JPH08198467A

JPH08198467A - 板状体剥離装置

Info

Publication number: JPH08198467A
Application number: JP1232895A
Authority: JP
Inventors: Yasuyuki Nishio; 保之西尾
Original assignee: Hoya Corp
Current assignee: Hoya Corp
Priority date: 1995-01-30
Filing date: 1995-01-30
Publication date: 1996-08-06

Abstract

(57)【要約】【目的】板状体を１枚ずつ剥離して搬送するための板
状体剥離装置において、板状体を傷つけることなく容易
に剥離できるようにし、板状体が小さい場合でも十分に
剥離でき、さらに機構を簡単にする。【構成】懸架台２を下降して吸盤４ａの下端部がチッ
プ７ａの表面から距離ｔ＝０．２ｍｍ程度のところで停
止させ、この停止状態でパイプ３ａ内の通路を介して吸
盤４ａの吸着面側の空気を吸引すると、吸盤４ａとチッ
プ７ａ間が負圧状態になり、吸盤４ａがこの負圧によっ
てチップ７ａ側に変形し、最終的にチップ７ａに吸着す
る。さらに吸引装置による吸引を続けると、今度は、吸
盤４ａは縮んで元の状態に戻ろうとする。この縮もうと
する力がチップ７ａを基板６から剥離させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は板状体を剥離するための
板状体剥離装置に関し、特に板状体を１枚ずつ剥離して
搬送する板状体剥離装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、積載された板状体を１枚ずつ剥離
させる方法としては、板状体に吸盤を吸着させて剥離さ
せるものが広く用いられている。このような技術の一例
としては、特開昭６１−１５５１３５号公報による板状
体の移載方法がある。

【０００３】図６はこの従来の板状体の移載方法による
装置構成を示す図である。懸架台６１には、先端に吸盤
６３ａ〜６３ｄが取り付けられた複数本のパイプ６２ａ
〜６２ｄが適当な間隔で設けられている。各パイプ６２
ａ〜６２ｄは、調節ネジ６４ａ〜６４ｄによってその長
さが調節され、ここでは右側のパイプ６２ｄから順に短
くなるように設定されている。

【０００４】このような懸架台６１は、昇降手段６６の
動作によって、まずパレット６８に積載された板状体６
７に向かって下降し、各吸盤６３ａ〜６３ｄを最上部の
板状体６７ａの上面に押しつける。そして、吸引パイプ
６５ａ〜６５ｄを介して吸盤６３ａ〜６３ｄと板状体６
７ａとの密着部を吸引し、板状体６７ａの一端側（吸盤
６３ｄ側）から剥離して持ち上げる。

【０００５】なお、この特開昭６１−１５５１３５号で
は、この他に、板状体６７ａを両端から持ち上げる例
や、並列に積載された複数枚の板状体を同時に持ち上げ
て移動させる例が開示されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような方
法では、以下のような様々な問題点があった。（１）１枚の板状体を複数個の吸盤で持ち上げる構成な
ので、板状体が小さい場合（吸盤と同じ程度）には使用
できない。（２）板状体が固い場合や凸レンズ状のような形状の場
合には、図６のように反らせることができないので、剥
離がうまくできない。（３）板状体の下面が、摩擦で生じた静電気等により吸
着性を帯びていたり、粘着剤等で固定されている場合に
は、その密着性のため剥離がうまくできない。（４）吸盤を板状体に押しつけるので、そのときに下側
の板状体あるいは基板との密着力が高まってしまい、剥
離がうまくできない。（５）吸盤を押しつけることにより、板状体が傷つく心
配がある。（６）パイプ６２ａ〜６２ｄの長さを調節する機構等が
必要となるため、装置全体の機構が複雑になる。

【０００７】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、板状体を傷つけることなく容易に剥離を行う
ことができ、板状体が小さい場合でも十分に剥離するこ
とができ、さらに機構が簡単な板状体搬送装置を提供す
ることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、板状体を１枚ずつ剥離して搬送するため
の板状体剥離装置において、一端に吸盤が取り付けら
れ、前記吸盤の吸着面側と連通する連通路が形成される
吸盤支持軸と、前記吸盤支持軸が取り付けられる懸架台
と、前記懸架台を下降させ、前記吸盤を前記板状体と所
定間隔の位置まで接近させる下降制御手段と、前記接近
させた位置で前記吸盤支持軸の連通路を介して前記吸盤
の吸着面側を吸引する吸引制御手段と、前記吸盤が前記
吸引力により変形して前記板状体の上面に吸着すること
によって前記板状体が剥離した後、前記懸架台を上昇さ
せる上昇制御手段と、を有することを特徴とする板状体
剥離装置が提供される。

【０００９】

【作用】懸架台に取り付けられる吸盤支持軸の一端には
吸盤が取り付けられている。また、この吸盤支持軸には
吸盤の吸着面側と連通する連通路が形成されている。接
近制御手段が懸架台を下降させ、吸盤を板状体と所定間
隔の位置まで接近させると、吸引制御手段は、その接近
させた位置で、吸盤支持軸の連通路を介して吸盤の吸着
面側を吸引する。この吸引力により、吸盤が板状体側に
変形して板状体と接触して板状体表面に吸着する。さら
に吸引を続ければ、吸盤が縮むので、板状体は剥離す
る。こうして板状体が剥離した後、上昇制御手段が懸架
台を上昇させることにより、剥離した板状体の搬送が可
能になる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図２は本実施例の板状体剥離装置の概略構成を
示す図である。板状体剥離装置１は、主に、懸架台２
と、パイプ３ａ〜３ｄと、吸盤４ａ〜４ｄと、昇降伝達
部材５とを有している。吸盤支持軸としてのパイプ３ａ
〜３ｄは、懸架台２にほぼ等間隔で設けられている。こ
の間隔は、後述するチップ７ａ〜７ｄの各中心間隔とほ
ぼ同じである。パイプ３ａ〜３ｄの下端部には、それぞ
れ吸盤４ａ〜４ｄが設けられている。これら吸盤４ａ〜
４ｄは、下面部の高さがほぼ一致するように取り付けら
れている。吸盤４ａ〜４ｄは、天然ゴム等の弾性材料で
形成されており、その直径は約１０ｍｍである。パイプ
３ａ〜３ｄ内の通路は、吸盤４ａ〜４ｄの吸着面側と連
通している。また、パイプ３ａ〜３ｄの上端部は、図示
されていない吸引装置と連結されている。こうして、懸
架台２は、昇降伝達部材５および図示されていないエア
シリンダ等の昇降機構によって昇降駆動される。

【００１１】基板６はガラス製の基板であり、この基板
６上には、ワックス８によりガラス製の薄板７が載置さ
れている。この薄板７は、基板６上で約１２ｍｍ角の複
数のチップ７ａ〜７ｄに分断されている。

【００１２】板状体剥離装置１は、以下に示すように、
この分断されたチップ７ａ〜７ｄを基板６から剥離し、
他の場所に移動させる。次に、本実施例の板状体剥離装
置１による剥離動作の具体例を図１、図３、図４および
図５に基づいて説明する。なお、ここでは、チップ７ａ
の剥離動作について説明し、他のチップ７ｂ〜７ｄにつ
いては、ほぼ同じ動作なので説明を省略する。

【００１３】図３は剥離動作開始前のセッティング状態
を示す図である。まず、懸架台２は、吸盤４ａが剥離の
対象となるチップ７ａの真上で、かつチップ７ａよりも
十分に高い所に位置決めされる。このとき、ワックス８
は、加熱されて液状になっている。この状態から懸架台
２が下降し、吸盤４ａがチップ７ａに向かってアプロー
チする。

【００１４】図１はアプローチ完了状態を示す図であ
る。吸盤４ａは、その下端部がチップ７ａの表面から距
離ｔ＝０．２ｍｍ程度のところで停止する。この停止位
置は、図示されていないストッパ等で制御する。この停
止状態で吸引装置により吸引を開始すると、パイプ３ａ
内の通路を介して吸盤４ａの吸着面側の空気が吸引され
る。これにより、吸盤４ａとチップ７ａ間が負圧状態に
なり、吸盤４ａがこの負圧によってチップ７ａ側に変形
し、最終的にチップ７ａに吸着する。

【００１５】図４は吸盤４ａとチップ７ａの吸着後の状
態を示す図である。負圧により吸盤４ａがチップ７ａに
吸着した状態で、さらに吸引装置による吸引を続ける
と、今度は、吸盤４ａは縮もうとする。この縮もうとす
る力がチップ７ａを基板６から剥離させる。

【００１６】図５は剥離後の状態を示す図である。この
ようにチップ７ａが基板６から確実に剥離されると、吸
引を続けながら懸架台２を上昇させる。これにより、チ
ップ７ａの移動が可能となる。この懸架台２を上昇させ
るタイミングとしては、アプローチ後の吸引開始から所
定時間（例えば２秒）の経過を確認した時点が好まし
い。

【００１７】なお、他のチップ７ｂ〜７ｄについても同
様の剥離動作が行われる。このように、本実施例では、
吸盤４ａ〜４ｄをそれぞれチップ７ａ〜７ｄの上面から
やや離した位置で吸引し、その吸引力による吸盤４ａ〜
４ｄの変形および縮みによってチップ７ａ〜７ｄを剥離
するようにしたので、吸盤４ａ〜４ｄをチップ７ａ〜７
ｄに押しつけないで吸着できる。よって、チップ７ａ〜
７ｄを傷つけることなく、目的とするチップを容易に剥
離させることができる。さらに、チップ７ａ〜７ｄとワ
ックス８との吸着力を高めてしまうことがないので、容
易に剥離させることができる。

【００１８】また、チップ７ａ〜７ｄを反らせなくても
吸盤１個単位で容易に剥離できるので、チップ７ａ〜７
ｄが固い場合や、本実施例のようにチップ７ａ〜７ｄが
小さい場合でも、確実に剥離することができる。特に、
チップ７ａ〜７ｄのように小さい板状体の場合には、同
時に多数枚の剥離が可能である。

【００１９】さらに、各パイプ３ａ〜３ｄの長さの微調
整機構等を設ける必要がないので、装置全体の機構を簡
単にできる。なお、本実施例では、基板６上に載置され
た１層のチップ７ａ〜７ｄを剥離させる例を示したが、
板状体が多数枚積載され、その最上部の板状体を剥離移
動させる場合にも適用できる。

【００２０】また、板状体が吸盤４ａ等よりも十分大き
い場合でも、一枚の板状体に対して複数個の吸盤を用い
れば、容易に板状体を剥離させることができる。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように本発明では、連通路
の形成された吸盤支持軸に取り付けられた吸盤を板状体
と所定間隔の位置まで接近させ、その接近させた位置で
吸盤の吸着面側を吸引して吸盤を板状体側に変形させる
ことにより板状体表面に吸着させ、さらに吸盤が縮むこ
とで板状体を剥離するようにしたので、吸盤を板状体に
押しつけないで吸着、剥離することができる。よって、
板状体を傷けないで済む。また、板状体の下面の吸着力
を高めてしまうことがないので、容易に剥離させること
ができる。特に、板状体の下面がワックスで固定されて
いる場合には、より効果が高い。

【００２２】また、このことから、板状体を反らせなく
ても吸盤１個単位で容易に剥離できるので、板状体が固
い場合や、板状体が吸盤と同じ程度の大きさしかない場
合でも剥離が可能となる。特に、板状体が吸盤１個程度
で持ち上げられる大きさであれば、多数枚並列に載置さ
れた板状体を、吸盤の数だけ同時に剥離、移動させるこ
とができる。

【００２３】さらに、各吸盤支持軸の長さの微調整機構
等を設ける必要がないので、装置全体の機構を簡単にで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】アプローチ完了状態を示す図である。

【図２】本実施例の板状体剥離装置の概略構成を示す図
である。

【図３】剥離動作開始前のセッティング状態を示す図で
ある。

【図４】吸盤とチップの吸着後の状態を示す図である。

【図５】剥離後の状態を示す図である。

【図６】従来の板状体の移載方法による装置構成を示す
図である。

【符号の説明】

１板状体剥離装置２懸架台３ａ〜３ｄパイプ（吸盤支持軸）４ａ〜４ｄ吸盤５昇降伝達部材６基板７薄板７ａ〜７ｄチップ（板状体）８ワックス

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】板状体を１枚ずつ剥離して搬送するため
の板状体剥離装置において、一端に吸盤が取り付けられ、前記吸盤の吸着面側と連通
する連通路が形成される吸盤支持軸と、前記吸盤支持軸が取り付けられる懸架台と、前記懸架台を下降させ、前記吸盤を前記板状体と所定間
隔の位置まで接近させる下降制御手段と、前記接近させた位置で前記吸盤支持軸の連通路を介して
前記吸盤の吸着面側を吸引する吸引制御手段と、前記吸盤が前記吸引力により変形して前記板状体の上面
に吸着することによって前記板状体が剥離した後、前記
懸架台を上昇させる上昇制御手段と、を有することを特徴とする板状体剥離装置。
【請求項２】前記吸盤の取り付けられた吸盤支持軸
は、前記懸架台に、所定間隔をあけて複数個取り付けら
れていることを特徴とする請求項１記載の板状体剥離装
置。
【請求項３】前記吸盤１個につき１枚の板状体の剥離
を行うように構成されていることを特徴とする請求項２
記載の板状体剥離装置。
【請求項４】吸盤の吸着面側と連通する連通路から吸
引することにより板状体を剥離する方法において、前記吸盤と前記板状体の吸着面に所定の間隔を開けて接
近させ、前記吸盤が前記吸引力により変形して前記板状
体上面に吸着した後、再び前記吸盤が前記吸引力によっ
て変形することを利用して、前記板状体を剥離すること
を特徴とする、板状体剥離方法。