JPH10175136A - 真空チャック - Google Patents
真空チャックInfo
- Publication number
- JPH10175136A JPH10175136A JP35270596A JP35270596A JPH10175136A JP H10175136 A JPH10175136 A JP H10175136A JP 35270596 A JP35270596 A JP 35270596A JP 35270596 A JP35270596 A JP 35270596A JP H10175136 A JPH10175136 A JP H10175136A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- vacuum
- groove
- recess
- rubber seal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 取扱いの簡便なものとする。
【解決手段】 基盤１の平らな上面に真空圧を付与され
る凹み部２及び、半径の異なる複数の環状溝３ａ、３
ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅを設け、この際、複数の環状溝は
前記凹み部を取り囲む概ね同心配置状に設け、さらに複
数の環状溝と交差した方向の結合溝４を設け、この結合
溝を介して凹み部と複数の環状溝とを連通させ、複数の
環状溝の任意なものに、これと適合したゴム質シールリ
ングｍ１、ｍ２、ｍ３、ｍ４、ｍ５が嵌着される構成と
なす。
る凹み部２及び、半径の異なる複数の環状溝３ａ、３
ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅを設け、この際、複数の環状溝は
前記凹み部を取り囲む概ね同心配置状に設け、さらに複
数の環状溝と交差した方向の結合溝４を設け、この結合
溝を介して凹み部と複数の環状溝とを連通させ、複数の
環状溝の任意なものに、これと適合したゴム質シールリ
ングｍ１、ｍ２、ｍ３、ｍ４、ｍ５が嵌着される構成と
なす。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、工作物を真空圧で
吸着固定させる真空チャックに関する。
吸着固定させる真空チャックに関する。
【０００２】
【従来の技術】真空チャックには、例えば図３に示すよ
うなものが存在しているのであって、その概要を説明す
ると、基盤１の平らな上面に碁盤目状の溝３を形成し、
この溝３内の適当に離れた複数個所には溝３内の空気を
吸引するための吸引孔２ａ、２ｂ、２ｃを設けたものと
なされている。
うなものが存在しているのであって、その概要を説明す
ると、基盤１の平らな上面に碁盤目状の溝３を形成し、
この溝３内の適当に離れた複数個所には溝３内の空気を
吸引するための吸引孔２ａ、２ｂ、２ｃを設けたものと
なされている。
【０００３】上記した複数の吸引孔２ａ、２ｂ、２ｃ
は、一般に、外部の真空ポンプ等の真空圧を付与される
一つの接続口８と連通される。
は、一般に、外部の真空ポンプ等の真空圧を付与される
一つの接続口８と連通される。
【０００４】このチャックを使用する際は、少なくとも
一つの吸引孔（例えば、２ａ）を取り囲むようにゴム質
シールコードｍを溝３内に嵌着し、このゴム質シールコ
ードｍで囲まれた基盤１上面領域を被うように、仮想線
で示す工作物ｗを載せ、この後、接続口８に真空圧を付
与して、吸引孔２ａから前記領域内の空気を吸引させる
ようにする。これにより、前記領域内は真空となり、工
作物ｗは強力に吸着されるものとなる。
一つの吸引孔（例えば、２ａ）を取り囲むようにゴム質
シールコードｍを溝３内に嵌着し、このゴム質シールコ
ードｍで囲まれた基盤１上面領域を被うように、仮想線
で示す工作物ｗを載せ、この後、接続口８に真空圧を付
与して、吸引孔２ａから前記領域内の空気を吸引させる
ようにする。これにより、前記領域内は真空となり、工
作物ｗは強力に吸着されるものとなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記した在来の真空チ
ャックでは、使用しない吸引孔（例えば、２ｂ、２ｃ）
は適当な手段で閉鎖して大気の吸引を阻止しなければな
らず、またゴム質シールコードｍを溝３に沿わせて直角
な折れ曲がり状に嵌着することが必要であり、その取扱
いが面倒である。
ャックでは、使用しない吸引孔（例えば、２ｂ、２ｃ）
は適当な手段で閉鎖して大気の吸引を阻止しなければな
らず、またゴム質シールコードｍを溝３に沿わせて直角
な折れ曲がり状に嵌着することが必要であり、その取扱
いが面倒である。
【０００６】また、工作物ｗに肉厚向きの貫通孔を明け
たり、工作物ｗの周囲を切削するような場合は、基盤１
を削ることのないように、格別な対策を施すことが必要
である。さらに基盤１から離れた外部の真空ポンプ等か
ら真空圧を付与することは真空領域や流動抵抗が大とな
って、真空の立ち上がりが遅くなる等の不利益がある。
たり、工作物ｗの周囲を切削するような場合は、基盤１
を削ることのないように、格別な対策を施すことが必要
である。さらに基盤１から離れた外部の真空ポンプ等か
ら真空圧を付与することは真空領域や流動抵抗が大とな
って、真空の立ち上がりが遅くなる等の不利益がある。
【０００７】本発明は、斯かる問題点を解消し得るもの
とした真空チャックを提供することを目的とする。
とした真空チャックを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、基盤の平らな上面に真空圧を付与され
る凹み部及び、半径の異なる複数の環状溝を設け、この
際、複数の環状溝は前記凹み部を取り囲む概ね同心配置
状に設け、さらに複数の環状溝と交差した方向の結合溝
を設け、この結合溝を介して凹み部と複数の環状溝とを
連通させ、複数の環状溝の任意なものに、これと適合し
たゴム質シールリングが嵌着される構成となす。
め、本発明では、基盤の平らな上面に真空圧を付与され
る凹み部及び、半径の異なる複数の環状溝を設け、この
際、複数の環状溝は前記凹み部を取り囲む概ね同心配置
状に設け、さらに複数の環状溝と交差した方向の結合溝
を設け、この結合溝を介して凹み部と複数の環状溝とを
連通させ、複数の環状溝の任意なものに、これと適合し
たゴム質シールリングが嵌着される構成となす。
【０００９】この発明に於いて、任意な一つの環状溝に
ゴム質シールリングが嵌着されると、このシールリング
の内方の基盤上面が真空となされる領域となる。従っ
て、大きな半径のゴム質シールリングは大きな吸着面を
提供し、逆に小さな半径のそれは小さな吸着面を提供す
るものとなる。
ゴム質シールリングが嵌着されると、このシールリング
の内方の基盤上面が真空となされる領域となる。従っ
て、大きな半径のゴム質シールリングは大きな吸着面を
提供し、逆に小さな半径のそれは小さな吸着面を提供す
るものとなる。
【００１０】上記発明は、基盤の上面に吸着される載置
板を有するものとなすのがよいのであり、この際、載置
板は上面にゴム質シールコードを嵌着される溝及び、ゴ
ム質シールコードで囲まれた基盤上面領域と凹み部とを
連通させるための通気路１３、１４を形成した構成とな
す。このようにすると、載置板は任意な形態の工作物に
適合した形状の吸着面を提供するほか、切削されても差
し支えない比較的安価な消耗品となり、工作物への貫通
孔の加工や工作物外周面の加工を支障なく簡便に行うこ
とを可能となす。
板を有するものとなすのがよいのであり、この際、載置
板は上面にゴム質シールコードを嵌着される溝及び、ゴ
ム質シールコードで囲まれた基盤上面領域と凹み部とを
連通させるための通気路１３、１４を形成した構成とな
す。このようにすると、載置板は任意な形態の工作物に
適合した形状の吸着面を提供するほか、切削されても差
し支えない比較的安価な消耗品となり、工作物への貫通
孔の加工や工作物外周面の加工を支障なく簡便に行うこ
とを可能となす。
【００１１】また、真空となすべき領域を小さくするた
め、前記凹み部に真空圧を付与するためのエゼクターを
基盤裏面部に内蔵させるのがよい。さらに凹み部の真空
圧を表示させるためのゲイジを、基盤の外面部に装着す
るのがよい。
め、前記凹み部に真空圧を付与するためのエゼクターを
基盤裏面部に内蔵させるのがよい。さらに凹み部の真空
圧を表示させるためのゲイジを、基盤の外面部に装着す
るのがよい。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は本発明のチャックを示す斜
視図、図２はこのチャックの基盤に載置板を載せた状態
を示す斜視図である。
視図、図２はこのチャックの基盤に載置板を載せた状態
を示す斜視図である。
【００１３】これらの図に於いて、１はアルミ合金等の
非磁性体で形成した方形状の基盤である。この基盤１は
上面を平坦面となし、裏面をその周囲を除いて大きな窪
み状となし、また左右側面に段部１ａを設けてなる。
非磁性体で形成した方形状の基盤である。この基盤１は
上面を平坦面となし、裏面をその周囲を除いて大きな窪
み状となし、また左右側面に段部１ａを設けてなる。
【００１４】２は基盤１上面の中央部に設けた比較的小
さな縦孔状の凹み部である。この凹み部２を取り囲む領
域の基盤１上面には、概ね同心配置状となされた半径の
異なる５つの環状溝３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅが設
けてある。
さな縦孔状の凹み部である。この凹み部２を取り囲む領
域の基盤１上面には、概ね同心配置状となされた半径の
異なる５つの環状溝３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅが設
けてある。
【００１５】４は各環状溝３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３
ｅに交差するように基盤１上面に設けた結合溝で、各環
状溝３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅと凹み部２とを連通
させるものである。この際、各環状溝３ａ、３ｂ、３
ｃ、３ｄ、３ｅと結合溝４は同じ深さとなし、これらの
断面形状は例えば方形とか円弧状等となす。
ｅに交差するように基盤１上面に設けた結合溝で、各環
状溝３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅと凹み部２とを連通
させるものである。この際、各環状溝３ａ、３ｂ、３
ｃ、３ｄ、３ｅと結合溝４は同じ深さとなし、これらの
断面形状は例えば方形とか円弧状等となす。
【００１６】５は基盤１裏面の窪み状個所に設けたエゼ
クターであり、これの吸引口は通気管６を介して前記凹
み部２の下端と接続させ、圧縮空気吹き込み口は基盤１
前面に固定された外部接続口ユニット７に通気管８を介
して接続させる。ここに、外部接続ユニット７は外部の
圧縮空気源と接続される接続口８や、内方の圧縮空気通
路を開閉するための空気入口弁９を具備したものとな
す。
クターであり、これの吸引口は通気管６を介して前記凹
み部２の下端と接続させ、圧縮空気吹き込み口は基盤１
前面に固定された外部接続口ユニット７に通気管８を介
して接続させる。ここに、外部接続ユニット７は外部の
圧縮空気源と接続される接続口８や、内方の圧縮空気通
路を開閉するための空気入口弁９を具備したものとな
す。
【００１７】１０は通気管６内の真空度を表示させるた
めの圧力ゲイジである。１１（図２参照）は基盤１上面
に必要に応じて載せられる載置板で、基盤１と同様にア
ルミ合金などの非磁性体で形成するのがよい。
めの圧力ゲイジである。１１（図２参照）は基盤１上面
に必要に応じて載せられる載置板で、基盤１と同様にア
ルミ合金などの非磁性体で形成するのがよい。
【００１８】この載置板１１は任意な大きさ及び形状と
なしてよいもので、上面にはこれに載せるべき工作物ｗ
に適合した任意な形状の溝１２を設け、また中央部には
前記凹み部２と連通される縦透孔１３を設け、さらにこ
の透孔１３と溝１２、１２を連通させるための結合溝１
４を設けるようになされる。
なしてよいもので、上面にはこれに載せるべき工作物ｗ
に適合した任意な形状の溝１２を設け、また中央部には
前記凹み部２と連通される縦透孔１３を設け、さらにこ
の透孔１３と溝１２、１２を連通させるための結合溝１
４を設けるようになされる。
【００１９】上記の如く構成した本発明品の使用例及び
その作用を説明すると、次の通りである。作業者は各環
状溝３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅに適合した寸法のゴ
ム質シールリングｍ１、ｍ２、ｍ３、ｍ４、ｍ５と、載
置板１１の溝１２に嵌着するためのゴム質シールコード
を用意する。この際、ゴム質シールリング３ａ、３ｂ、
３ｃ、３ｄ、３ｅは市販のＯリングパッキン等であって
もよい。
その作用を説明すると、次の通りである。作業者は各環
状溝３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅに適合した寸法のゴ
ム質シールリングｍ１、ｍ２、ｍ３、ｍ４、ｍ５と、載
置板１１の溝１２に嵌着するためのゴム質シールコード
を用意する。この際、ゴム質シールリング３ａ、３ｂ、
３ｃ、３ｄ、３ｅは市販のＯリングパッキン等であって
もよい。
【００２０】そして、基盤１は工作機械の作業テーブル
の上面に固定し、接続口８を圧縮空気源にホース等で結
合させる。
の上面に固定し、接続口８を圧縮空気源にホース等で結
合させる。
【００２１】この状態の下で、工作物の下面の大きさよ
りも少し小さな寸法のゴム質シールリング（例えば、ｍ
１）を選択してこれに合致した環状溝（例えば、３ａ）
に嵌着し、続いてこのゴム質シールリングｍ１を被うよ
うに工作物（例えば、プラスチック、セラミック、チタ
ニウム合金、非磁性ステンレス等の材料からなるもの）
を載せる。この際、環状溝３ｂ、３ｃ，３ｄ、３ｅに環
着されるゴム質シールリングｍ２、ｍ３、ｍ４、ｍ５は
結合溝４を密状に仕切り、またゴム質シールリングｍ１
は結合溝４を仕切ることなく、その内方領域を密閉空間
となす。
りも少し小さな寸法のゴム質シールリング（例えば、ｍ
１）を選択してこれに合致した環状溝（例えば、３ａ）
に嵌着し、続いてこのゴム質シールリングｍ１を被うよ
うに工作物（例えば、プラスチック、セラミック、チタ
ニウム合金、非磁性ステンレス等の材料からなるもの）
を載せる。この際、環状溝３ｂ、３ｃ，３ｄ、３ｅに環
着されるゴム質シールリングｍ２、ｍ３、ｍ４、ｍ５は
結合溝４を密状に仕切り、またゴム質シールリングｍ１
は結合溝４を仕切ることなく、その内方領域を密閉空間
となす。
【００２２】この後、空気入口弁９を開放するのであ
る。これにより、エゼクター５は圧縮空気吹き込み口に
圧縮空気を供給され、その吸引口からゴム質シールリン
グｍ１の嵌着された環状溝３ａの内方側の基盤１上面領
域の空気を凹み孔２及び通気管６を介して吸引する。こ
の吸引により、ゴム質シールリングｍ１の内方側の基盤
１上面領域は真空となって工作物の下面を吸着し、工作
物は基盤１に強力に固定された状態となる。
る。これにより、エゼクター５は圧縮空気吹き込み口に
圧縮空気を供給され、その吸引口からゴム質シールリン
グｍ１の嵌着された環状溝３ａの内方側の基盤１上面領
域の空気を凹み孔２及び通気管６を介して吸引する。こ
の吸引により、ゴム質シールリングｍ１の内方側の基盤
１上面領域は真空となって工作物の下面を吸着し、工作
物は基盤１に強力に固定された状態となる。
【００２３】この固定状態では、工作物の下面と基盤１
の上面は殆ど密着した状態となるため、特に図１に示す
ように環状溝に嵌着されたゴム質シールリングの寸法が
大きいものではその内方領域全体の空気を吸引し難くな
る傾向となるが、この内方領域内には結合溝４のほか、
ゴム質シールリングの嵌着されてない嵌状溝が存在する
こととなるため、これらが空気吸引路として作用し、前
記内方領域全体の空気の吸引を円滑に行わせ、その領域
全体の真空を安定的に維持するものとなる。
の上面は殆ど密着した状態となるため、特に図１に示す
ように環状溝に嵌着されたゴム質シールリングの寸法が
大きいものではその内方領域全体の空気を吸引し難くな
る傾向となるが、この内方領域内には結合溝４のほか、
ゴム質シールリングの嵌着されてない嵌状溝が存在する
こととなるため、これらが空気吸引路として作用し、前
記内方領域全体の空気の吸引を円滑に行わせ、その領域
全体の真空を安定的に維持するものとなる。
【００２４】これらの準備の後、作業者は工作物の吸着
固定を圧力ゲイジ１０の指針の示度等で判断した後、工
作機械に工作物の加工を開始させる。そして加工が終了
したとき、空気入口弁９を閉鎖する。これにより、ゴム
質シールリングｍ１内方側の基盤１上面領域にはエゼク
ター５の空気放出口から大気が流入し、真空によるその
吸着力は消失し、工作物は基盤１から容易に取り外せる
状態となる。
固定を圧力ゲイジ１０の指針の示度等で判断した後、工
作機械に工作物の加工を開始させる。そして加工が終了
したとき、空気入口弁９を閉鎖する。これにより、ゴム
質シールリングｍ１内方側の基盤１上面領域にはエゼク
ター５の空気放出口から大気が流入し、真空によるその
吸着力は消失し、工作物は基盤１から容易に取り外せる
状態となる。
【００２５】基盤１に刃具が届かない加工では上記の使
用で足りるが、そうでない場合は、任意な一つの環状溝
に適宜なゴム質シールリングを嵌着し、これの上に図２
に示すように載置板１１を載せる。そして、仮想線で示
す工作物ｗに適合させて形成した、載置板１１上面の何
れかの溝１２内にゴム質シールコードを嵌着し、続いて
これを被うように工作物ｗを載せた後、空気入口弁９を
開放する。
用で足りるが、そうでない場合は、任意な一つの環状溝
に適宜なゴム質シールリングを嵌着し、これの上に図２
に示すように載置板１１を載せる。そして、仮想線で示
す工作物ｗに適合させて形成した、載置板１１上面の何
れかの溝１２内にゴム質シールコードを嵌着し、続いて
これを被うように工作物ｗを載せた後、空気入口弁９を
開放する。
【００２６】これにより、エゼクター５はゴム質シール
リング内方側の基盤１上面領域の空気や、ゴム質シール
コード内方側の載置板１１上面領域の空気を凹み部２、
結合溝４、環状溝、縦透孔１３及び結合溝１４等を経て
吸引する。この吸引により、前記基盤１上面領域及び載
置板１１上面領域は真空となり、載置板１１は基盤１
に、そして工作物ｗは載置板１１に吸着固定されるもの
となり、工作物ｗは強力に基盤１と同体に固定された状
態となる。
リング内方側の基盤１上面領域の空気や、ゴム質シール
コード内方側の載置板１１上面領域の空気を凹み部２、
結合溝４、環状溝、縦透孔１３及び結合溝１４等を経て
吸引する。この吸引により、前記基盤１上面領域及び載
置板１１上面領域は真空となり、載置板１１は基盤１
に、そして工作物ｗは載置板１１に吸着固定されるもの
となり、工作物ｗは強力に基盤１と同体に固定された状
態となる。
【００２７】この後、工作物ｗの加工を開始するのであ
り、この際、載置板１１は消耗品として廃棄しても経済
的損失が少ないため、工作物ｗの真空吸着を破壊しない
限り、載置板１１に工作機械の刃具が届くような深い加
工を行うことを可能となす。図２に示すような工作物ｗ
に於ける深い加工としては、例えばその外周部ｗ１に縦
向きの貫通孔を明けたり、その外周端面ｗ２を切削する
等の処理がある。
り、この際、載置板１１は消耗品として廃棄しても経済
的損失が少ないため、工作物ｗの真空吸着を破壊しない
限り、載置板１１に工作機械の刃具が届くような深い加
工を行うことを可能となす。図２に示すような工作物ｗ
に於ける深い加工としては、例えばその外周部ｗ１に縦
向きの貫通孔を明けたり、その外周端面ｗ２を切削する
等の処理がある。
【００２８】本発明品は複数並べて使用してもよいので
あり、このようにすれば、吸着面積を任意に増大させる
ことができて任意な大きさの工作物を吸着固定させるこ
とができる。この場合、図１に実線で示すような基盤１
のほか、仮想線ｋ１で示すような基盤を作成し、これの
段部ａが前記段部１ａと雌雄の関係となって嵌合される
ものとなすのがよい。
あり、このようにすれば、吸着面積を任意に増大させる
ことができて任意な大きさの工作物を吸着固定させるこ
とができる。この場合、図１に実線で示すような基盤１
のほか、仮想線ｋ１で示すような基盤を作成し、これの
段部ａが前記段部１ａと雌雄の関係となって嵌合される
ものとなすのがよい。
【００２９】
【発明の効果】以上の如く構成した本発明によれば、予
め用意したゴム質シールリングの一つを任意な環状溝に
嵌着するだけで、種々の大きさの工作物を吸着固定させ
ることができ、取扱いを簡便となすものである。
め用意したゴム質シールリングの一つを任意な環状溝に
嵌着するだけで、種々の大きさの工作物を吸着固定させ
ることができ、取扱いを簡便となすものである。
【００３０】請求項２に記載のものによれば、載置板に
届くような深い加工を行うことができ、例えば工作物に
貫通孔を明けたり、工作物の外周を切削すること等が可
能となる。
届くような深い加工を行うことができ、例えば工作物に
貫通孔を明けたり、工作物の外周を切削すること等が可
能となる。
【００３１】請求項３に記載のものによれば、真空とな
される通気路が短くなって小さなエゼクターでも真空が
早く立ち上がり、また外部に真空発生装置を設ける必要
のないものとなる。
される通気路が短くなって小さなエゼクターでも真空が
早く立ち上がり、また外部に真空発生装置を設ける必要
のないものとなる。
【００３２】請求項４に記載のものによれば、ゲイジに
表示された真空圧が工作物の把握状態を示すものとな
り、工作物の安全な加工に寄与するものである。
表示された真空圧が工作物の把握状態を示すものとな
り、工作物の安全な加工に寄与するものである。
【図１】本発明のチャックを示す斜視図である。
【図２】本発明に係り、載置板を付加したチャックを示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図３】従来の真空チャックを示す図である。
１ 基盤 ２ 凹み部 ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅ 環状溝 ４ 結合溝 ５ エゼクター １１ 載置板 １２ 溝 １３ 縦透孔（通気路） １４ 結合溝（通気路） ｍ１、ｍ２、ｍ３、ｍ４、ｍ５ ゴム質シールリング
Claims (4)
- 【請求項１】 基盤の平らな上面に真空圧を付与される
凹み部及び、半径の異なる複数の環状溝を設け、この
際、複数の環状溝は前記凹み部を取り囲む概ね同心配置
状に設け、さらに複数の環状溝と交差した方向の結合溝
を設け、この結合溝を介して凹み部と複数の環状溝とを
連通させ、複数の環状溝の任意なものに、これと適合し
たゴム質シールリングが嵌着される構成としたことを特
徴とする真空チャック。 - 【請求項２】 基盤の上面に吸着される載置板を有し、
この載置板は上面にゴム質シールコードを嵌着される溝
及び、ゴム質シールコードで囲まれた領域と凹み部とを
連通させるための通気路を形成した構成であることを特
徴とする請求項１記載の真空チャック。 - 【請求項３】 凹み部に真空圧を付与するためのエゼク
ターを、基盤裏面部に内蔵させたことを特徴とする請求
項１又は２記載の真空チャック。 - 【請求項４】 凹み部の真空圧を表示させるためのゲイ
ジを、基盤の外面部に装着したことを特徴とする請求項
１、２又は３記載の真空チャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8352705A JP2990594B2 (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 真空チャック |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8352705A JP2990594B2 (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 真空チャック |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10175136A true JPH10175136A (ja) | 1998-06-30 |
| JP2990594B2 JP2990594B2 (ja) | 1999-12-13 |
Family
ID=18425874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8352705A Expired - Fee Related JP2990594B2 (ja) | 1996-12-13 | 1996-12-13 | 真空チャック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2990594B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005059173A (ja) * | 2003-08-18 | 2005-03-10 | Yoshioka Seiko:Kk | 吸着装置及びチャックテーブル |
| JP2007083354A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Seiwa Seiki:Kk | ワーク吸着保持装置 |
| JP2008022915A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-07 | Aruze Corp | 遊技盤の形成方法 |
| KR100955174B1 (ko) | 2008-02-01 | 2010-04-29 | 임권현 | 진공척 기능을 가지는 마그네틱척 |
| CN102837212A (zh) * | 2012-09-17 | 2012-12-26 | 苏州珈玛自动化科技有限公司 | 一种内置真空发生器的吸附治具 |
| KR20170104040A (ko) * | 2016-03-03 | 2017-09-14 | 에이피시스템 주식회사 | Ela 장치용 기판 지지모듈 |
| US10259241B2 (en) | 2013-04-04 | 2019-04-16 | Nike, Inc. | Vacuum cylinder with recessed portions for holding articles for printing |
| CN113977973A (zh) * | 2021-09-27 | 2022-01-28 | 株洲时代新材料科技股份有限公司 | 一种隔震支座自动热切快装方法及自动热切快装生产线 |
| JP2022532832A (ja) * | 2019-03-25 | 2022-07-20 | ケーエルエー コーポレイション | 撓んだ半導体ウェハを平坦化する真空押え付け装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101578195B1 (ko) * | 2015-04-03 | 2015-12-16 | 장진희 | 공작물용 정위치 지그장치 |
-
1996
- 1996-12-13 JP JP8352705A patent/JP2990594B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005059173A (ja) * | 2003-08-18 | 2005-03-10 | Yoshioka Seiko:Kk | 吸着装置及びチャックテーブル |
| JP2007083354A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Seiwa Seiki:Kk | ワーク吸着保持装置 |
| JP2008022915A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-07 | Aruze Corp | 遊技盤の形成方法 |
| KR100955174B1 (ko) | 2008-02-01 | 2010-04-29 | 임권현 | 진공척 기능을 가지는 마그네틱척 |
| CN102837212A (zh) * | 2012-09-17 | 2012-12-26 | 苏州珈玛自动化科技有限公司 | 一种内置真空发生器的吸附治具 |
| US10259241B2 (en) | 2013-04-04 | 2019-04-16 | Nike, Inc. | Vacuum cylinder with recessed portions for holding articles for printing |
| KR20170104040A (ko) * | 2016-03-03 | 2017-09-14 | 에이피시스템 주식회사 | Ela 장치용 기판 지지모듈 |
| JP2022532832A (ja) * | 2019-03-25 | 2022-07-20 | ケーエルエー コーポレイション | 撓んだ半導体ウェハを平坦化する真空押え付け装置 |
| CN113977973A (zh) * | 2021-09-27 | 2022-01-28 | 株洲时代新材料科技股份有限公司 | 一种隔震支座自动热切快装方法及自动热切快装生产线 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2990594B2 (ja) | 1999-12-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2990594B2 (ja) | 真空チャック | |
| EP0761391B1 (en) | Method for holding a workpiece by vacuum | |
| JP2007516087A (ja) | 真空ホールドダウン | |
| US2444531A (en) | Chuck | |
| US3158381A (en) | Vacuum chuck | |
| SE519272C2 (sv) | Metod och anordning vid automatisk spånavverkande bearbetning av ett arbetsstycke | |
| CN116765649A (zh) | 一种吸附治具及激光切割设备 | |
| JPH09174364A (ja) | 半導体ウエハのユニバーサルチャックテーブル | |
| JP2546652B2 (ja) | チヤツクテ−ブル | |
| CN110774036A (zh) | 集成式旋转下压气缸 | |
| CN214723382U (zh) | 一种3d玻璃抛光夹具 | |
| JPH05187430A (ja) | 吸着構造と吸着盤 | |
| JPS5856744A (ja) | チヤツク | |
| JPH04159043A (ja) | 真空チヤツク | |
| JP3605609B2 (ja) | 真空チャック | |
| CN216971262U (zh) | 抓取装置 | |
| CN217890286U (zh) | 一种用于薄板型材的真空吸附装置 | |
| JP3980629B1 (ja) | 回転継手およびこれを用いた回転装置 | |
| CN221066017U (zh) | 一种玻璃加工用真空吸附装置 | |
| JPH10296566A (ja) | 可般形チャック具 | |
| JP3943449B2 (ja) | ダイ及びダイ装置 | |
| JPH04118223U (ja) | 弾性ライニング層を有する金具の穴明け装置 | |
| CN210024924U (zh) | 真空吸附治具 | |
| CN213593326U (zh) | 一种手机陶瓷盖板真空吸附夹具 | |
| JP3099660U (ja) | 真空吸引装置を具えた載置体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 11 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101015 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101015 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 12 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111015 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |