JPH081977A - サーマルヘッド - Google Patents
サーマルヘッドInfo
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- JPH081977A JPH081977A JP13291694A JP13291694A JPH081977A JP H081977 A JPH081977 A JP H081977A JP 13291694 A JP13291694 A JP 13291694A JP 13291694 A JP13291694 A JP 13291694A JP H081977 A JPH081977 A JP H081977A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】製造コストの低減化。高性能且つ高信頼性のサ
ーマルヘッド。 【構成】複数の発熱抵抗体18と、個別電極19と、共
通電極17とを設けたセラミック基板14を放熱板13
上に設けるとともに、複数の発熱抵抗体18の発熱を制
御すべく新規駆動回路素子を複数個フェイスダウンボン
ディングにより搭載したプリント基板15に並設して成
るサーマルヘッド。
ーマルヘッド。 【構成】複数の発熱抵抗体18と、個別電極19と、共
通電極17とを設けたセラミック基板14を放熱板13
上に設けるとともに、複数の発熱抵抗体18の発熱を制
御すべく新規駆動回路素子を複数個フェイスダウンボン
ディングにより搭載したプリント基板15に並設して成
るサーマルヘッド。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばファックス等に
用いられるサーマルヘッドに関するものである。
用いられるサーマルヘッドに関するものである。
【0002】
【従来の技術】図14〜図17は従来のサーマルヘッド
であって、図14はサーマルヘッド1の外観図、図15
はそのサーマルヘッド1の電気的構成を示す回路図であ
り、更に図16はサーマルヘッド1に搭載するドライバ
ーIC2の回路図、図17はその動作を示すタイミング
チャートである。
であって、図14はサーマルヘッド1の外観図、図15
はそのサーマルヘッド1の電気的構成を示す回路図であ
り、更に図16はサーマルヘッド1に搭載するドライバ
ーIC2の回路図、図17はその動作を示すタイミング
チャートである。
【0003】図14のサーマルヘッド1によれば、アル
ミナなどの電気絶縁性セラミック基板3の上にガラスか
らなる蓄熱層4を形成し、更にTaN等からなる抵抗体
膜と、Alなどからなる電極層とを順次形成した後、フ
ォトリソグラフィーによって共通電極5と、発熱抵抗体
6と、個別電極7とを形成する。また、セラミック基板
3の上には各発熱抵抗体6を印画制御するためのドライ
バーIC2を搭載し、各個別電極7とドライバーIC2
のスイッチング素子とを、それぞれハンダバンプにより
フェイスダウンボンディングでもって接続している。し
かも、上記のような電気絶縁性セラミック基板3はアル
ミニウム等の熱伝導性の高い金属から成る放熱板8の上
に搭載し、更にこの放熱板8の上には各ドライバーIC
2を駆動制御するための配線基板9も搭載している。そ
して、配線基板9上の配線と、電気絶縁性基板3上の配
線とはハンダやAuワイヤーによって電気的に接続し、
更にこの配線基板9上の配線は、コネクター10を介し
て外部と接続する。
ミナなどの電気絶縁性セラミック基板3の上にガラスか
らなる蓄熱層4を形成し、更にTaN等からなる抵抗体
膜と、Alなどからなる電極層とを順次形成した後、フ
ォトリソグラフィーによって共通電極5と、発熱抵抗体
6と、個別電極7とを形成する。また、セラミック基板
3の上には各発熱抵抗体6を印画制御するためのドライ
バーIC2を搭載し、各個別電極7とドライバーIC2
のスイッチング素子とを、それぞれハンダバンプにより
フェイスダウンボンディングでもって接続している。し
かも、上記のような電気絶縁性セラミック基板3はアル
ミニウム等の熱伝導性の高い金属から成る放熱板8の上
に搭載し、更にこの放熱板8の上には各ドライバーIC
2を駆動制御するための配線基板9も搭載している。そ
して、配線基板9上の配線と、電気絶縁性基板3上の配
線とはハンダやAuワイヤーによって電気的に接続し、
更にこの配線基板9上の配線は、コネクター10を介し
て外部と接続する。
【0004】次に上記サーマルヘッド1の一例の電気的
構成を図15により示し、多数の発熱抵抗体R1〜R1
728と、複数のドライバーIC2などで構成されてい
る。更に576個の発熱抵抗体及び9個のドライバーI
C2を一つのブロックとして計3個のブロックB1〜B
3に区分されて印画動作を行う。
構成を図15により示し、多数の発熱抵抗体R1〜R1
728と、複数のドライバーIC2などで構成されてい
る。更に576個の発熱抵抗体及び9個のドライバーI
C2を一つのブロックとして計3個のブロックB1〜B
3に区分されて印画動作を行う。
【0005】図16は、図12に示すドライバーIC2
の一例を示す回路図であり、シリアルデータから成る印
画データDIを外部らのクロック信号CLKに同期して
転送することによって、所定ビット数毎にパラレルデー
タに変換して出力するシフトレジスタSR1〜SRn
と、外部からのラッチ信号LATによって、シフトレジ
スタSR1〜SRnの出力を記憶する複数のラッチ回路
L1〜Lnと、外部からのストローブ信号STBI及び
印画制御信号BEOによって、各ラッチ回路L1〜Ln
の出力を開閉する複数のゲート素子G1〜Gnと、各ゲ
ート素子G1〜Gnの出力によって発熱抵抗体R1〜R
1728に流れる電流を制御する複数のスイッチング素
子T1〜Tnなどから構成されている。
の一例を示す回路図であり、シリアルデータから成る印
画データDIを外部らのクロック信号CLKに同期して
転送することによって、所定ビット数毎にパラレルデー
タに変換して出力するシフトレジスタSR1〜SRn
と、外部からのラッチ信号LATによって、シフトレジ
スタSR1〜SRnの出力を記憶する複数のラッチ回路
L1〜Lnと、外部からのストローブ信号STBI及び
印画制御信号BEOによって、各ラッチ回路L1〜Ln
の出力を開閉する複数のゲート素子G1〜Gnと、各ゲ
ート素子G1〜Gnの出力によって発熱抵抗体R1〜R
1728に流れる電流を制御する複数のスイッチング素
子T1〜Tnなどから構成されている。
【0006】多数の発熱抵抗体R1〜Rn(図14の発
熱抵抗体6)の一端は、各スイッチング素子T1〜Tn
のドレイン素子に接続されるとともに、各発熱抵抗体R
1〜Rnの他端は共通に外部電源11の出力側VHに接
続されており、各スイッチング素子T1〜Tnのソース
側が共通して接続された端子GND2に、外部電源11
の接地側が接続されている。
熱抵抗体6)の一端は、各スイッチング素子T1〜Tn
のドレイン素子に接続されるとともに、各発熱抵抗体R
1〜Rnの他端は共通に外部電源11の出力側VHに接
続されており、各スイッチング素子T1〜Tnのソース
側が共通して接続された端子GND2に、外部電源11
の接地側が接続されている。
【0007】図17のタイミングチャートにより、上記
回路の動作を説明する。一走査線として形成される17
28画素分の印画データDATAは、クロック信号CL
Kに同期して各ドライバーIC2のシフトレジスタSR
1〜SRnに入力、転送され、各ドライバーIC2にお
いて64画素分の印画信号DATAがそれぞれパラレル
データに変換される。
回路の動作を説明する。一走査線として形成される17
28画素分の印画データDATAは、クロック信号CL
Kに同期して各ドライバーIC2のシフトレジスタSR
1〜SRnに入力、転送され、各ドライバーIC2にお
いて64画素分の印画信号DATAがそれぞれパラレル
データに変換される。
【0008】次に、ラッチ信号LATが反転して、ドラ
イバーIC2のシフトレジスタSR1〜SRnの出力
が、各ラッチ回路L1〜Lnに記憶される。
イバーIC2のシフトレジスタSR1〜SRnの出力
が、各ラッチ回路L1〜Lnに記憶される。
【0009】更に次に、印画制御信号BEOがハイレベ
ルに反転して、ストローブ信号STB1にローレベルに
反転すると、発熱抵抗体R1〜R576から成るブロッ
クB1に対応する9個のドライバーIC2の各ゲート素
子G1〜Gnが開いて、各ラッチ回路L1〜Lnに記憶
された印画信号DATAに基づいて各スイッチング素子
T1〜Tnが選択的に導通状態となる。これにより、発
熱抵抗体R1〜R576に選択的に電流が流れて発熱
し、感熱紙や熱転写フィルムを加熱して、ブロックB1
に対応する一走査線の1/3の部分の印画動作を行う。
ルに反転して、ストローブ信号STB1にローレベルに
反転すると、発熱抵抗体R1〜R576から成るブロッ
クB1に対応する9個のドライバーIC2の各ゲート素
子G1〜Gnが開いて、各ラッチ回路L1〜Lnに記憶
された印画信号DATAに基づいて各スイッチング素子
T1〜Tnが選択的に導通状態となる。これにより、発
熱抵抗体R1〜R576に選択的に電流が流れて発熱
し、感熱紙や熱転写フィルムを加熱して、ブロックB1
に対応する一走査線の1/3の部分の印画動作を行う。
【0010】以下、同様にストローブ信号STB2がロ
ーレベルに反転すると、R577からR1152に選択
的に電流が流れて発熱し、ブロックB2に対応する一走
査線の1/3の部分の印画動作を行い、更にストローブ
信号STB3がローレベルに反転すると、R1153〜
R1728に選択的に電流が流れて発熱し、ブロックB
3に対応する一走査線の1/3の部分の印画動作を行
う。このようにして、一走査線分の印画が行われて感熱
紙や熱転写フィルムをステップ搬送しながら上述の動作
を繰り返すことによって一連の画像が記録される。
ーレベルに反転すると、R577からR1152に選択
的に電流が流れて発熱し、ブロックB2に対応する一走
査線の1/3の部分の印画動作を行い、更にストローブ
信号STB3がローレベルに反転すると、R1153〜
R1728に選択的に電流が流れて発熱し、ブロックB
3に対応する一走査線の1/3の部分の印画動作を行
う。このようにして、一走査線分の印画が行われて感熱
紙や熱転写フィルムをステップ搬送しながら上述の動作
を繰り返すことによって一連の画像が記録される。
【0011】かくして、上記構成のサーマルヘッド1に
よれば、多数のドライバーIC2(例えばA4の長尺寸
法で27個)をハンダバンプによりフェイスダウンボン
ディングでもって接続しているが、その搭載基板として
セラミック基板3を採用している。したがって、このフ
ェイスダウンボンディングのハンダ溶着に際して、著し
く温度が高くなり、これによって、その搭載基板が熱膨
張して、歪曲するという問題点が、そのセラミック基板
3以外の基板、例えばガラエポ基板やFPC基板におい
て指摘されてきたが、そのセラミック基板3が剛体であ
るために熱応力が影響を受けなくなって、この問題点が
解決されている。
よれば、多数のドライバーIC2(例えばA4の長尺寸
法で27個)をハンダバンプによりフェイスダウンボン
ディングでもって接続しているが、その搭載基板として
セラミック基板3を採用している。したがって、このフ
ェイスダウンボンディングのハンダ溶着に際して、著し
く温度が高くなり、これによって、その搭載基板が熱膨
張して、歪曲するという問題点が、そのセラミック基板
3以外の基板、例えばガラエポ基板やFPC基板におい
て指摘されてきたが、そのセラミック基板3が剛体であ
るために熱応力が影響を受けなくなって、この問題点が
解決されている。
【0012】
【従来技術の課題】しかしながら、上記構成のサーマル
ヘッド1では、各発熱抵抗体R1〜R1728の個数と
同数のシフトレジスタSR1〜SRn、ラッチ回路L1
〜Ln、スイッチング素子T1〜Tnなどを備える必要
があるため、更にドライバーIC2の構成が複雑にな
り、多数のドライバーIC2をサーマルヘッド1に搭載
しなければならず、その製造コストが上昇するという問
題点があった。
ヘッド1では、各発熱抵抗体R1〜R1728の個数と
同数のシフトレジスタSR1〜SRn、ラッチ回路L1
〜Ln、スイッチング素子T1〜Tnなどを備える必要
があるため、更にドライバーIC2の構成が複雑にな
り、多数のドライバーIC2をサーマルヘッド1に搭載
しなければならず、その製造コストが上昇するという問
題点があった。
【0013】また、ドライバーIC2の個数が多くなる
と、そのサーマルヘッド自体の小型化が困難であるとい
う問題点があった。
と、そのサーマルヘッド自体の小型化が困難であるとい
う問題点があった。
【0014】かかる問題点を解決するために、本発明者
は既に新規な駆動回路を提案した(特願平5−2454
66号参照)。
は既に新規な駆動回路を提案した(特願平5−2454
66号参照)。
【0015】この駆動回路により、予め所定数毎のグル
ープに区分された発熱抵抗体に対応するゲート素子毎
に、駆動ゲート素子を介して1つのシフトレジスタに共
通されているので、シフトレジスタの数を大幅に削減す
ることができ、発熱抵抗体の駆動回の規模を大幅に縮小
することができた。
ープに区分された発熱抵抗体に対応するゲート素子毎
に、駆動ゲート素子を介して1つのシフトレジスタに共
通されているので、シフトレジスタの数を大幅に削減す
ることができ、発熱抵抗体の駆動回の規模を大幅に縮小
することができた。
【0016】しかしながら、この新規な駆動回路を図1
4に示す従来の外観図に示すような構成のサーマルヘッ
ド1に形成したところ、配線上ショートしたり、あるい
は断線したりするという問題点があることが判明した。
4に示す従来の外観図に示すような構成のサーマルヘッ
ド1に形成したところ、配線上ショートしたり、あるい
は断線したりするという問題点があることが判明した。
【0017】即ち、上記提案の駆動回路により、セラミ
ック基板3上に配線形成するに当たって、従来であれ
ば、例えば1mm当たり8本配線を形成していたのであ
るが、更に1mm当たり12本以上の配線数にまで増加
することになり、このような高密度配線をセラミック基
板3に形成すると、ドライバーIC2と個別電極との接
続部、もしくはその付近において、その個別電極の配線
が過度に密となり、その配線形成の際のエッチングによ
る微細加工において、そのセラミック体の表面の荒れに
起因して、その配線がショートしたり、あるいは断線し
たりするという問題点があることが判明した。
ック基板3上に配線形成するに当たって、従来であれ
ば、例えば1mm当たり8本配線を形成していたのであ
るが、更に1mm当たり12本以上の配線数にまで増加
することになり、このような高密度配線をセラミック基
板3に形成すると、ドライバーIC2と個別電極との接
続部、もしくはその付近において、その個別電極の配線
が過度に密となり、その配線形成の際のエッチングによ
る微細加工において、そのセラミック体の表面の荒れに
起因して、その配線がショートしたり、あるいは断線し
たりするという問題点があることが判明した。
【0018】上記問題点を解決するために、このセラミ
ック基板3に代えて、他の平滑性基板に用いることも考
えられるが、その場合には、ドライバーIC2の電極パ
ッドと、その基板上の配線との間に強固な接続ができな
いという問題点がある。
ック基板3に代えて、他の平滑性基板に用いることも考
えられるが、その場合には、ドライバーIC2の電極パ
ッドと、その基板上の配線との間に強固な接続ができな
いという問題点がある。
【0019】即ち、例えばセラミック基板3の上にフェ
イスダウンにより半田バンプを介してドライバーIC2
を搭載する場合、その半田バンプの下に無電解ニッケル
メッキし(相互に電気的に導通できないため)、そのメ
ッキ層とセラミック基板3上のアルミニウム配線と接続
するが、その無電解ニッケルメッキの接続強度が小さい
ので、それを補完すべく表面が荒れたセラミック基板3
を用いて、その接続面を大きくている。しかしながら、
そのような荒れた表面のない場合には、この接続面が小
さくなり、強い接続強度が得られないという問題点があ
る。
イスダウンにより半田バンプを介してドライバーIC2
を搭載する場合、その半田バンプの下に無電解ニッケル
メッキし(相互に電気的に導通できないため)、そのメ
ッキ層とセラミック基板3上のアルミニウム配線と接続
するが、その無電解ニッケルメッキの接続強度が小さい
ので、それを補完すべく表面が荒れたセラミック基板3
を用いて、その接続面を大きくている。しかしながら、
そのような荒れた表面のない場合には、この接続面が小
さくなり、強い接続強度が得られないという問題点があ
る。
【0020】したがって、本発明は上記事情に鑑みて完
成されたものであり、その目的は、駆動回路の簡略化及
び製造コストの低減化を図るとともに、配線のショート
や断線のない高性能且つ高信頼性のサーマルヘッドを提
供することにある。
成されたものであり、その目的は、駆動回路の簡略化及
び製造コストの低減化を図るとともに、配線のショート
や断線のない高性能且つ高信頼性のサーマルヘッドを提
供することにある。
【0021】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明によれ
ば、複数の発熱抵抗体と、複数の発熱抵抗体のそれぞれ
一方端に接続された個別電極群と、複数の発熱抵抗体の
他方端を共通に接続して成る共通電極とを設けたセラミ
ック基板を放熱板上に設けるとともに、複数の発熱抵抗
体の発熱を制御すべく下記A〜Fの素子もしくは手段を
有する駆動回路素子をフェイスダウンボンディングによ
り複数個搭載した配線基板を並設させて成るサーマルヘ
ッドが提供される。
ば、複数の発熱抵抗体と、複数の発熱抵抗体のそれぞれ
一方端に接続された個別電極群と、複数の発熱抵抗体の
他方端を共通に接続して成る共通電極とを設けたセラミ
ック基板を放熱板上に設けるとともに、複数の発熱抵抗
体の発熱を制御すべく下記A〜Fの素子もしくは手段を
有する駆動回路素子をフェイスダウンボンディングによ
り複数個搭載した配線基板を並設させて成るサーマルヘ
ッドが提供される。
【0022】A:各発熱抵抗体に流れる電流を制御すべ
く個別電極と個々に接続されている複数のスイッチング
素子 B:各スイッチング素子を開閉する複数のゲート素子 C:シリアルデータから成る印画データをパラレルデー
タに変換するシフトレジスタ D:発熱抵抗体を予め所定数n(但しnは自然数)毎の
グループに区分し、各グループの発熱抵抗体に対応する
n個のゲート素子を共通接続し、外部からのストローブ
信号によりシフトレジスタからの出力を開閉する駆動ゲ
ート素子 E:複数のゲート素子を共通接続するn個の選択ゲート
素子 F:奇数番目の各グループの最端部から数えて1番目の
発熱抵抗体に対応するゲート素子が1番目の選択ゲート
素子に共通接続され、2番目の発熱抵抗体に対応するゲ
ート素子が2番目の選択ゲート素子に共通接続され、順
次n番目の発熱抵抗体に対応するゲート素子がn番目の
選択ゲート素子に共通接続され、かつ偶数番目の各グル
ープの最端部から数えてn番目の発熱抵抗体に対応する
ゲート素子が1番目の選択ゲート素子に共通接続され、
(n−1)番目の発熱抵抗体に対応するゲート素子が2
番目の選択ゲート素子に共通接続され、順次1番目の発
熱抵抗体に対応するゲート素子がn番目の選択ゲート素
子に共通接続され、駆動ゲート素子からシフトレジスタ
からのデータが出力されているとき、外部からの選択信
号によって所定の選択ゲート素子を駆動し、その選択ゲ
ート素子に共通接続されたゲート素子を駆動する選択制
御手段。
く個別電極と個々に接続されている複数のスイッチング
素子 B:各スイッチング素子を開閉する複数のゲート素子 C:シリアルデータから成る印画データをパラレルデー
タに変換するシフトレジスタ D:発熱抵抗体を予め所定数n(但しnは自然数)毎の
グループに区分し、各グループの発熱抵抗体に対応する
n個のゲート素子を共通接続し、外部からのストローブ
信号によりシフトレジスタからの出力を開閉する駆動ゲ
ート素子 E:複数のゲート素子を共通接続するn個の選択ゲート
素子 F:奇数番目の各グループの最端部から数えて1番目の
発熱抵抗体に対応するゲート素子が1番目の選択ゲート
素子に共通接続され、2番目の発熱抵抗体に対応するゲ
ート素子が2番目の選択ゲート素子に共通接続され、順
次n番目の発熱抵抗体に対応するゲート素子がn番目の
選択ゲート素子に共通接続され、かつ偶数番目の各グル
ープの最端部から数えてn番目の発熱抵抗体に対応する
ゲート素子が1番目の選択ゲート素子に共通接続され、
(n−1)番目の発熱抵抗体に対応するゲート素子が2
番目の選択ゲート素子に共通接続され、順次1番目の発
熱抵抗体に対応するゲート素子がn番目の選択ゲート素
子に共通接続され、駆動ゲート素子からシフトレジスタ
からのデータが出力されているとき、外部からの選択信
号によって所定の選択ゲート素子を駆動し、その選択ゲ
ート素子に共通接続されたゲート素子を駆動する選択制
御手段。
【0023】請求項2の発明によれば、電気絶縁性樹脂
基板上の一部領域に無機材料から成る薄膜を形成し、該
薄膜上に複数の発熱抵抗体と、複数の発熱抵抗体のそれ
ぞれ一方端に接続された個別電極群と、複数の発熱抵抗
体の他方端を共通に接続して成る共通電極とを設けると
ともに、その他の領域に、複数の発熱抵抗体の発熱を制
御すべく前記A〜Fの素子もしくは手段を有する駆動回
路素子をフェイスダウンボンディングにより複数個配設
し、且つ前記電気絶縁性樹脂基板を放熱板上に設けて成
るサーマルヘッドが提供される。
基板上の一部領域に無機材料から成る薄膜を形成し、該
薄膜上に複数の発熱抵抗体と、複数の発熱抵抗体のそれ
ぞれ一方端に接続された個別電極群と、複数の発熱抵抗
体の他方端を共通に接続して成る共通電極とを設けると
ともに、その他の領域に、複数の発熱抵抗体の発熱を制
御すべく前記A〜Fの素子もしくは手段を有する駆動回
路素子をフェイスダウンボンディングにより複数個配設
し、且つ前記電気絶縁性樹脂基板を放熱板上に設けて成
るサーマルヘッドが提供される。
【0024】
【作用】請求項1及び請求項2の各サーマルヘッドは、
駆動回路の簡略化に伴って、上記A〜Fの素子もしくは
手段を有する駆動回路素子を従来に比べて少ない個数搭
載すればよく(例えば従来A4の長尺寸法で27個であ
ったが、7個にまで減少できた)、これにより、製造コ
ストの低減化が図られた。しかも、駆動回路素子の搭載
時間が短くなって、製造コストが低減でき、具体的には
1個の駆動回路素子にN倍の素子を設けた場合には、そ
の搭載時間は約1/Nとなる。
駆動回路の簡略化に伴って、上記A〜Fの素子もしくは
手段を有する駆動回路素子を従来に比べて少ない個数搭
載すればよく(例えば従来A4の長尺寸法で27個であ
ったが、7個にまで減少できた)、これにより、製造コ
ストの低減化が図られた。しかも、駆動回路素子の搭載
時間が短くなって、製造コストが低減でき、具体的には
1個の駆動回路素子にN倍の素子を設けた場合には、そ
の搭載時間は約1/Nとなる。
【0025】更に本発明のサーマルヘッドの構成であれ
ば、駆動回路素子の搭載数が少なくなっているので、フ
ェイスダウンボンディングにより配設するに当たって、
その搭載用基板に剛体のセラミック基板を用いる必要が
なく、これにより、その他の基板、即ち請求項1の配線
基板や請求項2の電気絶縁性樹脂基板の上にハンダ溶着
のフェイスダウンボンディングにより駆動回路素子を搭
載しても、その熱応力の影響が顕著に小さくなり、実用
上その基板の熱膨張による歪曲が問題ないことを知見し
た。
ば、駆動回路素子の搭載数が少なくなっているので、フ
ェイスダウンボンディングにより配設するに当たって、
その搭載用基板に剛体のセラミック基板を用いる必要が
なく、これにより、その他の基板、即ち請求項1の配線
基板や請求項2の電気絶縁性樹脂基板の上にハンダ溶着
のフェイスダウンボンディングにより駆動回路素子を搭
載しても、その熱応力の影響が顕著に小さくなり、実用
上その基板の熱膨張による歪曲が問題ないことを知見し
た。
【0026】本発明は上記知見により完成されたもので
あり、請求項1においては、駆動回路の簡略化に伴う製
造コストの低減化とともに、配線基板の上に駆動回路素
子をハンダ溶着のフェイスダウンボンディングにより搭
載して、高密度配線ができ、しかも、この配線基板にお
いては、その配線を電解メッキにより形成することがで
きるので、無電解メッキに比べて著しく密着強度を高め
ることができる。
あり、請求項1においては、駆動回路の簡略化に伴う製
造コストの低減化とともに、配線基板の上に駆動回路素
子をハンダ溶着のフェイスダウンボンディングにより搭
載して、高密度配線ができ、しかも、この配線基板にお
いては、その配線を電解メッキにより形成することがで
きるので、無電解メッキに比べて著しく密着強度を高め
ることができる。
【0027】また、請求項2においても、製造コストの
低減化とともに、電気絶縁性樹脂基板の上に駆動回路素
子をハンダ溶着のフェイスダウンボンディングにより搭
載して、高密度配線ができ、しかも、この電気絶縁性樹
脂基板においては、その配線を電解メッキにより形成す
ることができるので、無電解メッキに比べて著しく密着
強度を高めることができる。
低減化とともに、電気絶縁性樹脂基板の上に駆動回路素
子をハンダ溶着のフェイスダウンボンディングにより搭
載して、高密度配線ができ、しかも、この電気絶縁性樹
脂基板においては、その配線を電解メッキにより形成す
ることができるので、無電解メッキに比べて著しく密着
強度を高めることができる。
【0028】
(例1)本実施例のサーマルヘッド12の構成を図1と
図2により、このサーマルヘッド12を動作させるため
の回路を図3〜図10により説明する。尚、この駆動回
路は本発明者が特願平5−245466号により既に提
案した通りのものである。
図2により、このサーマルヘッド12を動作させるため
の回路を図3〜図10により説明する。尚、この駆動回
路は本発明者が特願平5−245466号により既に提
案した通りのものである。
【0029】先ず図1にサーマルヘッド12の平面概略
図(一部等価回路図により示す)であり、図2はその横
断面図であって、アルミニウム等の熱伝導性の高い金属
から成る放熱板13の上にアルミナなどの電気絶縁性セ
ラミック基板14と、配線基板であるプリント基板15
とを並設している。このセラミック基板14の上にガラ
スからなる蓄熱層16を形成し、更にTaN等からなる
抵抗体膜と、Alなどからなる電極層とを順次形成した
後、フォトリソグラフィーによって共通電極17と、発
熱抵抗体18と、個別電極19とを形成する。プリント
基板15の上にはドライバーIC20を搭載し、それを
フェイスダウンにより半田バンプ21を介して固定する
とともに、電気的に導通させている。
図(一部等価回路図により示す)であり、図2はその横
断面図であって、アルミニウム等の熱伝導性の高い金属
から成る放熱板13の上にアルミナなどの電気絶縁性セ
ラミック基板14と、配線基板であるプリント基板15
とを並設している。このセラミック基板14の上にガラ
スからなる蓄熱層16を形成し、更にTaN等からなる
抵抗体膜と、Alなどからなる電極層とを順次形成した
後、フォトリソグラフィーによって共通電極17と、発
熱抵抗体18と、個別電極19とを形成する。プリント
基板15の上にはドライバーIC20を搭載し、それを
フェイスダウンにより半田バンプ21を介して固定する
とともに、電気的に導通させている。
【0030】上記共通電極17と個別電極19は異方性
導電膜22を介してプリント基板15の配線23と電気
的に接続され、そして、更にスルーホール24を介して
ドライバーIC20と電気的に接続される。また、ドラ
イバーIC20は配線25とも接続されており、その端
に設けた端子電極26により外部と電気的に接続され
る。27は配線23、25の上に被覆した樹脂層であ
る。
導電膜22を介してプリント基板15の配線23と電気
的に接続され、そして、更にスルーホール24を介して
ドライバーIC20と電気的に接続される。また、ドラ
イバーIC20は配線25とも接続されており、その端
に設けた端子電極26により外部と電気的に接続され
る。27は配線23、25の上に被覆した樹脂層であ
る。
【0031】上記配線23、25は、例えばCu箔等の
電気抵抗の低い金属箔によって電解メッキにより形成さ
れており、また、その厚みが20〜100μ程度になる
ように厚い箔で構成することができる。したがって、こ
の配線23の線幅を10〜30μのきわめて細い幅で形
成できるとともに、高精度の配線パターンとなり、加え
て、その配線抵抗が低くできた。
電気抵抗の低い金属箔によって電解メッキにより形成さ
れており、また、その厚みが20〜100μ程度になる
ように厚い箔で構成することができる。したがって、こ
の配線23の線幅を10〜30μのきわめて細い幅で形
成できるとともに、高精度の配線パターンとなり、加え
て、その配線抵抗が低くできた。
【0032】以下、本発明のサーマルヘッドの電気的構
成およびその駆動方法を図3〜図10により説明する。
尚、これら各図は、特願平5−245466号にて詳述
した通りである。
成およびその駆動方法を図3〜図10により説明する。
尚、これら各図は、特願平5−245466号にて詳述
した通りである。
【0033】図3は本例サーマルヘッドの電気的構成を
示す回路図であり、このサーマルヘッドは線状に配列さ
れる多数の発熱抵抗体R1〜R2048と、複数のドラ
イバーIC20で構成され、256個の発熱抵抗体の個
別電極19が一つのドライバーIC20に接続されると
ともに、すべての発熱抵抗体R1〜R2048は共通電
極VHに接続されている。また、これら発熱抵抗体R1
〜R2048はブロックB1とブロックB2に分割さ
れ、それに対応するストローブ信号STB1とSTB2
とによって選択駆動される。即ち、ブロックB1のドラ
イバーIC20にはストローブ信号STB1が入力さ
れ、ブロックB2のドライバーIC20にはストローブ
信号STB2が入力される。また、各ドライバーIC2
0には印画データDATA、選択信号SEL1、SEL
2、クロック信号CLKなどの各制御信号などが入力さ
れる。
示す回路図であり、このサーマルヘッドは線状に配列さ
れる多数の発熱抵抗体R1〜R2048と、複数のドラ
イバーIC20で構成され、256個の発熱抵抗体の個
別電極19が一つのドライバーIC20に接続されると
ともに、すべての発熱抵抗体R1〜R2048は共通電
極VHに接続されている。また、これら発熱抵抗体R1
〜R2048はブロックB1とブロックB2に分割さ
れ、それに対応するストローブ信号STB1とSTB2
とによって選択駆動される。即ち、ブロックB1のドラ
イバーIC20にはストローブ信号STB1が入力さ
れ、ブロックB2のドライバーIC20にはストローブ
信号STB2が入力される。また、各ドライバーIC2
0には印画データDATA、選択信号SEL1、SEL
2、クロック信号CLKなどの各制御信号などが入力さ
れる。
【0034】図4はドライバーIC20の一例の電気的
構成を示す回路図であり、このドライバーIC20はシ
リアルデータから成る印画信号DIを外部からのクロッ
ク信号CLKに同期して転送することにより所定ビット
数毎にパラレルデータに変換して出力するシフトレジス
タSR1〜SR64と、ストローブ信号STB(ストロ
ーブ信号STB1及びストローブ信号STB2の総称)
が入力されているとき、シフトレジスタSR1〜SR6
4からのデータを出力する駆動ゲートG1〜G64とを
有している。
構成を示す回路図であり、このドライバーIC20はシ
リアルデータから成る印画信号DIを外部からのクロッ
ク信号CLKに同期して転送することにより所定ビット
数毎にパラレルデータに変換して出力するシフトレジス
タSR1〜SR64と、ストローブ信号STB(ストロ
ーブ信号STB1及びストローブ信号STB2の総称)
が入力されているとき、シフトレジスタSR1〜SR6
4からのデータを出力する駆動ゲートG1〜G64とを
有している。
【0035】各駆動ゲートG1〜G64には、各発熱抵
抗体を駆動するためのゲート素子S1〜S256が4個
ずつ並列に接続され、例えば駆動ゲートG1にはゲート
素子S1〜S4が接続されている。各駆動ゲートG1〜
G64に接続された4個の各ゲート素子S(ゲート素子
S1〜S256の総称)は、選択ゲート素子SL1〜S
L4にそれぞれ共通接続され、この選択ゲート素子SL
1〜SL4と前述の駆動ゲートG1〜G64とによって
選択され、その出力は開閉される。また、この選択ゲー
ト素子SL1〜SL4は、選択信号SL1、SL2の出
力レベル(ハイレベル又はローレベル)の組合せによっ
て選択され、駆動される。
抗体を駆動するためのゲート素子S1〜S256が4個
ずつ並列に接続され、例えば駆動ゲートG1にはゲート
素子S1〜S4が接続されている。各駆動ゲートG1〜
G64に接続された4個の各ゲート素子S(ゲート素子
S1〜S256の総称)は、選択ゲート素子SL1〜S
L4にそれぞれ共通接続され、この選択ゲート素子SL
1〜SL4と前述の駆動ゲートG1〜G64とによって
選択され、その出力は開閉される。また、この選択ゲー
ト素子SL1〜SL4は、選択信号SL1、SL2の出
力レベル(ハイレベル又はローレベル)の組合せによっ
て選択され、駆動される。
【0036】ゲート素子S1〜S256は、スイッチン
グ素子T1〜T256に接続され、スイッチング素子T
1〜T256を制御することによって、出力パッドD1
〜D256を介して各発熱抵抗体R1〜R256に流れ
る電流を制御する。各発熱抵抗体の順番とゲート素子の
番号は対応しており、例えば最端部から数えてk番目
(kは自然数)の発熱抵抗体は図4に示されるゲート素
子SLKに接続されている。
グ素子T1〜T256に接続され、スイッチング素子T
1〜T256を制御することによって、出力パッドD1
〜D256を介して各発熱抵抗体R1〜R256に流れ
る電流を制御する。各発熱抵抗体の順番とゲート素子の
番号は対応しており、例えば最端部から数えてk番目
(kは自然数)の発熱抵抗体は図4に示されるゲート素
子SLKに接続されている。
【0037】また、4個の発熱抵抗体を一つのグループ
として区分し、隣接する奇数番目と偶数番目の各グルー
プにおいて、奇数番目のグループに発熱抵抗体に対応す
る選択ゲート素子Sの配列において、ゲート素子の番号
が昇順となっており、偶数番目のグループの発熱抵抗体
に対応する選択ゲート素子Sの配列において、ゲート素
子の番号が降順となっている。
として区分し、隣接する奇数番目と偶数番目の各グルー
プにおいて、奇数番目のグループに発熱抵抗体に対応す
る選択ゲート素子Sの配列において、ゲート素子の番号
が昇順となっており、偶数番目のグループの発熱抵抗体
に対応する選択ゲート素子Sの配列において、ゲート素
子の番号が降順となっている。
【0038】ここで、各グループのゲート素子Sは、配
列順に選択ゲート素子SL1〜SL4に共通接続され、
例えばゲート素子S1とゲート素子S8が一番目の選択
ゲート素子SL1に、ゲート素子S2とゲート素子S7
が2番目の選択ゲート素子SL2に、ゲート素子S3と
ゲート素子S6が3番目の選択ゲート素子SL3に、ゲ
ート素子S4とゲート素子S5が4番目の選択ゲート素
子SL4に共通接続されている。
列順に選択ゲート素子SL1〜SL4に共通接続され、
例えばゲート素子S1とゲート素子S8が一番目の選択
ゲート素子SL1に、ゲート素子S2とゲート素子S7
が2番目の選択ゲート素子SL2に、ゲート素子S3と
ゲート素子S6が3番目の選択ゲート素子SL3に、ゲ
ート素子S4とゲート素子S5が4番目の選択ゲート素
子SL4に共通接続されている。
【0039】更に、このドライバーIC20では、ラッ
チ回路を設けない代わりに、クロックゲートCGを設
け、ストローブ信号STBが活性状態(ローレベル)の
とき、クロック信号CLKの入力が阻止されるので、ス
トローブ信号STBによって一方のブロックの印画が行
われているとき、他方のブロックに印画データを入力す
ることができる。
チ回路を設けない代わりに、クロックゲートCGを設
け、ストローブ信号STBが活性状態(ローレベル)の
とき、クロック信号CLKの入力が阻止されるので、ス
トローブ信号STBによって一方のブロックの印画が行
われているとき、他方のブロックに印画データを入力す
ることができる。
【0040】以上の通り、このドライバーIC20は、
ラッチ回路を設ける必要がなく、複数の発熱抵抗体が一
つのシフトレジスタに共通接続されているので、シフト
レジスタの数を大幅に削減することができ、これによ
り、このドライバーIC20の回路規模を大幅に縮小す
ることができる。
ラッチ回路を設ける必要がなく、複数の発熱抵抗体が一
つのシフトレジスタに共通接続されているので、シフト
レジスタの数を大幅に削減することができ、これによ
り、このドライバーIC20の回路規模を大幅に縮小す
ることができる。
【0041】次に、図4のドライバーIC20が搭載さ
れたサーマルヘッドの動作について、図5のタイムチャ
ートを参照しながら説明する。ブロックB1及びブロッ
クB2では、それぞれ4分割で1ライン分の印画を行
い、各ブロック合わせて、即ち8分割で1ライン分の印
画を行う。ここで、ブロックB1の発熱抵抗体とブロッ
クB2の発熱抵抗体は、ストローブ信号STBに同期し
て交互に印画を行い、印画データD1、D3、D5、D
7はブロックB1の印画データであり、印画データD
2、D4、D6、D8はブロックB2の印画データであ
る。また、印画データD1、D2は、選択ゲートSL1
によって選択される発熱抵抗体の印画データであり、印
画データD3、D4は、選択ゲートSL2によって選択
される発熱抵抗体の印画データであり、印画データD
5、D6は、選択ゲートSL3によって選択される発熱
抵抗体の印画データであり、印画データD7、D8は、
選択ゲートSL4によって選択される発熱抵抗体の印画
データである。クロック信号CLKは、全ての発熱抵抗
体に対応するデータDATA数毎出力され、そのクロッ
ク信号に同期して印画データD1〜D8が出力される。
れたサーマルヘッドの動作について、図5のタイムチャ
ートを参照しながら説明する。ブロックB1及びブロッ
クB2では、それぞれ4分割で1ライン分の印画を行
い、各ブロック合わせて、即ち8分割で1ライン分の印
画を行う。ここで、ブロックB1の発熱抵抗体とブロッ
クB2の発熱抵抗体は、ストローブ信号STBに同期し
て交互に印画を行い、印画データD1、D3、D5、D
7はブロックB1の印画データであり、印画データD
2、D4、D6、D8はブロックB2の印画データであ
る。また、印画データD1、D2は、選択ゲートSL1
によって選択される発熱抵抗体の印画データであり、印
画データD3、D4は、選択ゲートSL2によって選択
される発熱抵抗体の印画データであり、印画データD
5、D6は、選択ゲートSL3によって選択される発熱
抵抗体の印画データであり、印画データD7、D8は、
選択ゲートSL4によって選択される発熱抵抗体の印画
データである。クロック信号CLKは、全ての発熱抵抗
体に対応するデータDATA数毎出力され、そのクロッ
ク信号に同期して印画データD1〜D8が出力される。
【0042】図6は図5で示される各印画データD1〜
D8のタイミングチャートを示し、1ライン分のデータ
が全て印画データの場合のタイミングチャートである。
印画データD1は、ブロックB1における8n+1番目
(nは自然数)、8(n+1)番目の発熱抵抗体に対応
する印画データであり、印画データD3は、8n+2番
目、8n+7番目の発熱抵抗体に対応する印画データで
あり、印画データD5は、8n+3番目、8n+6番目
の発熱抵抗体に対応する印画データであり、印画データ
D7は、8n+4番目、8n+5番目の発熱抵抗体に対
応する印画データである。
D8のタイミングチャートを示し、1ライン分のデータ
が全て印画データの場合のタイミングチャートである。
印画データD1は、ブロックB1における8n+1番目
(nは自然数)、8(n+1)番目の発熱抵抗体に対応
する印画データであり、印画データD3は、8n+2番
目、8n+7番目の発熱抵抗体に対応する印画データで
あり、印画データD5は、8n+3番目、8n+6番目
の発熱抵抗体に対応する印画データであり、印画データ
D7は、8n+4番目、8n+5番目の発熱抵抗体に対
応する印画データである。
【0043】また、印画データD2は、ブロックB2に
おける8m+1番目(mは自然数)、8(m+1)番目
の発熱抵抗体に対応する印画データであり、印画データ
D4は、8m+2番目、8m+7番目の発熱抵抗体に対
応する印画データであり、印画データD6は、8m+3
番目、8m+6番目の発熱抵抗体に対応する印画データ
であり、印画データD8は、8m+4番目、8m+5番
目の発熱抵抗体に対応する印画データである。
おける8m+1番目(mは自然数)、8(m+1)番目
の発熱抵抗体に対応する印画データであり、印画データ
D4は、8m+2番目、8m+7番目の発熱抵抗体に対
応する印画データであり、印画データD6は、8m+3
番目、8m+6番目の発熱抵抗体に対応する印画データ
であり、印画データD8は、8m+4番目、8m+5番
目の発熱抵抗体に対応する印画データである。
【0044】図7は図3で示されるサーマルヘッドにお
いて図6で示されるタイミングチャートに基づいて印画
を行った場合のブロックB1及びブロックB2の印画画
像である。ブロックB1では、印画データD1による印
画に続いて、印画データD3、印画データD5、印画デ
ータD7による印画が紙送り方向に順次行われる。ブロ
ックB2では、印画データD2による印画に続いて、印
画データD4、印画データD6、印画データD8による
印画が、前述のブロックB1の印画と交互に記録媒体の
搬送方向に順次行われる。
いて図6で示されるタイミングチャートに基づいて印画
を行った場合のブロックB1及びブロックB2の印画画
像である。ブロックB1では、印画データD1による印
画に続いて、印画データD3、印画データD5、印画デ
ータD7による印画が紙送り方向に順次行われる。ブロ
ックB2では、印画データD2による印画に続いて、印
画データD4、印画データD6、印画データD8による
印画が、前述のブロックB1の印画と交互に記録媒体の
搬送方向に順次行われる。
【0045】したがって、図7に示されるように蛇行し
た形状のラインの印画画像が得られる。この印画画像
は、各ラインの印画において、印画ドットが平均して離
間しているので、部分的にスジ、かすれなどが発生する
ことはない。また、実際には記録媒体の搬送方向の発熱
抵抗体の長さは図7に示した長さより充分に長いので、
隣合う印画ドットの隙間はほとんどなく、連続したライ
ンとして印画すことができる。
た形状のラインの印画画像が得られる。この印画画像
は、各ラインの印画において、印画ドットが平均して離
間しているので、部分的にスジ、かすれなどが発生する
ことはない。また、実際には記録媒体の搬送方向の発熱
抵抗体の長さは図7に示した長さより充分に長いので、
隣合う印画ドットの隙間はほとんどなく、連続したライ
ンとして印画すことができる。
【0046】図8は図3に示されるサーマルヘッドを他
の駆動方法で駆動した場合のタイミングチャートであ
る。図7で示される駆動方法が図5において説明した駆
動方法と異なる点は、選択ゲート素子SL1〜SL4に
よって選択される発熱抵抗体に対応する印画データを入
力する手段として、印画すべき印画データを予め加工す
る代わりに、発熱抵抗体の順番に対応するすべての印画
データをそのままシリアルデータとして入力している。
の駆動方法で駆動した場合のタイミングチャートであ
る。図7で示される駆動方法が図5において説明した駆
動方法と異なる点は、選択ゲート素子SL1〜SL4に
よって選択される発熱抵抗体に対応する印画データを入
力する手段として、印画すべき印画データを予め加工す
る代わりに、発熱抵抗体の順番に対応するすべての印画
データをそのままシリアルデータとして入力している。
【0047】次にその印画データのうち、選択ゲート素
子SL1〜SL4によって選択される発熱抵抗体に対応
する印画データに同期するクロック信号CLKのみを入
力し、即ち連続する印画データからの必要とする印画す
べき印画データを選択してシフトレジスタに格納する。
したがって、図8で示される印画データDは、全て発熱
抵抗体の順番に対応して出力されるデータであり、クロ
ック信号CK1〜CK8は、印画すべき印画データの同
期して出力される。なお、ストローブ信号STB1、S
TB2、選択信号SEL1、SEL2及び選択ゲート素
子SL1〜SL4の出力タイミングは、図5で示される
出力タイミングと同一なので、説明は省略する。
子SL1〜SL4によって選択される発熱抵抗体に対応
する印画データに同期するクロック信号CLKのみを入
力し、即ち連続する印画データからの必要とする印画す
べき印画データを選択してシフトレジスタに格納する。
したがって、図8で示される印画データDは、全て発熱
抵抗体の順番に対応して出力されるデータであり、クロ
ック信号CK1〜CK8は、印画すべき印画データの同
期して出力される。なお、ストローブ信号STB1、S
TB2、選択信号SEL1、SEL2及び選択ゲート素
子SL1〜SL4の出力タイミングは、図5で示される
出力タイミングと同一なので、説明は省略する。
【0048】クロック信号CK1、CK3、CK5、C
K7は図9で示されるように、ブロックB1のデータD
B1のなかの印画すべき印画データに同期して出力さ
れ、クロック信号CK2、CK4、CK6、CK8は、
ブロックB2のデータDB2のなかの印画すべき印画デ
ータに同期して出力される。
K7は図9で示されるように、ブロックB1のデータD
B1のなかの印画すべき印画データに同期して出力さ
れ、クロック信号CK2、CK4、CK6、CK8は、
ブロックB2のデータDB2のなかの印画すべき印画デ
ータに同期して出力される。
【0049】図10はクロック信号CK1〜CK8の出
力タイミングを示すタイミングチャートである。クロッ
ク信号CK1、CK2は各ブロックの最初の印画データ
から8n+1(nは自然数)番目、8(n+1)番目の
印画データに同期して出力され、クロック信号CK3、
CK4は各ブロックの最初の印画データから8n+2番
目、8n+7番目の印画データに同期して出力され、ク
ロック信号CK5、CK6は各ブロックの最初の印画デ
ータから8n+3番目、8n+6番目の印画データに同
期して出力され、クロック信号CK7、CK8は各ブロ
ックの最初の印画データから8n+4番目、8n+5番
目の印画データに同期して出力される。図3で示される
サーマルヘッドにおいて、図8で示されるタイミングチ
ャートに基づいて印画を行った場合も、図7で示される
印画画像が得られる。
力タイミングを示すタイミングチャートである。クロッ
ク信号CK1、CK2は各ブロックの最初の印画データ
から8n+1(nは自然数)番目、8(n+1)番目の
印画データに同期して出力され、クロック信号CK3、
CK4は各ブロックの最初の印画データから8n+2番
目、8n+7番目の印画データに同期して出力され、ク
ロック信号CK5、CK6は各ブロックの最初の印画デ
ータから8n+3番目、8n+6番目の印画データに同
期して出力され、クロック信号CK7、CK8は各ブロ
ックの最初の印画データから8n+4番目、8n+5番
目の印画データに同期して出力される。図3で示される
サーマルヘッドにおいて、図8で示されるタイミングチ
ャートに基づいて印画を行った場合も、図7で示される
印画画像が得られる。
【0050】かくして上記構成のサーマルヘッド12に
よれば、ドライバーICを従来の27個に比べて7個
(あるいは図示のように8個)にまで少なくすることが
でき、これにより、製造コストの低減できた。しかも、
ドライバーIC20の搭載数が少なくなっているので、
フェイスダウンボンディングにより配設するに当たっ
て、その搭載用基板にプリント基板15を用いても、そ
の熱応力の影響が顕著に小さくなり、実用上その基板の
熱膨張による歪曲が問題なくなった。したがって、この
プリント基板15の上にドライバーIC20をハンダ溶
着のフェイスダウンボンディングにより搭載しても高密
度配線ができ、しかも、このプリント基板15において
は、その配線を電解メッキにより形成することができる
ので、無電解メッキに比べて著しく密着強度を高めるこ
とができた。
よれば、ドライバーICを従来の27個に比べて7個
(あるいは図示のように8個)にまで少なくすることが
でき、これにより、製造コストの低減できた。しかも、
ドライバーIC20の搭載数が少なくなっているので、
フェイスダウンボンディングにより配設するに当たっ
て、その搭載用基板にプリント基板15を用いても、そ
の熱応力の影響が顕著に小さくなり、実用上その基板の
熱膨張による歪曲が問題なくなった。したがって、この
プリント基板15の上にドライバーIC20をハンダ溶
着のフェイスダウンボンディングにより搭載しても高密
度配線ができ、しかも、このプリント基板15において
は、その配線を電解メッキにより形成することができる
ので、無電解メッキに比べて著しく密着強度を高めるこ
とができた。
【0051】(例2)本例のサーマルヘッド12aは、
(例1)のサーマルヘド12と異なって、図11に示す
ように共通電極17や個別電極19とがFPC28を介
してプリント基板15の配線23と電気的に接続され
る。尚、29は異方性導電膜である。
(例1)のサーマルヘド12と異なって、図11に示す
ように共通電極17や個別電極19とがFPC28を介
してプリント基板15の配線23と電気的に接続され
る。尚、29は異方性導電膜である。
【0052】上記構成のを介してドライバーIC20と
電気的に接続される。これに対して、本例のサーマルヘ
ッド12aについても(例1)のサーマルヘド1と同様
な作用効果を有する。
電気的に接続される。これに対して、本例のサーマルヘ
ッド12aについても(例1)のサーマルヘド1と同様
な作用効果を有する。
【0053】(例3)本実施例のサーマルヘッド12b
の構成を図12と図13により説明する。図12にサー
マルヘッド12bの平面概略図(一部等価回路図により
示す)であり、図13はその横断面図であって、アルミ
ニウム等の熱伝導性の高い金属から成る放熱板13の上
にガラスエポキシなどの電気絶縁性樹脂基板30を搭載
し、その樹脂基板30に一部領域にSiNやSIALO
NやSiOなどの無機材料から成る耐熱性の薄膜31を
1〜7μmの厚みで形成している。この薄膜31の上に
TaN等からなる抵抗体膜と、Alなどからなる電極層
とを順次形成した後、フォトリソグラフィーによって共
通電極17と、発熱抵抗体18と、個別電極19とを形
成する。電気絶縁性樹脂基板30の薄膜31が形成され
ていない領域においては、ドライバーIC20を搭載
し、それをフェイスダウンにより半田バンプ21を介し
て固定するとともに、電気的に導通させている。
の構成を図12と図13により説明する。図12にサー
マルヘッド12bの平面概略図(一部等価回路図により
示す)であり、図13はその横断面図であって、アルミ
ニウム等の熱伝導性の高い金属から成る放熱板13の上
にガラスエポキシなどの電気絶縁性樹脂基板30を搭載
し、その樹脂基板30に一部領域にSiNやSIALO
NやSiOなどの無機材料から成る耐熱性の薄膜31を
1〜7μmの厚みで形成している。この薄膜31の上に
TaN等からなる抵抗体膜と、Alなどからなる電極層
とを順次形成した後、フォトリソグラフィーによって共
通電極17と、発熱抵抗体18と、個別電極19とを形
成する。電気絶縁性樹脂基板30の薄膜31が形成され
ていない領域においては、ドライバーIC20を搭載
し、それをフェイスダウンにより半田バンプ21を介し
て固定するとともに、電気的に導通させている。
【0054】上記共通電極17と個別電極19は電気絶
縁性樹脂基板30の配線23と電気的に接続され、ドラ
イバーIC20と電気的に接続される。また、ドライバ
ーIC20は配線25とも接続されており、その端に設
けた端子電極26により外部と電気的に接続される。2
7は配線23、25の上に被覆した樹脂層である。
縁性樹脂基板30の配線23と電気的に接続され、ドラ
イバーIC20と電気的に接続される。また、ドライバ
ーIC20は配線25とも接続されており、その端に設
けた端子電極26により外部と電気的に接続される。2
7は配線23、25の上に被覆した樹脂層である。
【0055】上記配線23、25は、例えばCu箔等の
電気抵抗の低い金属箔によって電解メッキにより形成さ
れており、また、その厚みが20〜100μ程度になる
ように厚い箔で構成することができる。したがって、こ
の配線23の線幅を10〜30μのきわめて細い幅で形
成できるとともに、高精度の配線パターンとなり、加え
て、その配線抵抗が低くできた。
電気抵抗の低い金属箔によって電解メッキにより形成さ
れており、また、その厚みが20〜100μ程度になる
ように厚い箔で構成することができる。したがって、こ
の配線23の線幅を10〜30μのきわめて細い幅で形
成できるとともに、高精度の配線パターンとなり、加え
て、その配線抵抗が低くできた。
【0056】かくして上記構成のサーマルヘッド12b
によれば、ドライバーICを従来の27個に比べて7個
(あるいは図示のように8個)にまで少なくすることが
でき、製造コストの低減できた。しかも、ドライバーI
C20の搭載数が少なくなっているので、フェイスダウ
ンボンディングにより配設するに当たって、その搭載用
基板に電気絶縁性樹脂基板30を用いても、その熱応力
の影響が顕著に小さくなり、実用上その基板の熱膨張に
よる歪曲が問題なくなった。したがって、この樹脂基板
30の上にドライバーIC20をハンダ溶着のフェイス
ダウンボンディングにより搭載しても高密度配線がで
き、しかも、この樹脂基板30においては、その配線を
電解メッキにより形成することができるので、無電解メ
ッキに比べて著しく密着強度を高めることができた。
によれば、ドライバーICを従来の27個に比べて7個
(あるいは図示のように8個)にまで少なくすることが
でき、製造コストの低減できた。しかも、ドライバーI
C20の搭載数が少なくなっているので、フェイスダウ
ンボンディングにより配設するに当たって、その搭載用
基板に電気絶縁性樹脂基板30を用いても、その熱応力
の影響が顕著に小さくなり、実用上その基板の熱膨張に
よる歪曲が問題なくなった。したがって、この樹脂基板
30の上にドライバーIC20をハンダ溶着のフェイス
ダウンボンディングにより搭載しても高密度配線がで
き、しかも、この樹脂基板30においては、その配線を
電解メッキにより形成することができるので、無電解メ
ッキに比べて著しく密着強度を高めることができた。
【0057】尚、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変
更や改善等は何ら差し支えない。例えば、図3〜図10
により説明した電気的構成およびその駆動方法以外に、
特願平5−245466号にて提案されている他の駆動
回路を採用してもよい。
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変
更や改善等は何ら差し支えない。例えば、図3〜図10
により説明した電気的構成およびその駆動方法以外に、
特願平5−245466号にて提案されている他の駆動
回路を採用してもよい。
【0058】
【発明の効果】以上の通り、本発明の各サーマルヘッド
は、駆動回路の簡略化に伴って、駆動回路素子の搭載個
数が少なくすることができ、しかも、駆動回路素子の搭
載時間が短くなって、これにより、製造コストの低減化
が達成できた。
は、駆動回路の簡略化に伴って、駆動回路素子の搭載個
数が少なくすることができ、しかも、駆動回路素子の搭
載時間が短くなって、これにより、製造コストの低減化
が達成できた。
【0059】更に本発明のサーマルヘッドは、駆動回路
素子の搭載用基板に剛体のセラミック基板を用いる必要
がなく、これにより、その他の基板、即ち配線基板や電
気絶縁性樹脂基板の上にハンダ溶着のフェイスダウンボ
ンディングにより駆動回路素子を搭載しても、その熱応
力の影響が顕著に小さくなり、実用上その基板の熱膨張
による歪曲が問題なく、そのため、高密度配線ができ、
しかも、その配線を電解メッキにより形成することがで
きるので、無電解メッキに比べて著しく密着強度を高め
ることができ、その結果、高性能且つ高信頼性のサーマ
ルヘッドが提供できた。
素子の搭載用基板に剛体のセラミック基板を用いる必要
がなく、これにより、その他の基板、即ち配線基板や電
気絶縁性樹脂基板の上にハンダ溶着のフェイスダウンボ
ンディングにより駆動回路素子を搭載しても、その熱応
力の影響が顕著に小さくなり、実用上その基板の熱膨張
による歪曲が問題なく、そのため、高密度配線ができ、
しかも、その配線を電解メッキにより形成することがで
きるので、無電解メッキに比べて著しく密着強度を高め
ることができ、その結果、高性能且つ高信頼性のサーマ
ルヘッドが提供できた。
【図1】実施例のサーマルヘッドの平面概略図である。
【図2】実施例のサーマルヘッドの横断面図である。
【図3】サーマルヘッドの電気的構成を示す回路図であ
る。
る。
【図4】ドライバーIC20の電気的構成を示す回路図
である。
である。
【図5】サーマルヘッドの駆動方法を説明するためのタ
イムチャートである。
イムチャートである。
【図6】図5で示す印画データD1〜D8の内容を示す
タイムチャートである。
タイムチャートである。
【図7】図3で示されるサーマルヘッドによって得られ
る印画画像である。
る印画画像である。
【図8】図3で示されるサーマルヘッドの他の駆動方法
を説明するためのタイムチャートである。
を説明するためのタイムチャートである。
【図9】図8で示されるクロック信号CK1〜CK8の
内容を示すタイムチャートである。
内容を示すタイムチャートである。
【図10】図8で示されるクロック信号CK1〜CK8
の内容を示すタイムチャートである。
の内容を示すタイムチャートである。
【図11】他の実施例のサーマルヘッドの要部横断面図
である。
である。
【図12】他の実施例のサーマルヘッドの平面概略図で
ある。
ある。
【図13】他の実施例のサーマルヘッドの横断面図であ
る。
る。
【図14】図14は従来のサーマルヘッドの外観図であ
る。
る。
【図15】図15は従来のサーマルヘッドの電気的構成
を示す図である。
を示す図である。
【図16】図16は従来のサーマルヘッドに搭載するド
ライバーICの回路図である。
ライバーICの回路図である。
【図17】図17は従来のサーマルヘッドに搭載するド
ライバーICの動作を示すタイミグチャートである。
ライバーICの動作を示すタイミグチャートである。
12、12a、12bサーマルヘッド 13 放熱板 14 電気絶縁性セラミック基板 15 プリント基板 17 共通電極 18 発熱抵抗体 19 個別電極 20 ドライバーIC 28 FPC 30 電気絶縁性樹脂基板 31 薄膜
Claims (2)
- 【請求項1】 複数の発熱抵抗体と、複数の発熱抵抗体
のそれぞれ一方端に接続された個別電極群と、複数の発
熱抵抗体の他方端を共通に接続して成る共通電極とを設
けたセラミック基板を放熱板上に設けるとともに、複数
の発熱抵抗体の発熱を制御すべく下記A〜Fの素子もし
くは手段を有する駆動回路素子を複数個フェイスダウン
ボンディングにより搭載した配線基板を並設させて成る
サーマルヘッド。 A:各発熱抵抗体に流れる電流を制御すべく個別電極と
個々に接続されている複数のスイッチング素子 B:各スイッチング素子を開閉する複数のゲート素子 C:シリアルデータから成る印画データをパラレルデー
タに変換するシフトレジスタ D:発熱抵抗体を予め所定数n(但しnは自然数)毎の
グループに区分し、各グループの発熱抵抗体に対応する
n個のゲート素子を共通接続し、外部からのストローブ
信号によりシフトレジスタからの出力を開閉する駆動ゲ
ート素子 E:複数のゲート素子を共通接続するn個の選択ゲート
素子 F:奇数番目の各グループの最端部から数えて1番目の
発熱抵抗体に対応するゲート素子が1番目の選択ゲート
素子に共通接続され、2番目の発熱抵抗体に対応するゲ
ート素子が2番目の選択ゲート素子に共通接続され、順
次n番目の発熱抵抗体に対応するゲート素子がn番目の
選択ゲート素子に共通接続され、かつ偶数番目の各グル
ープの最端部から数えてn番目の発熱抵抗体に対応する
ゲート素子が1番目の選択ゲート素子に共通接続され、
(n−1)番目の発熱抵抗体に対応するゲート素子が2
番目の選択ゲート素子に共通接続され、順次1番目の発
熱抵抗体に対応するゲート素子がn番目の選択ゲート素
子に共通接続され、駆動ゲート素子からシフトレジスタ
からのデータが出力されているとき、外部からの選択信
号によって所定の選択ゲート素子を駆動し、その選択ゲ
ート素子に共通接続されたゲート素子を駆動する選択制
御手段 - 【請求項2】 電気絶縁性樹脂基板上の一部領域に無機
材料から成る薄膜を形成し、該薄膜上に複数の発熱抵抗
体と、複数の発熱抵抗体のそれぞれ一方端に接続された
個別電極群と、複数の発熱抵抗体の他方端を共通に接続
して成る共通電極とを設けるとともに、その他の領域
に、複数の発熱抵抗体の発熱を制御すべく下記A〜Fの
素子もしくは手段を有する駆動回路素子をフェイスダウ
ンボンディングにより複数個配設し、且つ前記電気絶縁
性樹脂基板を放熱板上に設けて成るサーマルヘッド。 A:各発熱抵抗体に流れる電流を制御すべく個別電極と
個々に接続されている複数のスイッチング素子 B:各スイッチング素子を開閉する複数のゲート素子 C:シリアルデータから成る印画データをパラレルデー
タに変換するシフトレジスタ D:発熱抵抗体を予め所定数n(但しnは自然数)毎の
グループに区分し、各グループの発熱抵抗体に対応する
n個のゲート素子を共通接続し、外部からのストローブ
信号によりシフトレジスタからの出力を開閉する駆動ゲ
ート素子 E:複数のゲート素子を共通接続するn個の選択ゲート
素子 F:奇数番目の各グループの最端部から数えて1番目の
発熱抵抗体に対応するゲート素子が1番目の選択ゲート
素子に共通接続され、2番目の発熱抵抗体に対応するゲ
ート素子が2番目の選択ゲート素子に共通接続され、順
次n番目の発熱抵抗体に対応するゲート素子がn番目の
選択ゲート素子に共通接続され、かつ偶数番目の各グル
ープの最端部から数えてn番目の発熱抵抗体に対応する
ゲート素子が1番目の選択ゲート素子に共通接続され、
(n−1)番目の発熱抵抗体に対応するゲート素子が2
番目の選択ゲート素子に共通接続され、順次1番目の発
熱抵抗体に対応するゲート素子がn番目の選択ゲート素
子に共通接続され、駆動ゲート素子からシフトレジスタ
からのデータが出力されているとき、外部からの選択信
号によって所定の選択ゲート素子を駆動し、その選択ゲ
ート素子に共通接続されたゲート素子を駆動する選択制
御手段
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13291694A JPH081977A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | サーマルヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13291694A JPH081977A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | サーマルヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH081977A true JPH081977A (ja) | 1996-01-09 |
Family
ID=15092520
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13291694A Pending JPH081977A (ja) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | サーマルヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH081977A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7533972B2 (en) | 2004-02-06 | 2009-05-19 | Fujifilm Corporation | Inkjet head and manufacturing method thereof |
-
1994
- 1994-06-15 JP JP13291694A patent/JPH081977A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7533972B2 (en) | 2004-02-06 | 2009-05-19 | Fujifilm Corporation | Inkjet head and manufacturing method thereof |
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