JPS6091879A - 超音波駆動方法 - Google Patents
超音波駆動方法Info
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- JPS6091879A JPS6091879A JP58198921A JP19892183A JPS6091879A JP S6091879 A JPS6091879 A JP S6091879A JP 58198921 A JP58198921 A JP 58198921A JP 19892183 A JP19892183 A JP 19892183A JP S6091879 A JPS6091879 A JP S6091879A
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- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 2
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 abstract 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/08—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は圧電素子等を用いた振動を利用して回転または
直線運動を行う超音波駆動方法に関するものである。
直線運動を行う超音波駆動方法に関するものである。
従来、電磁界を発生することなく、また原理的に小形で
高効率を発生することが可能な超音波振動を回転または
直線駆動力に変換する2種号公報、特開昭57−783
78号公報にあるが、これは第1図に示す如(、動体1
01に片持梁(以下、エツジという)1osy<持つ圧
電素子108を垂直よりθだけ傾けて接触させる。
高効率を発生することが可能な超音波振動を回転または
直線駆動力に変換する2種号公報、特開昭57−783
78号公報にあるが、これは第1図に示す如(、動体1
01に片持梁(以下、エツジという)1osy<持つ圧
電素子108を垂直よりθだけ傾けて接触させる。
圧電素子10:it−矢印105方向に超音波振動させ
るとエツジ102は動体ioiに対して着脱を繰り返す
が、その際θとエツジ102の曲げ方向の弾性の影響に
よりエツジ102の動体101への接触点大は楕円状の
軌跡104t−描き、その結果動体10ノは矢印106
の方向に駆動される。このモータは高効率を持つものの
エツゾの先端部の摩耗が激しいために寿命が短く、また
回転および直線運動の方向が一方向に限られるという欠
点を持っていた。他の一つは技術誌「日経メカニクル1
983年2月28日号」詳述されている。これは第2図
に示すように圧電素子で弾性体2020表面に進行波を
発生させる。この時、弾性体202の表面の点(たとえ
ば、図中の点A)は11円状の軌跡205を描く。従っ
て、この表面に動体201を接しておけば動体20】は
波の進行方向203とは逆方向204に駆動される。進
行波の方向を逆転させることは、(2個以上のン圧電素
子へ電圧をかける際に位相を制御することで容易に実現
できる。そのため、とのモータは逆転が可能である。さ
らに、とのモータは動体との接触が時間的に平均すると
弾性体表面の全面で行われるため接触面の摩耗が小さく
、そのため寿命が長いという長所を持っている。しかし
、このモータは動体が摩擦力により駆動されることに伴
う欠点を持っている。すなわち、高効率を得る合う必要
がある。しかし、この押しっけ力を大きくすると弾性体
の波動を抑制してしまい、モータとしての基本的な動作
を損う。そのため、十分な摩擦力をえることができず、
モータとしての効率が低く、かつ同じ理由によりモータ
の保持力も限られるという欠点を持っていた。
るとエツジ102は動体ioiに対して着脱を繰り返す
が、その際θとエツジ102の曲げ方向の弾性の影響に
よりエツジ102の動体101への接触点大は楕円状の
軌跡104t−描き、その結果動体10ノは矢印106
の方向に駆動される。このモータは高効率を持つものの
エツゾの先端部の摩耗が激しいために寿命が短く、また
回転および直線運動の方向が一方向に限られるという欠
点を持っていた。他の一つは技術誌「日経メカニクル1
983年2月28日号」詳述されている。これは第2図
に示すように圧電素子で弾性体2020表面に進行波を
発生させる。この時、弾性体202の表面の点(たとえ
ば、図中の点A)は11円状の軌跡205を描く。従っ
て、この表面に動体201を接しておけば動体20】は
波の進行方向203とは逆方向204に駆動される。進
行波の方向を逆転させることは、(2個以上のン圧電素
子へ電圧をかける際に位相を制御することで容易に実現
できる。そのため、とのモータは逆転が可能である。さ
らに、とのモータは動体との接触が時間的に平均すると
弾性体表面の全面で行われるため接触面の摩耗が小さく
、そのため寿命が長いという長所を持っている。しかし
、このモータは動体が摩擦力により駆動されることに伴
う欠点を持っている。すなわち、高効率を得る合う必要
がある。しかし、この押しっけ力を大きくすると弾性体
の波動を抑制してしまい、モータとしての基本的な動作
を損う。そのため、十分な摩擦力をえることができず、
モータとしての効率が低く、かつ同じ理由によりモータ
の保持力も限られるという欠点を持っていた。
本発明は動体も弾性体で構成し、駆動力を摩擦力ではな
く接触面に垂直な接触力の駆動方向の成分より直接得る
ようにしたもので、その目的は小形かつ高効率で長寿命
であり、強い保持力を得るとともに逆方向の運動も可能
とすることにある。
く接触面に垂直な接触力の駆動方向の成分より直接得る
ようにしたもので、その目的は小形かつ高効率で長寿命
であり、強い保持力を得るとともに逆方向の運動も可能
とすることにある。
最初に第3図を用いて本発明の基本的な動作および作用
を説明する。説明を簡単にするため、振動体は2個とし
て直線運動をさせる場合について述べる。同図(a)は
交流電圧を印加していない状態であり、ここで5301
と302は全く同じ形に製作された圧電材より成る板状
の振動体であり、電極の配置、形状も同じである。最初
に同一波形の交流電圧を印加して振動体301と302
の両者に超音波振動による定在波を発生させる。この時
、振動体301と302とは同図fb)に示すように同
一の位相と振幅で定常振動をして、互いに停止したまま
、保持力のみを発生させている。5ofi−x、、qo
s−;tは定在波の節の位置、304−1,304−2
は定在波の腹の位置である。次ぎに、振動体301か3
02のいずれかに後述する方法で電圧を印加することに
より、定在波の位相に’Rえる。すなわち、例えば同図
(C)のように振動体302の腹あるいは節の位置t+
X方向に△Xだけ移動させる。この時、同図(c)から
分かるよりに振動体301と振動体302とは点305
−1、点305− Jにおいて強く接触し、接触力30
6− J 、306−2f上記の各点における法線方向
に発生し、その結果X方向の力の成分307−1.30
7−2とにより、振動体301は振動体302に対して
、+X方向に駆動される。
を説明する。説明を簡単にするため、振動体は2個とし
て直線運動をさせる場合について述べる。同図(a)は
交流電圧を印加していない状態であり、ここで5301
と302は全く同じ形に製作された圧電材より成る板状
の振動体であり、電極の配置、形状も同じである。最初
に同一波形の交流電圧を印加して振動体301と302
の両者に超音波振動による定在波を発生させる。この時
、振動体301と302とは同図fb)に示すように同
一の位相と振幅で定常振動をして、互いに停止したまま
、保持力のみを発生させている。5ofi−x、、qo
s−;tは定在波の節の位置、304−1,304−2
は定在波の腹の位置である。次ぎに、振動体301か3
02のいずれかに後述する方法で電圧を印加することに
より、定在波の位相に’Rえる。すなわち、例えば同図
(C)のように振動体302の腹あるいは節の位置t+
X方向に△Xだけ移動させる。この時、同図(c)から
分かるよりに振動体301と振動体302とは点305
−1、点305− Jにおいて強く接触し、接触力30
6− J 、306−2f上記の各点における法線方向
に発生し、その結果X方向の力の成分307−1.30
7−2とにより、振動体301は振動体302に対して
、+X方向に駆動される。
同図(c)の状態から時間が経過し、位相がπだけ進む
と振動体301と振動体302との形状は同図(d)の
ようになるが、この場合点gos−s、点305−4.
点305−5が接触点となり、同じ<+X方向への駆動
力307−3,307−4と307−511I−発生さ
せることがわかる。
と振動体301と振動体302との形状は同図(d)の
ようになるが、この場合点gos−s、点305−4.
点305−5が接触点となり、同じ<+X方向への駆動
力307−3,307−4と307−511I−発生さ
せることがわかる。
以上1本発明の基本原理を−述べたが、次に定在波を発
生させ、かつ、定在波の位相を制御する方法(、)と方
法(b)とについて述べる。
生させ、かつ、定在波の位相を制御する方法(、)と方
法(b)とについて述べる。
方法(a)は第4図に示すように、振動体の半波長毎に
多数の電極を配置しておき、電極への交流電圧の印加を
切り換えて、所定の位置に定在波の腹や節を発生させる
ものである。すなわち40ノが電極であり、この電極4
01に402を発生源とする交流電圧をマルチブレフサ
403を介して印加する。同図はプルチプレクサ403
により第1番電極と第N番電極とに交流電圧を印加して
いる場合であるため、振動体301(または302)は
404で示した位相定在波を生じている。なお、その際
の波長は周知の如(下式で与えられる。
多数の電極を配置しておき、電極への交流電圧の印加を
切り換えて、所定の位置に定在波の腹や節を発生させる
ものである。すなわち40ノが電極であり、この電極4
01に402を発生源とする交流電圧をマルチブレフサ
403を介して印加する。同図はプルチプレクサ403
により第1番電極と第N番電極とに交流電圧を印加して
いる場合であるため、振動体301(または302)は
404で示した位相定在波を生じている。なお、その際
の波長は周知の如(下式で与えられる。
ここでEは振動体のヤング率、工は断面2次モーメント
、戸は密度、人は断面積、ωは交流印加電圧の周波数で
ある。すなわち、振動体の寸法等とωにより波長は一意
に定まるため、波長に対応した位置で電極を設置するこ
とは可能となる。また、定在波の腹の位置の変化の速度
、すなわちマルチブレフサの切り換えの速度が直線運動
の速度を与える。
、戸は密度、人は断面積、ωは交流印加電圧の周波数で
ある。すなわち、振動体の寸法等とωにより波長は一意
に定まるため、波長に対応した位置で電極を設置するこ
とは可能となる。また、定在波の腹の位置の変化の速度
、すなわちマルチブレフサの切り換えの速度が直線運動
の速度を与える。
方法(b)では第5図に示すように交流電圧発生源とし
て501と502を用い、501は電極503−1と5
03−2に印加し、5θ2は電極503−3と503−
4に印加する。電極503−1,503−2の組と電極
5−03−3゜50B−’4の組とは同図(a) K示
すように互いにAl4隔てて配置している。交流電圧発
生源501の交流電圧t−As1n (ωt) *交流
電圧発生源502の交流電圧を13sin(ωt)とす
る。
て501と502を用い、501は電極503−1と5
03−2に印加し、5θ2は電極503−3と503−
4に印加する。電極503−1,503−2の組と電極
5−03−3゜50B−’4の組とは同図(a) K示
すように互いにAl4隔てて配置している。交流電圧発
生源501の交流電圧t−As1n (ωt) *交流
電圧発生源502の交流電圧を13sin(ωt)とす
る。
すなわち、両型源とも、振幅は異なるが、同一周波数か
つ同位相の交流電圧を出力する。ここで、Al1でB=
0とすれば、同図(b)で示すような定在波が発生する
。これは、下式で表現できる。
つ同位相の交流電圧を出力する。ここで、Al1でB=
0とすれば、同図(b)で示すような定在波が発生する
。これは、下式で表現できる。
Y a = a 5in(X)sin (al t)こ
こで、Yaは交流電圧発生源501によって発生した振
動による振動板表面に垂直な方向の変位、X=2πX/
λ(、xは図示の方向)、aはAに比例して実際の変位
を与える定数である。
こで、Yaは交流電圧発生源501によって発生した振
動による振動板表面に垂直な方向の変位、X=2πX/
λ(、xは図示の方向)、aはAに比例して実際の変位
を与える定数である。
同様に、A=0かつB)0とすれば、XとしてX−π/
4を用いることで、 Y b = bsin (X−+r/2) sin (
(1) t) kcos(X)sin (ωt)を得る
。ここで、ybは又流電圧発生源502により発生する
振動の変位、btiBに比例して実際の変位を与える比
例定数である。
4を用いることで、 Y b = bsin (X−+r/2) sin (
(1) t) kcos(X)sin (ωt)を得る
。ここで、ybは又流電圧発生源502により発生する
振動の変位、btiBに比例して実際の変位を与える比
例定数である。
Al1かつBI3とすれば、振動板の振動の変位Yは。
Y=Ya−)−Yb
= a 5in(X) sin (61t) −bco
s(X)sin (ωt)= sin (ωt ) (
asin(X) −bcos閃)ある。
s(X)sin (ωt)= sin (ωt ) (
asin(X) −bcos閃)ある。
この式より、aとbの値を適当に選べば振幅を一定のま
まで定在波の腹または節の位置を任意に設定できること
がわかる。実際、一定の振幅値をに1節の位置iX:d
とすれば、(a” + b” ) V* =K b/ a == fan (α) b / a = を間(2π・d/λ)を満たすaとb
’l与えれば良い。すなわち、上の連立方程式は簡単に
解けて、 a = K cos(a) b= K 5in(α) となる、そのため、例えば振動体3011に振動体30
2に対して、等速度で距離λだけ送るには、交流電圧発
生源501と502の出力の振幅値であるA、Bi第6
図(a)に示した波形の如く変化させれば良い。601
,602はA、Bの振幅値の波形である。第5図の交流
電圧発生源501と502の両機能を実現させるための
実施例を第6図(b)に示す、608は位置の制御量に
応じた電圧の発生装置であり、この出力はサイン波の発
生装置である604の■C0(VOI、TAGB C0
NTR0LED 08CILLATOR:すなわち、電
圧で周波数を制御する機能)入力端子607に入力され
る。これに応じてサイン波発生装置604からはサイン
波を、また位相調整器605を経てコサイン波発生器6
06からはコサイン波(サイン波発生装置604の出力
の位相tπ/2だけ進めた波形)が出力される。この出
力はアナログ乗算器609−1と609−2において、
超音波振動用の交流電圧の発生装置603の出力と乗算
されて、それぞれ第5図の交流電圧発生源501と50
2との出力を与える。
まで定在波の腹または節の位置を任意に設定できること
がわかる。実際、一定の振幅値をに1節の位置iX:d
とすれば、(a” + b” ) V* =K b/ a == fan (α) b / a = を間(2π・d/λ)を満たすaとb
’l与えれば良い。すなわち、上の連立方程式は簡単に
解けて、 a = K cos(a) b= K 5in(α) となる、そのため、例えば振動体3011に振動体30
2に対して、等速度で距離λだけ送るには、交流電圧発
生源501と502の出力の振幅値であるA、Bi第6
図(a)に示した波形の如く変化させれば良い。601
,602はA、Bの振幅値の波形である。第5図の交流
電圧発生源501と502の両機能を実現させるための
実施例を第6図(b)に示す、608は位置の制御量に
応じた電圧の発生装置であり、この出力はサイン波の発
生装置である604の■C0(VOI、TAGB C0
NTR0LED 08CILLATOR:すなわち、電
圧で周波数を制御する機能)入力端子607に入力され
る。これに応じてサイン波発生装置604からはサイン
波を、また位相調整器605を経てコサイン波発生器6
06からはコサイン波(サイン波発生装置604の出力
の位相tπ/2だけ進めた波形)が出力される。この出
力はアナログ乗算器609−1と609−2において、
超音波振動用の交流電圧の発生装置603の出力と乗算
されて、それぞれ第5図の交流電圧発生源501と50
2との出力を与える。
以上で本発明の基本的な動作原理とそれに必要な振動体
における定在波の発生方法とについて明らかにした。つ
ぎに、本発明の実施例について述べる。第7図(a)
、 (b)は本発明の基本動作原理を用いて、回転モー
タを構成した例であり、ドーナツ円板状に製作した振動
体704と705を5層重ねており、2層、すなわち振
動体105を図に示すように回転軸701に直結させて
いる。振動体に円周方向に定在波を発生させ、振動体7
04と705における腹または節の相対的な位置を前述
の方法で変化させることにより、振動体705は振動体
704に対して円周方向に駆動させられるため1回転軸
70ノが回転をする。定在波の腹または節の位置を逆方
向に変位させたり、一定量の変位後停止させることで、
本例のモータはサーボモータとしての機能を有すること
も明らかである。なお、上記のモータや直線運動アクチ
ュエータは、1μm以下のピッチで電極を形成している
表面弾性波素子の製作例に見られるような半導体製造技
術を用いて極めて小形に製造している。第7図(a)
、 (b)中、702.703は軸受、706は固定ケ
ース、707は配線である。第8図は第3図の301と
302で述べた振動体のうち定在波の腹または節の位置
を変化させない側の振動体の代わりに、半導体製造技術
の一環として近年技術の進歩の著しい微細加工技術を応
用して振動体の振動の波長に応じたピッチで凹凸を形成
させ、定在波の波形に対応した表面形状を持たせた中間
体801を振動体302に重ね合わせて直線運動アクチ
ュエータを製造した実施例である。これまでの説明によ
り、振動体302の定在波の腹または節の位置を制御す
ることでこの中間体801 (あるいはその反作用とし
て振動体302)を駆動できることは明らかである。
における定在波の発生方法とについて明らかにした。つ
ぎに、本発明の実施例について述べる。第7図(a)
、 (b)は本発明の基本動作原理を用いて、回転モー
タを構成した例であり、ドーナツ円板状に製作した振動
体704と705を5層重ねており、2層、すなわち振
動体105を図に示すように回転軸701に直結させて
いる。振動体に円周方向に定在波を発生させ、振動体7
04と705における腹または節の相対的な位置を前述
の方法で変化させることにより、振動体705は振動体
704に対して円周方向に駆動させられるため1回転軸
70ノが回転をする。定在波の腹または節の位置を逆方
向に変位させたり、一定量の変位後停止させることで、
本例のモータはサーボモータとしての機能を有すること
も明らかである。なお、上記のモータや直線運動アクチ
ュエータは、1μm以下のピッチで電極を形成している
表面弾性波素子の製作例に見られるような半導体製造技
術を用いて極めて小形に製造している。第7図(a)
、 (b)中、702.703は軸受、706は固定ケ
ース、707は配線である。第8図は第3図の301と
302で述べた振動体のうち定在波の腹または節の位置
を変化させない側の振動体の代わりに、半導体製造技術
の一環として近年技術の進歩の著しい微細加工技術を応
用して振動体の振動の波長に応じたピッチで凹凸を形成
させ、定在波の波形に対応した表面形状を持たせた中間
体801を振動体302に重ね合わせて直線運動アクチ
ュエータを製造した実施例である。これまでの説明によ
り、振動体302の定在波の腹または節の位置を制御す
ることでこの中間体801 (あるいはその反作用とし
て振動体302)を駆動できることは明らかである。
以上説明したように、本発明は電磁界を発生させること
なく駆動力を発生させる超音波モータあるいはアクチュ
エータにおいて、前記の特徴を保持したままで寿命と高
効率の両者を、極めて簡単な構成で実現させるという長
所を有しているとともK、微細加工技術が高度に進んで
いる半導体製造技術を用いて、極めて小形のものを製造
できるという長所を持っている。また、構造が簡単なた
め、振動板を多層化するだけで駆動力を増大させること
が可能となる長所を持っている。さらに、方法(、)に
よれば超音波振動の発生源は1個で済み、方法(b)に
よれば電極への配線数を少なくすることができるという
長所を有している。
なく駆動力を発生させる超音波モータあるいはアクチュ
エータにおいて、前記の特徴を保持したままで寿命と高
効率の両者を、極めて簡単な構成で実現させるという長
所を有しているとともK、微細加工技術が高度に進んで
いる半導体製造技術を用いて、極めて小形のものを製造
できるという長所を持っている。また、構造が簡単なた
め、振動板を多層化するだけで駆動力を増大させること
が可能となる長所を持っている。さらに、方法(、)に
よれば超音波振動の発生源は1個で済み、方法(b)に
よれば電極への配線数を少なくすることができるという
長所を有している。
第1図および第2図は従来の超音波モータを説明するた
めの構成図、第3図は本発明の基本的な動作原理を説明
するための図、第4図は本発明に係る定在波の腹または
節の位置を制御するための方法(a) vi−説明する
ための図、第5図は本発明に係る定在波の制御方法(b
) t−説明するための図、第6図は本発明に係る方法
価)における、交流電圧の振幅値および交流電源の構成
例を説明するための図、第7図は本発明に基づく超音波
振動サーボモータの一実施例を示す構成図。 第8図は本発明に係る重ね合わせる振動体の一方を、表
面形状を工夫した中間体で置き換えて直線運動アクチュ
エータを構成した例を示すための図である。 10ノ・・・動体、102・・・片持梁(エツジ)%1
03・・・圧電素子、201・・・動体、202・・・
弾性体、301.302・・・振動体1.q03・・・
定在波の節の位置、304・・・定在波の腹の位置、3
05・・・接触点、306・・・接触力を示す矢印、3
07・・・駆動方向(X方向)の力の成分を示す矢印、
401・・・電極、402・・・超音波振動発生用の交
流電圧の発生源、403・・・マルチブレフサ、404
・・・振動板に発生させる定在波の波形。 501と502・・・交流電圧発生源、503・・・I
動赫601.602・・・&、Bの振幅値の波形、60
3・・・超音波振動用交流戦圧発生装置、604・・・
サイン波発生装置、605・・・位相調整器、606・
・・コサイン波発生器、601・・・■CO入力端子。 608・・・駆動量制御信号電圧発生装置、609・・
・アナログ乗算器、701・・・回転軸、7q2゜70
3・・・軸受、704・・・固定側振動体、705・・
・・回転側振動体、706・・・固定ケース、707・
・・配線、801・・・中間体。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第2図 −へ 第7図 、?、
めの構成図、第3図は本発明の基本的な動作原理を説明
するための図、第4図は本発明に係る定在波の腹または
節の位置を制御するための方法(a) vi−説明する
ための図、第5図は本発明に係る定在波の制御方法(b
) t−説明するための図、第6図は本発明に係る方法
価)における、交流電圧の振幅値および交流電源の構成
例を説明するための図、第7図は本発明に基づく超音波
振動サーボモータの一実施例を示す構成図。 第8図は本発明に係る重ね合わせる振動体の一方を、表
面形状を工夫した中間体で置き換えて直線運動アクチュ
エータを構成した例を示すための図である。 10ノ・・・動体、102・・・片持梁(エツジ)%1
03・・・圧電素子、201・・・動体、202・・・
弾性体、301.302・・・振動体1.q03・・・
定在波の節の位置、304・・・定在波の腹の位置、3
05・・・接触点、306・・・接触力を示す矢印、3
07・・・駆動方向(X方向)の力の成分を示す矢印、
401・・・電極、402・・・超音波振動発生用の交
流電圧の発生源、403・・・マルチブレフサ、404
・・・振動板に発生させる定在波の波形。 501と502・・・交流電圧発生源、503・・・I
動赫601.602・・・&、Bの振幅値の波形、60
3・・・超音波振動用交流戦圧発生装置、604・・・
サイン波発生装置、605・・・位相調整器、606・
・・コサイン波発生器、601・・・■CO入力端子。 608・・・駆動量制御信号電圧発生装置、609・・
・アナログ乗算器、701・・・回転軸、7q2゜70
3・・・軸受、704・・・固定側振動体、705・・
・・回転側振動体、706・・・固定ケース、707・
・・配線、801・・・中間体。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第2図 −へ 第7図 、?、
Claims (2)
- (1)超音波振動を発生させる振動体もしくは超−音波
振動の波長に応じたピッチで凹凸を形成させた中間体と
、超音波振動を発生させ振動、の状体を変化させ得る振
動体とを重ね、この振動体の振動の状態を変化させるこ
とで駆動力を発生させることを特徴とする超音波駆動方
法= - (2)超音波振動を発生させ振動の状態を変化させ得る
振動体として、少なくとも2つ以上の電極からなる組を
少なくとも2つ以上有しこれらの組を互いに振動体の振
動の波長のv4の間隔で配置した振動体を用いたことを
特徴とする特許請求の範囲第1項記載の超音波駆動方法
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58198921A JPS6091879A (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | 超音波駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58198921A JPS6091879A (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | 超音波駆動方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6091879A true JPS6091879A (ja) | 1985-05-23 |
Family
ID=16399170
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58198921A Pending JPS6091879A (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | 超音波駆動方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6091879A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6430472A (en) * | 1987-07-22 | 1989-02-01 | Aisin Seiki | Ultrasonic motor |
US4912351A (en) * | 1987-09-25 | 1990-03-27 | Hitachi, Ltd. | Piezoelectric motor |
US5006749A (en) * | 1989-10-03 | 1991-04-09 | Regents Of The University Of California | Method and apparatus for using ultrasonic energy for moving microminiature elements |
US5050157A (en) * | 1987-11-30 | 1991-09-17 | Nec Home Electronics Ltd. | Friction reducing piezoelectric feed guide mechanism |
US5216313A (en) * | 1988-12-16 | 1993-06-01 | Alps Electric Co., Ltd. | Ultrasonic wave linear motor |
-
1983
- 1983-10-24 JP JP58198921A patent/JPS6091879A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6430472A (en) * | 1987-07-22 | 1989-02-01 | Aisin Seiki | Ultrasonic motor |
US4912351A (en) * | 1987-09-25 | 1990-03-27 | Hitachi, Ltd. | Piezoelectric motor |
US5050157A (en) * | 1987-11-30 | 1991-09-17 | Nec Home Electronics Ltd. | Friction reducing piezoelectric feed guide mechanism |
US5216313A (en) * | 1988-12-16 | 1993-06-01 | Alps Electric Co., Ltd. | Ultrasonic wave linear motor |
US5006749A (en) * | 1989-10-03 | 1991-04-09 | Regents Of The University Of California | Method and apparatus for using ultrasonic energy for moving microminiature elements |
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