を一枚一枚吸着して移載していく
と、可塑剤の移行、すなわち接触表面に可塑剤等が吹き
出すしみ出しが発生し、該しみ出しが直接、あるいは空
気中の塵埃が付着してフイルムに転写し、部分的に汚染
されたフイルムによる合わせガラスは製品不良としての
問題があり、積層フイルムを吸着して取り出す実公昭５
５−１１８７８号のものは、吸着孔に吸い込まれるフイ
ルムは金網によって防止され、さらにチャックのシリン
ダーによる首振りで残存フイルムの負圧対策をも設けて
あるが、フイルムと圧接する部分の柔軟なシート、その
周辺部のゴムのようなシール部材により取換えもでき
ず、前記同様に汚染個所を生ずるという問題があった。
膜を含む多層構造にして表面に凹凸のある製品、部品等
を吸着する特開平３−２９３２３７号の公報の吸着パッ
ドや、特定な高さの補助リブ部を特異な場所に配設し、
しなり、たわみあるいは傾き等が生じ易い板状体を安全
確実に吸着する実公平５−４４３７５号の公報の吸着パ
ッドのいずれも、吸着時に被吸着体と圧接する部分はゴ
ムあるいは樹脂から作られており、多層に積み上げられ
ているフイルム、例えば合わせガラスに使用されるポリ
ビニルブチラール膜を一枚一枚吸着して移載していく
と、可塑剤の移行、すなわち接触表面に可塑剤等が吹き
出すしみ出しが発生し、該しみ出しが直接、あるいは空
気中の塵埃が付着してフイルムに転写し、部分的に汚染
されたフイルムによる合わせガラスは製品不良としての
問題があり、積層フイルムを吸着して取り出す実公昭５
５−１１８７８号のものは、吸着孔に吸い込まれるフイ
ルムは金網によって防止され、さらにチャックのシリン
ダーによる首振りで残存フイルムの負圧対策をも設けて
あるが、フイルムと圧接する部分の柔軟なシート、その
周辺部のゴムのようなシール部材により取換えもでき
ず、前記同様に汚染個所を生ずるという問題があった。
【０００５】
【問題点を解決するための手段】かかる問題の解決を図
るため本発明は、平坦に積み重ねた薄いシート状フイル
ムを最上部より一枚づつ吸着取出し、移動させるための
吸着パッドであって、該吸着パッドは減圧用の吸引孔を
有する金属からなる円筒容器状のカップの内壁側に、多
数の小孔を穿設した底壁部を螺着して内部にチャンバー
を形成し、カップの側壁外周縁に、ゴムあるいは柔軟な
樹脂からなるリップをカップ部の外周縁に螺合する環体
を介して固着し、さらに、該底壁部の底面に前記小孔を
挟み連通する吸引溝を、ステンレス鋼、ニッケル、クロ
ーム、チタン、あるいはその合金材、メッキからなる当
接板を配設して形成し、該当接板を放射状にリップの付
け根まで延設し、リップ部を可塑剤等のしみ出しの少な
いウレタン樹脂、あるいはネオプレーン系ゴムとしたこ
とにより吸着されるフイルムの接触面の汚染を防止した
吸着パッドを提供する。
るため本発明は、平坦に積み重ねた薄いシート状フイル
ムを最上部より一枚づつ吸着取出し、移動させるための
吸着パッドであって、該吸着パッドは減圧用の吸引孔を
有する金属からなる円筒容器状のカップの内壁側に、多
数の小孔を穿設した底壁部を螺着して内部にチャンバー
を形成し、カップの側壁外周縁に、ゴムあるいは柔軟な
樹脂からなるリップをカップ部の外周縁に螺合する環体
を介して固着し、さらに、該底壁部の底面に前記小孔を
挟み連通する吸引溝を、ステンレス鋼、ニッケル、クロ
ーム、チタン、あるいはその合金材、メッキからなる当
接板を配設して形成し、該当接板を放射状にリップの付
け根まで延設し、リップ部を可塑剤等のしみ出しの少な
いウレタン樹脂、あるいはネオプレーン系ゴムとしたこ
とにより吸着されるフイルムの接触面の汚染を防止した
吸着パッドを提供する。
【０００６】
【作用】カップ部と底壁とにより吸引のチャンバーを大
きく、さらに放射状の細い幅の当接板をリップの付け根
まで延設することにより吸引域をより拡大して吸引力を
高め、従来のゴムや樹脂の表面に可塑剤等が吹き出るし
み出しも当接板を不銹鋼等にすることにより解消してシ
ート状のフイルムへの汚染を無くし、材質が懸念される
リップは底壁部の螺着構成により適度に取り替えて汚れ
を防止する。
きく、さらに放射状の細い幅の当接板をリップの付け根
まで延設することにより吸引域をより拡大して吸引力を
高め、従来のゴムや樹脂の表面に可塑剤等が吹き出るし
み出しも当接板を不銹鋼等にすることにより解消してシ
ート状のフイルムへの汚染を無くし、材質が懸念される
リップは底壁部の螺着構成により適度に取り替えて汚れ
を防止する。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図１は図２のＡ−Ａ視した本発明の縦断
面図を示し、図２は図１に示した吸着パッドを底面側か
らみた平面図を示し、図３は吸着パッドの取り付けを説
明する斜視図である。
細に説明する。図１は図２のＡ−Ａ視した本発明の縦断
面図を示し、図２は図１に示した吸着パッドを底面側か
らみた平面図を示し、図３は吸着パッドの取り付けを説
明する斜視図である。
【０００８】吸着パッド１は、金属からなる円筒容器状
のカップ部２と、該カップ部の外周縁に螺合する環体１
２を介して固着されるリップ部３と、該カップ部の開口
側の内壁に螺合封着してチャンバー４を形成する複数個
の小孔５、５・・・を穿設した底壁部７とからなり、各
部の詳細な構成は、まずカップ部２には天井の中心部に
図示されない開閉の電磁弁と減圧用のエジェクタとを連
設するチューブを継手を介して接続する吸引孔８と、円
筒壁に穿設して吸着パッド１の取り付け用対向一対の螺
孔９と、円筒外壁面にリング状の鍔部１０とを設ける。
つぎにカップ部２の外周縁に装着するリップ部３は、ゴ
ムあるいは柔軟な樹脂、好ましくは可塑剤等のしみ出し
の極めて少ないウレタン系樹脂からなるラッパ状のリッ
プ１１を環体１２に固着し、該環体を前記鍔部１０まで
吸引リークを防止するパッキン１３を介して押圧螺着
し、一方底壁部７はその底面に穿設する前記小孔５、５
・・を挟んで薄板の例えばステンレス鋼からなる放射状
の当接板１４をスポット溶接による溶着により一体化
し、あるいは接着剤による接着、かつ前記リップ１１の
付け根まで延設して吸引溝６、６・・を設けたものであ
る。
のカップ部２と、該カップ部の外周縁に螺合する環体１
２を介して固着されるリップ部３と、該カップ部の開口
側の内壁に螺合封着してチャンバー４を形成する複数個
の小孔５、５・・・を穿設した底壁部７とからなり、各
部の詳細な構成は、まずカップ部２には天井の中心部に
図示されない開閉の電磁弁と減圧用のエジェクタとを連
設するチューブを継手を介して接続する吸引孔８と、円
筒壁に穿設して吸着パッド１の取り付け用対向一対の螺
孔９と、円筒外壁面にリング状の鍔部１０とを設ける。
つぎにカップ部２の外周縁に装着するリップ部３は、ゴ
ムあるいは柔軟な樹脂、好ましくは可塑剤等のしみ出し
の極めて少ないウレタン系樹脂からなるラッパ状のリッ
プ１１を環体１２に固着し、該環体を前記鍔部１０まで
吸引リークを防止するパッキン１３を介して押圧螺着
し、一方底壁部７はその底面に穿設する前記小孔５、５
・・を挟んで薄板の例えばステンレス鋼からなる放射状
の当接板１４をスポット溶接による溶着により一体化
し、あるいは接着剤による接着、かつ前記リップ１１の
付け根まで延設して吸引溝６、６・・を設けたものであ
る。
【０００９】吸着パッド１の取り付けは、図３に示すよ
うにリング体１５にカップ部２を挿入し、該リング体を
カップ部に穿設する対向の螺孔９に軸着するボルト軸１
６により回動自在に取り付け、対向する該ボルト軸間の
中心で直交する位置に設けた取付孔１７、１７を図示さ
れない軸体で軸支すれば吸着パッド１は、リング体を介
して揺動自在となる。
うにリング体１５にカップ部２を挿入し、該リング体を
カップ部に穿設する対向の螺孔９に軸着するボルト軸１
６により回動自在に取り付け、対向する該ボルト軸間の
中心で直交する位置に設けた取付孔１７、１７を図示さ
れない軸体で軸支すれば吸着パッド１は、リング体を介
して揺動自在となる。
【００１０】リップ１１を除く吸着パッド１の材質は、
不銹鋼で機械加工し易く、価格の安いステンレス鋼が望
ましいがこれに限定されるものではなく、特に当接板１
４にはニッケル、クローム、チタン、あるいはその合金
材、あるいはこれらの金属からなるメッキでもよく、一
方リップ１１はゴム硬度７０°で可塑剤等のしみ出しの
少ないウレタン樹脂が望ましいが、ネオプレーン系でも
よく、特に限定するものではない。
不銹鋼で機械加工し易く、価格の安いステンレス鋼が望
ましいがこれに限定されるものではなく、特に当接板１
４にはニッケル、クローム、チタン、あるいはその合金
材、あるいはこれらの金属からなるメッキでもよく、一
方リップ１１はゴム硬度７０°で可塑剤等のしみ出しの
少ないウレタン樹脂が望ましいが、ネオプレーン系でも
よく、特に限定するものではない。
【００１１】以下、本発明の作用を説明する。リング体
１５にボルト軸１６、１６を介して支えられた吸着パッ
ド１は、取付孔１７、１７を図示されない軸材により支
持し、図示されない被吸着体のフイルムにリップ１１を
当接し当接板１４の圧接後、図示されない電磁弁とエジ
ェクタの作動によって吸引孔８よりチャンバー４内の空
気を吸引して減圧すると、該被吸着体と底壁部７との空
隙に滞在する空気は当接板１４、１４・・により形成さ
れる吸引溝６、６から小孔５、５・・を経由して吸引さ
れて被吸着体を吸着し、吸着パッド１を装着する図示さ
れない移載手段により、被吸着体を所定の場所へ移動し
て吸引を解除することを繰り返し行うが、圧接を繰り返
し行う当接板１４、１４・・は不銹鋼からなることによ
り銹の圧着転移もなく、柔軟なリップ１１とフイルムと
の接触は、可塑剤等の移行が極めて少ないウレタン系樹
脂を使用していることと、当接板１４、１４・・の押圧
力に比べてリップ１１のわずかな吸引圧接力により被吸
着体のフイルムを汚染させることなく移動処理ができ、
リップ１１から可塑剤等のしみ出しの懸念が生じた場合
には、当接板１４、１４・・と一体化した底壁部７をカ
ップ部２の内壁から取り外し、該カップ部の外壁縁に螺
着する環体１２を取り外してリップ部３を交換すればよ
く、カップ部２による容積の大きなチャンバー４の構成
と、当接板１４、１４・・を放射状にリップ１１の付け
根まで拡げたことにより従来の同心円の吸引溝に比べ吸
着性能をより高め、チャンバー４、あるいはリップ部３
を螺着方式としたことにより容易な組立となり、パッキ
ン１３あるいは螺孔９へのボルト軸１６の螺合を市販の
シールテープを使用すれば、螺合個所からのリークを防
ぎシール性能を確保して吸着の確実性をより高めことが
できる。
１５にボルト軸１６、１６を介して支えられた吸着パッ
ド１は、取付孔１７、１７を図示されない軸材により支
持し、図示されない被吸着体のフイルムにリップ１１を
当接し当接板１４の圧接後、図示されない電磁弁とエジ
ェクタの作動によって吸引孔８よりチャンバー４内の空
気を吸引して減圧すると、該被吸着体と底壁部７との空
隙に滞在する空気は当接板１４、１４・・により形成さ
れる吸引溝６、６から小孔５、５・・を経由して吸引さ
れて被吸着体を吸着し、吸着パッド１を装着する図示さ
れない移載手段により、被吸着体を所定の場所へ移動し
て吸引を解除することを繰り返し行うが、圧接を繰り返
し行う当接板１４、１４・・は不銹鋼からなることによ
り銹の圧着転移もなく、柔軟なリップ１１とフイルムと
の接触は、可塑剤等の移行が極めて少ないウレタン系樹
脂を使用していることと、当接板１４、１４・・の押圧
力に比べてリップ１１のわずかな吸引圧接力により被吸
着体のフイルムを汚染させることなく移動処理ができ、
リップ１１から可塑剤等のしみ出しの懸念が生じた場合
には、当接板１４、１４・・と一体化した底壁部７をカ
ップ部２の内壁から取り外し、該カップ部の外壁縁に螺
着する環体１２を取り外してリップ部３を交換すればよ
く、カップ部２による容積の大きなチャンバー４の構成
と、当接板１４、１４・・を放射状にリップ１１の付け
根まで拡げたことにより従来の同心円の吸引溝に比べ吸
着性能をより高め、チャンバー４、あるいはリップ部３
を螺着方式としたことにより容易な組立となり、パッキ
ン１３あるいは螺孔９へのボルト軸１６の螺合を市販の
シールテープを使用すれば、螺合個所からのリークを防
ぎシール性能を確保して吸着の確実性をより高めことが
できる。
【００１２】
【発明の効果】本発明は、容積の大きいチャンバーと、
底壁部の底面に溶着の不銹鋼からなる当接板を放射状に
リップの付け根まで延設したことにより、被吸着体のフ
イルムを汚染することなく吸引性能を高めて確実な吸着
を行い、各部材を螺着するようにした構成から製作やリ
ップの取り替えを容易に行うことができる。
底壁部の底面に溶着の不銹鋼からなる当接板を放射状に
リップの付け根まで延設したことにより、被吸着体のフ
イルムを汚染することなく吸引性能を高めて確実な吸着
を行い、各部材を螺着するようにした構成から製作やリ
ップの取り替えを容易に行うことができる。
【図１】図２のＡ−Ａ視した本発明の縦断面図を示す。
【図２】図１に示した吸着パッドを底面側からみた平面
図を示す。
図を示す。
【図３】吸着パッドの取り付けを説明する斜視図であ
る。
る。
１・・・・・・吸着パッド ２・・・・・・カップ部 ５・・・・・・小孔 ６・・・・・・吸引溝 ７・・・・・・底壁部 １１・・・・・・リップ １４・・・・・・当接板
Claims (1)
- 【請求項１】平坦に積み重ねた薄いシート状フイルムを
最上部より一枚づつ吸着取出し、移動させるための吸着
パッドであって、該吸着パッドは減圧用の吸引孔を有す
る金属からなる円筒容器状のカップの内壁側に、多数の
小孔を穿設した底壁部を螺着して内部にチャンバーを形
成し、カップの側壁外周縁に、ゴムあるいは柔軟な樹脂
からなるリップをカップ部の外周縁に螺合する環体を介
して固着し、さらに、該底壁部の底面に前記小孔を挟み
連通する吸引溝を、ステンレス鋼、ニッケル、クロー
ム、チタン、あるいはその合金材、メッキからなる当接
板を配設して形成し、該当接板を放射状にリップの付け
根まで延設し、リップ部を可塑剤等のしみ出しの少ない
ウレタン樹脂、あるいはネオプレーン系ゴムとしたこと
により吸着されるフイルムの接触面の汚染を防止したこ
とを特徴とする吸着パッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5600594A JP2950722B2 (ja) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | 吸着パッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5600594A JP2950722B2 (ja) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | 吸着パッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07267410A JPH07267410A (ja) | 1995-10-17 |
| JP2950722B2 true JP2950722B2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=13014948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5600594A Expired - Fee Related JP2950722B2 (ja) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | 吸着パッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2950722B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4468893B2 (ja) * | 2003-01-29 | 2010-05-26 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 真空吸着ヘッド |
| JP2008279544A (ja) * | 2007-05-10 | 2008-11-20 | Myotoku Ltd | 吸着パッド |
| JP2009052290A (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-12 | Nissho Kogyo Kk | 扉閉鎖装置 |
| KR100925116B1 (ko) * | 2008-05-02 | 2009-11-05 | 김우경 | 개선된 흡착부를 갖는 진공커버 |
| CN105152106B (zh) * | 2015-09-04 | 2018-03-09 | 苏州首达机械有限公司 | 薄膜片上料机构 |
| AT16158U1 (de) * | 2017-08-01 | 2019-02-15 | Dkfm Fritz Kuchler | Saugkopf |
-
1994
- 1994-03-25 JP JP5600594A patent/JP2950722B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07267410A (ja) | 1995-10-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6080050A (en) | Carrier head including a flexible membrane and a compliant backing member for a chemical mechanical polishing apparatus | |
| JP2768867B2 (ja) | 真空チャック装置 | |
| US20030164620A1 (en) | Handling device, especially vaccum handling device | |
| JP2950722B2 (ja) | 吸着パッド | |
| JP2000354960A (ja) | 基板をケミカルメカニカルポリシングするためのキャリヤヘッド | |
| JP2009529246A (ja) | 半導体ウェーハを研磨するための研磨ヘッド | |
| JP2763261B2 (ja) | 吸着パッド | |
| JPS63114870A (ja) | ウェハの真空吸着方法 | |
| JPH08310461A (ja) | 吸着装置 | |
| JP4630178B2 (ja) | ワーク用チャック装置 | |
| CN112537114B (zh) | 一种撕膜装置 | |
| JPH09174364A (ja) | 半導体ウエハのユニバーサルチャックテーブル | |
| JPH072540Y2 (ja) | 吸着具 | |
| JPH10175136A (ja) | 真空チャック | |
| JP4445318B2 (ja) | ウェハ用の吸着チャック | |
| JP2002346962A (ja) | 真空吸着装置 | |
| JPH07179286A (ja) | 紙袋吸着吊具およびその製作方法 | |
| JPH0246331B2 (ja) | ||
| CN218173883U (zh) | 一种吸盘及手提吸料装置 | |
| CN219337455U (zh) | 一种用于吸附异形工件的曲面吸盘及工件吸附设备 | |
| WO2020013013A1 (ja) | 搬送用ハンド | |
| JPH09141584A (ja) | ロボットハンド装置 | |
| JP3967220B2 (ja) | 吸着ヘッド及び移載装置 | |
| JP2568755Y2 (ja) | ワーク搬送装置 | |
| JP2721896B2 (ja) | 試料吸着装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |