JPH0819939B2

JPH0819939B2 - 送り案内機構

Info

Publication number: JPH0819939B2
Application number: JP63075792A
Authority: JP
Inventors: 雅史三浦; 進伊東
Original assignee: 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
Priority date: 1987-11-30
Filing date: 1988-03-29
Publication date: 1996-03-04
Anticipated expiration: 2011-03-04
Also published as: JPH01312223A; US5050157A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、往復運動機構のなかの往復運動する可動
部を、圧電体の伸縮に伴う歪により見かけ上浮かせた状
態で送り案内する送り案内機構に関する。

［従来の技術］往復直線運動機構のなかの可動部を支持し案内する手
段として用いられている従来の送り案内機構は、一般
に、固定部と可動部とが互いの摺動面で単に接触して摺
動する方式である。例えば、光ディスク装置における光
ヘッドの送り案内機構やプリンタの印字ヘッドの送り案
内機構では、可動部がスライドシャフトにブッシュを介
して往復動可能に支持された構造である。

［発明が解決しようとする課題］上記のごとく固定部と可動部とが単に接触して摺動す
る従来の送り案内機構では、摩擦抵抗が大きく、繊細な
動きを妨げるので、十分平滑な送り動作を実現すること
は容易でないという課題があった。

これに対し、例えば特開昭61−233216号「スクイズ軸
受装置」には、軸受面に屈曲波を生じさせることにより
支持物体を浮上させ、これにより前記支持物体を軸受面
上方において移動可能とするため、軸受面を複数の独立
した面により構成し、かつ隣接する前記各面における屈
曲波の位相を互いに異ならしめたスクイズ軸受装置が開
示されている。

しかしながら、上記のスクイズ軸受は、軸受面を高周
波で振動させることにより、支持物体と軸受面との間に
周囲圧よりも高い圧力を有する気体膜を生じさせ、この
気体膜により物体を摩擦なく支持する空気軸受であり、
従って軸受面と支持物体との間に空気等の流体の存在が
必要不可欠であり、真空中では使用できないものであっ
た。また、軸受面を複数の独立した面により構成し、か
つ隣接する前記各面における屈曲波の位相を互いに異な
らしめた理由は、圧電素子により加振された軸受面にそ
の固有振動数に一致する単一相の屈曲波を励起するだけ
では、屈曲波の波長に比べて支持物体の長さが短い場合
に、支持物体の位置によって浮上力が不均一となり、浮
上間隔の変化に伴う低周波振動が発生するからである。
そこで、支持物体の位置によらず、均一な浮上力と剛性
が得られるよう、複数の軸受面を送り案内方向と直交す
る方向に並列的に配設し、かつ各面における屈曲波が互
いに補い合うよう、偶数列の軸受面と奇数列の軸受面と
で屈曲波の位相を異ならしめてある。具体的には、互い
に独立した波状にうねる軸受面を少なくとも３列互いに
並列に配設し、中央（奇数列）の軸受面を挟む両側（偶
数列）の軸受面とで位相が90゜ずれた屈曲波を発生させ
るよう駆動し、中央の軸受面の腹と腹の間に両側の軸受
面の筋が位置するよう構成してある。従って、支持物体
をどの場所においても均一な浮上力でもって支持するに
は、出来る限り多数の屈曲波を重畳させるのがよく、軸
受面と支持物体との接触を避けようとすればするほど、
多数の軸受面を支持物体の支持幅内に収めなければなら
ず、それだけ個々の軸受面とその駆動手段である圧電素
子に精密加工が要求されることになる。また、位相の異
なる屈曲波を発生させるには、複数の軸受面を支える圧
電素子に対し同じ交流電圧を印加するわけにいかず、交
流電圧の位相を軸受面ごとに異ならしめる関係で、圧電
素子を駆動する電気回路の構成も複雑化する等の課題が
あった。

本発明は、上記従来の欠点を解消して、空気等の流体
を介することなく、可動部の動作を十分平滑化すること
のできる送り案内機構を得ることを目的とする。

［課題を解決するための手段］上記課題を解決する請求項１の発明は、摺動面を持つ
板状の弾性体と、該弾性体の前記摺動面と反対側の面に
送り案内方向に沿って一列に並べて張り付けられ、電圧
印加時にそれぞれ伸縮し、該伸縮方向が配列順に交互に
反転するよう分極処理された多数の板状の圧電体とから
なる摺動部材を備えたことを特徴とするものである。

前記摺動部材は、固定部側に設けることも、可動部側
に設けることもできる。

また、請求項４の発明は、送り方向に層状に積層され
その側面に摺動面を形成し、電圧印加時に伸縮し、該伸
縮方向が積層順に交互に反転するよう分極処理された多
数の板状の圧電体を備えた摺動部材からなることを特徴
とするものである。

前記請求項４記載の摺動部材は、固定部側に設けるこ
とも、可動部側に設けることもできる。

また、請求項１又は４記載の摺動部材を複数本、固定
軸を囲む周方向の複数箇所の位置において可動部側に固
定して、固定軸に案内される可動部側の軸受け部分とす
ることができる。

また、請求項１又は４記載の摺動部材を複数本、可動
部に固定された可動軸を囲む周方向の複数箇所の位置に
おいて固定部間に固定して、可動軸を案内する固定部側
の軸受け部分とすることができる。

［作用］本発明によれば、弾性体の摺動面と反対側の面に、電
圧印加時に伸縮する多数の板状の圧電体を送り案内方向
に沿って一列に並べて配列し、伸縮方向が配列順に交互
に反転するよう分極処理したので、圧電体に交流電圧を
印加することで、圧電体の伸縮の歪により、弾性体が波
形に撓み変形し、かつ波形の撓みの山と谷とが交流周期
で交互に反転する。すなわち、弾性体に定在波、つまり
同じ場所で繰り返し上下運動する波が発生する。

従って、固定部側の弾性体の案内面（摺動面）上の可
動部、もしくは被案内面（摺動面）を形成する弾性体を
持つ可動部は、弾性体の前記定在波により、固定部側か
ら常時突き上げられ、見かけ上浮いた状態で支持される
こととなり、摩擦抵抗は著しく低減し、可動部の送り動
作が十分平滑に行われる。

また、摺動部材を圧電体のみで構成した送り案内機構
では、圧電体に交流電圧を印加すれば、圧電体の伸縮の
歪により、隣接する圧電体は山と谷とを形成し、交互に
起伏反転する。すなわち、層状の圧電体の側面で形成さ
れる摺動面には同じ場所で繰り返し上下運動する波が発
生する。

従って、固定部側の圧電体の案内面上の可動部もしく
は被案内面を形成する圧電体を持つ可動部は、弾性体の
前記波により、固定部側から常時突き上げられ、前記と
同様に見かけ上浮いた状態で支持されることとなり、摩
擦抵抗は著しく低減し、可動部の送り動作が十分平滑に
行われる。

また、上記の各摺動部材は固定軸に案内される可動部
側の軸受部分として、又は可動部に固定された可動軸を
案内する固定部側の軸受部分として用いることができ、
この場合も、同様に、可動部を見かけ上浮いた状態で支
持して、摩擦抵抗を低減させ、可動部の送り動作を十分
に平滑にすることができる。

［実施例］以下、本発明の実施例を第１図ないし第24図を参照し
て説明する。第１図ないし第６図は、請求項１の発明の
一実施例を示し、第１図はこの発明を光ディスク装置に
適用した場合の装置全体及び光学系の平面図、第２図は
第１図におけるＡ−Ａ線断面図である。

まず、光学系の全体構成について説明すると、１は光
学系のうちシャーシに固定して設けられた固定光学系
で、レーザダイオード２、コリメータレンズ３、ハーフ
ミラー４、ハーフミラー５、シリンドリカルレンズ６、
光検出器７等から構成されている。

８は光学系のうちの可動部である光ヘッドで、この光
ヘッド８は、金属又は樹脂等からなる光ヘッドベース９
に、第３図にも詳細を示すようにヒンジ式平行板ばね
（ヒンジ部を10aで示す）10を介して対物レンズホルダ1
1を取り付け、この対物レンズホルダ11に対物レンズ12
を取り付け、対物レンズ12の下方に90゜ミラー13を取り
付け、対物レンズホルダ11の第１図で左右にフォーカシ
ングコイル14を取り付け、また、光ヘッドベース９の裏
側の左右にトラッキング駆動用を兼ねる筒状の送り駆動
用コイル15を取り付けた構造である。一方、シャーシ16
側には、ヘッド送り方向（第１図で矢印（イ）方向）を
なすヨーク17及び永久磁石18が固定され、前記送り駆動
用コイル15の中をこのヨーク17及び永久磁石18が挿通し
ている。

19は光ヘッド８を支持し送り方向の往復移動の案内を
する送りレール、すなわち本発明実施例の送り案内機構
を構成する摺動部材である。この送りレール（摺動部
材）19は、第４図にも拡大斜視図で示すように、光ヘッ
ドベース９の両側に形成した被案内面である傾斜面9aと
平行な案内面（すなわち摺動面）20aを持つ板状のりん
青銅等の金属からなる弾性体20と、この弾性体20の裏面
に接着剤で接合された同じく板状の多数の圧電体（例え
ば圧電セラミックス）21とからなり、この圧電体21は、
交互に向きを反転させた状態で分極処理されており、第
５図に伸縮方向を矢印で示すように、送り方向と同方向
の歪で送り方向に交互に伸縮する。また、弾性体20に
は、後述する定在波の変形量を大きくするためのスリッ
ト20bを多数形成している。そして、この案内レール19
は、シャーシ16に固定した支持台22の傾斜面に接合して
固定されている。

次に、上記実施例の送り機構の動作について説明す
る。

送り駆動用コイル15に電流が流れると、永久磁石18と
の間の電磁力により、光ヘッド８はディスク23の半径方
向（矢印（イ）方向）に駆動されるが、その際、光ヘッ
ド８は左右の案内レール19、19で支持案内されて矢印
（イ）方向に往復移動する。この送り案内の際及び再生
中は、案内レール19の圧電体21には交流電圧が印加され
ている。この時の動きを詳述すると、圧電体21は案内レ
ール19の長手方向に交互に分極方向が反転しているの
で、今、第６図（ａ），（ｂ）のように圧電体21に直流
電圧を印加したとすれば、各圧電体21の分極方向に従い
伸長、縮小の歪が長手方向に交互に発生して、弾牲体20
が波形に撓み変形をする（ただし、振動はしない）が、
前述のように圧電体21に印加される電圧は交流電圧なの
で、波形のたわみ変形の山と谷とが交互に反転する。す
なわち、弾性体20に定在波、つまり、同じ場所で繰り返
し上下運動する波が発生する。

従って、案内レール19の案内面20a上の光ヘッド８
は、この振動する波により常時突き上げられ、見かけ上
浮いた状態で支持されることになり、移動時の摩擦抵抗
は著しく低減する。こうして、光ヘッド８の送り動作は
平滑化される。

なお、上記実施例は傾斜した案内面を持つ左右２本の
案内レール19、19で可動部を支持案内するものである
が、第７図に示すように、可動部9Aの上下方向の支持案
内を行う案内レール19Aと、単に左右方向の案内を行う
案内レール19Bとを別個に設けることもできる。また、
場合によっては、第７図の左右の案内レール19Bを本発
明によらない単なる案内部材とすることもできる。

また、第８図に示すように、前述の案内レール19と同
様に弾性体20と圧電体21とから構成される摺動部材19C
を支持台（すなわち固定部）22の案内面22aに対向して
光ヘッドベース（すなわち可動部）９側に設けることも
できる。

第９図ないし第10図は、請求項４の一実施例を示す。
この実施例も、光ディスク装置における光ヘッドの送り
案内機構として適用したもので、前述の第１図は案内レ
ール19を除きこの実施例と共通する。

第９図は光ヘッドを案内する送り案内機構の要部の斜
視図で、前記実施例の第４図に相当するものである。同
図において、30は光ヘッド８を支持し、送り方向の往復
移動を案内する送りレール（すなわち摺動部材）であ
り、第１図における送りレール19に相当する。この送り
レール30は、送り方向と同一の厚み方向に層状に積層さ
れた多数の板状の圧電体31から構成され、その側面が光
ヘッドベース９側の両側に形成された傾斜面9aと平行な
案内面（摺動面）30aを形成するように配置されてい
る。この圧電体31は、交互に向きを反転させた状態で分
極処理されており、第10図に伸縮方向を矢印で示すよう
に、案内面30aに直交する方向の歪で送り方向に交互に
伸縮する。この案内レール30は、シャーシ16に固定した
支持台22の傾斜面に接合して固定されている。

上記実施例の動作について説明する。前記と同様に、
光ヘッド８の送り案内の際及び再生中は、案内レール30
を構成する圧電体31には交流電圧が印加される。圧電体
31は交互に分極方向が反転しているので、今、圧電体31
に直流電圧を印加したとすれば、各圧電体31の分極方向
に従い案内面30aと直交する方向の伸長、縮小の歪が送
り方向に交互に発生する（ただし、振動はしない）が、
前記のように圧電体31に印加される電圧は交流電圧なの
で、第10図に示すように変形の山と谷とが交互に反転す
る。すなわち、積層された圧電体31の側面には、同じ場
所で繰り返し上下運動する波が発生する。

従って、案内レール30の案内面30a上の光ヘッド８
は、この振動する彼により常時突き上げられ、前記実施
例（第４図等）の場合と同様に、見かけ上浮いた状態で
支持されることとなり、摩擦抵抗は著しく低減し、光ヘ
ッド８の送り動作の平滑化が実現される。

なお、上記実施例は傾斜した案内面を持つ左右２本の
案内レール30、30で可動部を支持案内するのであるが、
第11図に示すように、４本の案内レール30Aで２つのＶ
型案内ガイドを形成し、光ヘッドベース９を支待摺動す
る横成とすることもできる。

さらに、積層された圧電体の構造については、上記実
施例では互いに反転した分極方向を持つ圧電体どうしを
隣接して構成しているが、第12図に示すように、隣接す
る圧電体31A、31B間に金属板32を挟み込むことによって
圧電体どうしの干渉を低減し、変形量を大きくするよう
な構成とすることもできる。

また、第13図に示すように、前記案内レール30と同様
に多数の圧電体31で構成される摺動部材30Bを支持台
（すなわち固定部）22の案内面22aに対向して光ヘッド
ベース（すなわち可動部）９側に設けることもできる。

また、圧電体の積層構造については、板状の圧電体の
側端面を隣接させた配列形態（すなわち、前述の第５図
の圧電体配列と同様な圧電体配列形態とすることも考え
られる。この場合、圧電体の送り方向の歪が発生する際
には圧電体の厚み方向（摺動面に垂直な方向）の歪を生
じるので、この厚み方向の歪によって摺動面に波が発生
する。

第14図ないし第17図は請求項８の発明の実施例を示
す。この実施例は、第14図に示すように、可動部である
光ヘッド８がシャーシ16に固定された固定軸40に案内さ
れて往復移動する構造の光ディスク装置における光ヘッ
ドの送り案内機構として適用したものである。送り駆動
系、光学系については第１図のものと同様である。

この送り案内機構は、第15図、第16図に示すように、
前記の固定軸40と、この固定軸40を囲む周方向の例えば
上下左右４箇所において可動部である光ヘッドベース９
側に固定された固定軸長手方向をなす４個の摺動部材41
とを備えている。この摺動部材41は、第４図ないし第６
図を参照して説明した摺動部材（送りレール９）とぼ同
様な構成である。すなわち、固定軸40の外周面と平行な
円弧状の被案内面42aを持つ板状のりん青銅等の金属か
らなる弾性体42と、この弾性体42の真面に接着剤で接合
された板状の多数の圧電体43とからなり、かつ、この圧
電体43は、交互に向きを反転させた状態で分極処理され
ており、第17図に伸縮方向を矢印で示すように、送り方
向と同方向の歪で送り方向に交互に伸縮する。また、弾
性体42には前述の実施例と同様にスリット42bが多数形
成されている。

上記の送り案内機構において、圧電体43に交流電圧が
印加されると、前記第６図において説明したものと同じ
原理により、摺動部材41の弾牲体42に定在波、つまり、
同じ場所で上下運動する波が発生し、弾性体42の被案内
面42aは、この振動する波により固定軸40から常時突き
上げられ、見かけ上浮いた状態で支持されることとな
り、摩擦抵抗は著しく低減し、光ヘッド８の送り動作の
平滑化が実現される。

なお、上記実施例では可動部に摺動部材を取り付け、
この摺動部材が固定軸上を摺動する構成としたが、摺動
部材を固定部側に設けることもできる。すなわち、第18
図に示すように、可動部である光ヘッドベース9Cに軸40
Aを固定し、この可動の軸40Aを支持するシャーシ16側の
軸受け部44として、摺動部材41Aを前記軸40Aを囲むよう
に設けることもできる。

また、第14図又は第18図で示すような実施例におい
て、送り案内機構を、第19図に示すように、固定または
可動の軸40Bを囲む３本の摺動部材41Bで構成することも
できる。さらに、場合によっては、軸40Bを囲む複数の
摺動部材の内の一部を本発明によらない単なる転がり機
構とすることもできる。

第20図、第21図は請求項10の発明の実施例を示す。前
述の第14図はこの実施例にも共通するもので、この実施
例も、可動部である光ヘッド８がシャーシ16に固定され
た固定軸40に案内されて往復移動する構造の光ディスク
装置における光ヘッドの送り案内機構として適用したも
のである。

この送り案内機構は、第20図に示すように、前記のシ
ャーシに固定した固定軸40と、この固定軸40を囲む周方
向の例えば上下左右４箇所において可動部である光ヘッ
ドベース９側に固定された固定軸長手方向をなす４個の
摺動部材51とを備えている。この摺動部材51は、第９
図、第10図で説明した摺動部材（送りレール30）とほぼ
同様な構成である。すなわち、この摺動部材51は、送り
方向と同一の厚み方向に層状に積層された多数の板状の
圧電体52から構成され、その側面が固定軸40の外周面と
平行な円弧状の被案内面（摺動面）51aを形成するよう
に配置されている。この圧電体52は、交互に向きを反転
させた状態で分極処理されており、第21図に伸縮方向を
示すように、被案内面51aと直交する方向の歪で送り方
向に交互に伸縮する。

上記構成の送り案内機構において、圧電体52に交流電
圧を印加すると、前記第９図、第10図で示した実施例に
おいて説明したものと同じ原理により、摺動部材51を構
成する積層された圧電体52の側面には、同じ場所で繰り
返し上下運動する波が発生する。従って、摺動部材51の
被案内面51aは、この振動する波により固定軸40から常
時突き上げられ、見かけ上浮いた状態で支持されること
となり、摩擦抵抗は著しく低減し、光ヘッド８の送り動
作の平滑化が実現される。

なお、上前摺動部材は固定部側に設けることもでき
る。すなわち、第22図に示すように、可動部である光ヘ
ッドベース9Dに軸40Aを固定し、この可動の軸40Aを支持
するシャーシ16側の軸受け部53として、摺動部材51Aを
前記軸40Aを囲むように設けることもできる。

また、第14図、第22図で示した実施例において、第23
図に示すように、送り案内機構を３本の摺動部材51Bで
構成することもできる。さらに、場合によっては、軸40
Cを囲む複数の摺動部材のうちの一部を本発明によらな
い単なる転がり機構とすることもできる。

さらに、積層された圧電体の構造については、第24図
に示すように、隣接する圧電体52A、52Bの間に金属板54
を挟み込むことによって圧電体どうしの干渉を低減し、
変形量を大きくするような構成とすることもできる。

なお、以上第１図ないし第24図で示した各実施例は光
ヘッドの送り案内機構として適用したものであるが、こ
れに限らず、例えば、プリンタの印字ヘッドの送り案内
機構、複写機の光学系可動部の送り案内機構、工作機械
の可動部の送り案内機構、その他種々のものに適用可能
であり、さらに、直線運動に限らず可動部が曲線運動を
する場合にも適用可能である。

［発明の効果］本発明は上述の通り構成されているので、次のような
効果を奏する。

請求項１ないし３の送り案内機構においては、摺動面
を持つ板状の弾性体と、この弾性体の前記摺動面と反対
側の面に一列に並べて張り付けられ、配列順に交互に向
きを反転させた状態で分極処理した多数の板状の圧電体
とからなる摺動部材を備えた構成としたので、分極処理
が異なる２種類の圧電体を送り案内方向に沿って交互に
並べて一列に配列し、これらの圧電体に対し同一位相の
交流電圧を印加すれば、圧電体の伸縮の歪により、弾性
体が波形に撓み変形し、かつ波形の撓みの山と谷とが交
流周期で交互に反転するため、弾性体に定在波、つまり
同じ場所で繰り返し上下運動する波が発生し、固定部側
の弾性体の案内面（摺動面）上の可動部、もしくは被案
内面（摺動面）を形成する弾性体を持つ可動部を、弾性
体の定在波により固定部側から常時突き上げ、見かけ上
浮いた状態に支持することができ、これにより摩擦抵抗
は著しく低減し、可動部の送り動作を十分平滑化するこ
とができ、また可動部を空気等の流体を介して浮揚させ
るのではなく圧電体により機械的に振動させて見かけ上
浮いた状態とするため、空気等の流体のない真空中でも
物体の支持が可能であり、さらに特別な移相回路等を用
いることなく圧電体を同一の交流電源による駆動するこ
とができるため、駆動回路の構成が簡単であり、また伸
縮位相が異なる圧電体を送り案内方向に複数列設ける必
要はなく、基本的には送り案内方向に一列に並べて配設
すればよいため、送り案内方向と直交する方向に圧電体
を細分化したりするための精密加工技術は不要であり、
安価に製造することができる等の優れた効果を奏する。

また、請求項４ないし７の送り案内機構においては、
送り方向に層状に積層されその側面に摺動面を形成する
交互に向きを反転させた状態で分極処理した多数の圧電
体からなる摺動部材を備えた構成としたので、分極処理
が異なる２種類の圧電体を送り案内方向に沿って積層
し、これらの圧電体に対し同一位相の交流電圧を印加す
れば、摺動面を振動させた状態で可動部の支持案内を行
うことができ、可動部を浮揚させるのではなく圧電体に
より機械的に振動させるため、空気等の流体のない真空
中でも物体の支持が可能であり、摩擦抵抗を大幅に低減
し、可動部の送り動作の平滑化を実現できる。

また、請求項8,9又は10,11の送り案内機構によれば、
固定軸又は可動軸の軸受け部分として適用することがで
き、同様に可動部の送り動作を平滑化することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、請求項１の発明を光ディスク装置の光ヘッド
送り案内機構に適用した一実施例を示す装置全体及び光
学系の平面図、第２図は、第１図のＡ−Ａ線断面図、第
３図は、第２図に示したフォーカスアクチュエータ部の
ヒンジ機構とフォーカスコイルの拡大側面図、第４図
は、第１図に示した送り案内機構の拡大斜視図、第５図
は、第１図に示した送り案内機構の摺動部材の構造及び
動作説明図、第６図（ａ），（ｂ）は、定在波発生のメ
カニズムについての説明図、第７図は、請求項１の発明
の他の実施例を示す送り案内機構の概略断面図、第８図
は、請求項１の発明のさらに他の実施例を示す送り案内
機構の要部の斜視図、第９図は、請求項４の発明の一実
施例を示す送り案内機構の要部の斜視図、第10図は、第
９図に示した摺動部材の構造及び動作説明図、第11図
は、請求項４の発明の他の実施例を示す送り案内機構の
概略断面図、第12図は、第11図に示した摺動部材の他の
実施例を示す構造及び動作説明図、第13図は、請求項４
の発明の他の実施例を示す送り案内機構の要部の斜視
図、第14図は請求項８の発明を光ディスク装置に適用し
た一実施例を示す装置全体及び光学系の平面図、第15図
は、第14図のＢ−Ｂ線断面図、第16図は、第14図に示し
た送り案内機構の拡大斜視図、第17図は、第14図に示し
た摺動部材の構造及び動作説明図、第18図は、請求項９
の発明の一実施例を示す送り案内機構の平面図、第19図
は、請求項９の発明の送り案内機構の他の実施例を示す
要部断面図、第20図は、請求項10の発明の一実施例を示
す送り案内機構の要部の斜視図、第21図は、第20図に示
した摺動部材の構造及び動作説明図、第22図は、請求項
11の発明の一実施例を示す送り案内機構の平面図、第23
図は、請求項11の発明の他の実施例を示す送り案内機構
の要部断面図、第24図は、第23図に示した摺動部材の他
の実施例を示す構造及び動作説明図である。８……光ヘッド（可動部）９……光ヘッドベース 19,19A,19B,19C,30,30A,30B,41,41A,41B,51,51A,51B…
…摺動部材 20a,30a,42a,51a……摺動面（案内面又は被案内面） 21,31,31A,31B,43,52,52A,52B……圧電体 40,40A,40B,40C……固定軸又は可動軸

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】摺動面を持つ板状の弾性体と、この弾性体
の前記摺動面と反対側の面に送り案内方向に沿って一列
に並べて張り付けられ、電圧印加時にそれぞれ伸縮し、
該伸縮方向が配列順に交互に反転するよう分極処理され
た多数の板状の圧電体とからなる摺動部材を備えたこと
を特徴とする送り案内機構。
【請求項２】請求項１記載の摺動部材を可動部の被案内
面に対向して固定部側に設けたことを特徴とする送り案
内機構。
【請求項３】請求項１記載の摺動部材を固定部の案内面
に対向して摺動部側に設けたことを特徴とする送り案内
機構。
【請求項４】送り案内方向に層状に積層されて側面が摺
動面を形成し、電圧印加時にそれぞれ伸縮し、該伸縮方
向が前記積層順に交互に反転するよう分極処理された多
数の板状の圧電体からなる摺動部材を備えたことを特徴
とする送り案内機構。
【請求項５】隣接する圧電体間に金属板を挟み込む構造
を持つ請求項４記載の送り案内機構。
【請求項６】請求項４記載の摺動部材を可動部の被案内
面に対向して固定部側に設けたことを特徴とする送り案
内機構。
【請求項７】請求項４記載の摺動部材を固定部の案内面
に対向して可動部側に設けたことを特徴とする送り案内
機構。
【請求項８】可動部を案内する固定軸と、この固定軸を
囲む周方向の複数箇所の位置において可動部側に固定さ
れた固定軸長手方向をなす複数の請求項１記載の摺動部
材とを備えたことを特徴とする送り案内機構。
【請求項９】可動部に固定された可動軸と、この可動軸
を囲む周方向の複数箇所の位置において固定部側に固定
された可動軸長手方向をなす複数の請求項１記載の摺動
部材とを備えたことを特徴とする送り案内機構。
【請求項１０】可動部を案内する固定軸と、この固定軸
を囲む周方向の複数箇所の位置において可動部側に固定
された固定軸長手方向をなす複数の請求項４記載の摺動
部材とを備えたことを特徴とする送り案内機構。
【請求項１１】可動部に固定された可動軸と、この可動
軸を囲む周方向の複数箇所の位置において固定部側に固
定された可動軸長手方向をなす複数の請求項４記載の摺
動部材とを備えたことを特徴とする送り案内機構。